JPH03133785A

JPH03133785A - 清浄な液状製品の輸送方法

Info

Publication number: JPH03133785A
Application number: JP1200821A
Authority: JP
Inventors: Toshio Tateno; 立野　稔夫; Ichiro Nakamura; 一郎中村
Original assignee: Morita Kagaku Kogyo Co Ltd
Current assignee: Morita Kagaku Kogyo Co Ltd
Priority date: 1989-08-02
Filing date: 1989-08-02
Publication date: 1991-06-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は容器を用いて清浄な液状製品を輸送する方法に
関するものである。さらに詳しくは、例えば半導体等の
電子部品製造工程等で使用される高純度の薬液や液化ガ
スなどを容器に収容して運搬、輸送する方法に関するも
のである。

〔従来の技術、発明が解決しようとする課題〕半導体工
業等で用いられる薬液や液化ガスは、各種イオン、微粒
子、全有機炭素（ＴＯＣ）を極限値まで取り除かなけれ
ばならない。なぜならば、半導体加工等に用いる薬液や
液化ガスにこうした不純物が混入した場合、不良製品の
増加、収率の低下、品質の安定性低下等の問題点が発生
するからである。

現在、こうした薬液や液化ガスは製造段階において不純
物が極限まで品質管理されているため、出荷時には用途
的に十分満足できる品質が保障されているが、ユースポ
イントに届けるまでの運搬、輸送時に容器内で汚染が生
じて、内部の製品の品質低下を起こす場合があり、その
改善が強く望まれていた。

本発明は、清浄な液状製品を運搬、輸送した場合におい
てもそれを汚染させずに清浄に保ち得るような輸送方法
を提供することを目的とするものである。

〔課題を達成するための手段〕

この目的を達成するため、本発明では、液状製品を輸送
するための容器をその輸送中において液膨張による液量
変動を吸収し得るようなものとし、該容器の液状製品を
充填すべき室内に、液状製品を該室の内容積に対し９５
％以上充満させた状態で収容し、それによって、容器か
ら液状製品への振動汚染を減少させるようにしたもので
ある。

この場合において、液状製品を充填すべき室に対する液
状製品の充填率は、その体積が該室の内容積の９８％以
上であることが好ましい。

本発明をさらに詳しく説明する。

第１図は超純水により内部洗浄した１リットル高密度ポ
リエチレン容器に超純水を、また、第２図はＰＦＡ容器
に４０％ＮＨ，Ｆ水溶液を入れて長距離トラック輸送す
る前と、輸送した後の液中の微粒子の変動値を、容器に
対する液状製品の充満度に対してそれぞれ測定したもの
である。

ていた超微粒子が二次凝集してより大きい粒子に成長す
ることもあり、これも一種の汚染と言える。

一つの実験例では、１分間に３００回上下動する、振幅
５０ｍｍの振とう機に約８０容量％の高純度フン化水素
酸（５０重量％ＨＦ含有）を入れた１リツトルの透明Ｐ
ＦＡ樹脂容器をセ・ントして、約５時開拡とうを続ける
と、約８００廟のトラック輸送した時とほぼ同等の微粒
子増加がみられた。

容器の材質、容器の洗浄度および液状製品の組合せによ
っては微粒子発生の結果は大きく異なるが、この例から
も液状製品の輸送は極めて厳しい容器洗浄に相当するも
のであるかが分かる。

この振とう機を使ったテストでは容器内の液は液面が不
均一に激しく動き、容器の頂部から底部に至るまで気液
がシェークされた状態となり、キャビテーションに相当
する現象も容器内面で起こっている。一方、容器内に同
じ液をｌ第１図、第２図からも明らかなように、本発明
者等は容器内に上記液体を１００容量％充満させて輸送
した場合には、容器からの汚染については輸送せずに静
置しておいたものと大差ないことを見いだした。

本来容器からの汚染については、容器自体の洗浄と容器
材質の選択によって、その大部分は避けることができる
。しかし、半導体工業等で用いられる薬液や液化ガスは
、例えば各種溶解イオンについては１　ｐｐｂ以下、微
粒子については直径０．３μのもので１個／１ｍ！以下
というように極限まで取り除かなければならない場合も
ある。こうした極限域の汚染については、通常の輸送手
段を使う限りいかなる容器と液状製品の組合せでも皆無
とすることが難しい。例えばトラック輸送等によって、
容器内の液は長時間激しい振動を繰り返し、容器内面を
洗い、容器構成材もその表面から各種イオンや微粒子と
して液中に抽出されることが充分予想できる。また、こ
うした振動によって、本来液中に分散し００容量％充満
させて同しテストを行った場合には、キャビテーション
に相当する現象は起こらなかった。

通常、液状製品の輸送容器への充填度は８０〜９５容量
％とされ、広範な温度範囲でも液膨張による液量変動を
空間部分で吸収できるようにして、小さなガラス容器か
ら大型ローリ−車に至るまでのいかなる規模の容器でも
危険な過充填を避けている。

本発明者等はこうした知見から、容器からの液状製品へ
の振動汚染を避けること、および、安全のために液膨張
を吸収できることを前従として、上述したような輸送方
法を見い出した。

〔作　用〕

本発明においては、清浄に保つべき液状製品が容器の液
状製品を充填すべき室内に、該室の内容積に対し９５％
以上充満させた状態で収容される。これによって、容器
内では輸送中における液状製品の振動汚染を減少させる
ことができる。

一方、輸送中容器内で液状製品が膨張して液量変動が生
じるおそれがあるが、次に示すような手段によりそれを
吸収することができる。

例えば、液状製品をほぼ充満させた状態で収容するため
の容器に、液膨張による液量変動を吸収し得る手段を連
結する場合を挙げることができる。この場合には、輸送
中容器内で液状製品が膨張したときその液量変動は容器
に連結された当該手段により吸収され、容器自体には全
く影響がない。なお、この手段としては、例えば第３図
１第４図に示ずように１つの大きな容器を液体充填部と
液膨張吸収部とに分割し、両者を連結管等で連結する場
合や、第５図に示すように連結管等で互いに連結されて
いる複数の容器のうちの少くとも１つを液膨張吸収用の
容器として利用する場合などを挙げることができる。そ
して、これらの場合において液状製品が膨張すると、膨
張した余分の液状製品は上記液膨張吸収部あるいは液膨
張吸収用の容器内に収容されることになる。

第１図、第２図の例からも予測できるように、そうした
容器形状その他の因子も考慮すると、好ましくは９８％
以上であれば特に本発明の効果が明白となる。

〔実施例〕

以下に実施例によって本発明を具体的に説明するが、本
発明はその要旨を逸脱しない限り以下の実施例に限定さ
れるものではない。

実施例１第３図は、本発明で用いる輸送容器の一例を示す断面図
で、１つの大きな容器を液体充填部（８）と液膨張吸収
部（７）とに分割したものである。

図示する例では電子工業用グレードの２８％アンモニア
水を輸送するためのＰＦＡライニング（本体ステンレス
）１ｍ３コンテナーとして使用するものであり、この中
に液体を収容してトラック輸送する。

この容器の液体充填部（８）は斜線で示すアンモニア水
で満たされ、アンモニア水のほとんど入っていない液膨
張吸収部（７）と連結管（２）でつながまた、液状製品
をほぼ充満させた状態で収容するための容器に、液膨張
による流動変動を吸収し得る手段を装着する場合を挙げ
ることができる。この場合には、輸送中容器内で液状製
品が膨張したときそれに対応して当該手段が作動し、上
記の場合と同様の効果が得られる。なお、この手段とし
て、安全弁もしくは破裂板を挙げることができ、これを
容器に装着するとよい。

さらに、液状製品をほぼ充満させた状態で収容するため
の容器自体に、液膨張による液量変動を吸収し得る機能
を発揮せしめるようにしても上記の場合と同様の効果が
得られる。その−例として、容器を膨張、収縮可能な材
質のもので形成したり、容器の構造を膨張、収縮可能な
ようにして内部の液状製品の膨張や収縮に対応させ得る
ようにする場合を挙げることができる。

液体充填部における充填液体の体積は容器形状その他の
因子により変動しうるが、−船釣には液体充填部の内容
積の９５％以上ないと容器からの振動汚染を減少させる
ごとができない。

っている。液膨張吸収部（７）は約１５０リツトルの空
間容積を有する円筒形のタンクとすることができ、液体
充填部（８）の上部マンホール部から挿入するとよい。

輸送後ノズル（５）から清浄な窒素ガスを圧入すると、
液体充填部（８）内の液のみをノズル（３）から製品と
して抜き出すことができる。液膨張吸収部（７）にある
液は製品として使用しない。

電子工業用アンモニア水製造工程の２８％水溶液をポア
サイズ０．１μのＰＴＦＥメンブランフィルタ−を用い
て加圧濾過し、濾過後の製品をＰＦＡコンテナーの液体
充填部（８）からオーバーフローするまで充填した。濾
過直後の液中の微粒子を液体用自動微粒子測定器（バイ
アツク・ロイコ社　３４６型）により測定したところ０
．５μ以上の粒子が２個／１ｍｌであった。この液体充
填部（８）中のアンモニア水を８００ｋｍ）ラック輸送
試験したのち、再度微粒子の量を測定した結果、増加は
認められなかった。

比較のために第３図のコンテナーから液膨張吸収部（７
）のタンクを取り外し、液体充填部（８）に容積比的８
５％に相当する同品質のアンモニア水を充填して、同じ
輸送テストと微粒子測定をした結果、０．５μ以上の粒
子が１２０個／１ｍｌまで増加していた。

なお、第３図における図面符号（１）はマンホール蓋、
（４）は液抜き管、（６）は予備ノズル、（９）は固定
パレットである。

実施例２第４図は、５ｍ３内面ポリエチレンコーティングコンテ
ナーを３室に分割し、その中央の室を０．５ｍ３の液膨
張吸収部（７）とし、半導体用５０％フッ化水素酸の輸
送に使用する場合を示すものである。液膨張吸収部（７
）と液体充填部（８）とは連結管（２）で連結されてい
る。

実施例１と同じ輸送テストと微粒子測定を行った結果、
輸送前後で各々０．５μ以上の粒子が３個／１ｍｌ、４
個／１ｍｌとなり、はとんど増加は認められなかった。

なお、第４図における図面符号（３）は液抜きノり届け
ることが可能になる効果がある。

また、請求項２記載の輸送方法によれば、容器への充填
時の品質と全く変わらないといってもよいほど清浄な液
状製品を、遠距離のユースポイントまで送り届けること
ができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

添付図面は、本発明による清浄な液状製品の輸送方法を
説明するためのもので、第１図は、超純水により内部洗浄した１リットル高密度
ポリエチレン容器に超純水を、また、第２図は、超純水
により内部洗浄した１リツトルＰＦＡ容器に４０％ＮＨ
，Ｆ水溶液を入れて長距離トラック輸送する前と、輸送
した後の液中の微粒子の変動値を、容器に対する液状製
品の充満度に対して測定したグラフ、第３図は、大きな１つの容器を液体充填部と液膨張吸収
部とに分割した輸送容器の一例を示す断面図、第４図は、１つのコンテナーを３室に分割し、ズル、（
４）は液抜き管、（５）は圧送用窒素ガスノズルである
。実施例３第５図は、１５リツトルポリ工チレンコンテナー５本を
互いに連結し、そのうちの１本を液膨張吸収部（７）と
して、超純水の輸送容器として使用する場合を示すもの
である。液膨張吸収部（７）と液体充填部（８）とは連
結管（２）で連結されている。実施例１と同じ輸送テストと溶解イオン測定を行った結
果、輸送前後で各々ナトリウムイオンが０．８ρｐｂ　
、　０．９ｐｐｂとなり、はとんど増加は認められなか
った。なお、第５図における図面符号（３）は液抜きノズル、
（４）は液抜き管、（５）は圧送用窒素ガスノズルであ
る。〔発明の効果〕請求項１記載の輸送方法によれば、容器への充填時の品
質を大幅に変動させることなく、清浄な液状製品を遠距
離のユースポイントまで送２その中央の室を液膨張吸収部とした輸送容器の一例を示
す断面図、第５図は、５本のコンテナーを互いに連結し、そのうち
の１本を液膨張吸収部とした輸送容器の一例を示す断面
図、である。（２）一連結管、　（７）−液膨張吸収部、　（８）−
液体充填部。

Claims

【特許請求の範囲】１、輸送中の液膨張による液量変動を吸収し得るように
した容器の液状製品を充填すべき室内に、液状製品を該
室の内容積に対し９５％以上充満させた状態で収容し、
それによって、容器から液状製品への振動汚染を減少さ
せることを特徴とする清浄な液状製品の輸送方法。２、輸送時における液体製品を充填すべき室内の液状製
品の体積が、該室の内容積の９８％以上である請求項１
記載の清浄な液状製品の輸送方法。