JPH03100781A - データ監視方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔目次〕 産業上の利用分野 従来の技術（第７図） 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（第１図） 実施例（第２図〜第６図） 発明の効果 〔概　要〕 データ監視方法、特に製造、試験および検査工程等にお
いて、時々刻々と発生するデータを準リアルタイムに監
視する方法に関し、 該データ発生頻度が高い場合であっても、ホスト計算機
のデータ処理の負担を多くすることなく、ワークステー
ションをデータ監視用端末機として利用しながら他のデ
ータ処理を行うことを目的とし、 少な（とも、ホスト計算機および複数のワークステーシ
ョンにより、データを監視するデータ監視力法において
、前記ホスト計算機のメモリ領域にデータ発生源からの
被監視データを一旦記憶し、前記ワークステーションの
データ処理の合間を利用して、前記ホスト計算機のメモ
リ領域を検索し、前記メモリ領域から当該ワークステー
ションに関する被監視データを読出し、前記被監視デー
タをワークステーションのメモリ領域に記憶することを
含み構成する。

（産業上の利用分野） 本発明はデータ監視方法に関するものであり、更に詳し
く言えば、製造、試験および検査工程等において、時々
刻々と発生するデータを準リアルタイムに監視する方法
に関するものである。

近年、製造業においては、生産物品に係る各種データを
ホスト計算機上のデータベースに保存し、その品質管理
を行っている。

これによれば、ホスト計算機のデータ取得処理やデータ
転送処理の負担を軽減すること、およびワークステーシ
ョンをデータ監視用の専用端末機として利用しながら、
他のワークステーション処理を行うことができるデータ
監視方法が望まれている。

〔従来の技術〕

第７図は、従来例のデータ監視方法に係る説明図である
。

同図は、半導体ウェハプロセス工程などの品質管理をす
る場合のデータ監視システムを示している。

図において、データ監視システムは、半導体ウェハの試
験装置や検査装置等のデータ発生源１からのデータＤ１
、Ｄ２．Ｄ３・・・・を取得して、各データ監視用端末
機３ａ〜３０等にそれを転送するホスト計算機２と、該
ホスト計算機２からのデータＤ１、Ｄ２．Ｄ３・・・・
を受けて半導体ウェハの試験データや検査データ等を監
視するデータ監視用端末機３ａ〜３ｃからなる。

また、そのデータ監視方法は、まず、データ発生源１で
、データＤ１、Ｄ２．Ｄ３・・・・が発生すると、ホス
ト計算機２がその度毎にデータＤ１、Ｄ２．Ｄ３・・・
・を取得する。

次いで、取得したデータＤ１、Ｄ２．Ｄ３・・・・をリ
アルタイムにデータ監視用端末機３ａ〜３ｃに転送する
。この際に、データ監視用端末機３８〜３ｃは、データ
受入のために、他のデータ処理をすることなく受信持ち
状態を維持している。

〔発明が解決しようとする課題〕

従って、従来例のデータ監視方法によれば、データ発生
とほぼ同時にデータ発生源１のデータ監視用端末機Ａ〜
Ｃにより、リアルタイムにデータを監視することができ
る。

しかし、ホスト計算機２は、データが発生する毎にそれ
を取得し、該データに係る監視用端末機３ａを素早く選
定し、即時にその端末機に対してデータ転送処理を行わ
なければならない、このため、データ発生の頻度が高い
ほどホスト計算機の負担が大きくなるという第１の問題
がある。

一方、データ監視端末機３ａ〜３Ｃは、ホスト計算機２
からのデータが不定時に入力されるため、専用端末機と
して利用され、当該端末機に入力された最新データを使
用して、統計処理や統計解析等の本来のワークステーシ
ョンとしての機能を果たすことができない第２の問題が
ある。

本発明は、かかる従来例の問題点に鑑みて創作されたも
のであって、データ発生頻度が高い場合であっても、ホ
スト計算機のデータ処理の負担を多くすることなく、ワ
ークステーションをデータ監視用端末機として利用しな
がら他のデータ処理を行うことを可能とするデータ監視
方法の提供を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

第１図は、本発明に係るデータ監視方法の原理図を示し
ている。

その監視方法は、少なくとも、ホスト計算６１２および
複数のワークステーション１３ａ〜１３Ｃにより、デー
タを監視するデータ監視方法において、 前記ホスト計算機１２のメモリ領域ＭＡＩにデｉり発生
源１１からの被監視データＤ１、Ｄ２・・・・を一旦記
憶し、前記ワークステーション１３ａ＝１３ｃのデータ
処理の合間を利用して、前記ホスト計算機１２のメモリ
領域ＭＡＩを検索し、前記メモリ領域ＭＡＩから当該ワ
ークステーション１３ａ〜１３ｃに関する被監視データ
Ｄ１、Ｄ２・・・・を続出し、前記被監視データＤ１、
Ｄ２・・・・をワークステーション１３ａ〜１３ｃのメ
モリ領域ＭＡ２に記憶することを特徴とし、上記目的を
達成する。

〔作　用〕

本発明によれば、データ発生源１１からの被監視データ
Ｄ１、Ｄ２・・・・が、ホスト計算機１２のメモリ領域
ＭＡｉに一旦記憶される。

このため、データ発生頻度が高い場合であうでも、ホス
ト計算機１２は、被監視データＤ１、Ｄ２・・・・を記
憶したメモリ領域ＭＡＩのアドレス管理処理を優先して
実行すればよく、従来例のようにデータが発生する毎に
データ転送処理を実行しなくてもよい。

これにより、従来例に比べてホスト計算機１２のデータ
処理の負担を軽減するごとが可能となる。

また、ワークステーション１３ａ〜１３ｃは、データ処
理の合間を利用して、ホスト計算機１２のメモリ領域Ｍ
ＡＩを検索し、当該ワークステーション１３ａ〜１３ｃ
に関する被監視データＤＩ。

Ｄ２・・・・を続出している。

このため、従来例のようにデータ受信待ち状態を維持す
る必要がなく、ワークステーション１３ａ〜１３ｃが監
視端末機として専用（専有）されない。

これにより、ワークステーション１３ａ〜１３Ｃをデー
タ監視用端末機として利用しながら、該ワークステーシ
ョン１３ａ＝１３ｃのメモリ領域ＭＡ２に記憶された最
新データを用いて、統計処理や統計解析等のデータ処理
を実行することが可能となる。

〔実施例〕

次に図を参照しながら本発明の実施例について説明をす
る。

第２図〜第６図は、本発明の実施例に係るデータ監視方
法を説明する図であり、第２図は、本発明の実施例に係
るデータ監視システムの構成図を示している。

図において、２１はデータ発生源であり、半導体ウェハ
プロセス工程における試験装置や検査装置等である。デ
ータ発生源２１は、時々刻々と半導体装置の品質管理に
係る諸データ（被監視データ、以下、単にデータという
）を発生するものである。

２２は、ワークステーションの一実施例となるデータ取
得用端末機であり、データ発生源２１で発生するデータ
Ｄ１、Ｄ２・・・・を取得するものである。

２３ａはホスト計算機であり、端末機２２からデータベ
ース２５に記憶された被監視データＤＩ。

Ｄ２・・・・のアドレス管理をし、該データＤＩ。

Ｄ２・・・・のデータキーをデータベース２５に書き込
むものである。

２４ａ〜２４ｃは、ワークステーションの一実施例とな
るデータ監視用端末機であり、本発明の実施例では、３
台の端末機によりデータ監視を行うものとする。データ
監視用端末機２４ａ〜２４Ｃは、データＤ１、Ｄ２・・
・・の検索をしたり、該データＤ１、Ｄ２・・・・をミ
ニデータベース２７ａ〜２７ｃに記憶したりして、その
最新データを用いて統計処理や解析処理を行うものであ
る。

その結果は、ホスト計算機２７のデータベース２５に保
存される。

２５は、データベースであり、ホスト計算機２３のメモ
リ領域ＭＡＩを構成するものである。２６ａ〜２６ｃは
タイマーであり、各端末機２４ａ〜２４Ｃ（以下、単に
監視端末Ａ−Ｃ）に取りつけられる。タイマー２６ａ〜
２６ｃの機能は、各監視端末Ａ−Ｃが各ワークステーシ
ョンに係るデータ処理を終了してから検索処理に移行す
るまでの一定時間を計測するものである。

２７ａ〜２７ｃはメモリ領域ＭＡ２を構成するミニデー
タベースであり、各監視端末Ａ−Ｃに設けられている。

次に、当該データ監視システムにおけるデータ監視方法
について説明する。

第３図、第４図（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施例に係
るデータ監視方法のホスト計算機のフローチャートおよ
びその補足説明図である。

第３図において、まず、ステップＰＩでデータ発生を認
識する。この際にホスト計算機２３は、データ取得用端
末機２２からデータＤ１、Ｄ２・・・・を入力する。こ
こで、データ発生源２１が監視端末Ａ、Ｂに必要なデー
タが発生したと仮定する。

次に、ステップＰ２で、そのデータを送信する必要のあ
る監視端末Ａｘｃをチエツクする。この際にデータベー
ス２５に発生データが追加格納される。ここで、その格
納位置を指し示す検索キーをｅとする（第４図（ａ）参
照）。

次いで、ステップＰ３でチエツクで挙がった監視端末Ａ
、Ｂ毎にデータの検索キーを記録する。

この際に、監視端末Ａにはデータキーａ、ｂ、ｃ。

ｄに加えてｅが記憶され、同端末Ｂにはｃ、ｄに加えて
ｅが記憶される（第４図（・ｂ））。

なお、ステップＰ４で終了判断をし、アドレス管理処理
が終了しない場合（ＮＯ）には、ステップＰ１に戻って
、ステップＰ２．Ｐ３のデータ処理を継続する。

第５図、第６図（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施例に係
るデータ監視方法の監視用端末機のフローチャートおよ
びその補足説明図である。

第５図において、まず、ステップＰ１でキーボードから
のキーインがない時間をタイマーカウントする。この際
に監視端末Ａがワークステーション処理として、先に入
力したデータを用いて統計処理や解析処理を終了した時
刻から一定時間、例えば５分間、タイマー２６ａを介し
てカウントする。

次にステップＰ２で、カウントした時間が一定時間に達
したら、発生データキーの記録領域の自監視端末Ａに記
録されたデータ検索キーをチエツクする。

次いで、ステップＰ３でデータ発生記録の有無を判断す
る。ここで、データ発生有りの場合（ＹＥＳ）にはステ
ップＰ４に移行し、無しの場合（ＮＯ）にはステップＰ
Ｉに戻る。

次に、ステップＰ４で、ある一定性数のデータが記録さ
れたデータキーの検索をする。ここで、本発明の実施例
の場合、１回の受信処理によって、最大取得することが
できるデータ件数を４件と仮定すれば、最も発生時間の
早い順からデータキーａ、ｂ、ｃ、ｄの４件が受信対象
データとなる（第６図（ａ）参照）。

この検索したデータキーａ、ｂ、ｃ、ｄをステップＰ５
で、監視端末Ａに受信し、ステップＰ６で受信したデー
タａ、ｂ、ｃ、ｄをミニデータベース２７ａに格納する
。これにより、ホスト計算機２３のデータベース２５の
発生データキーの記録領域にはデータキーｅが、次の検
索を待って記憶される（第６図（ｂ）参照）。

その後、ステップＰ７で受信したデータを画面に表示す
る。この際に、画面上に表示された最新データを用いて
、半導体装置の品質管理に係る統計処理や解析処理がな
される。

このようにして、本発明の実施例によれば、データ発生
源２１からのデータａ、ｂ、ｃ、ｄがホスト計算機２３
に設けられたデータベース２５の発生データキーの記録
領域に一旦記憶されている。

このため、データ発生頻度が高い場合であっても、ホス
ト計算機２３はデータａ、ｂ、ｃ、ｄ。

ｅを記憶した発生データ記憶領域のアドレス管理処理を
優先して実行すればよく、従来例のようにデータが発生
する毎にデータ転送処理を実行しなくてもよい。

これにより、従来例に比べてホスト計算機２３のデータ
処理の負担を軽減することが可能となる。

また、監視端末Ａ−Ｃはデータ処理の合間を利用してデ
ータベース２５の発生データキーの記録領域を検索し、
当該監視端末Ａに関するデータａ。

ｂ、ｃ、ｄを読出している。

このため、従来例のようにデータ受信待ち状態を維持す
る必要がなく、ワークステーションが監視端末Ａ−Ｃと
して専用されない。

これにより、ワークステーションを監視端末Ａ〜Ｃとし
て利用しながらミニデータベース２７ａ〜２７ｃ記憶さ
れた最新データを用いて、半導体装置の品質管理に係る
統計処理や統計解析等のデータ処理を実行することが可
能となる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、データ発生源か
らの被監視データを準リアルタイムに監視することがで
きる。

このため、ホスト計算機に負担をかけることなく、ワー
クステーションをデータ監視用端末として利用しながら
、統計処理や解析処理等のデータ処理をすることが可能
となる。

これにより、半導体製造工程等の品質管理の向上に寄与
するところが大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係るデータ監視方法の原理図、 第２図は、本発明の実施例に係るデータ監視システムの
構成図、 第３図は、本発明の実施例に係るデータ監視方法のホス
ト計算機のフローチャート、 第４図は、本発明の実施例に係るホスト計算機のフロー
チャートの補足説明図、 第５図は、本発明の実施例に係るデータ監視方法のデー
タ監視用端末機のフローチャート、第６図は、本発明の
実施例に係る監視用端末機のフローチャートの補足説明
図、 第７図は、従来例に係るデータ監視方法の説明図である
。 （符号の説明） １１・・・データ発生源、 １２・・・ホスト計算機、 １３ａｘ１３ｃ・・・ワークステーション、Ｄ１、Ｄ２
．Ｄ５．Ｄ９・・・被検索データ、ＭＡＬ、ＭＡ２・・
・メモリ領域。 出　願　人　　富士通株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 少なくとも、ホスト計算機（１２）および複数のワーク
   ステーション（１３ａ〜１３ｃ）によりデータを監視す
   るデータ監視方法において、前記ホスト計算機（１２）
   のメモリ領域（ＭＡ１）にデータ発生源（１１）からの
   被監視データ（Ｄ１、Ｄ２・・・・）を一旦記憶し、 前記ワークステーション（１３ａ〜１３ｃ）のデータ処
   理の合間を利用して、前記ホスト計算機（１２）のメモ
   リ領域（ＭＡ１）を検索し、前記メモリ領域（ＭＡ１）
   から当該ワークステーション（１３ａ〜１３ｃ）に関す
   る被監視データ（Ｄ１、Ｄ２・・・・）を読出し、 前記被監視データ（Ｄ１、Ｄ２・・・・）をワークステ
   ーション（１３ａ〜１３ｃ）のメモリ領域（ＭＡ２）に
   記憶することを特徴とするデータ監視方法。