JPH0288440A - 板ガラスのハンドリング方法 - Google Patents
板ガラスのハンドリング方法Info
- Publication number
- JPH0288440A JPH0288440A JP24015088A JP24015088A JPH0288440A JP H0288440 A JPH0288440 A JP H0288440A JP 24015088 A JP24015088 A JP 24015088A JP 24015088 A JP24015088 A JP 24015088A JP H0288440 A JPH0288440 A JP H0288440A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- plate
- pressure suction
- plate glass
- negative pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 title claims abstract description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 43
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- 238000010410 dusting Methods 0.000 abstract 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 5
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 4
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 229910001105 martensitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000012858 packaging process Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/066—Transporting devices for sheet glass being suspended; Suspending devices, e.g. clamps, supporting tongs
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は板ガラスのハンドリング方法に関するものであ
り、例えば、液晶表示装置のカバーガラスやCCD用カ
バーガラスとして使用される比較的小形の板ガラスのハ
ンドリングに利用するものである゛。
り、例えば、液晶表示装置のカバーガラスやCCD用カ
バーガラスとして使用される比較的小形の板ガラスのハ
ンドリングに利用するものである゛。
液晶表示装置やCCD用のカバーガラスは、ダストの付
着等による表裏面の汚染を防止することが要求され、そ
のため製造メーカでは、出荷前にクリーンルーム内で洗
浄した後、1枚ずつ或いは所定の荷姿に包装して出荷さ
れる。このような洗浄した板ガラスの包装に際しては、
これ迄ハンドリング装置として第10図および第11図
に示すような機械式の挟持装置や第12vi!Jに示す
ような片面吸着型の真空パッド装置が使用されている。
着等による表裏面の汚染を防止することが要求され、そ
のため製造メーカでは、出荷前にクリーンルーム内で洗
浄した後、1枚ずつ或いは所定の荷姿に包装して出荷さ
れる。このような洗浄した板ガラスの包装に際しては、
これ迄ハンドリング装置として第10図および第11図
に示すような機械式の挟持装置や第12vi!Jに示す
ような片面吸着型の真空パッド装置が使用されている。
機械式の板ガラス挟持装置(1)は、第10図に示すよ
うに板ガラス(2)の両端面との対向面に7字状の挾持
溝(3)を形成してなるチャック部材(4)(5)を2
個一組で対設することによって構成しており、このチャ
ック部材(4)(5)を矢印(A)で示す方向に移動さ
せることによって板ガラス(2)の側縁部を挟持してハ
ンドリングするものである。また、チャック部材(4)
(5)を矢印(B)で示す方向に離間させることによっ
て、板ガラス(2)の挟持状態は解除される。
うに板ガラス(2)の両端面との対向面に7字状の挾持
溝(3)を形成してなるチャック部材(4)(5)を2
個一組で対設することによって構成しており、このチャ
ック部材(4)(5)を矢印(A)で示す方向に移動さ
せることによって板ガラス(2)の側縁部を挟持してハ
ンドリングするものである。また、チャック部材(4)
(5)を矢印(B)で示す方向に離間させることによっ
て、板ガラス(2)の挟持状態は解除される。
一方、片面吸着型の真空パッド装置(6)は、中空四角
錐状のパッド本体(7)の下面周縁部(8)を板ガラス
(2)の吸着支持面に形成すると共に、パッド本体(7
)の上端(9)に系外の負圧吸引源から伸びる負圧吸引
管(10)を接続することによって負圧吸引式の板ガラ
スハンドリング装置に構成されている。
錐状のパッド本体(7)の下面周縁部(8)を板ガラス
(2)の吸着支持面に形成すると共に、パッド本体(7
)の上端(9)に系外の負圧吸引源から伸びる負圧吸引
管(10)を接続することによって負圧吸引式の板ガラ
スハンドリング装置に構成されている。
第10図に示すメカニカル方式のチャック部材(4)(
5)を使用して図示しない洗浄用バスケット等に直立状
態で支持されている板ガラス(2)を挟持しようとする
とき、第11図に示すように板ガラス(2)の側端縁と
チャック部材(4)(5)のV字状挾持1(3)(3)
の中心が一致していない場合が多いため、挟持圧作用下
の滑りによってセンタリング(姿勢修正)が行われ、こ
のとき、板ガラス(2)の側端縁によって、チャック部
材(4)(5)のV字状挾持溝(3)(3)が強く擦ら
れ発塵し、板ガラス(2)の表面に付着し、また、板ガ
ラス(2)の側端縁が欠損するなどの事故が発生する。
5)を使用して図示しない洗浄用バスケット等に直立状
態で支持されている板ガラス(2)を挟持しようとする
とき、第11図に示すように板ガラス(2)の側端縁と
チャック部材(4)(5)のV字状挾持1(3)(3)
の中心が一致していない場合が多いため、挟持圧作用下
の滑りによってセンタリング(姿勢修正)が行われ、こ
のとき、板ガラス(2)の側端縁によって、チャック部
材(4)(5)のV字状挾持溝(3)(3)が強く擦ら
れ発塵し、板ガラス(2)の表面に付着し、また、板ガ
ラス(2)の側端縁が欠損するなどの事故が発生する。
このため、クリーンルーム内で洗浄を施したにも拘わら
ず、板ガラス(2)の表裏面の清浄度が低下してしまう
。
ず、板ガラス(2)の表裏面の清浄度が低下してしまう
。
また、第12図に示す片面吸着型の真空パッド装置(6
)を使用して板ガラス(2)を吸着保持する場合には、
板ガラスの上面周縁部が吸着支持面として機能するパッ
ド本体(7)の下面周縁部(8)と密着するため、折角
洗浄処理を施した板ガラス(2)の表面、殊にその周縁
部が汚染され有効視野を狭めるという問題がある、液晶
表示装置やCCD用のカバーガラス殊にその表面と裏面
は、ユーザーから高度の清浄度が要求されており、発塵
や異物の付着による汚染や曇りは致命的な製品欠陥とし
て返品される場合もある。
)を使用して板ガラス(2)を吸着保持する場合には、
板ガラスの上面周縁部が吸着支持面として機能するパッ
ド本体(7)の下面周縁部(8)と密着するため、折角
洗浄処理を施した板ガラス(2)の表面、殊にその周縁
部が汚染され有効視野を狭めるという問題がある、液晶
表示装置やCCD用のカバーガラス殊にその表面と裏面
は、ユーザーから高度の清浄度が要求されており、発塵
や異物の付着による汚染や曇りは致命的な製品欠陥とし
て返品される場合もある。
本発明の目的は、発塵や異物の付着による板ガラスの表
面の汚れを皆無となし得る坂ガラスのハンドリング方法
を提供することにある。
面の汚れを皆無となし得る坂ガラスのハンドリング方法
を提供することにある。
尚、上記用途例に示す板ガラスの端面平坦度は高く、本
発明が対象とする板ガラスは、端面平坦度が高いものに
限定して実施されるものと理解されたい。
発明が対象とする板ガラスは、端面平坦度が高いものに
限定して実施されるものと理解されたい。
上記目的の達成手段として本発明は、平坦面に開口を具
えた負圧吸引口を有する真空パッドで板ガラスの端面を
吸着保持してハンドリングするようにしたものであり、
その際、板ガラスの端面寸法よりも小さな開口寸法を具
えた真空パッドを用いたり、或いは、板ガラスの端面寸
法よりも大きな開口寸法を具え、該開口の一部に平坦面
と面一な格子状のストッパを形成した真空パッドを用い
たり、さらには、負圧吸引口の周囲にフードを設け、又
は、格子状ストッパを負圧吸引口の開口面から四人形成
した真空パッドを用いるようにしたものである。
えた負圧吸引口を有する真空パッドで板ガラスの端面を
吸着保持してハンドリングするようにしたものであり、
その際、板ガラスの端面寸法よりも小さな開口寸法を具
えた真空パッドを用いたり、或いは、板ガラスの端面寸
法よりも大きな開口寸法を具え、該開口の一部に平坦面
と面一な格子状のストッパを形成した真空パッドを用い
たり、さらには、負圧吸引口の周囲にフードを設け、又
は、格子状ストッパを負圧吸引口の開口面から四人形成
した真空パッドを用いるようにしたものである。
請求項1及び2の方法では、板ガラスをその端面で吸着
保持する過程で、板ガラスの両面を通る吸引空気流によ
り、板ガラスを負圧吸引口の開口面に直立した姿勢に修
正して吸着保持し、この状態を保持して所定位置へハン
ドリングすることができる。従って板ガラスの表面と裏
面に非接触で、かつ、発塵と異物の付着を防止してハン
ドリングを行わせることができる。
保持する過程で、板ガラスの両面を通る吸引空気流によ
り、板ガラスを負圧吸引口の開口面に直立した姿勢に修
正して吸着保持し、この状態を保持して所定位置へハン
ドリングすることができる。従って板ガラスの表面と裏
面に非接触で、かつ、発塵と異物の付着を防止してハン
ドリングを行わせることができる。
請求項3の方法では、板ガラスを負圧吸引口の中心にセ
ンタリングして吸着保持させ得る。
ンタリングして吸着保持させ得る。
即ち、板ガラスの吸着過程で板ガラスの両面を通る吸引
空気流により坂ガラスが直立姿勢に修正され、かつ、吸
着後も、両面を通る吸引空気流があるため、両側の吸引
室気流が均等となるように板ガラスが移動せしめられて
センタリングが行われる。1i求項4の方法は、!n求
項3の方法をより確実にするものである。
空気流により坂ガラスが直立姿勢に修正され、かつ、吸
着後も、両面を通る吸引空気流があるため、両側の吸引
室気流が均等となるように板ガラスが移動せしめられて
センタリングが行われる。1i求項4の方法は、!n求
項3の方法をより確実にするものである。
第1図は本発明方法の実施に好適な板ガラスハンドリン
グ装置の一員体例を示す側面図、第2図はその正面図、
第3図は第2図の線■−■に沿う負圧吸引口の底面図で
ある。図示するように中空器体からなる板ガラスハンド
リング装置(20)は、作業ロボットのハンドリングア
ーム等への取付ブラケット部(11)をその上端に形成
すると共に、側端部に系外の負圧源から伸びる負圧吸引
管の接続口(12)を開口させ、かつ、前記負圧吸引機
構に対応して平坦面(13)に所定の開口寸法を持った
負圧吸引口(14)を開口させている。負圧吸引口(1
4)としては、板ガラス(2)の外径寸法に応じて第4
図乃至第7図に側面及び下面の形状を例示する種々の型
式を選択することが可能である。先ず第4図に示す板ガ
ラスハンドリング装置(20)においては、ハンドリン
グ対象板ガラス(2)の端面よりも小さな開口寸法を具
えた1個の負圧吸引口(14)が平坦面(13)上に開
口している。また、第5図に示す板ガラスハンドリング
装置(20)においては、ハンドリング対象板ガラス(
2)の端面よりも大きな開口寸法を具えた3個の負圧吸
引口(14a ) (14b ) (14c )が
平坦面(13)上に整列状態で開口している。そして、
隣接する3個の負圧吸引口(14a)(14b)(14
c )の間には、板ガラス(2)の上端縁の支持部材と
して平坦面(13)と面一に格子状のストッパ(15a
)(15b)が形成されており、負圧吸引口(14a)
(14c)の外端は板ガラス(2)の幅方向両端の外側
に開口している。第6図に示す板ガラスハンドリング装
置(20)は、板ガラスの吸着支持面として機能する前
記格子状のストッパ(15a)(15b)が、負圧吸引
口(14a)(14b)(14c)の内側にその下端面
を面一に整列させている外は第5図と同様の吸着構造を
形成している。また、第7図に示す坂ガラスハンドリン
グ装置(20)においては、ハンドリング対象板ガラス
(2)の技手方向に沿って平坦面(13)に開口寸法を
異にする4個の負圧吸引口(14a)(14b)(14
c)(14d)が開口しており、隣接する負圧吸引口の
間には、前記平坦面(13)と面一に3個の格子状のス
トッパ(15a)(15b)(15c)が形成されてい
る。
グ装置の一員体例を示す側面図、第2図はその正面図、
第3図は第2図の線■−■に沿う負圧吸引口の底面図で
ある。図示するように中空器体からなる板ガラスハンド
リング装置(20)は、作業ロボットのハンドリングア
ーム等への取付ブラケット部(11)をその上端に形成
すると共に、側端部に系外の負圧源から伸びる負圧吸引
管の接続口(12)を開口させ、かつ、前記負圧吸引機
構に対応して平坦面(13)に所定の開口寸法を持った
負圧吸引口(14)を開口させている。負圧吸引口(1
4)としては、板ガラス(2)の外径寸法に応じて第4
図乃至第7図に側面及び下面の形状を例示する種々の型
式を選択することが可能である。先ず第4図に示す板ガ
ラスハンドリング装置(20)においては、ハンドリン
グ対象板ガラス(2)の端面よりも小さな開口寸法を具
えた1個の負圧吸引口(14)が平坦面(13)上に開
口している。また、第5図に示す板ガラスハンドリング
装置(20)においては、ハンドリング対象板ガラス(
2)の端面よりも大きな開口寸法を具えた3個の負圧吸
引口(14a ) (14b ) (14c )が
平坦面(13)上に整列状態で開口している。そして、
隣接する3個の負圧吸引口(14a)(14b)(14
c )の間には、板ガラス(2)の上端縁の支持部材と
して平坦面(13)と面一に格子状のストッパ(15a
)(15b)が形成されており、負圧吸引口(14a)
(14c)の外端は板ガラス(2)の幅方向両端の外側
に開口している。第6図に示す板ガラスハンドリング装
置(20)は、板ガラスの吸着支持面として機能する前
記格子状のストッパ(15a)(15b)が、負圧吸引
口(14a)(14b)(14c)の内側にその下端面
を面一に整列させている外は第5図と同様の吸着構造を
形成している。また、第7図に示す坂ガラスハンドリン
グ装置(20)においては、ハンドリング対象板ガラス
(2)の技手方向に沿って平坦面(13)に開口寸法を
異にする4個の負圧吸引口(14a)(14b)(14
c)(14d)が開口しており、隣接する負圧吸引口の
間には、前記平坦面(13)と面一に3個の格子状のス
トッパ(15a)(15b)(15c)が形成されてい
る。
第4図に示す装置では、板ガラス(2)の吸着過程で板
ガラス(2)の両面に吸引空気流が発生し、これによっ
て、板ガラス(2)がある程度センタリングされて負圧
吸引口(14)に吸着保持される。そして、負圧吸引口
(14)の開口面は平坦面としであるから、板ガラス(
2)はその端面を密着して垂直状態で安定した吸着支持
状態が確保される。また、第5図および第“6図に示す
装置では、上記第4図の作用に加えて、板ガラス(2)
゛の外径寸法よりも負圧吸引口(14a)(14b)(
14c)の開口寸法が大きいため、吸着後も、格子状ス
トッパ(15a)(15b ) (15c )の下面
に吸着保持された坂ガラス(2)の表面、裏面、および
端面に沿って負圧吸引による層流状のエアが流れ、これ
によって板ガラス(2)のセンタリングが行われ、かつ
、板゛ガラスの表面の除塵が促進される。更に、第7図
に示す装置の如く、内側の負圧吸引口(14b )
(14c )の幅寸法を板ガラス(2)の幅寸法よりも
狭(し、外側の負圧吸引口(14a)(14d)の幅寸
法のみ仮ガラス(2)の幅寸法より大き(することによ
っても板ガラス(2)のセンタリングを行い得る。また
、第6図または第7図に示す格子状ストッパー(15a
)(15b)に代わる坂ガラス(2)の位置決めガイド
部材として、第6図に二点鎖線で表示するように前記負
圧吸引口’(14a)(14b)(14c)(14d)
の周縁に板ガラス(2)の外周面を囲繞するフ−)’
(16)を投げることも可能である。
ガラス(2)の両面に吸引空気流が発生し、これによっ
て、板ガラス(2)がある程度センタリングされて負圧
吸引口(14)に吸着保持される。そして、負圧吸引口
(14)の開口面は平坦面としであるから、板ガラス(
2)はその端面を密着して垂直状態で安定した吸着支持
状態が確保される。また、第5図および第“6図に示す
装置では、上記第4図の作用に加えて、板ガラス(2)
゛の外径寸法よりも負圧吸引口(14a)(14b)(
14c)の開口寸法が大きいため、吸着後も、格子状ス
トッパ(15a)(15b ) (15c )の下面
に吸着保持された坂ガラス(2)の表面、裏面、および
端面に沿って負圧吸引による層流状のエアが流れ、これ
によって板ガラス(2)のセンタリングが行われ、かつ
、板゛ガラスの表面の除塵が促進される。更に、第7図
に示す装置の如く、内側の負圧吸引口(14b )
(14c )の幅寸法を板ガラス(2)の幅寸法よりも
狭(し、外側の負圧吸引口(14a)(14d)の幅寸
法のみ仮ガラス(2)の幅寸法より大き(することによ
っても板ガラス(2)のセンタリングを行い得る。また
、第6図または第7図に示す格子状ストッパー(15a
)(15b)に代わる坂ガラス(2)の位置決めガイド
部材として、第6図に二点鎖線で表示するように前記負
圧吸引口’(14a)(14b)(14c)(14d)
の周縁に板ガラス(2)の外周面を囲繞するフ−)’
(16)を投げることも可能である。
第8図は本発明による板ガラス(2)のハンドリングの
具体例であって、 (イ) 板ガラス(2)を直立状態で支持するバスケッ
ト(16)上に第1のハンドリング装置(20a)を降
下させ、系外の負圧源を駆動する。
具体例であって、 (イ) 板ガラス(2)を直立状態で支持するバスケッ
ト(16)上に第1のハンドリング装置(20a)を降
下させ、系外の負圧源を駆動する。
(ロ) 第1のハンドリング装置(20a)の平坦な下
端面(13)上にハンドリング対象板ガラス(2)の上
端面を吸着させる。
端面(13)上にハンドリング対象板ガラス(2)の上
端面を吸着させる。
(ハ) 第1のハンドリング装!(20a)を上昇させ
る。
る。
(ニ) 第1のハンドリング装E(20a)を第2のハ
ンドリング装置(20b)の上方に移動させる。
ンドリング装置(20b)の上方に移動させる。
(ホ) 第1のハンドリング装!(20a)を下降させ
、これと同時に第2のハンドリング装置(20b)の負
圧源を起動する。
、これと同時に第2のハンドリング装置(20b)の負
圧源を起動する。
(へ) 第1のハンドリング装置(20a)の負圧源を
停止した後、第1のハンドリング装置(20a)を上昇
させる。これにょらてハンドリング対象板ガラス(2)
は、包装工程への移送手段として用意された第2のハン
ドリング装置(20b )の上端面に直立状態で吸着保
持される。
停止した後、第1のハンドリング装置(20a)を上昇
させる。これにょらてハンドリング対象板ガラス(2)
は、包装工程への移送手段として用意された第2のハン
ドリング装置(20b )の上端面に直立状態で吸着保
持される。
なお、希望すれば、第2のハンドリング装置(20b
)の代わりに第9図に示す平行な挟持面を具えた2 l
ll−組のガラス端面挾持チャック(17) (17
)を使用することもできる。これは、第1のハンドリン
グ装置(20a)によって板ガラス(2)がセンタリン
グされてハンドリングされるために、チャック(17)
(17)によるチャック時に発塵を防止できるため
である。
)の代わりに第9図に示す平行な挟持面を具えた2 l
ll−組のガラス端面挾持チャック(17) (17
)を使用することもできる。これは、第1のハンドリン
グ装置(20a)によって板ガラス(2)がセンタリン
グされてハンドリングされるために、チャック(17)
(17)によるチャック時に発塵を防止できるため
である。
本発明に使用するハンドリング装置(20)は、板ガラ
ス(2)の上端面または下端面を吸着保持する負圧吸引
口(14)の平坦面(13)の平坦度を維持させるため
、少な(ともその下端面をマルテンサイト系ステンレス
講等の耐蝕性及び耐摩耗性を備えた金属材料から形成す
ることが望ましい。
ス(2)の上端面または下端面を吸着保持する負圧吸引
口(14)の平坦面(13)の平坦度を維持させるため
、少な(ともその下端面をマルテンサイト系ステンレス
講等の耐蝕性及び耐摩耗性を備えた金属材料から形成す
ることが望ましい。
(発明の効果〕
本発明の請求項1及び2に記載のハンドリング方法によ
れば、板ガラスの上端面または下端面が負圧吸引口上に
直立状態で吸着支持されるから、板ガラスの表面と裏面
には支持部材が全く接触しない、従って、発塵事故や異
物の付着による汚染事故が確実に防止される。
れば、板ガラスの上端面または下端面が負圧吸引口上に
直立状態で吸着支持されるから、板ガラスの表面と裏面
には支持部材が全く接触しない、従って、発塵事故や異
物の付着による汚染事故が確実に防止される。
また、請求項3の方法によれば、吸着後も、濁流状吸引
エアの流動によって正しくセンタリングされ安定した吸
着保持姿勢が確保される。
エアの流動によって正しくセンタリングされ安定した吸
着保持姿勢が確保される。
しかも、層流状の吸引エアによって塵埃等の異物を除去
し、板ガラスの清浄度が一層向上する、さらに、請求項
4の方法によれば、吸引及びセンタリング作用を一層向
上させることができ、従って、請求項3の方法における
吸引空気量を少なくしても同等の効果があり、省エネ化
が図れる利点がある。また、本発明の請求項1〜4の方
法においては、吸引保持中、板ガラスの表面に直交する
方向に投射された光線が遮られることがないので、板ガ
ラスの表面の検査を容易化することが可能となる。
し、板ガラスの清浄度が一層向上する、さらに、請求項
4の方法によれば、吸引及びセンタリング作用を一層向
上させることができ、従って、請求項3の方法における
吸引空気量を少なくしても同等の効果があり、省エネ化
が図れる利点がある。また、本発明の請求項1〜4の方
法においては、吸引保持中、板ガラスの表面に直交する
方向に投射された光線が遮られることがないので、板ガ
ラスの表面の検査を容易化することが可能となる。
第1図は本発明方法の実施に好適な板ガラスハンドリン
グ装置の一具体例を示す側面図、第2図はその正面図、
第3図は第2図の線■−■に沿う負圧吸引口の底面図で
ある。第4図乃至第7vi!Jは負圧吸引口の形状を説
明するハンドリング装置本体の底面図と縦断面図であり
、第8図は本発明方法の説明図である。第9図はハンド
リング装置の変形例を示す斜視図、第1θ図乃至第12
図は従来装置の説明図である。 (2)・−・ハンドリング対象板ガラス、(13)・−
平坦面、 (14) −負圧吸引口、(15)・・
−・格子状ストッパ、 (20)・・−・板ガラスハンドリング装置。 代 理 人 江 原 省 吾箸I
7 @2間 Mも ス 一戸 l 第1θ図 劣12図 神−
グ装置の一具体例を示す側面図、第2図はその正面図、
第3図は第2図の線■−■に沿う負圧吸引口の底面図で
ある。第4図乃至第7vi!Jは負圧吸引口の形状を説
明するハンドリング装置本体の底面図と縦断面図であり
、第8図は本発明方法の説明図である。第9図はハンド
リング装置の変形例を示す斜視図、第1θ図乃至第12
図は従来装置の説明図である。 (2)・−・ハンドリング対象板ガラス、(13)・−
平坦面、 (14) −負圧吸引口、(15)・・
−・格子状ストッパ、 (20)・・−・板ガラスハンドリング装置。 代 理 人 江 原 省 吾箸I
7 @2間 Mも ス 一戸 l 第1θ図 劣12図 神−
Claims (4)
- (1)平坦面に開口を具えた負圧吸引口を有する真空パ
ッドで板ガラスの端面を吸着保持してハンドリングする
ことを特徴とする板ガラスのハンドリング方法。 - (2)板ガラスの端面寸法よりも小さな開口寸法を具え
た真空パッドで板ガラスの端面を吸着保持してハンドリ
ングすることを特徴とする請求項1に記載の板ガラスの
ハンドリング方法。 - (3)板ガラスの端面寸法よりも大きな開口寸法を具え
、該開口の一部に平坦面と面一な格子状のストッパを形
成した真空パッドで板ガラスの端面を吸着保持してハン
ドリングすることを特徴とする請求項1に記載の板ガラ
スのハンドリング方法。 - (4)負圧吸引口の周囲にフードを設け、又は格子状ス
トッパを負圧吸引口の開口面から凹入形成してなる真空
パッドで板ガラスの端面を吸着保持してハンドリングす
ることを特徴とする請求項3に記載の板ガラスのハンド
リング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24015088A JPH0288440A (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 | 板ガラスのハンドリング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24015088A JPH0288440A (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 | 板ガラスのハンドリング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0288440A true JPH0288440A (ja) | 1990-03-28 |
JPH0541569B2 JPH0541569B2 (ja) | 1993-06-23 |
Family
ID=17055238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24015088A Granted JPH0288440A (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 | 板ガラスのハンドリング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0288440A (ja) |
-
1988
- 1988-09-26 JP JP24015088A patent/JPH0288440A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0541569B2 (ja) | 1993-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2070257C (en) | Optical pellicle holder | |
JP2010040804A (ja) | 試料搬送機構 | |
CN106168735B (zh) | 防尘薄膜组件以及其安装方法 | |
JP5928698B2 (ja) | 枠体搬送装置および枠体搬送装置を用いた吸着方法と吸着解除方法 | |
US9349626B2 (en) | Buffer units, substrate processing apparatuses, and substrate processing methods | |
JP2011126546A (ja) | ガラス基板搬送用ケースおよびガラス基板搬送用台車 | |
JP2020057750A (ja) | 部品実装システム、部品供給装置および部品実装方法 | |
JP2016167531A (ja) | 基板搬送用ハンド | |
JP3242693B2 (ja) | ペリクル貼り付け装置 | |
US20100078865A1 (en) | Sheet clamping apparatus | |
JP2005148741A (ja) | レチクルの運動学的位置合わせのための方法及び装置 | |
JPH0288440A (ja) | 板ガラスのハンドリング方法 | |
KR19980056436A (ko) | 웨이퍼 지지 및 이송 기구 | |
JPS63312035A (ja) | 薄板保持装置 | |
JP2595993B2 (ja) | 露光用原板作成装置及び方法 | |
JPS63305359A (ja) | 半導体用ペリクル膜保管ケ−ス | |
JP4478558B2 (ja) | 大型ペリクルの搬送方法、搬送用治具及びペリクルケース | |
JPS61245163A (ja) | マスク保護装置 | |
JPS62252147A (ja) | 半導体ウエハ移し替え装置 | |
TW201429569A (zh) | 接合裝置及接合方法 | |
KR102502909B1 (ko) | 정전척에 사용되는 탈착 기기, 자동 탈착 시스템 및 그 탈착 방법 | |
JPH09138498A (ja) | ペリクル収納容器 | |
JP2003023060A (ja) | 吊り下げ型基板保持装置および液晶パネル製造装置 | |
JPH1092306A (ja) | プラズマ表示パネルの製造装置およびその方法 | |
JPH04289862A (ja) | レチクルとその支持方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |