JPH0299375U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0299375U JPH0299375U JP733289U JP733289U JPH0299375U JP H0299375 U JPH0299375 U JP H0299375U JP 733289 U JP733289 U JP 733289U JP 733289 U JP733289 U JP 733289U JP H0299375 U JPH0299375 U JP H0299375U
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- JP
- Japan
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- semiconductor device
- contact
- testing
- testing socket
- pin
- Prior art date
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- Granted
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図、第２図はこの考案の一実施例による検
査装置を示す側面図、第３図、第４図はそれぞれ
従来の検査装置を示す側面図、底面図、第５図は
第３図の検査装置のチヤツキングユニツトの側面
図である。 図において、１は半導体装置、２はピン、４は
検査用ソケツト、１１は接触子、１３はフローテ
イングプレート、１５は窓、１６は吸着搬送装置
である。なお、各図中同一符号は同一または相当
部分を示す。
査装置を示す側面図、第３図、第４図はそれぞれ
従来の検査装置を示す側面図、底面図、第５図は
第３図の検査装置のチヤツキングユニツトの側面
図である。 図において、１は半導体装置、２はピン、４は
検査用ソケツト、１１は接触子、１３はフローテ
イングプレート、１５は窓、１６は吸着搬送装置
である。なお、各図中同一符号は同一または相当
部分を示す。
Claims (1)
- 半導体装置のピン接触用の接触子を備えた検査
用ソケツト、上記半導体装置を吸着して上記検査
用ソケツトの位置に移動し、上記半導体装置のピ
ンを上記接触子に接触させる吸着搬送装置、上記
半導体装置と検査用ソケツトの間に介在して上記
半導体装置のピンを貫通させる窓を備え、かつ、
上記半導体装置を上記検査用ソケツトから引き離
す方向に移動可能なフローテイングプレートから
成る半導体装置の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989007332U JPH082622Y2 (ja) | 1989-01-25 | 1989-01-25 | 半導体装置の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989007332U JPH082622Y2 (ja) | 1989-01-25 | 1989-01-25 | 半導体装置の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0299375U true JPH0299375U (ja) | 1990-08-08 |
| JPH082622Y2 JPH082622Y2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=31212256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989007332U Expired - Lifetime JPH082622Y2 (ja) | 1989-01-25 | 1989-01-25 | 半導体装置の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH082622Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010052781A1 (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-14 | 株式会社アドバンテスト | 着脱装置、コンタクトアーム、電子部品ハンドリング装置、及び電子部品保持部の取外方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6015941A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-26 | Hitachi Yonezawa Denshi Kk | 検査装置 |
| JPS6365658A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-24 | Nec Corp | Ｉｃ用ソケツト |
-
1989
- 1989-01-25 JP JP1989007332U patent/JPH082622Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6015941A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-26 | Hitachi Yonezawa Denshi Kk | 検査装置 |
| JPS6365658A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-24 | Nec Corp | Ｉｃ用ソケツト |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010052781A1 (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-14 | 株式会社アドバンテスト | 着脱装置、コンタクトアーム、電子部品ハンドリング装置、及び電子部品保持部の取外方法 |
| JPWO2010052781A1 (ja) * | 2008-11-06 | 2012-03-29 | 株式会社アドバンテスト | 着脱装置、コンタクトアーム、電子部品ハンドリング装置、及び電子部品保持部の取外方法 |
| JP5529035B2 (ja) * | 2008-11-06 | 2014-06-25 | 株式会社アドバンテスト | 着脱装置、コンタクトアーム、及び電子部品ハンドリング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH082622Y2 (ja) | 1996-01-29 |