JPH02189746A - 光ディスク原盤の作成装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は光ディスク原盤の作成装置に関する。

従来の技術 光ディスク原盤は、表面を研磨したガラス等の基板にフ
ォトレジストを塗布し、これを記録すべき情報信号によ
り強度変調したレーザー光を用いて感光させ、その感光
度に対応した信号ビットを形成して作成する。

第３図はそのような従来の光ディスク原盤の作成装置の
構成を、レーザー光の照射構成を主にして示したブロッ
ク図である。フォトレジストを塗布した基板１は、スピ
ンドル２によって回転駆動されるとともに、−軸移動台
３によって基板１の半径方向に移送される。アルゴンレ
ーザー４の発するレーザー光は、ミラー５．６を経て電
気光学効果等を利用した１強度変調器７によって記録す
べき信号に応じて強度変調を受け、互いに焦点距離の異
なる二枚のレンズを焦点を共有するように配置したビー
ムエキスパンダー８によってビーム径を拡大された後、
ダイクロイックミラー９、ミラー１０を経て、レンズア
クチュエーター１１によって基板ｌに紋り込まれて照射
される。

ヘリウムネオンレーザ−１１によるレーザー光はフォー
カスサーボ用であり、偏光ビームスプリッタ−１３，１
７４波長板１４、ダイクロイックミラー９、ミラー１０
を経て、レンズアクチュエ−ター１１によって紋り込ま
れて基板１に照射される。このヘリウムネオンレーザ−
光の基板１からの反射光は、ミラー１０、ダイクロイッ
クミラー９．１／４波長板１４を経て偏光ビームスプリ
ッタ−１３によって入射光と分けられて、フォーカス検
出用受光素子１５に導かれる。受光素子１５によって得
られた信号を基にしてレンズアクチュエーター１１の駆
動がなされ、アルゴンレーザー４の光が基板ｌに常に焦
点が合っているよう焦点制御が行われる。

アルゴンレーザー４からの光は、平行光としてレンズア
クチュエーター１１に入射され、基板１で反射されてレ
ンズアクチュエーター１１から平行光として出射される
ように、焦点制御が行われる。ビームエクスパンダ−８
によってビーム径が拡大されたレーザー光が、平行光で
あるかどうかを確認するため、ビームエクスパンダ−８
とダイクロイックミラー９の間にガラス等からなる表面
と裏面とが平行な透明板（以下平行ガラス板と呼ぶ）を
光軸に対して４５度の角度で挿入することがある。

平行ガラス板の表面で反射した光と裏面で反射した光は
、反射されろ方向は同じで、位置が平行ガラス板の厚さ
に比例し屈折率に反比例した距離だけずれるとともに、
位相差を生じる。平行ガラス板への入射光が平行光であ
れば、平行ガラス板の表面で反射した光と裏面で反射し
た光の重なった部分の中央に、干渉によって一本の明る
いすしもしくは暗いすしが見える。入射光が平行光でな
ければ、平行光からのずれに比例して複数のすしが現れ
る。すしが−本に成るようにビームエクスパンダ−８の
二枚のレンズの間隔を調整することにより、アルゴンレ
ーザー４からの光を平行光にする。

発明が解決しようとする課題 二つの信号を同時に記録しようとする場合、強度変調さ
れた二つのレーザー光を合成して一つのレンズアクチュ
エーターを用いて基板に紋り込んで照射する。二つのレ
ーザー光は、光の利用効率を上げるため、一方の光の偏
波面を９０度ずらせて偏光ビームスプリッタ−を用いて
合成される。

平行ガラス板の反射率は、入射光の偏波面と入射面との
なす角に依存し、偏波面と入射面とが直交するとき反射
率が最大になり、偏波面と入射面が同じとき最小になる
。このため、−枚の平行ガラス板では、一方のレーザー
光に対しては反射が強くしまがはっきり見えるので平行
光に調整しやすいが、もう一方のレーザー光に対しては
反射が弱くしまが見えにくいため調整がしにくいという
欠点がある。

一方の光が平行光からずれていると、レンズアクチュエ
ーターによって絞られたときの焦点の位置が二つの光で
ずれるため、一方の光は基板上に紋り込まれず、信号を
記録できない。

本発明は、上記従来の課題を解決した光ディスク原盤の
作成装置の提供を目的としたものである。

課題を解決するための手段 本発明は、互いに偏波面が９０度異なる二つのレーザー
光に対して、各レーザー光の偏波面と入射面と直交する
ように設けられた表面と裏面とが平行な二枚の透明板を
用いるものである。

作用 二つのレーザー光に対し、それぞれ１層液面と入射面と
が直交するように平行ガラス板が設けられているので、
どちらのレーザー光に対しても平行ガラス板の反射が強
く、しまが見やすくなり、平行光に調整しやすい。この
ため、二つの信号を同時に記録した光ディスク原盤の作
成が容易になる。

実施例 以下本発明の実施例を図面によって詳細に説明する。

第１図は本発明の一実施例の光ディスク原盤作成装置の
構成を示す図である。フォトレジストを塗布した基板１
は、スピンドル２によって回転駆動されるとともに、−
軸移動台３によって基板ｌの半径方向に移送される。

偏波面が紙面と垂直なアルゴンレーｆ−４の発するレー
ザー光は、ミラー５，６を経て強度変調器７によフて記
録すべき信号に応じて強度変調を受け、ビームエクスパ
ンダ−８によってビーム径を拡大された後、ミラー１７
を経て偏光ビームスビリツタ−１８により反射される。

偏波面が紙面と平行なアルゴンレーザー４′の発するレ
ーザー光は、ミラー５’、６’を経て強度変調器７′に
よって記録すべき信号に応じて強度変調を受け、ビーム
エクスパンダ−８′によってビーム径を拡大された後、
偏光ビームスプリッタ−１８を透過する。偏波面の９０
度累々る二つのレーザー光は、偏光ビームスプリッタ−
１８によって反射もしくは透過されることによって合成
される。合成されたレーザー光は、ダイクロイックミラ
ー９、ミラー１０を経て、レンズアクチュエーター１１
によって基板１に絞り込まれる。

ヘリウムネオンレーザ−を用いたフォーカスサーボ系は
、第３のものと同じである。フォーカス検出用受光素子
１５は、例えばナイフェツジ法ではレンズと、レンズの
焦点面との間のナイフェツジと二分割した光検出器を含
む。非点収差法では円筒レンズと四分割した光検出器を
含む。本発明では、このような焦点制御が可能な光検出
器を一括してフォーカス用受光素子として表している。

二枚の平行ガラス板は、各レーザー光の偏波面と入射面
とが直交するように、ビームエクスパンダ−８および８
′とダイクロイックミラー９との間に設けられる。レー
ザー光の偏波面と平行ガラス板への入射面とが直交して
いるので、平行ガラス板での反射が大きく、反射光がが
見やすい。反射された光を見て、ビームエクスパンダ−
８，８？を調整し、アルゴンレーザー４．４′からの光
を平行光にする。

二つの平行光は、レンズアクチュエーター１１によって
同一の焦点面に紋られる。ヘリウムネオンレーザ−１２
を用いたフォーカスサーボ系で、基板１の表面に焦点面
が来るように制御することにより、二つの信号を同時に
基板に記録することができる。

平滑な基板を用いる場合には、平行ガラス板と光軸との
なす角は４５度が望ましい。基板ｌで反射された光が平
行光かどうかを、入射光と同じ様に、平行ガラス板の入
射光が反射された方と反対側に反射された光を見ること
によって知ることができる。平行光はレンズで絞られた
場合、焦点面で反射されると平行光で戻ってくるので、
基板で反射された光が平行光かどうかを見ることにより
、基板に焦点が合っているかどうかを確認できる。

第１図に示す実施例では二つのアルゴンレーザーを用い
て、互いに偏波面が異なる二つの記録レーザー光を得て
いたが、第２図に示すように一つのアルゴンレーザーの
光をハーフミラ−で二つに分けてもよい。偏波面が紙面
に垂直なアルゴンレーザー４からの光は、ミラー５を経
てハーフミラ−１９によって二つに分けられる。偏光ビ
ームスプリッタ−１８を透過させる光は、ハーフミラ−
１９と偏光ビームスプリッタ−１８の間に１／２波長板
２０を置くことに偏波面を９０度回転させる。第２図で
は１／２波長板２０はミラー６′と強度変調器７′との
間に萱かれているが、ハーフミラ−１９と偏光ビームス
プリッタ−１８の間であれば他の場所でも不都合はない
。ヘリウムネオンレーザ−を用いたフォーカスサーボ系
は、第１図、第３図の場合と同じである。

あらかじめ断面がｖ字型の溝等の案内溝が形成された基
板を用いる場合には、調整の時には平行ガラス板を光路
に挿入するが、信号を記録する時には平行ガラス板を取
り外す方が望ましい。

案内溝が形成された基板の場合、基板で反射されて戻っ
てくる光は平行光ではないので、信号を記録していると
きに、平行ガラス板を用いて基板に焦点が合っているか
どうかを確認することはできない。信号を記録している
ときに平行ガラス板があると、平行ガラス板の反射によ
りレーザー光のパワーのロスが生じるだけである。

案内溝が形成された基板を用いる場合には、信号を記録
するときに平行ガラス板を取り外すことによりレーザー
光の利用効率を上げ、より弱いパワーで信号を記録する
ことができる。

発明の効果 以上の本発明によれば、偏波面の９０度累々る二つのレ
ーザー光に対してそれぞれ反射が大きくなるように平行
ガラス板が設けられているので、二つのレーザー光を平
行光に調整することができ、二つのレーザー光を基板に
紋り込め、二つの信号を同時に記録した光ディスク原盤
を作成することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の光ディスク原盤の作成装置の一実施
例を示すブロック図、第２図は、本発明の同作成装置の
他の実施例を示すブロック図、第３図は従来の光ディス
ク原盤の作成装置を示すブロック図である。 １・・・光ディスク基板　　４・・・レーザ１８・・・
偏向ビームスプリッタ− １９・・・ハーフミラ− 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　はか１名第２図 （ａ） （ｂ） （ｂ） （ａ） （ｂ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. フォトレジストを塗布した光ディスク基板に、記録信号
   により強度変調したレーザー光を照射する工程を有する
   、記録信号を記録した光ディスク原盤の作成装置であっ
   て、二つの信号を同時に記録するための互いに偏波面が
   ９０度異なる二つの記録レーザー光と、各レーザー光の
   偏波面と入射面とが直交するように設けられた表面と裏
   面とが平行な二枚の透明板とを有することを特徴とする
   光ディスク原盤の作成装置。