JPH03123054A

JPH03123054A - 半導体ウェハのへき開用治具

Info

Publication number: JPH03123054A
Application number: JP1258764A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Sasaki; 力佐々木
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1989-10-05
Filing date: 1989-10-05
Publication date: 1991-05-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的コ（産業上の利用分野）この発明は、へき開された半導体ウェハが貼着されたシ
ートを伸長して半導体ウェハを互いに離間するための半
導体ウェハのへき開用治具に関する。

（従来の技術）半導体ウェハが貼着されたシートを伸長してへき開する
半導体ウェハのへき開用治具は、一般に第４図に示すよ
うにリング状の治具本体１の外周面にその周方向に係合
溝２を設けた構造である。

そして、半導体ウェハ３を貼着したシート４を前記治具
本体１の開口部５を塞ぐように載置し、シート４を矢印
方向に伸長する。このシート４を伸長した状態に保持す
るために、シート４の周縁部を前記係合溝２に係合する
輪ゴム６によって固定している。

シート４を矢印方向に引き、伸長させると、半導体ウェ
ハ３が引き離される。半導体ウェハ３を引き離したのち
は、粘着テープ７．７によってシート４を伸長方向に引
っ張り、引き離した状態に保持している。

（発明が解決しようとする課題）ところが、前述のように、シート４を作業者の手作業に
よって伸長しているために、シート４の張力の加減によ
り、へき開された半導体ウェハ３同士が干渉し、へき開
面に傷を付ける恐れがあり、また手作業であるため、熟
練度が要求される。

この発明は前記事情に着目してなされたもので、その目
的とするところは、半導体ウェハの引き離し作業を容品
に、しかもへき開面に傷を付けることなく行うことがで
き、歩留りを向上できる半導体ウェハのへき開用治具を
提供することにある。

［発明の構成］（課題を解決するための手段および作用）この発明は、
前記目的を達成するために、へき開された半導体ウェハ
が貼着されたシートの両端部を固定する一対のシート固
定部と、これらシート固定部を平行状態を保って互いに
離間する方向に移動させ前記シートを伸長する案内機構
と、前記シートを伸長した状態で案内機構を保持する保
持機構とから構成する。

一対のシート固定部を案内機構によって互いに離間する
方向に移動させると、シートが伸長し、シートに貼着さ
れた半導体ウェハが平行に引き伸ばされる。

（実施例）以下、この発明の各実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は第１の実施例を示すもので、１１．１１は一対
のシート固定部であり、互いに離間して平行に設けられ
ている。これらシート固定部１１．１１の上面部には位
置決め穴１２．１２が設けられているとともに、後縁部
には複数個のクリップ１３・・・が着脱可能に設けられ
ている。前記シート固定部１１．１１の両端部における
互いに対向する面には中空軸１４．１４が突設されてい
て、これら中空軸１４．１４間には両端部が中空軸１４
．１４にスライド自在に挿入される連結軸１５が設けら
れている。この連結軸１５の両端部には側方へ突出する
抜は止めピン１６．１６が突設されていて、これら抜は
止めピン１６．１６は、前記中空軸１４．１４の側部に
軸方向に沿って穿設されたスリット１７．１７に挿入さ
れている。

そして、前記中空軸１４．１４と連結軸１５とによって
前記シート固定部１１．１１を平行状態に保ちながら離
間および接近自在に移動させる案内機構１８を構成して
いる。さらに、抜は止めピン１６とスリット１７とによ
ってシート固定部１１．１１のストロークを規制してい
る。

また、１９．１９は保持機構である。この保持機構１９
は、前記連結軸１５を挟持できるようにコ字状に形成さ
れた挟持部材２０の両端面に突起部２１．２１が設けら
れている。そして、この挟持部材２０を側方から前記連
結軸１５を挟むように係合することによって、中空軸１
４．１４の先端部が突起部２１．２１に掛止して挟持部
材２０が連結軸１５から外れないようになっている。な
お、２２は摘みである。

次に、前述のように構成された半導体ウェハのへき開用
治具を用いて半導体ウェハをへき開する作用について説
明する。伸縮自在な合成樹脂フィルム等のシート２３を
シート固定部１１．１１間に掛は渡し、シート２３に張
力を付した状態で、その両端部をクリップ１３・・・に
よってシート固定部１１．１１に固定する。次に、シー
ト２３のはぼ中央部の上面にへき閲された半導体ウェハ
２４を貼着したのち、このへき開用治具を開閉機構を備
えたＸＹθテーブル（図示しない）にセットする。この
場合、シート固定部１１．１１に設けた位置決め穴１２
．１２に位置決めピン（図示しない）を挿入することに
より、シート固定部１１．１１を平行状態に、しかも離
間・接近可能に保持される。一方、−ト２３に貼着され
た半導体ウェハ２４をモニタテレビ等によって監視しな
がら、シート固定部１１．１１を互いに離間する方向に
設定量移動させる。シート固定部１１．１１の移動に伴
ってシート２３は矢印方向に伸長され、シート２３に貼
着された半導体ウェハ２４は第１図に示すように引き離
される。このとき、連結軸１５の両端部は中空軸１４．
１４の内部をスライドするため、シート固定部１１．１
１は平行状態を維持しながら移動し、シート２３に皺が
発生することはなく、引き離された半導体ウェハ２４が
干渉することはない。シート固定部１１．１１が設定量
移動したところで、保持機構１９の挟持部材２０．２０
を連結軸１５．１５に係合する。この状態で、へき開用
治具をＸＹθテーブル（図示しない）から取り外すと、
シート固定部１１．１１はフリーとなるため、シート２
３の弾性復元力によって僅かに接近するが、挟持部材２
０．２０に中空軸１４．１４の先端部が当接してシート
２３が伸長した状態に保持される。しかも、中空軸１４
．１４の先端部は挟持部材２０．２０の突起部２１．２
１に掛止し、連結軸１５から挟持部＋４’２０．２０が
外れることはない。

第２図および第３図は第２の実施例を示すもので、シー
ト固定部１１．１１の上面に両面テープ２５．２５が貼
着されており、シート２３の両端部を両面テープ２５．
２５に貼着して第１の実施例におけるクリップ１３を省
略したものである。

さらに、案内機構２６としてシート固定部１１．１１の
両端部に互いに対向する貫通穴２７．２７を設け、両端
部に小径部２８ａ、２８ａ、中間部に大径部２８ｂを有
する案内軸２８の小径部２８ａ、２８ａを前記貫通穴２
７．２７にスライド自在に挿入したものである。このよ
うに構成された案内機構２６においてもシート固定部１
１．１１を平行状態を維持しながら離間・接近できる。

［発明の効果］以上説明したように、この発明によれば、シートに貼着
されたへき開された半導体ウェハを伸長して半導体ウェ
ハを引き離す作業が容易に行うことができ、熟練度を要
求されることはない。しかも、シート固定部を平行状態
を維持しながら移動してシートを伸長でき、引き離され
た半導体ウェハ相互が干渉して傷付くことはなく、歩留
りを向上できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１の実施例を示すべき開用治具の
斜視図、第２図および第３図はこの発明の第２の実施例
を示し、第２図はへき開用治具の平面図、第３図は同じ
く側面図、第４図は従来のへき開用治具の斜視図である
。１１・・・シート固定部、１８・・・案内機構、１９・
・・保持機構、２３・・・シート、２４・・・半導体ウ
ェハ。

Claims

【特許請求の範囲】

へき開された半導体ウェハが貼着されたシートの両端部
を固定する一対のシート固定部と、これらシート固定部
を平行状態を保って互いに離間する方向に移動させ前記
シートを伸長する案内機構と、前記シートを伸長した状
態で案内機構を保持する保持機構とを具備したことを特
徴とする半導体ウェハのへき開用治具。