JPH03102737U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03102737U JPH03102737U JP1216490U JP1216490U JPH03102737U JP H03102737 U JPH03102737 U JP H03102737U JP 1216490 U JP1216490 U JP 1216490U JP 1216490 U JP1216490 U JP 1216490U JP H03102737 U JPH03102737 U JP H03102737U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor chip
- adhesive sheet
- pushing
- chip
- pushed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図及び第２図は夫々本考案の半導体チツプ
マウント装置の一実施例を示す正面図及び動作説
明図、第３図及び第４図は夫々従来装置の正面図
及び動作説明図である。 １ａ，１ｂ，１ｃ……チツプ、２……粘着シー
ト、６……粘着ヘツド、８……チツプステージ、
９……加熱部。
マウント装置の一実施例を示す正面図及び動作説
明図、第３図及び第４図は夫々従来装置の正面図
及び動作説明図である。 １ａ，１ｂ，１ｃ……チツプ、２……粘着シー
ト、６……粘着ヘツド、８……チツプステージ、
９……加熱部。
Claims (1)
- 粘着シートに貼付されて搬送される半導体チツ
プを突上機構により突上げ前記粘着シートより剥
離して次工程に搬送する半導体チツプマウント装
置において、前記突上機構に、前記粘着シートを
軟化させ、軟化した粘着シートを前記突上動作時
に前記半導体チツプと共に押上げ、押上げらえた
前記半導体チツプを前記次工程の搬送系に装着さ
せる加熱式チツプステージが設けてあることを特
徴とする半導体チツプマウント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1216490U JPH03102737U (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1216490U JPH03102737U (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03102737U true JPH03102737U (ja) | 1991-10-25 |
Family
ID=31515654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1216490U Pending JPH03102737U (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03102737U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007073602A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Shibaura Mechatronics Corp | 半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法 |
-
1990
- 1990-02-09 JP JP1216490U patent/JPH03102737U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007073602A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Shibaura Mechatronics Corp | 半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法 |
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