JPH0291932U - - Google Patents

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JPH0291932U
JPH0291932U JP16975488U JP16975488U JPH0291932U JP H0291932 U JPH0291932 U JP H0291932U JP 16975488 U JP16975488 U JP 16975488U JP 16975488 U JP16975488 U JP 16975488U JP H0291932 U JPH0291932 U JP H0291932U
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JP
Japan
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valve
shutoff
chamber
temperature
leak
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JP16975488U
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Landscapes

  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案に係る二重遮断ガスバルブの
リークチエツク装置の概略構成図、第２図は特に
ガスリークチエツクチヤンバユニツト１１の詳細
構造を示す断面図を含む構成図、第３図は従来装
置の概略構成図である。 １は第１の遮断弁、２は第２の遮断弁、１０は
コントローラ（補正手段）、１２は温度センサ（
温度検出手段）、２４は加減圧チヤンバ（検知対
象チヤンバ）。なお、図中、同一符号は同一また
は相当部分を示す。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 第１の遮断弁と第２の遮断弁との間のガス漏れ
    の検知対象チヤンバ内の圧力を所定値に設定した
    後、該設定後の経過時間に対する前記検知対象チ
    ヤンバ内の圧力変化を、コントローラに組込まれ
    たプログラムシーケンスに沿つて検出し、前記第
    １及び第２の遮断弁の弁リーク異常を検知する二
    重遮断ガスバルブのリークチエツク装置において
    、 前記検知対象チヤンバ内の温度を検出する温度
    検出手段と、 この温度検出手段の検出温度に応じて前記コン
    トローラにおける弁リーク異常検知動作を補正す
    る補正手段とを備えたことを特徴とする二重遮断
    ガスバルブのリークチエツク装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020031628A1 (ja) * 2018-08-10 2020-02-13 株式会社フジキン 流体制御機器、流体制御機器の異常検知方法、異常検知装置、及び異常検知システム
JP2022053799A (ja) * 2020-09-25 2022-04-06 トヨタ自動車株式会社 バルブ異常判定装置およびその方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5649298A (en) * 1979-09-29 1981-05-02 Toshio Kawasaki Date indicating tool of calendar adsorbed by static electricity
JPS614937A (ja) * 1984-06-19 1986-01-10 Toyota Motor Corp 自動気体洩れ検量器
JPS6179130A (ja) * 1984-09-27 1986-04-22 Shimadzu Corp 吸着量測定装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5649298A (en) * 1979-09-29 1981-05-02 Toshio Kawasaki Date indicating tool of calendar adsorbed by static electricity
JPS614937A (ja) * 1984-06-19 1986-01-10 Toyota Motor Corp 自動気体洩れ検量器
JPS6179130A (ja) * 1984-09-27 1986-04-22 Shimadzu Corp 吸着量測定装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020031628A1 (ja) * 2018-08-10 2020-02-13 株式会社フジキン 流体制御機器、流体制御機器の異常検知方法、異常検知装置、及び異常検知システム
JPWO2020031628A1 (ja) * 2018-08-10 2021-08-26 株式会社フジキン 流体制御機器、流体制御機器の異常検知方法、異常検知装置、及び異常検知システム
US11988302B2 (en) 2018-08-10 2024-05-21 Fujikin Incorporated Fluid control device, abnormality detection method of fluid control device, abnormality detection device, and abnormality detection system
JP2022053799A (ja) * 2020-09-25 2022-04-06 トヨタ自動車株式会社 バルブ異常判定装置およびその方法

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