JPH0289831U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0289831U JPH0289831U JP17040588U JP17040588U JPH0289831U JP H0289831 U JPH0289831 U JP H0289831U JP 17040588 U JP17040588 U JP 17040588U JP 17040588 U JP17040588 U JP 17040588U JP H0289831 U JPH0289831 U JP H0289831U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- substrate
- heating chamber
- cart
- bypass passage
- Prior art date
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- Granted
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例による搬送機構を備
えたインライン式成膜装置の構成図、第２図、第
３図及び第４図は本実施例装置における基板の着
脱の状態を説明するための図、第５図は従来装置
を示す図である。 １……加熱室、２……成膜室、３……冷却室、
４……バイパス通路、１０……基板、１１……基
板カート、１４，２４……駆動モータ、５……搬
送ローラ、６……ギヤ機構、３１……搬送用シリ
ンダ。
えたインライン式成膜装置の構成図、第２図、第
３図及び第４図は本実施例装置における基板の着
脱の状態を説明するための図、第５図は従来装置
を示す図である。 １……加熱室、２……成膜室、３……冷却室、
４……バイパス通路、１０……基板、１１……基
板カート、１４，２４……駆動モータ、５……搬
送ローラ、６……ギヤ機構、３１……搬送用シリ
ンダ。
Claims (1)
- 加熱室と、成膜室と、冷却室とを有し、基板カ
ートに装着された基板を前記各室を通すことによ
り、この基板上に連続的に成膜を行う多室型のイ
ンライン式成膜装置の搬送機構において、前記加
熱室と冷却室との間に設けられたバイパス通路と
、前記バイパス通路を通じて前記冷却室から加熱
室へ基板カートを移動させるための基板カート搬
送手段とを備えたインライン式成膜装置の搬送機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17040588U JPH0610680Y2 (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | インライン式成膜装置の搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17040588U JPH0610680Y2 (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | インライン式成膜装置の搬送機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0289831U true JPH0289831U (ja) | 1990-07-17 |
| JPH0610680Y2 JPH0610680Y2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=31461317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17040588U Expired - Lifetime JPH0610680Y2 (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | インライン式成膜装置の搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610680Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010196116A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Shimadzu Corp | インライン成膜処理装置 |
-
1988
- 1988-12-28 JP JP17040588U patent/JPH0610680Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010196116A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Shimadzu Corp | インライン成膜処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0610680Y2 (ja) | 1994-03-16 |
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