JPH0310207U - - Google Patents

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JPH0310207U
JPH0310207U JP7021589U JP7021589U JPH0310207U JP H0310207 U JPH0310207 U JP H0310207U JP 7021589 U JP7021589 U JP 7021589U JP 7021589 U JP7021589 U JP 7021589U JP H0310207 U JPH0310207 U JP H0310207U
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JP
Japan
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test surface
pulsed laser
measured
photodetector
measuring device
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JP7021589U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示すパルスレーザ
ホログラフイ干渉法を用いた面精度測定装置の概
略的構成図、第２図は現像、定着後の乾板による
ホログラム再生像を撮影するための再生光学系の
概略的構成図、第３図は従来例を示す面精度測定
装置の概略的構成図である。 １…パルスレーザ発振用光源、２…Ｈｅ−Ｎｅ
レーザ、３…回転角検出用Ｈｅ−Ｎｅレーザ、４
…ポリゴンユニツト、５…ホログラム乾板、ＢＳ
…ビームスプリツタ、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４…
レンズ、Ｌ５…凸レンズ、Ｍ１，Ｍ２…ミラー、
ＰＤ…フオトデイテクタ、ＰＨ…ピンホール、Ｐ
Ｍ…回転多面鏡。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. パルスレーザ発振用光源と、レンズ、ビームス
    プリツタ、ミラー、ＮＤフイルタ等からなるパル
    スレーザホログラフイ光学系と、連続発振を行う
    レーザ光を被測定物たる移動物体に照射しその移
    動物体の被験面からの反射光をフオトデイテクタ
    により受光してその信号をトリガー信号として上
    記パルスレーザ用光源にフイードバツクする手段
    とを備え、上記トリガー信号に同期してパルスレ
    ーザを発振し上記被測定物の被験面に照射して該
    被験面からの反射光をホログラム乾板に露光して
    被験面のホログラム像を撮影することにより上記
    被験面の面精度を測定する面精度測定装置におい
    て、上記フオトデイテクタを移動可能に設けると
    共に、上記被測定物体とホログラム乾板との間に
    凸レンズとピンホールとを設けたことを特徴とす
    る面精度測定装置。
JP7021589U 1989-06-15 1989-06-15 Pending JPH0310207U (ja)

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JP7021589U JPH0310207U (ja) 1989-06-15 1989-06-15

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JPH0310207U true JPH0310207U (ja) 1991-01-31

Family

ID=31606188

Family Applications (1)

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JP7021589U Pending JPH0310207U (ja) 1989-06-15 1989-06-15

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JP (1) JPH0310207U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7712646B2 (en) 2004-04-06 2010-05-11 Cetram Pty Limited Adaptor for a tool

Cited By (1)

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US7712646B2 (en) 2004-04-06 2010-05-11 Cetram Pty Limited Adaptor for a tool

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