JPH03124258A

JPH03124258A - パルスモータ

Info

Publication number: JPH03124258A
Application number: JP26092589A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Nakagawa; 洋中川
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 1989-10-05
Filing date: 1989-10-05
Publication date: 1991-05-27
Anticipated expiration: 2013-08-06
Also published as: JP2782847B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」この発明は、例えば、産業用ロボットなどのように比較
的大きな推力か要求されるＦ　Ａ　（ファクトリ−オー
トメ−ションルスモータに関するものである。

］−従来の技術」周知のように、リニアパルスモータは一次側磁束発生部
であるスライダの各コイルに供給されるパルス信号・に
基■き、スライダまたはニー次側スケールをステップ状
に歩進動作させるものであり、その磁気回路の構成は、
第９図（ａ）に示す通りである，、この図において、１
は長尺板状の磁性体によって構成された二次側スケール
であり、その」二面には、歯部１　ａ，　］　ａ，・・
か長手方向（図面左右方向）に沿って等間隔に形成され
ている。このスケール１の」二面にはスライダ２か図示
ゼぬローラ等からなる支持機構によってスケール１の長
手方向へ移動自在に支持された状態で載置されている。

スライダ２は、コ字状のＡ相鉄心４およびＢ相鉄心５と
、Ａ相鉄心４のＡ相磁極４ａおよび入相磁極４．　１）
に各々巻回されたコイル６ａおよび６ｂと、Ｂ相鉄心５
のＢ相磁極５ａおよびｎ相磁極５ｂに各々巻回されたコ
イル７ａおよび７ｂと、鉄心４および５の」−面に図示
する極性で取すイ」けられた永久磁石８および９と、永
久磁石８および９の」−面に取りイτｊけられた板状の
磁性体によって構成されるハックプレート１０とから構
成されている。磁極４ａの下端面には、スケール１の歯
部１ａのピッチ（形成間隔）Ｐと同一ピッチで３個の極
歯１４ａ，］４　ａ．　ｌ　４　ａか形成されており、
その他の磁極４ｂ５　ａ＋　５　ｂの各下端面にも同様
に極歯１４ｂ，Ｌ５ａ１５１〕か各々形成されている。

また、各磁極５　１）４　ｂ，　５　ａは磁極４ａに対
して順次Ｉ〕／４ずつずらして配置され、これにより、
各磁極４ａ．４．ｂ，５ａ，５１〕は互いに位相か９０
度ずつ異なった位置関係となっている。さらに、各極歯
１４ａ，１４ｂ，１５ａ１、５ｂの下端面と各歯部１ａ
の上端面との間には、所定の間隙Ｇが各々形成されてい
る。

そして、コイル６　ａ．　６　ｂ．　７　ａ，　７　ｂ
に所定のパルス信号を順次供給することにより、コイル
６ａ，６１〕７ａ，７ｂか発生する磁束と、永久磁石８
．９か発生する磁束とか各磁極４ａ，４．ｂ，５ａ，５
ｂにおいて、順次加減され、スケール１に対するスライ
ダ２の磁気的安定位置か順次移動し、これにより、スラ
イダ２かスケール１の長手方向に沿って移動する。

ここで、コイル６　ａ，　６　ｂの組、もしくはコイル
７　ａ，　７　ｂの組のいずれか一方の組に電流を供給
する１相励磁方式によってスライダ２を駆動する場合を
例にして説明する。

■第９図（ａ）に示す様に、コイル６　ａ．　６　ｂに
端子６ｃから６ｄへ向って所定の電流を流すと、コイル
６ａか発生する磁束と、永久磁石８が発生する磁束とが
Ａ相磁極４ａにおいて相加わり、入相磁極４ｂにおいて
互いに打ぢ消し合うのて、図に点線φ，で示す主磁束ル
ープが発生し、この結果、図示するように、Ａ相磁極４
ａの各極歯１．４ａと、スケール１の歯部１ａとか一Ｌ
下に対向した位置か磁気的に安定した位置となる。

■第９図（ｂ）に示す様に、コイル７　ａ，　７　ｂに
端子７ｃから７ｄへ向って所定の電流を流すことによっ
て、図に点線φ，て示す主磁束ループか発生し、この結
果、図示するように、磁極５１）の各極歯１５ｂと歯部
１ａとが」−下に対向した位置が磁気的に安定した位置
となる。

■第９図（Ｃ）に示す様に、コイル６　ａ，　６　ｂに
■と逆方向へ所定の電流を流すことによって、図に点線
φ３で示す主磁束ループが発生し、この結果、磁極４ｂ
の各極歯１４．ｂと歯部１ａとがＬ下に対向した位置か
磁気的に安定した位置となる。

■第９図（ｄ）に示す様に、コイル７　ａ，　７　ｂに
■と逆方向へ所定の電流を流すことによって、図に点線
φ４で示す主磁束ループが発生し、この結果、磁極５ａ
の谷径ａ　１　５　ａと歯部１ａとが」１下に対向した
位置が磁気的に安定した位置となる。

以上の■→■→■→■の各励磁モードの順にパルス励磁
を繰り返すことによって、スライダ２か図面左方向、す
なわち磁極５ｂから４８に向かう方向へステップ状に移
動し、■−■→■→■の各励磁モードの順にパルス励磁
を繰り返すことによって、スライダ２が図面右方向、す
なわぢ磁極４ａから５ｂに向かう方向へステップ状に移
動する。

なお、スライダ２を固定してスケール１を移動させる場
合も同様である。

「発明が解決しようとする課題」ところで、一般に、リニアパルスモータはオーブンルー
プて高精度な位置決めか可能なことから、ＯＡ（オフィ
スオー１−メー／ヨン）機器のプリンタのキャリッジ駆
動等に用いられているものの、大きな推力が得られない
ため、産業用ロボットなとのように比較的大きなｊＩＬ
力か要求されるＦＡ機器には、適用することが困難であ
った。すなわち、上述したリニアパルスモータにおいて
は、第９図（ａ）〜（ｄ）に示すように、一方のＡ相磁
極４ａもしくはＩ３相磁極５ａにおいてコイル６ａもし
くは７ａが発生する磁束と永久磁石８．９か発生ずる磁
束とが相加わり、推力が発生している期間、他方の入相
磁極４ｂもしくはｂ相磁極５ｂにおいては、コイル６ｂ
もしくは７ｂが発生する磁束と、永久磁石８．９が発生
する磁束とか互いに打ち消し合い、推力が発生しない構
造となっている。逆に、入相磁極４ｂもしくはＢ相磁極
５ｂにおいて推力か発生している期間、Ａ相磁極４ａも
しくはＢ相磁極５ａにおいては、推力か発生しない構造
となっている。

したがって、実際に推力発生に寄与する推力発生面積は
、スケール１と対向する各磁極４．ａ、４ｂ５ａ、　５
　ｂの総面積の内、５０％しがなく、この推力発生面積
を広げることが、推力向上を図る際の重要な課題となっ
ていた。さらに、従来のリニアパルスモークにおいては
、永久磁石８，９が間隙Ｇから離れた個所に配置されて
いるので、これら永久磁石８，９で発生した磁束の一部
が漏れ磁束となって推力発生用に有効に利用されないと
いう問題もあった。

この発明は、」二連した事情に鑑みてなされたもので、
スケールと対向する各磁極の端面の総面積を推力発生用
に有効に利用し、かつ全ての永久磁石を一次側磁束発生
部とスケールとの間隙に近接して配置する構造とするこ
とにより推力の増大を図ったパルスモータを提供するこ
とを目的としている。

「課題を解決するための手段」この発明は、特定方向に沿って等間隔に歯部を一有する二次側スケールと、前記二次側スケールに対して
前記特定方向へ移動自在に支持された一次側磁束発生部
とからなり、前記一次側磁束発生部の各磁極と前記二次
側スケールの各歯部との間に形成された各間隙に順次磁
束を発生させることにより、前記一次側磁束発生部を二
次側スケールに対して相対移動させるパルスモータにお
いて、磁性部材と、この磁性部材上に前記特定方向に沿
って一定間隔１）　／　２で配列された歯部と、これら
各歯部間の溝部に、隣合うもの同志の極性が互いに逆方
向となるように各々挿入配置された永久磁石と、前記各
歯部と前記磁性部材との間に、前記各歯部の磁化を強め
る方向に各々挿入配置された補助永久磁石とから前記二
次側スケールを構成する一方、前記一次側磁束発生部を
、前記二次側スケールの各歯部と一定の間隙を隔てて各
々対向するＮ個の磁極を有すると共に、前記各磁極が前
記特定方向へ所定寸法Ｐ／Ｎの変位を有して各々配置さ
れた鉄心と、前記各磁極に各々巻回されたコイルとから
構成したことを特徴としている。

「作用」上記構成によれば、コイルに電流を流すと、次側磁束発
生部の鉄心の一方の磁極から、二次側スケールのＳ極側
の歯部に流入した磁束が、永久磁石を介して隣合うＮ極
側の歯部に流入し、さらに、補助永久磁石と磁性部材を
介して他のＮ極側の歯部へ流入し、一次側磁束発生部の
鉄心の他方の磁極へ流入する主磁束ループが形成される
ので、二次側スケールと対向する各磁極の総面積を推力
発生用に有効に利用することができ、また、永久磁石と
補助永久磁石を全て一次側磁束発生部との間隙に近接し
て配置することができるので、大きな推力が得られる。

「実施例」以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明す
る。

第１図はこの発明の第１実施例によるリニアパルスモー
タの磁気回路の構成を示す図である。

この図において、２０は固定されたスケール、２１は図
示せぬローラ等の支持機構によってスヶ−ル２０の長手
方向（図に示す矢印Ｍ方向）へ移動自在に支持されたス
ライダである。

スケール２０は、板状の磁性部材２２と、この磁性部材
２２の長手方向に沿って−・定間隔Ｐ／２で配列された
歯部２２　ａ、　２２　ａ、・・・と、これら各歯部２
２ａ、２２ａ、　　間の溝部２２　ｂ、　２２　ｂ、−
に、隣合うもの同志の極性か互いに逆方向となるように
各々挿入配置された永久磁石２３，２３．・・と、前記
各歯部２２ａ、２２ａ、・・と磁性部材２２との間に、
各歯部２２ａの磁化を強める方向に各々挿入配置された
補助永久磁石２７．２７．・・とから構成されている。

一方、スライダ２１は、スケール２０と一定の間隙Ｇを
隔てて各々対向する４個の磁極、すなわちＡ相磁極２４
Ａと入相磁極２４人と色相磁極２４Ｂと色相磁極２４Ｂ
とを有する鉄心２４と、各磁極２４　Ａ、２４　Ａ、２
４　Ｂ、２　／ｌ　ｓニ各々巻回すれたコイル２５Ａ、
２５人、２５Ｂ、２５Ｂとから構成されている。この場
合、各磁極２４　Ａ、２４人　２４Ｂ　２４Ｂの相対位
置関係は次の通りである。ずなわぢ、磁極２４Ａに対し
て、磁極２４　Ｂは（５Ｐ−Ｐ／４）隔てて位置し、ま
た各磁極２４Ａおよび２４Ｂに対して、各磁極２４人お
よび２４百は各々（２Ｐ＋Ｉ）／２）隔てて位置し、こ
れにより、各磁極２４に、２４Ｂ、２４人、　２４．８
　（７）順に、その移動方向く矢印Ｍ方向）へ所定寸法
Ｐ／４ずつの変位を有して配置されている。また、各磁
極２４Ａ、２４Ａ、２４　Ｂ、２４　Ｂのスケール２１
　と対向する端面には、スケール２１の歯部２２ａと路
間−の対向面積を有する極歯２４Ａａ、２４Ａｂ２４人
ａ、２４人す、２４．Ｂａ、２４　Ｂｂ、２４１’；ａ
、２７′ＩＴ３　ｂが各々形成されている。

以上の構成において、各コイル２５Ａ、２５人。

２５Ｂ、２５Ｂに電流を供給しない状態においては、第
２図に点線矢印によって示すように、各永久磁石２３．
２３．・のＮ極から各々のＳ極に戻る磁束ループが形成
されると共に、同図に実線矢印によって示すように、ス
ケール２０のＮ極側の歯部２２ａからスライダ２１の各
磁極２４Ａ、２４人。

２４Ｂ、２４ｒ＞ｉ、：流入シタ後、スケール２０のＳ
２極側の歯部２２ａに戻り、そして、補助永久磁石２７と
磁性部材２２を介して元のＮ極側の歯部２２ａへ戻る磁
束ループか形成され、この状態で静止している。

ここで、Ａ相と入相コイル２５Ａ、２５人の組、または
＋３相とｎ相コイル２５Ｂ、２５Ｂの組の方に７４１１
＝ｔを供給する１相励磁方式によってスライダ２１を駆
動する場合の動作について第３図を参照して説明する。

■第３図（ａ）に示す状態において、Ａ相と入相コイル
２５Δ、２５人に対して、図に示す×印から・印の方向
へ所定の電〆ＡＥを流すと、鉄心２４には入相磁極２４
人からＡ相磁極２４Ａに向ってコイル２５Ａ、２５人に
よる起磁力が発生し、これにより図にφ１で示すように
、鉄心２４のＡ相磁極２４Ａの容積ｍ２４Ａａ、２４Ａ
ｂからスケール２０のＳ極側の歯部２２ａに流入した磁
束か、永久磁石２３を介して隣合うＮ極側の南部２２ａ
に流入した後、補助永久磁石２７と磁性部材２２を介し
て他のＮ極側の７１１部２２ａへ流入し、さらに該歯部
２２ａから鉄心２４の入相磁極２４への各極歯２４人ａ
、２４八すへ流入する主磁束ループか形成される。この
結果、Ａ相磁極２４Ａの各極歯２４Δａ、２４Ａａかス
ケール２０のＳ極側の歯部２２ａと対向し、入相磁極２
４への各極歯２４人ａ２４人すがスケール２０のＮ極側
の歯部２２ａと対向する位置か磁気的に安定した位置と
なる。

■第３図（＋１）に示ず様に、色相と色相コイル２５Ｂ
、２５Ｂに対して、図に示ず×印から・印の方向へ所定
の電流を流すと、図にφ２て示す主磁束ループか発生し
、この結果、色相磁極２４Ｂ。

２４Ｂの各極歯２４Ｂａ、２４．Ｂｂがスケール２０の
Ｓ極側の歯部２２ａと対向し、色相磁極２４．　＝の各
極歯２４Ｂａ、２４Ｂｂがスケール２０のＮ極側の歯部
２２ａと対向する位置か磁気的に安定した位置となる。

■第３図（ｃ）に示す様に、Ａ相と入相コイル２５Ａ、
２５人に■と逆方向へ所定の電流を流すと、図にφ３で
示す主磁束ループが発生し、この結果、Ａ相磁極２４Ａ
の各極歯２４Ａａ、２４．Ａｂがスケ−ル２０のＮ極側
の山部２２ａと対向し、入相磁極２４人の各極歯２４人
ａ、２４人ｌ〕かスケール２０のＳ極側の歯部２２ａと
対向する位置が磁気的に安定した位置となる。

■第３図（（１）に示す様に、Ｂ相とｎ相コイル２５　
Ｂ　、　２５　Ｂに■と逆方向へ所定の電流を流すと、
図にφ４て示す主磁束ループか発生し、この結果、ｎ相
磁極２４Ｂの各極歯２４Ｂａ、２４Ｂｂかスケール２０
のＮ極側の山部２２ａと対向し、ｎ相磁極２４Ｂの各極
歯２４　’Ｆ３ａ、　２４　ｌ３１）かスケール２０の
Ｓ極側の山部２２ａど対向する位置か磁気的に安定した
位置となる。

以上の■→■→■→■の各励磁モードの順にパルス励磁
を繰り返すことによって、スライダ２１か図面右方向へ
移動し、■→■→■−■の各励磁モートの順にパルス励
磁を繰り返すことによって、スライダ２１か図面左方向
へ移動する。

次に、第４図を参照して、この発明の第２実施例である
３相リニアパルスモータについて説明する。この図にお
いて、／Ｉ２は図示ゼぬローラ等の支持機構によってス
ケール２１の長手力向く図に示す矢印Ｍ方向）へ移動自
在に支持されたスライダである。スライダ４２は、Ａ相
磁極４．３　Ａと、ｎ相磁極４３Ｂと、Ｃ相磁極４．３
　Ｃとを何する鉄心４３と、各磁極４３Ａ−４３Ｇに各
々巻回されたコイル４４Ａ〜４４Ｃとから構成されてい
る。

この場合、−側部に位置する磁極４３Ａ、中央部に位置
する磁極４３Ｂ、他側部に位置する磁極４３Ｃの順に、
スケール２０の長手方向（Ｍ方向）へ順次Ｐ／３ずつ変
位して配置され、これにより、入相磁極４３人かスケー
ル２０の歯部２２ａと対向している状態において、Ｂ相
磁極４３　Ｂ　カｔｍ部２２ａからＰの１／３たけ変位
し、Ｃ相磁極４３Ｃが歯部２２ａからＰの２／３だけ変
位する位置関係となる。

以」二の構成において、第５図に示すような励磁シーケ
ンスで、Ａ相コイル４４Ａと、Ｂ相コイル４４Ｂと、Ｃ
相コイル４４．　Ｃに極性か反転するｉ＜ルス電流を供
給し、いわゆるバイポーラ駆動する場合の動作について
説明する。

６まず、第６図は、スライダ４２の各磁極４．３　Ａ〜４
．３　Ｃトスケール２０の各歯部２２ａとの間に発生ず
る推力ベクトルを示ず図である。この図において、Ａは
Ａ相コイル４．４　Ａに正方向に駆動電流を供給した場
合に生しる推力ヘクトルを示し、人はＡ相コイル４４Ａ
に負方向に駆動電流を供給した場合に生しる推力ベクト
ルを示し、同様に、ＢおよびＣはＢ相コイル４４Ｂおよ
びＣ相コイル４４Ｃに正方向に駆動電流を供給した場合
に各々生じる推力ベクトルを示し、ＢおよびＣはＢ相コ
イル４４ＢおよびＣ相コイル４４Ｃに負方向に駆動電流
を供給した場合に各々生じる推力ベクトルを示している
。

そして、第５図に■で示す期間においては、Ａ相フィル
４４Ａに正方向へ駆動電流か供給され、Ｂ相コイル４４
ＢとＣ相コイル４４Ｃには負方向へ駆動電流が供給され
ており、第６図に示すように、ベクトルＡと、ベクトル
Ｂと、ベクトルＣを合成したベクトルか推力ベクトルと
なって、スケール２２とスライダ４２間に作用する。そ
の後、■→■→　→■で示す順序で、各コイル４４Ａ〜
４４Ｃに駆動電流を供給すると、スライダ４２の各磁極
４３Ａ〜４３Ｃとスケール２０の各歯部２２ａとの間に
発生する推力ベクトルが第６図に■→■→・→■で示す
順序で変化し、スケール２０に対するスライダ４２の磁
気的安定点が移り変わる。このように■→■→■→・・
→■の各励磁モートの順、または■−■→・・−■−■
の各励磁モートの順にパルス励磁を繰り返すことによっ
て、スライダ４２か移動する。

次に、この発明の第３実施例であるディスク・ロータ型
・両面駆動式のパルスモータに適用した場合の構成につ
いて第７図（イ）〜（ニ）を参照して説明する。これら
の図において、５０はハウジングであり、５１はハウジ
ング５０にヘアリング５２．５３を介して回転自在に支
持されているシャフトである。このシャフト５１には、
円板状のロータ５４がキー５５によって固定されており
、また、ハウジング５０内には、ロータ５４の両面と各
々所定の間隙を隔てて対向する環状のステータ５６．５
７が各々取り付けられている。ロータ５４は、非磁性体
によって構成される環状部材５９および６０と、これら
の部材５９と６０間に配置された円板状の磁性部材６１
と、磁性部材６１の両面」二に、放射状にかつ等間隔に
配列された歯部６］ａ、６］ａ、＝と、各歯部（３１ａ
、　６　］　ａ、−間の溝部６］１．６１ｂ、　　に、
隣り合うもの同士の極性が互いに逆方向となるように各
々挿入配置された永久磁石６２，６２．・と、各歯部６
１ａ、６１ａ、−と磁性部材６１との間に、各１４ｑ部
６］ａ、６１ａ、・・の磁化を強める方向に各々挿入配
置された補助永久磁石６７．６７、・とから構成されて
いる。また、ステータ５６は、第１図に示す各磁極２４
Ａ、２４人、２ｚ＋ｓ、２４Ｂと同様の位置関係を有す
る磁極６５ａ〜６５ｄか形成された鉄心６５と、これら
の磁極６５ａ〜６５ｄに各々巻回されたコイル６６ａ〜
６６ｄとから構成され、ステータ５７も同様に構成され
ている。以」二の構成において、第３図と同様の動作原
理でロータ５４か回転駆動され、シャフト５１か回転す
る。

次に、この発明の第４実施例であるアウター・ロータ型
のパルスモータに適用した場合の構成について第８図を
参照して説明する。この図において、７０はアウター・
ロータであり、円筒状の磁性部材７１と、この磁性部材
７１の内周面に等間隔に配列された歯部７１ａ、７１ａ
、−と、これら各歯部７１ａ、７１ａ、　　間の溝部７
　］、　ｂ、　７　ｌ　ｂ、−に、隣り合うもの同志の
極性が互いに逆方向となるように各々挿入配置された永
久磁性７２，７２．・　と、各歯部７１ａ、７１ａ、・
　と磁性部材７１との間に、各歯部７１ａ、７１ａ、　
　の磁化を強める方向に各々挿入配置された補助永久磁
石７７，７７．・・とから構成されている。また、ステ
ータ７４は、第４図に示す各磁極４３Ａ、４３Ｂ、４３
Ｇと同様の位置関係を有するＡ相磁極７５Ａ、Ｂ相磁極
７５　Ｂ、Ｃ相磁極７５Ｃと、入相磁極７５人、Ｂ相磁
極７５Ｂ、Ｃ相磁極７５Ｇが形成された鉄心７５と、こ
れらの磁極７５Ａ〜７５０に各々巻回されたコイル７６
Ａ〜７６Ｃとから構成され、シャフト７８に固定されて
いる。以」二の構成において、第４図９の実施例と同様の動作原理でアウター・ロータ７０が回
転駆動される。

なお、この発明は、上述した実施例に限定されることな
く、以下に挙げる種々の変形が可能である。

■−次次側シライタ、二次側スケールに対する相対移動
量を検出するセンサを設け、サーボモータとして駆動さ
せるようにしてもよい。

■コキングの除去、もしくは推力波形歪の改善のために
、・スキュー構造としたり、同一極内における若干のピ
ッチずらしく等価スキュー）を施しても構わない。

「発明の効果」以」二説明したように、この発明によれば、二次側スケ
ールを、磁性部材と、この磁性部材」―に特定方向に沿
って一定間隔Ｐ／２で配列された歯部と、これら各歯部
間の溝部に、隣合うもの同志の極性が互いに逆方向とな
るように各々挿入配置された永久磁石と、前記各歯部と
前記磁性部材との間に、前記各歯部の磁化を強める方向
に各々挿入０配置された補助永久磁石とから構成する一方、次側磁束
発生部を二次側スケールの各歯部と一定の間隙を隔てて
各々対向するＮ個の磁極を有すると共に、各磁極が特定
方向へ所定寸法Ｐ／Ｎの変位を有して各々配置された鉄
心と、各磁極に各々巻回されたコイルとから構成し、こ
れらのコイルに電流を流した場合に、一次側磁束発生部
の鉄心の一方の磁極から、二次側スケールのＳ極側の歯
部に流入した磁束が、永久磁石を介して隣合うＮ極側の
歯部に流入し、さらに補助永久磁石と磁性部材を介して
他のＮ極側の歯部に流入した後、次側磁束発生部の鉄心
の他方の磁極へ流入する主磁束ループが形成されるよう
にしたので、二次側スケールと対向する各磁極の総面積
を推力発生用に有効に利用することができると共に、永
久磁石と補助永久磁石の全てを一次側磁束発生部との間
隙に近接して配置することができ、これにより従来の２
倍以上の推力を得られ、例えば、産業用ロボットなとの
ように比較的大きな推力が要求されるＦＡ機器にも適用
することが可能になるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１実施例によるリニアパルスモー
タの磁気回路構成を示す正面図、第２図は同実施例の静
止時における磁束経路を説明するための正面図、第３図
（ａ）〜（ｄ）は同実施例をｌ相励磁方式によって駆動
した場合の動作を説明するための正面図、第４図はこの
発明の第２実施例による多相リニアパルスモータの磁気
回路構成を示す斜視図、第５図は同リニアパルスモータ
における励磁シーケンスを説明するための図、第６図は
同リニアパルスモータの各励磁モードにおける推力ヘク
トルを説明するための図、第７図（イ）はこの発明の第
３実施例によるディスク・ロータ型パルスモータの構成
を示す部分断面図、同図（ロ）は同パルスモータのステ
ータ側の構成を示す部分正面図、同図（ハ）は同パルス
モータのディスク・ロータの構成を示す部分断面図、同
図（ニ）は同パルスモータのディスク・ロータの構成を
示す部分正面図、第８図はこの発明の第４実施例による
アウター・ロータ型パルスモータの内部構成を示す正面
図、第９図は従来のリニアパルスモークの磁気回路構成
とその動作を説明すための図である。０・・・・スケール（二次側スケール）、■・・・・ス
ライタ（一次側磁束発生部）、２・・・・・磁性部材、２ａ・・歯部、２２ｂ・・・・・溝部、３・・・永久磁
石、２４・・　・鉄心、４Ａ・・・・人相磁極、２５Ａ
・　・・Ａ相コイル、４人・・入相磁極、２５人・　入
相コイル、４Ｂ・・・・・ｎ相磁極、２５Ｂ　　・・Ｂ
相コイル、４Ｂ・・・・ｎ相磁極、２５Ｂ−・・・・Ｂ
相コイル、７・・・・・・補助永久磁石。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）特定方向に沿って等間隔に歯部を有する二次側ス
ケールと、前記二次側スケールに対して前記特定方向へ
移動自在に支持された一次側磁束発生部とからなり、前
記一次側磁束発生部の各磁極と前記二次側スケールの各
歯部との間に形成された各間隙に順次磁束を発生させる
ことにより、前記一次側磁束発生部を二次側スケールに
対して相対移動させるパルスモータにおいて、磁性部材と、この磁性部材上に前記特定方向に沿って一
定間隔Ｐ／２で配列された歯部と、これら各歯部間の溝
部に、隣合うもの同志の極性が互いに逆方向となるよう
に各々挿入配置された永久磁石と、前記各歯部と前記磁
性部材との間に、前記各歯部の磁化を強める方向に各々
挿入配置された補助永久磁石とから前記二次側スケール
を構成する一方、前記一次側磁束発生部を、前記二次側スケールの各歯部
と一定の間隙を隔てて各々対向するＮ個の磁極を有する
と共に、前記各磁極が前記特定方向へ所定寸法Ｐ／Ｎの
変位を有して各々配置された鉄心と、前記各磁極に各々
巻回されたコイルとから構成したことを特徴とするパル
スモータ。
（２）前記二次側スケールの両面に、前記歯部および溝
部を形成し、前記各溝部に永久磁石を各々挿入配置し、
前記各歯部と磁性部材との間に補助永久磁石を各々挿入
配置する一方、前記二次側スケールの両面の各歯部と各
々対向する一対の一次側磁束発生部を設け、これらの一
次側磁束発生部は、互いに連結され、かつ前記二次側ス
ケールに対して前記特定方向へ相対移動自在に支持され
ていることを特徴とする請求項１記載のパルスモータ。