JPH03106350A - 超音波観測装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は超音波観測装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の超音波観測装置として、例えば多数の超音波振動
子を直線状に配列して設け、その順次の複数の超音波振
動子をマルチプレクサにより電子リニア走査して超音波
像を得るようにしたものや、回転あるいは直線移動可能
な同一基台上に駆動周波数の異なる複数の超音波振動子
を設けて、異なる周波数の超音波像を選択的に得るよう
にしたものが提案されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上述した従来の超音波観測装置にあって
は、各超音波振動子毎に信号ラインを設けて送受信信号
の授受を行うようにしており、しかもこの信号ラインは
一般にノイズの影響を受けにくくすることから同軸ケー
ブルが用いられるため、超音波振動子を体腔内に挿入さ
れるプローブの先端部に装着する体内式のものにあって
は、プローブの外径が大きくなって体腔内に挿入しずら
くなるという問題があると共に、被検者に多大な苦痛を
与えるという問題がある。また、体内式および体外式に
限らず、プローブと超音波観測装置本体との間に多数の
信号ラインが延在することになるため、それが邪魔にな
って操作がしにくくなるとい（う問題もある。

この発明は、このような従来の問題点に着目してなされ
たもので、複数の超音波振動子に対する信号ラインの本
数を少なくでき、したがってプローブを有効に細径化で
きると共に、操作性を向上できるよう適切に構成した超
音波観測装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段およ・び作用〕上記目的を
達威するため、この発明では、半導体基体上に、複数の
超音波振動子と、各超音波振動子に対応する接点とを配
列して設けると共に、各接点に選択的に接するように摺
動可能にロータを設け、このロータと前記半導体基体と
の間で静電モータを構成して、該ロータを介して前記超
音波振動子に対する送受信信号の授受を行うよう構成す
る。

〔実施例〕

第１図はこの発明の第工実施例を示すものである。この
実施例は、リニア走査形の超音波観測装置を示すもので
、シリコン基板１上には、多数の超音波振動子２，と、
各超音波振動子２に対応して増幅部３および接点部４と
をそれぞれ直線状に配列して設けると共に、各接点部４
に選択的に接するように、シリコン基板１に形威したガ
イド溝５に係合して移動可能にロータ６を設ける。また
、シリコン基板１にはロータ６と対向するように、該ロ
ータ６の移動方向に沿ってステータ側電極７を設けると
共に、ロータ６にはステータ側電極７と対向するように
ロータ側電極（図示せず）を設け、これらステータ側電
極７およびロータ側電極により静電モータを構成して、
ロータ６を接点部４の配列方向に沿って直線的に移動さ
せるようにする。

この実施例では、直線状に多数配列した超音波振動子２
を１個ずつずらしながら順次の４個の超音波振動子２を
ロータ６を介して選択してリニア走査する。このため、
シリコン基板１上には、ロータ６の移動方向に延在して
４本の信号ラインがそれぞれ接続される４本の接点ライ
ン８−１〜８−４を設ける。また、ロータ６には、第２
図に詳細に示すように、シリコン基板１上の接点ライン
８−１〜８−４にそれぞれ接触するように４個の伝送用
ハリ状接点９−１〜９−４を設けると共に、これら伝送
用ハリ状接点９−１〜９−４に゛羊れぞれ接続して、シ
リコン基板１上の順次の４個の接点部４に接触するよう
に４個の振動子側ハリ状接点１ｏ−１〜１ｏ−４を設け
る。

このようにして、静電モータによりロータ６を移動させ
て、超音波振動子２を１個ずつずらしながら順次の４個
の超音波振動子２をロータ６を介して選択してリニア走
査する。

なお、静電モータを構成するロータ側電極への電源の供
給は、超音波振動子２の選択と同様に、シリコン基板１
の平坦部に接点ラインを、それと接するようにロータ６
にハリ状接点を設けて行うよう構或することもできるが
、こ′の例ではガイド溝５内に接点ラインを設け、この
接点ラインに接するようにガイド溝５に係合するロータ
６の突部に接点を設けて行うようにする。

このように、この実施例によれば、順次の４個の超音波
振動子２をロータ６を介して選択してリニア走査するよ
うにしたので、多数の超音波振動子２に対して超音波の
送受信信号の授受を行う信号ラインが４本で済むことに
なり、アースラインや増幅部３の電源ラインおよび静電
モータの駆動ラインを合わせても全体で約１０本程度の
リード線で済むことになる。したがって、従来のように
例えば１２８個の超音波振動子の全てに対して信号ライ
ンを設ける場合に比べ、リード線数を極めて少なくする
ことができるので、プローブを有効に細径化することが
できると共に、リード線数が少ないことからそれが邪魔
になることも少なくなるので、操作性を向上することか
できる。

第３図はこの発明の第２実施例を示すものである。この
実施例は、駆動周波数の異なる複数の超音波振動子から
所望の超音波振動子を選択して超音波像を得るようにし
たもので、シリコン基板２１上には、駆動周波数の異な
る複数の超音波振動子２２と、各超音波振動子２２に対
応して増幅・インピーダンス整合回路２３および接点部
２４とをそれぞれ直線状に配列して設けると共に、各接
点部２４に選択的に接するように、シリコン基板２１に
形威したガイド溝２５に係合して移動可能にロータ２６
を設け５− ６ る。また、シリコン基板２１にはロータ２６と対向する
ように、該ロータ２６の移動方向に沿ってステータ側電
極２７を設けると共に、ロータ２６にはステータ側電極
２７と対向するようにロータ側電極（図示せず）を設け
、これらステータ側電極２７およびロータ側電極により
静電モータを構成して、ロータ２６を接点部２４の配列
方向に沿って直線的に移動させるようにする。

この実施例では、駆動周波数の異なる複数の超音波振動
子２２から所望の超音波振動子２２を選択するため、シ
リコン基板２１上にロータ２６の移動方向に延在して１
本の信号ラインが接続される１本の接点ライン２８を設
ける。また、ロータ２６にはシリコン基板２１上の接点
ライン２８に接触するように１個の伝送用ハリ状接点２
９を設けると共に、この伝送用ハリ状接点２９に接続し
て、シリコン基板２１上の１個の接点部２４に接触する
ように１個の振動子側ハリ状接点３０を設ける。

このようにして、静電モータによりロータ２６を移動さ
せて所望の超音波振動子２２を選択し、シリコン基板２
１およびロータ２６を図示しない移動機構により移動さ
せながら、選択した超音波振動子２２により被検体を走
査して超音波像を得る。

なお、ロータ側電極への電源の供給は第１実施例と同様
にして行う。

このように、この実施例によれば、駆動周波数の異なる
複数の超音波振動子２２から所望の超音波振動子２２を
ロータ２６を介して選択するようにしたので、複数の超
音波振動子２２に対して超音波の送受信信号の授受を行
う信号ラインが１本で済むことになる。したがって、従
来のように全ての超音波振動子に対して信号ラインを設
ける場合に比べ、リード線数を極めて少なくすることが
できるので、第ｌ実施例と同様にプローブを有効に細径
化できると共に、操作性を向上することができる。

なお、この発明は上述した実施例にのみ限定されるもの
ではなく、幾多の変形または変更が可能である。例えば
、駆動周波数の異なる複数の超音波振動子をそれぞれ多
数個を設け、所望の駆動周波数の超音波振動子群の全て
の超音波振動子をロータにより選択して、マルチプレク
サを用いて電子リニア走査するよう構成することもでき
し、所望の駆動周波数の超音波振動子群について、第ｌ
実施例と同様にして順次の複数個の超音波振動子をロー
タにより選択してリニア走査するよう構成することもで
きる。これらの場合においても、各超音波振動子毎に信
号ラインを設けるのに比べ、信号ラインの本数を大幅に
少なくすることができる。

また、上述した実施例では、信号ラインをシリコン基板
に設けた接点ライン、ロータに設けた伝送用ハリ状接点
および振動子側ハリ状接点を介してシリコン基板に設け
た接点部に接続するようにしたが、この信号ラインは接
点ラインおよび伝送用，ハリ状接点を設けることなく、
ロータの振動子側ハリ状接点に直接接続するようにして
もよい。

〔発明の効果〕

以上述べたように、この発明によれば、ロータと複数の
超音波振動子を有する半導体基体との間で静電モータを
構成し、この靜電モータによりロ一夕を移動させること
によって該ロータを介して超音波振動子を選択して送受
信信号の授受を行うようにしたので、送受信信号の授受
を行う信号ラインを、ロー夕によって同時に選択される
超音波振動子の数のみとすることができる。したがって
、全ての超音波振動子に信号ラインを設ける場合に比べ
、その数を極めて少なくすることができるので、プロー
ブを有効に細径化することができると共に、信号ライン
が少ないことからそれが邪魔になることも少なくなるの
で、操作性も有効に向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１実施例を示す図、第２図は第１
図に示すロータの構成を示す図、第３図はこの発明の第
２実施例を示す図である。 １−−一−シリコン基板　　　２一超音波振動子３・・
・増幅部　　　　　　４一接点部５−ガイド溝　　　　
　　６一　ロータ７・・・ステータ側電極　　８−１〜
８−４・−・接点ライン９−１〜９−４−伝送用ハリ状
接点 ９一 １０ １０−１〜１０−４−・振動子側ハリ状接点２１・・−
シリコン基板　　　２２−・・超音波振動子２３一増幅
・インピーダンス整合回路 ２４・・・接点部　　　　　　２５−・−ガイド溝２６
−　ロータ　　　　　　２７−ステータ側電極２８−・
接点ライン　　　　２９−・一伝送用ハリ状接点３０・
・一振動子側ハリ状接点 １１−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、半導体基体上に、複数の超音波振動子と、各超音波
   振動子に対応する接点とを配列して設けると共に、各接
   点に選択的に接するように摺動可能にロータを設け、こ
   のロータと前記半導体基体との間で静電モータを構成し
   て、該ロータを介して前記超音波振動子に対する送受信
   信号の授受を行うよう構成したことを特徴とする超音波
   観測装置。