JPH03122164A - 導電性樹脂組成物 - Google Patents
導電性樹脂組成物Info
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- JPH03122164A JPH03122164A JP26093789A JP26093789A JPH03122164A JP H03122164 A JPH03122164 A JP H03122164A JP 26093789 A JP26093789 A JP 26093789A JP 26093789 A JP26093789 A JP 26093789A JP H03122164 A JPH03122164 A JP H03122164A
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Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【産業上の利用分野１
本発明は、静電気除去対策を必要とする半導体製造装置
部品、薬液・ガス供給装置部品等の構成材として好適に
使用される導電性樹脂組成物に関するものである。 【従来技術１ 例えば半導体、医薬等の化学製品２食品等の製造工場に
おいて使用される薬液供給配管等の構成材としては、金
属材に比して耐薬品性等に優れる弗素樹脂等の合成樹脂
材が選択されることが多いが１合成樹脂材は一般に電気
絶縁性材であることから、静電気が発生し易く、種々の
問題を生じる。 すなわち、静電気が発生すると、周囲の微細な塵芥が吸
着、堆積し易く、半導体工場等における如く厳格なりリ
ーン度が要求される条件下では問題である。また、引火
性の溶剤等が存在するような雰囲気下にあっては、静電
気が高レベルとなるとスパークにより火災を発生すると
いった危険もある。 このため、従来にあっては、例えば薬液供給配管等の表
面に金属線を巻き付けたり、その表面を導電性有機繊維
（例えば、カーボン、ニッケル。 銅等を含有するナイロン繊維等）からなる編組構造層で
被覆して、静電気をアースさせるようにすることが試み
られている。 【発明が解決しようとする課題】 しかし、静電気除去効果を充分に発揮させるためには、
金属線巻装層２編組構造層の密度及び樹脂製品との密着
度を高くしておく必要があるが、構造上限界がある。し
かも、かかる密度及び密着度を如何に高くしたとしても
、合成樹脂製品の表面において静電気を局部的に見掛は
上除去できるにすぎず、充分な静電気除去効果を期待で
きない。 また、編組構造層は金属線巻装層に比し上記密度を高く
しうるが、それ自体の発塵によりクリーン度に悪影響を
及ぼすといった欠点もある。 このように、従来の静電気除去対策！よ、クリーン化、
安全性の向上を図る上においては甚だ不充分なものと云
わざるを得ない。 本発明は、かかる点に鑑みてなされたもので。 合成樹脂製品である半導体製造装置部品、薬液・ガス供
給装置部品等における静電気の除去を確実且つ完全に行
いうる導電性樹脂組成物を提供することを目的とするも
のである。
部品、薬液・ガス供給装置部品等の構成材として好適に
使用される導電性樹脂組成物に関するものである。 【従来技術１ 例えば半導体、医薬等の化学製品２食品等の製造工場に
おいて使用される薬液供給配管等の構成材としては、金
属材に比して耐薬品性等に優れる弗素樹脂等の合成樹脂
材が選択されることが多いが１合成樹脂材は一般に電気
絶縁性材であることから、静電気が発生し易く、種々の
問題を生じる。 すなわち、静電気が発生すると、周囲の微細な塵芥が吸
着、堆積し易く、半導体工場等における如く厳格なりリ
ーン度が要求される条件下では問題である。また、引火
性の溶剤等が存在するような雰囲気下にあっては、静電
気が高レベルとなるとスパークにより火災を発生すると
いった危険もある。 このため、従来にあっては、例えば薬液供給配管等の表
面に金属線を巻き付けたり、その表面を導電性有機繊維
（例えば、カーボン、ニッケル。 銅等を含有するナイロン繊維等）からなる編組構造層で
被覆して、静電気をアースさせるようにすることが試み
られている。 【発明が解決しようとする課題】 しかし、静電気除去効果を充分に発揮させるためには、
金属線巻装層２編組構造層の密度及び樹脂製品との密着
度を高くしておく必要があるが、構造上限界がある。し
かも、かかる密度及び密着度を如何に高くしたとしても
、合成樹脂製品の表面において静電気を局部的に見掛は
上除去できるにすぎず、充分な静電気除去効果を期待で
きない。 また、編組構造層は金属線巻装層に比し上記密度を高く
しうるが、それ自体の発塵によりクリーン度に悪影響を
及ぼすといった欠点もある。 このように、従来の静電気除去対策！よ、クリーン化、
安全性の向上を図る上においては甚だ不充分なものと云
わざるを得ない。 本発明は、かかる点に鑑みてなされたもので。 合成樹脂製品である半導体製造装置部品、薬液・ガス供
給装置部品等における静電気の除去を確実且つ完全に行
いうる導電性樹脂組成物を提供することを目的とするも
のである。
【課題を解決するための手段１
この課題を解決した本発明の導電性樹脂組成物は、特に
、樹脂にステンレス鋼の粉末又は繊維を分散配合させた
ものである。 樹脂としては、用途に応じて、ポリエチレン。 ポリプロピレン、塩化ビニール、ＡＢＳ、アクリル、ポ
リアセタール、ポリカーボネート、アセテート等の熱可
塑性樹脂、ユリア、メラミン、ポリエステル、エポキシ
、シリコン、ポリウレタン等の熱硬化性樹脂、ポリ四弗
化エチレン（ＰＴＦＥ）、四弗化エチレン・パーフルオ
ロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、四弗化
エチレン・六弗化プロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチ
レン・塩化三弗化エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、ポ
リ弗化ビニリデン（ＰＶｄ Ｆ ）等の弗素樹脂が使用
される。ステンレス鋼としては、耐薬品性等を考慮して
、５Ｏ８−３０４，５ＵＳ−３１６等を使用することが
好ましい。 かかる樹脂組成物は、ステンレス鋼の粉末、繊維の配合
により全体として導電性を有する。したがって、その成
形、加工品は格別の静電気除去対策を講じずとも、静電
気を発生することがない。 樹脂組成物の導電性は、基材たる樹脂の性状にもよるが
、ステンレス鋼の粉末、繊維の配合量を変更することに
よって適宜に調整することが可能である。勿論、粉末、
繊維の配合量は、樹脂組成物の成形性ないし加工性を損
なわない範囲で決定される。また、ステンレス鋼の粉末
と繊維とを混在配合しておくことも可能である。 ところで、配合する粉末、繊維としては銅、アルミニウ
ム等を選択することも考えられるが、耐食性等に問題が
ある他、酸化による導電性低下を招来する虞れがある。 しかし、本発明では、導電性材としてステンレス鋼を使
用したから、このような不都合がなく、還元剤等を添加
しておく必要もない。 【実施例１】 ＰＴＦＥ粉末にステンレス鋼の粉末を５〜６゜重量％混
合させた上、焼成して所定の形状に成形した。この成形
物は静電気を発生せず、しがもＰＴＦＥ本来の特性を何
ら損なわないものであることが確認された。
、樹脂にステンレス鋼の粉末又は繊維を分散配合させた
ものである。 樹脂としては、用途に応じて、ポリエチレン。 ポリプロピレン、塩化ビニール、ＡＢＳ、アクリル、ポ
リアセタール、ポリカーボネート、アセテート等の熱可
塑性樹脂、ユリア、メラミン、ポリエステル、エポキシ
、シリコン、ポリウレタン等の熱硬化性樹脂、ポリ四弗
化エチレン（ＰＴＦＥ）、四弗化エチレン・パーフルオ
ロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、四弗化
エチレン・六弗化プロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチ
レン・塩化三弗化エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、ポ
リ弗化ビニリデン（ＰＶｄ Ｆ ）等の弗素樹脂が使用
される。ステンレス鋼としては、耐薬品性等を考慮して
、５Ｏ８−３０４，５ＵＳ−３１６等を使用することが
好ましい。 かかる樹脂組成物は、ステンレス鋼の粉末、繊維の配合
により全体として導電性を有する。したがって、その成
形、加工品は格別の静電気除去対策を講じずとも、静電
気を発生することがない。 樹脂組成物の導電性は、基材たる樹脂の性状にもよるが
、ステンレス鋼の粉末、繊維の配合量を変更することに
よって適宜に調整することが可能である。勿論、粉末、
繊維の配合量は、樹脂組成物の成形性ないし加工性を損
なわない範囲で決定される。また、ステンレス鋼の粉末
と繊維とを混在配合しておくことも可能である。 ところで、配合する粉末、繊維としては銅、アルミニウ
ム等を選択することも考えられるが、耐食性等に問題が
ある他、酸化による導電性低下を招来する虞れがある。 しかし、本発明では、導電性材としてステンレス鋼を使
用したから、このような不都合がなく、還元剤等を添加
しておく必要もない。 【実施例１】 ＰＴＦＥ粉末にステンレス鋼の粉末を５〜６゜重量％混
合させた上、焼成して所定の形状に成形した。この成形
物は静電気を発生せず、しがもＰＴＦＥ本来の特性を何
ら損なわないものであることが確認された。
【実施例２１
ＰＦＡ粉末にステンレス鋼の粉末を５〜５０重量％混合
させた上、溶融押出しによりペレット化した。このペレ
ットは静電気を発生せず、しがもＰＦＡ本来の特性を何
ら損なわないものであることが確認された。 【発明の効果】 以上の説明から容易に理解されるように、本発明によれ
ば、樹脂にステンレス鋼の粉末又は繊維を分散配合させ
ることによって、樹脂本来の特性を損なうことなく、導
電性を有する樹脂組成物を提供することができる。した
がって、本発明の導電性樹脂組成物を構成材とした成形
、加工品（例えば、薬液・ガス供給配管、静電気除去プ
レート。 静電気除去ライニング材等）を使用するこ上によって、
これら自体における静電気発生やクリーンルーム内壁面
の気流による静電気発生が確実且つ完全に防止され、半
導体製造工場等におけるクリーン化、安全性の大幅な向
上を図ることができる。
させた上、溶融押出しによりペレット化した。このペレ
ットは静電気を発生せず、しがもＰＦＡ本来の特性を何
ら損なわないものであることが確認された。 【発明の効果】 以上の説明から容易に理解されるように、本発明によれ
ば、樹脂にステンレス鋼の粉末又は繊維を分散配合させ
ることによって、樹脂本来の特性を損なうことなく、導
電性を有する樹脂組成物を提供することができる。した
がって、本発明の導電性樹脂組成物を構成材とした成形
、加工品（例えば、薬液・ガス供給配管、静電気除去プ
レート。 静電気除去ライニング材等）を使用するこ上によって、
これら自体における静電気発生やクリーンルーム内壁面
の気流による静電気発生が確実且つ完全に防止され、半
導体製造工場等におけるクリーン化、安全性の大幅な向
上を図ることができる。
Claims (1)
- 樹脂にステンレス鋼の粉末又は繊維を分散配合させた
ことを特徴とする導電性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26093789A JPH03122164A (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 | 導電性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26093789A JPH03122164A (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 | 導電性樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03122164A true JPH03122164A (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=17354846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26093789A Pending JPH03122164A (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 | 導電性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03122164A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5199639A (en) * | 1991-02-12 | 1993-04-06 | Toto, Ltd. | Shower with a micromotor operated revolving shower head |
| KR100464288B1 (ko) * | 2001-01-16 | 2005-01-03 | 가부시키가이샤 덴소 | 연료압력조정밸브 |
| US7794629B2 (en) | 2003-11-25 | 2010-09-14 | Qinetiq Limited | Composite materials |
-
1989
- 1989-10-05 JP JP26093789A patent/JPH03122164A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5199639A (en) * | 1991-02-12 | 1993-04-06 | Toto, Ltd. | Shower with a micromotor operated revolving shower head |
| KR100464288B1 (ko) * | 2001-01-16 | 2005-01-03 | 가부시키가이샤 덴소 | 연료압력조정밸브 |
| US7794629B2 (en) | 2003-11-25 | 2010-09-14 | Qinetiq Limited | Composite materials |
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