JPH0279035U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0279035U JPH0279035U JP15820388U JP15820388U JPH0279035U JP H0279035 U JPH0279035 U JP H0279035U JP 15820388 U JP15820388 U JP 15820388U JP 15820388 U JP15820388 U JP 15820388U JP H0279035 U JPH0279035 U JP H0279035U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer cassette
- cassette
- light emitting
- sensor support
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Description
第1図、第2図は本考案の第1の実施例に係る
ウエーハ検出装置とカセツト装入装置との関係を
示す説明図、第3図は該実施例のウエーハ検出状
態を示す説明図、第4図はトランスフア装置、昇
降装置の制御装置のブロツク図、第5図は他の実
施例の説明図である。 6はカセツト、7はウエーハ、12はセンサ支
持体、15a,15bは発光素子、16a,16
bは受光素子を示す。
ウエーハ検出装置とカセツト装入装置との関係を
示す説明図、第3図は該実施例のウエーハ検出状
態を示す説明図、第4図はトランスフア装置、昇
降装置の制御装置のブロツク図、第5図は他の実
施例の説明図である。 6はカセツト、7はウエーハ、12はセンサ支
持体、15a,15bは発光素子、16a,16
bは受光素子を示す。
Claims (1)
- ウエーハ用カセツトを挾み配設したセンサ支持
体の腕部に発光素子、受光素子を対峙させ少なく
とも1組設け、両素子の光軸をウエーハ用カセツ
トのウエーハ挿入位置に合致せしめたことを特徴
とするウエーハ検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15820388U JPH0279035U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15820388U JPH0279035U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0279035U true JPH0279035U (ja) | 1990-06-18 |
Family
ID=31438319
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15820388U Pending JPH0279035U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0279035U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016149501A (ja) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検出装置、基板検出方法及び基板処理システム |
-
1988
- 1988-12-05 JP JP15820388U patent/JPH0279035U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016149501A (ja) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検出装置、基板検出方法及び基板処理システム |