JPH03117841A - 圧力差制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、二つに仕切られた防塵室の圧力差をなくす圧
力差制御装置に関する。

〔従来の技術〕

第３図は従来の圧力差制御装置の一例を説明するための
仕切られた二つの防塵室を示す模式断面図である。従来
、二つの防塵室１及び２の室内の圧力ＰｌとＰ２を同圧
にするために、同図に示すように、同一送風装置により
吹出口６から清浄な空気を送り、画室の圧力差を失くす
るようにしていた。しかしながら室の容積の違い、配置
されている装置の大きさの違い等により両室には圧力差
を生じ、画室を仕切る壁７の出入口３に矢印に示すよう
に空気の流れが生ずることがある０例えば、防塵室１の
圧力Ｐ１が防塵室２の圧力Ｐ２より高い場合は空気の流
れは、防塵室２から防塵室１に出入口を通して流れる。

もし、このときに防塵室１の塵埃度が防塵室２の塵埃度
より悪い場合は、この空気の流れにより塵埃を運ぶこと
になる。このことは、保管棚５に収納されている半導体
基板を汚染することになる。

この対策として、圧力差制御装置として、例えば圧力の
低い側の防塵室２側に新に送風装置４と、各室に簡易的
な圧力計を設けこの圧力計を見ながら送風装置４の送風
量を調節して画室の圧力差をなくしていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の圧力差制御装置では、圧力調整、すなわ
ち送風装置の送風量を最初に設定するだけであるので、
室内に存在する物１人が変化すると圧力差が再び生ずる
という欠点がある。

本発明の目的は、かかる欠点を解消し、常に安定して圧
力差がなくなるような圧力差制御装置を提供することで
ある。

〔課題を解決するための手段〕 １、本発明の第１の圧力差制御装置は、防塵室を二つに
仕切る壁を開口する開口枠の一側端に一側端が取り付け
られるとともに他端が風方向によりいずれかの前記防塵
室側に寄せられる圧力検出板と、前記圧力検出板の他端
がいずれかの前記防塵室側に寄せられることを検知する
検知器と、前記防塵室のいずれかに設置された送風装置
とを備え、前記検出器により風方向を検知し、前記送風
装置を作動することによって前記二つの防塵室の圧力差
をなくすことを特徴としている。

２、本発明の第２の圧力差制御装置は、防塵室を二つに
仕切る壁を開口する開口枠の一側端に一側端が取り付け
られ、他端が風方向によりいずれかの前記防塵室側に揺
動するとともに前記開口枠を開閉するダンパと、前記防
塵室のいずれかに設置された送風装置とを備え、前記ダ
ンパと前記開口枠との隙間より前記送風装置より空気を
流すことによって前記二つの防塵室の圧力差をなくすこ
とを特徴としている。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
（ａ）は、本発明の圧力差制御装置の第１の実施例を説
明するための仕切られた二つの防塵室の模式断面図、第
１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡＡ矢視図、第１図（ｃ）
は第１図（ａ）のＢ部拡大図である。この圧力差制御装
置は、第１図に示すように、従来の出入口の横に開口枠
３ａを設け、この開口枠３ａの上側に一端が固定され、
他端が風圧で自由にいずれがの室側に寄る圧力検出板８
と、この圧力検出板８がいずれかの室側に寄るかを検出
する投光素子１１ａ、１ｂとフォトセンサ９ａ、９ｂと
からなる検出器と、この検出器により送風装置４の送風
量を調節するコントローラ１０を設けたことである。

次に、この圧力差制御装置の動作を説明する。

まず、防塵室１の圧力Ｐｌ＋防塵室の圧力Ｐ２し、ＰＩ
＞Ｐ２であったと仮定すると、第１図（ａ）、（ｃ）に
示すように、空気は防塵室１がら防塵室２に開口枠３ａ
を通し流れる。このとき、圧力検出板８は点線に示すよ
うに紙面に対して右側に寄ることになる。このことによ
り、投光素子１１ａより発光された光はさえぎられ、コ
ントローラにある制御回路により電流のバランスがくず
れ、このくずれ量に応じて送風装置４の出力を増加させ
る。送風装置４の送風量が増加すると、防塵室２の圧力
Ｐ２が上昇し、防塵室１の圧力Ｐ、と差がなくなり、空
気の流れなくなり、圧力検出板８は中立の位置のままに
よる。このことにより、投光素子１１ａ及びｌｌｂの光
は、フォトセンサ９ａ及び９ｂで検出され、両者がら発
光する光電流によりコントローラが働き、送風装置４は
最初送風量出力に戻る。逆に、ＰＩ　　＜Ｐ２の場合は
、防塵室２より防塵室１に開口枠３ａを通して空気が流
れる。このことにより圧力検出板８は、紙面に対して左
側、すなわち防塵室１側に寄せられる。この圧力検出板
８により投光素子１１ｂより発光する光はさえぎられ、
フォトセンサ９ｂから発生ずる光電流がなくなり、コン
トロ−ラを作動し、送風装置４の送風量を減する。この
ため防塵室２の圧力Ｐ２は防塵室の圧力Ｐ１と差がなく
なる。

第２図は本発明の圧力差制御装置の第２の実施例を説明
するための仕切られた二つの防塵室の模式断面図である
。この圧力差制御装置は、同図に示すように、出入口３
とは別にこの出入口３と比べて大きなく少くとも出入口
の面積より４倍以上の面積にする）開口枠を設け、この
開口枠３ｂの上側端に回転軸を取付け、この回転軸に低
摩擦の軸受けをもつダンパＴ２を取付けたことである。

このことにより、防塵室１の圧力Ｐ１が高い場合は、ダ
ンパ１２は点線で示す位置に揺動し、空気が防塵室１よ
り防塵室に流れ込み圧力差をなくす。また、逆に防塵室
２の圧力Ｐ２が高いときは、ダンパ１２は紙面に向って
左側に揺動し、空気は防塵室２より防塵室１にこの開口
枠３ｂとダンパ１２との隙間から流れ圧力差をなくす、
この実施例は、前述の実施例に比べ安価な圧力差制御装
置が得られるという利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、両室の圧力差を検出する
手段を設け、この手段により、いずれかの防塵室の送風
量を可変することにより、常に安定して圧力差のない二
つの防塵室を制御する圧力差制御装置が得られるという
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の圧力差制御装置の第１の実施例
を説明するための仕切られた二つの防塵室を示す模式断
面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡＡ矢視図、第１
図（ｃ）はＢ部拡大図、第２図は本発明の圧力差制御装
置の第２の実施例を説明するための仕切られた二つの防
塵室の模式断面図、第３図は従来の圧力差制御装置の一
例を説明するための仕切られた二つの防塵室を示す模式
断面図である。 １．２・・・防塵室、３・・・出入口、３ａ、３ｂ・・
・開口枠、４・・・送風装置、５・・・保管棚、６・・
・吹出口、７・・・仕切る壁、８・・・圧力検出板、９
ａ、９ｂ・・・フ ォトセンサ、 ０・・・コントローラ、 １ａ。 ｂ・・・投光素子、 ・・ダンパ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、防塵室を二つに仕切る壁を開口する開口枠の一側端
   に一側端が取り付けられるとともに他端が風方向により
   いずれかの前記防塵室側に寄せられる圧力検出板と、前
   記圧力検出板の他端がいずれかの前記防塵室側に寄せら
   れることを検知する検知器と、前記防塵室のいずれかに
   設置された送風装置とを備え、前記検出器により風方向
   を検知し、前記送風装置を作動することによって前記二
   つの防塵室の圧力差をなくすことを特徴とする圧力差制
   御装置。 ２、防塵室を二つに仕切る壁を開口する開口枠の一側端
   に一側端が取り付けられ、他端が風方向によりいずれか
   の前記防塵室側に揺動するとともに前記開口枠を開閉す
   るダンパと、前記防塵室のいずれかに設置された送風装
   置とを備え、前記ダンパと前記開口枠との隙間より前記
   送風装置より空気を流すことによって前記二つの防塵室
   の圧力差をなくすことを特徴とする圧力差制御装置。