JPH03127633U - - Google Patents

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JPH03127633U
JPH03127633U JP3729190U JP3729190U JPH03127633U JP H03127633 U JPH03127633 U JP H03127633U JP 3729190 U JP3729190 U JP 3729190U JP 3729190 U JP3729190 U JP 3729190U JP H03127633 U JPH03127633 U JP H03127633U
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Japan
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board
substrate
piston
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cylinder
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JP3729190U
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  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
  • Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
  • Special Conveying (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の１実施例を示す基板収納装置
の要部斜視図、第２図は基板プツシヤーの基板押
圧部を示す拡大斜視図、第３図は従来の基板収納
装置における基板挿入時の要部斜視図である。 １……基板、２……搬送ベルト、７……収納ラ
ツク、８……基板プツシヤー、９……シリンダ、
１０……ピストン、１１……基板押圧部、１１ａ
……支持部、１１ｃ……当接金具、１１ｄ……ス
プリング、１１ｅ……センサ、１２……制御部、
１３……基板プツシヤー制御部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 並行に配置された搬送ベルト間に、シリンダか
    ら突出して往復運動するピストンの先端に基板押
    圧部を設けて成る基板プツシヤーを配置し、 前記搬送ベルト上を搬送されている基板の後端
    辺に前記基板押圧部を当接させ、シリンダからピ
    ストンを突出させることで基板を収納ラツク内に
    収納する基板収納装置において、 前記基板プツシヤーの基板押圧部に基板の後端
    辺と当接する当接金具を回動可能に設けると共に
    、この当接金具を前記基板が破損する際の負荷よ
    り低付勢力のスプリングを配し、前記当接金具が
    スプリングの付勢力に抗して回動したことで基板
    に過負荷がかかつたことを検出する過負荷検出手
    段と、 この過負荷検出手段により基板に過負荷がかか
    つた状態であることが検出された場合に基板押圧
    部を取りつけたピストンをシリンダ内に戻して基
    板への押圧力を解除する押圧解除手段とを設けた
    ことを特徴とする基板収納装置。
JP3729190U 1990-04-09 1990-04-09 Pending JPH03127633U (ja)

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JP3729190U JPH03127633U (ja) 1990-04-09 1990-04-09

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JP3729190U JPH03127633U (ja) 1990-04-09 1990-04-09

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JPH03127633U true JPH03127633U (ja) 1991-12-24

Family

ID=31544267

Family Applications (1)

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JP3729190U Pending JPH03127633U (ja) 1990-04-09 1990-04-09

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JP (1) JPH03127633U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012021859A (ja) * 2010-07-14 2012-02-02 Hitachi High-Technologies Corp 自動分析装置
JP2013187374A (ja) * 2012-03-08 2013-09-19 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd 半導体後工程組立装置
JP2013193808A (ja) * 2012-03-16 2013-09-30 Seiko Epson Corp 搬送装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012021859A (ja) * 2010-07-14 2012-02-02 Hitachi High-Technologies Corp 自動分析装置
JP2013187374A (ja) * 2012-03-08 2013-09-19 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd 半導体後工程組立装置
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