JPH03111810A - 空間光変調器 - Google Patents
空間光変調器Info
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- JPH03111810A JPH03111810A JP25007889A JP25007889A JPH03111810A JP H03111810 A JPH03111810 A JP H03111810A JP 25007889 A JP25007889 A JP 25007889A JP 25007889 A JP25007889 A JP 25007889A JP H03111810 A JPH03111810 A JP H03111810A
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は光電面からの２次元情報を液晶セルに書き込
み、且つこれを読み取ることができるようにした空間光
変調器に関する。
み、且つこれを読み取ることができるようにした空間光
変調器に関する。
従来の空間光変調器においては、光変調材料として、Ｌ
ｉ Ｎｂ Ｏ３等の電気光学結晶を用いるものがあった
が、解像度の向上、オプチカルダメージの減少を目的と
して、例えば特開昭６４−１１２２８号公報に開示され
るように、光変調材料として液晶セルを用いた空間光変
調器が提案されている。 このような液晶セルＬは、第５図に示されるように、薄
板ガラスからなる２次電子放出板１と、誘電体多層膜か
らなる全反射ミラー２と、配向層６、液晶層３と、配向
Ｎ６、透明電極４と、面板ガラス５とをこの順で積層し
たものである。 上記のような液晶セルＬを用いた空間光変調器は、液晶
層３の厚さが１０ミクロン以下と薄いことによって、空
間解像度が高いことに特徴がある。
ｉ Ｎｂ Ｏ３等の電気光学結晶を用いるものがあった
が、解像度の向上、オプチカルダメージの減少を目的と
して、例えば特開昭６４−１１２２８号公報に開示され
るように、光変調材料として液晶セルを用いた空間光変
調器が提案されている。 このような液晶セルＬは、第５図に示されるように、薄
板ガラスからなる２次電子放出板１と、誘電体多層膜か
らなる全反射ミラー２と、配向層６、液晶層３と、配向
Ｎ６、透明電極４と、面板ガラス５とをこの順で積層し
たものである。 上記のような液晶セルＬを用いた空間光変調器は、液晶
層３の厚さが１０ミクロン以下と薄いことによって、空
間解像度が高いことに特徴がある。
しかしながら、上記のような従来の液晶セルは、薄板ガ
ラスからなる２次電子放出板１の厚さが、約５０ミクロ
ンであって比較的厚いため、この部分電界の広がりが生
じ、これによって、液晶本来の特徴である高解像度特性
が相殺されてしまうという問題点がある。 これに対して、空間解像度を向上させるために、２次電
子放出板である薄板ガラスを薄くしたり、あるいは均一
性を高めるための研磨を行うことも考えられるが、薄板
ガラスの機械的強度が不足するため物理的に不可能であ
る。 又、前記液晶セルは、透明電極に電圧が印加されるが、
薄板ガラスの部分の抵抗が大きいので、液晶層に加えら
れる電圧が非常に小さくなり、従って液晶セルに加える
動作電圧も大きくせざるを得ないという問題点がある。 この発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって
、２次電子放出板（絶縁体）の厚さを厚くしても、空間
解像度が低下することがなく、従って、絶縁体の機械的
強度を充分にとることができ、更に、液晶セルに加える
動作電圧も低くすることができるようにした空間光変調
器を提供することを目的とする。
ラスからなる２次電子放出板１の厚さが、約５０ミクロ
ンであって比較的厚いため、この部分電界の広がりが生
じ、これによって、液晶本来の特徴である高解像度特性
が相殺されてしまうという問題点がある。 これに対して、空間解像度を向上させるために、２次電
子放出板である薄板ガラスを薄くしたり、あるいは均一
性を高めるための研磨を行うことも考えられるが、薄板
ガラスの機械的強度が不足するため物理的に不可能であ
る。 又、前記液晶セルは、透明電極に電圧が印加されるが、
薄板ガラスの部分の抵抗が大きいので、液晶層に加えら
れる電圧が非常に小さくなり、従って液晶セルに加える
動作電圧も大きくせざるを得ないという問題点がある。 この発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって
、２次電子放出板（絶縁体）の厚さを厚くしても、空間
解像度が低下することがなく、従って、絶縁体の機械的
強度を充分にとることができ、更に、液晶セルに加える
動作電圧も低くすることができるようにした空間光変調
器を提供することを目的とする。
この発明は、入力光学像に応じて電子を放出する電子源
と、この電子源からの光電子像を増倍可能とされた増倍
部と、２次電子捕集電極と、液晶セルと、をこの順で真
空容器中に配！してなり、前記液晶セルは、前記２次電
子捕集電極側から、絶縁体と、ミラーと、配向層、液晶
層と、配向層、透明電極と、透明面板と、をこの順で積
層して形成された空間光変調器において、前記絶縁体を
、厚さ方向に多数の微細孔が形成され、且つ、該微細孔
の少なくとも内周面が導電性物質に被われたプレートと
、このプレートの液晶層側の端面を、前記微細孔を密封
するように被う絶縁体薄膜と、から形成することにより
上記目的を達成するものである。
と、この電子源からの光電子像を増倍可能とされた増倍
部と、２次電子捕集電極と、液晶セルと、をこの順で真
空容器中に配！してなり、前記液晶セルは、前記２次電
子捕集電極側から、絶縁体と、ミラーと、配向層、液晶
層と、配向層、透明電極と、透明面板と、をこの順で積
層して形成された空間光変調器において、前記絶縁体を
、厚さ方向に多数の微細孔が形成され、且つ、該微細孔
の少なくとも内周面が導電性物質に被われたプレートと
、このプレートの液晶層側の端面を、前記微細孔を密封
するように被う絶縁体薄膜と、から形成することにより
上記目的を達成するものである。
この発明において、液晶セルにおいて２次電子放出板を
構成する絶縁体を、導電性を有する微細孔を備えたプレ
ートと、このプレートの液晶側の端面を被う絶縁体薄膜
とから形成し、該絶縁体の電荷蓄積面側と液晶層側での
電位が等しくなるようにし、これによって絶縁体の厚さ
に空間解像度が影響されないようにすると共に、該絶縁
体の抵抗及び容量分を無視できる程度として、液晶セル
に加える動作電圧を低くしている。
構成する絶縁体を、導電性を有する微細孔を備えたプレ
ートと、このプレートの液晶側の端面を被う絶縁体薄膜
とから形成し、該絶縁体の電荷蓄積面側と液晶層側での
電位が等しくなるようにし、これによって絶縁体の厚さ
に空間解像度が影響されないようにすると共に、該絶縁
体の抵抗及び容量分を無視できる程度として、液晶セル
に加える動作電圧を低くしている。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図〜第３図に示されるように、この実施例に係る空
間光変調器１０は、入力光学像に応じた電子像が形成さ
れる光電面１２と、この光電面１２からの光電子像を増
倍するマイクロチャンネルプレート（以下ＭＣＰ）１４
と、２次電子捕集電極１６と、液晶セル１８と、をこの
順で真空容器２０中に配置したものである。 又この空間光変調器１０には、光電面１２とＭＣＰ１４
の入射側との間にバイアス電圧を印加する電源２２と、
ＭＣＰ１４の入射側と出射側との間にバイアス電圧を印
加する電源２４と、２次電子捕集電極１６とＭＣＰ１４
の出射側との間にバイアス電圧を印加する電源２６と、
ＭＣＰ１４の出射側と前記液晶セル１８における透明電
極２７との間にバイアス電圧を印加する電源２８と、を
備えている。第１図の符号１０Ａはハーフミラ−１０Ｂ
は偏光板をそれぞれ示す。 前記液晶セル１８は、第２図及び第３図に示されるよう
に、厚さ方向に多数の微細孔３０が形成されたガラスプ
レート３２と、絶縁体薄膜３４と、配向層３９、液晶層
３６と、配向層３９、前記透明電極２７と、面板ガラス
３８とを、前記２次電子捕集電極１６側から順に積層す
ることによって構成されている。 前記ガラスプレート３２は、例えば前記マイクロチャン
ネルプレート１４と同様の方法で作られたものであって
、そのチャンネル部分即ち微細孔３０には、第４図（Ａ
）に示されるように、例えばガラスよりも融点の低いイ
ンジウム等の導電性物質３０Ａが充填されている。又、
第４図（Ｂ）に示されるように、導電性物質３０Ａの代
わりに、前記＠細孔３０の内周面に蒸着やめつき等によ
り導電性物質３０Ｂをコーティングしてもよい。 前記絶縁体薄膜３４は、ガラスプレート３２における微
細孔３０を密封するものであるが、微細な孔は一般的に
どのような方法でも完全に密閉することができない。そ
こで、第４図に示されるように、ガラスプレート３２の
液晶層３６側の面に、−旦コロジオン膜４０等を形成し
、その上に前記絶縁体薄膜３４を形成し、しかる後コロ
ジオン膜４０を加熱して除去すれば、微細孔３０を完全
に塞ぐことができる。 なお、絶縁体３４を多層膜構造にすればミラーの代わり
とすることができる。 上記実施例においては、光電面１２から放出され、ＭＣ
Ｐ１４において増倍され、液晶セル１８における電荷蓄
積面側に到達した電子が、微細孔３０を充填する導電性
物質３０Ａ又は微細孔３０の内周にコーティングされた
導電性物質３０Ｂに当たると直ちに、電荷蓄積面側と液
晶層３６側で電位が等しくなる。 従って、通常の薄板ガラスのように、内部で電界が広が
ることがなく、空間解像度の低下がない。 又、導電性物質により、ガラスプレート３２の両端の電
位が等しくなっているので、ガラスプレートの厚さを厚
くしても、空間解像度が低下することがなく、機械的強
度を充分に大きくしたり、あるいは研磨した場合の面積
度を維持できる任意の厚さとすることができる。 更に、ガラスプレートの両端の電位が等しくなるので、
この部分の抵抗及び容量分を無視することができ、液晶
セルに加える動作電圧を低くすることができる。 なお、上記実施例において、電子像は光電面１２に形成
されるものであるが、本発明はこれに限定されるもので
なく、入力像に応じて電子を放出する電子源であればよ
い。 更に、マイクロチャンネルプレート１４は、電子像を必
要に応じて適宜増倍できるものであればよい。 又、液晶セルにおけるガラスプレートは、これに限定さ
れるものでなく、多数のｒｉａ、細孔が形成された絶縁
体であればよい。
間光変調器１０は、入力光学像に応じた電子像が形成さ
れる光電面１２と、この光電面１２からの光電子像を増
倍するマイクロチャンネルプレート（以下ＭＣＰ）１４
と、２次電子捕集電極１６と、液晶セル１８と、をこの
順で真空容器２０中に配置したものである。 又この空間光変調器１０には、光電面１２とＭＣＰ１４
の入射側との間にバイアス電圧を印加する電源２２と、
ＭＣＰ１４の入射側と出射側との間にバイアス電圧を印
加する電源２４と、２次電子捕集電極１６とＭＣＰ１４
の出射側との間にバイアス電圧を印加する電源２６と、
ＭＣＰ１４の出射側と前記液晶セル１８における透明電
極２７との間にバイアス電圧を印加する電源２８と、を
備えている。第１図の符号１０Ａはハーフミラ−１０Ｂ
は偏光板をそれぞれ示す。 前記液晶セル１８は、第２図及び第３図に示されるよう
に、厚さ方向に多数の微細孔３０が形成されたガラスプ
レート３２と、絶縁体薄膜３４と、配向層３９、液晶層
３６と、配向層３９、前記透明電極２７と、面板ガラス
３８とを、前記２次電子捕集電極１６側から順に積層す
ることによって構成されている。 前記ガラスプレート３２は、例えば前記マイクロチャン
ネルプレート１４と同様の方法で作られたものであって
、そのチャンネル部分即ち微細孔３０には、第４図（Ａ
）に示されるように、例えばガラスよりも融点の低いイ
ンジウム等の導電性物質３０Ａが充填されている。又、
第４図（Ｂ）に示されるように、導電性物質３０Ａの代
わりに、前記＠細孔３０の内周面に蒸着やめつき等によ
り導電性物質３０Ｂをコーティングしてもよい。 前記絶縁体薄膜３４は、ガラスプレート３２における微
細孔３０を密封するものであるが、微細な孔は一般的に
どのような方法でも完全に密閉することができない。そ
こで、第４図に示されるように、ガラスプレート３２の
液晶層３６側の面に、−旦コロジオン膜４０等を形成し
、その上に前記絶縁体薄膜３４を形成し、しかる後コロ
ジオン膜４０を加熱して除去すれば、微細孔３０を完全
に塞ぐことができる。 なお、絶縁体３４を多層膜構造にすればミラーの代わり
とすることができる。 上記実施例においては、光電面１２から放出され、ＭＣ
Ｐ１４において増倍され、液晶セル１８における電荷蓄
積面側に到達した電子が、微細孔３０を充填する導電性
物質３０Ａ又は微細孔３０の内周にコーティングされた
導電性物質３０Ｂに当たると直ちに、電荷蓄積面側と液
晶層３６側で電位が等しくなる。 従って、通常の薄板ガラスのように、内部で電界が広が
ることがなく、空間解像度の低下がない。 又、導電性物質により、ガラスプレート３２の両端の電
位が等しくなっているので、ガラスプレートの厚さを厚
くしても、空間解像度が低下することがなく、機械的強
度を充分に大きくしたり、あるいは研磨した場合の面積
度を維持できる任意の厚さとすることができる。 更に、ガラスプレートの両端の電位が等しくなるので、
この部分の抵抗及び容量分を無視することができ、液晶
セルに加える動作電圧を低くすることができる。 なお、上記実施例において、電子像は光電面１２に形成
されるものであるが、本発明はこれに限定されるもので
なく、入力像に応じて電子を放出する電子源であればよ
い。 更に、マイクロチャンネルプレート１４は、電子像を必
要に応じて適宜増倍できるものであればよい。 又、液晶セルにおけるガラスプレートは、これに限定さ
れるものでなく、多数のｒｉａ、細孔が形成された絶縁
体であればよい。
本発明は、上記のように構成しので、液晶セルにおける
絶縁体の両端の電位を等しくすることによって、該絶縁
体内での電界の広がり及びこれに伴う空間解像度の低下
を防止すると共に、液晶セルに加える動作電圧を低くす
ることができるという優れた効果を有する。
絶縁体の両端の電位を等しくすることによって、該絶縁
体内での電界の広がり及びこれに伴う空間解像度の低下
を防止すると共に、液晶セルに加える動作電圧を低くす
ることができるという優れた効果を有する。
第１図は本発明に係る空間光変調器の実施例を示す略示
断面図、第２図は同実施例における液晶セルを拡大して
示す断面図、第３図は同実施例におけるガラスプレート
を拡大して示す一部断面とした斜視図、第４図はガラス
プレートの拡大断面図、第５図は従来の液晶セルを示す
断面図である。 １０・・・空間光変調器、 １２・・・光電面（電子源）、 １４・・・マイクロチャンネルプレート（増倍部）、６
・・・２次電子捕集電極、 ８・・・液晶セル、 ０・・・真空容器、 ７・・・透明電極、 ０・・・微細孔、 ＯＡ、３０Ｂ・・・導電性物質、 ２・・・ガラスプレート、 ４・・・絶縁体薄膜、 ６・・・液晶層、 ８・・・面板ガラス、 ９・・・配向層、 Ｏ・・・コロジオン膜。
断面図、第２図は同実施例における液晶セルを拡大して
示す断面図、第３図は同実施例におけるガラスプレート
を拡大して示す一部断面とした斜視図、第４図はガラス
プレートの拡大断面図、第５図は従来の液晶セルを示す
断面図である。 １０・・・空間光変調器、 １２・・・光電面（電子源）、 １４・・・マイクロチャンネルプレート（増倍部）、６
・・・２次電子捕集電極、 ８・・・液晶セル、 ０・・・真空容器、 ７・・・透明電極、 ０・・・微細孔、 ＯＡ、３０Ｂ・・・導電性物質、 ２・・・ガラスプレート、 ４・・・絶縁体薄膜、 ６・・・液晶層、 ８・・・面板ガラス、 ９・・・配向層、 Ｏ・・・コロジオン膜。
Claims (1)
- （１）入力光学像に応じて電子を放出する電子源と、こ
の電子源からの光電子像を増倍可能とされた増倍部と、
２次電子捕集電極と、液晶セルと、をこの順で真空容器
中に配置してなり、前記液晶セルは、前記２次電子捕集
電極側から、絶縁体と、ミラーと、液晶層と、透明電極
と、透明面板と、をこの順で積層して形成された空間光
変調器において、前記絶縁体を、厚さ方向に多数の微細
孔が形成され、且つ、該微細孔の少なくとも内周面が導
電性物質に被われたプレートと、このプレートの液晶層
側の端面を、前記微細孔を密封するように被う絶縁体薄
膜と、から形成したことを特徴とする空間光変調器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1250078A JP2520176B2 (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | 空間光変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1250078A JP2520176B2 (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | 空間光変調器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03111810A true JPH03111810A (ja) | 1991-05-13 |
| JP2520176B2 JP2520176B2 (ja) | 1996-07-31 |
Family
ID=17202485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1250078A Expired - Fee Related JP2520176B2 (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | 空間光変調器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2520176B2 (ja) |
-
1989
- 1989-09-26 JP JP1250078A patent/JP2520176B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2520176B2 (ja) | 1996-07-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |