JPH03121410U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ，Ｂ，Ｃは、本考案の一実施例の可動
部材が移動した場合におけるセンサと各孔の位置
関係を示す平面図、第２図は、同実施例の平面図
、第３図は、同実施例の側面図、第４図は、第１
図−線に沿う断面図、第５図は、同実施例の
ウエハーリング内に配置した状態における正面図
、第６図は、従来の装置を示す正面図、第７図は
、同装置の正面図、第８図は、同装置の側面図で
ある。 ４……限界リング（隔成部材）、１１……突き
上げ機構（水平移動体）、１４……第１受光セン
サ、１５……第受光２センサ、１６……ベース部
材、２３……可動部材、２７……延設片、３２…
…第１孔、３３……第２孔。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 所定の限界領域内にて、水平移動する水平
   移動体の移動限界を検知する装置であつて、前記
   水平移動体に固定されたベース部材と、該ベース
   部材に弾持されて所定位置に定位しかつ水平方向
   に移動可能な可動部材と、該可動部材に設けられ
   、前記限界領域を隔成する隔成部材に接触する為
   の接触部と、前記可動部材に延設された延設片と
   が設けられた構造において、 前記延設片に複数の径の異なる孔を形成すると
   ともに、各孔ごとに対向する受光センサを設けた
   ことを特徴とする水平移動体限界検知装置のセン
   サ部構造。 (2) 前記可動部材を円形に成形するとともに、
   前記延設部にこの可動部材の半径方向に沿つて長
   孔を形成し、該長孔に前記ベース部材に固着され
   たガイドピンを遊挿したことを特徴とする請求項
   １記載の水平移動体限界検知装置のセンサ部構造
   。