JPH0278246A - 薄板処理用バスケット - Google Patents

薄板処理用バスケット

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JPH0278246A
JPH0278246A JP63228450A JP22845088A JPH0278246A JP H0278246 A JPH0278246 A JP H0278246A JP 63228450 A JP63228450 A JP 63228450A JP 22845088 A JP22845088 A JP 22845088A JP H0278246 A JPH0278246 A JP H0278246A
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rod
thin plate
basket
protrusions
shaped
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JP63228450A
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Inventor
Takemi Kakizaki
柿崎　武美
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Miraial Co Ltd
Original Assignee
Kakizaki Seisakusho Co Ltd
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67326—Horizontal carrier comprising wall type elements whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising sidewalls
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D25/00—Details of other kinds or types of rigid or semi-rigid containers
    • B65D25/02—Internal fittings
    • B65D25/10—Devices to locate articles in containers
    • B65D25/107—Grooves, ribs, or the like, situated on opposed walls and between which the articles are located
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • G11B23/50—Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges
    • G11B23/505—Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges of disk carriers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
    • G11B33/02—Cabinets; Cases; Stands; Disposition of apparatus therein or thereon
    • G11B33/04—Cabinets; Cases; Stands; Disposition of apparatus therein or thereon modified to store record carriers
    • G11B33/0405—Cabinets; Cases; Stands; Disposition of apparatus therein or thereon modified to store record carriers for storing discs
    • G11B33/0433—Multiple disc containers
    • G11B33/0444—Multiple disc containers for discs without cartridge

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体ウェハ、ガラス製マスク、レティクル
、コンパクトディスク等に使用する薄板を多数並列状に
収納し、この収納された薄板に対して洗浄やエツチング
および乾燥等の処理を行う薄板処理用バスケットに関す
るものである。
（従来の技術） 従来のこの種バスケットとしては各種の構造が提案され
ているが、その代表的な構造を第７図乃至第９図で説明
する。バスケット１は、耐熱性や耐薬品性等に優れたプ
ラスチック、例えば弗素樹脂材で一体成形されている。
該バスケット１は、平行状に対向する各側壁２．３と、
各側壁２．３の両側端部間を各々連結する端壁４，５と
で囲まれた方形状をしている。前記側壁２．３の下側に
は、並列状に収容された多数の各薄板６が脱落しないよ
うに内側へ屈曲して縮径状態にした台部７゜８が各々形
成され、該台部７，８の傾斜面に薄板６の円弧面が係止
して支持される。
また側壁２．３と台部７．８の内面には、多数の薄板６
を所定間隔で並列状に整合させて隔置するための間隔保
持部材として連続する多数の隔壁１１、．１２が並列状
に内側へ突設され、該隔壁１１．１２の間には薄板６を
収容する挿入溝９．１０が形成される。
更に側壁２，３及び台部７，８には、長手方向に沿った
方形状の窓穴１３．１４，１５．１６が各々穿設され、
該窓穴１３，１４，１５．１６によって壁面が切り欠か
れて前記挿入溝９，１ｏの一部には各々スリット１７，
１８，１９．２０が形成される。これらの各スリット１
７，１８，１９．２０は、前記側壁２．３及び台部７．
８の内外を連通させて収容した薄板６に対する処理液や
空気の流動を良好にするための連通孔として機能する。
尚、符号２１は小径突起、符号２２は小径孔であり、薄
板が収容された一方のバスケットがら空の他方のバスケ
ットへ薄板を移し替えする際に使用され、二個のバスケ
ットを突き合わせすると小径突起２１と小径孔２２が相
互に嵌合して位置決めされる。符号２３．２４は、薄板
が収容されたバスケットを処理液に浸漬したり引き上げ
る際に、掴持用工具が係合される掴持用切欠き部である
。
また符号２５．２６はコンベア等でバスケットを次工程
に搬送する際に、当該コンベアの送り機構が係合する係
合用切欠き部である。
（発明が解決しようとする課題） 前記バスケット１に収容された多数の薄板６は、スプレ
ィ法や浸漬法による処理液中に浸されてエツチングや洗
浄処理が行われたり、遠心乾燥機中で乾燥処理が行われ
るが、その際に処理液や乾燥空気が薄板６の表面全体に
均一に接触すると共に、通過する流速が均一であること
が望ましい。
しかしながら、前記した従来の技術のように薄板６を整
合させるために、側壁２．３から台部７゜８に亘って連
続する隔壁１１．１２によって形成された挿入溝９，１
０内に収容する間隔保持構造では、次のような問題点が
あった。すなわち、前記隔壁１１．１２は、処理液や空
気の流動を妨げて澱み現象や気泡が発生しやすいと共に
、薄板６と広い面で接触して処理後の液切れを悪くして
均一な処理が得られず且つ乾燥ムラを生じてミスト状の
微粒子が薄板６に付着し易い構造である。
そこで本発明は、前記した従来技術の課題を解決して均
一で良好な処理を可能にした薄板処理用バスケットの提
供を目的とするものである。
（課題を解決するための手段） 本発明の第１の要旨は、薄板処理用バスケットの各側壁
の内面には間隔保持部材として内向き対向状に多数の棒
状突起が突設され、これらの棒状突起は薄板の挿入方向
に沿って間隔をおいて複数個が配列されて棒状突起群を
形成し、当該棒状突起群は薄板の隔置される間隔毎に一
定のピッチで並設され、隣接する各棒状突起群の間に薄
板が挿入されるようにしたことである。これにより、従
来の連続した隔壁による間隔保持部材に比べて処理液や
空気の流通が良好になって、収納した薄板に対するエツ
チングや遠心乾燥等の処理を良好に行うことができる。
本発明の第２の要旨は、前記間隔保持部材である棒状突
起を先端側が次第に縮径されるように形成したことであ
る。これにより、収納した薄板に対する接触面が少なく
なって処理液や空気の流通が更に良好になる。
本発明の第３の要旨は、前記棒状突起の断面形状を円形
又は縦長の楕円形としたことである。これにより、収納
した薄板に対する接触面が少なくなって処理液や空気の
流通が更に良好になる。
本発明の第４の要旨は、前記棒状突起群は基部側の径が
一定の各棒状突起によって構成され、前記薄板の挿入側
入口に位置する棒状突起の高さが最も高く形成されると
共に、底部側に移行するに従って順次高さを減するよう
に形成したことである。これにより、薄板の挿入や位置
決めの精度を高めると共に、収納した薄板に対する接触
面が少なくなり処理液や空気の流通が更に良好になる。
本発明の第５の要旨は、前記棒状突起群は高さが一定の
各棒状突起によって構成され、前記薄板の挿入側入口に
位置する棒状突起の基部側の径が最も小さく形成される
と共に、底部側に移行するに従って順次基部側の径を大
きく形成したことである。これにより、薄板の挿入や位
置決めの精度を高めると共に、収納した薄板に対する接
触面が少なくなり処理液や空気の流通が更に良好になる
。
本発明の第６の要旨は、前記棒状突起群は高さと径が異
なる各棒状突起によって構成され、前記薄板の挿入側入
口に位置する棒状突起は基部側の径が最も小さく且つ高
さが最も高く形成されると共に、底部側に移行するに従
って順次基部側の径を大きくし且つ高さを減するように
形成したことである。これにより、薄板の挿入や位置決
めの精度を高めると共に、収納した薄板に対する接触面
が少なくなり処理液や空気の流通が更に良好になる。
本発明の第７の要旨は、隣接する棒状突起群の各棒状突
起は、交互にずらせた位置に配設したことである。これ
により、少ない棒状突起の数で収納した薄板に対する保
持を行うことができると共に、接触面が少なくなり処理
液や空気の流通が更に良好になる。
本発明の第８の要旨は、前記薄板の挿入側入口には、棒
状突起又は隔壁を並設して形成された案内空間が設けら
れ、前記棒状突起群が形成する各薄板の挿入空間へ案内
させるようにしたことである。これにより、薄板の挿入
や位置決めの精度を高めることができる。
（実施例） 以下に本発明を第１図乃至第６図で図示の実施例に基づ
いて説明する。バスケット３１は、従来例と同様に耐熱
性や耐薬品性等に優れたプラスチック、例えば弗素樹脂
材で一体成形され、平行状に対向する各側壁３２．３３
の両側端部間を各端壁３４，３５で各々連結した方形状
をしている。
側壁３２．３３の下側には、処理液や空気の流動を良く
するための連通孔としてバスケット３１の長手方向に沿
って方形状の窓孔３６，３７が各々穿設されており、更
にその下側には収容される薄板３８が脱落しないように
内側へ屈曲して縮径状態にした台部３９，４０が各々形
成されている。
また前記各側壁３２．３３には、処理液や空気の流動を
良くするための連通孔として縦長形状をした多数の並列
するスリット４１．４２が、バスケット３１の長手方向
に沿って所定間隔で穿設されていると共に、各スリット
４１．４２間の側壁面には薄板３８を並列に一定のピッ
チで整合させて隔置するための間隔保持部材として、多
数の棒状突起４３．４４が内向き対向状に突設されてい
る。
前記棒状突起４３．４４は、薄板３８の挿入方向に沿っ
て複数個が間隔をおいて配列されて一組の棒状突起群を
構成し、該棒状突起群はバスケット３１の長手方向に一
定のピッチで隣接する他の棒状突起群と協動して薄板３
８の挿入空間４５゜４６が形成される。
前記の棒状突起４３．４４は各種の形状と配列を採り得
るものである。例えば、基端部と先端部の径を一定にし
た断面方形状でも良いが、薄板３８との接触面積を少な
くして処理液や空気の流動を良くするするためには断面
を円形又は楕円形にした円柱状の方が望ましく、更には
本実施例で図示したように先端側が次第に縮径した円錐
形状の方がより望ましい。
また前記棒状突起群を、基部側の径が一定で且つ高さを
等しくした同形の各棒状突起によって構成しても良いが
、更に処理液や空気の流動を良くし且つ薄板の挿入や位
置決めの精度を向上するために、前記棒状突起群を構成
する各棒状突起の形状と配列を任意に設定することがで
きる。例えば第５図のように、前記薄板の挿入側入口に
位置する棒状突起４３ａ、４４ａの高さを最も高く形成
して底部側に移行するに従って各棒状突起４３ｂ。
４３ｃ、４３ｄ及び各棒状突起４４ｂ、４４ｃ。
４４ｄの高さを順次低くするよう形成しても良い。
他の例としては第６図のように、前記薄板の挿入側入口
に位置する棒状突起４３ａ、４４ａは基部側の径Ｓ１が
最も小さく且つ高さＨｌが最も高く形成すると共に、底
部側に移行するに従って各棒状突起４３ｂ、４３ｃ、４
３ｄ及び各棒状突起４４ｂ、４４ｃ、４４ｄの各々の基
部側の径Ｓ２゜Ｓ３．Ｓ４を順次大きくし且つ高さＨ２
、Ｈ３。
Ｈ４を順次低くするように形成しても良い。この場合の
ように高さＨと径Ｓが異なる各棒状突起によって構成す
ると、薄板の挿入側入口では一定のピッチＰの間隔を有
する隣接した各棒状突起の基部側の間隔Ｗ　は広く且つ
開口角度Ａ１は緩やかでしかも高さＨｌが高いので薄板
３８の挿入が容易であり、底部側では間隔Ｗは狭くなり
且つ開口角度Ａは急になってしかも高さＨが低くなって
いるで収納された薄板３８は安定保持され且つ接触面積
が少なくて処理液や空気の流動性が一段と改善され極め
て効果的である。
尚、図示を省略するが前記薄板の挿入側入口に位置する
棒状突起の基部側の径を最も小さく形成して底部側に移
行するに従って順次基部側の径を大きく形成するように
した高さが一定の各棒状突起で構成することもできる。
更に、隣接する各棒状突起群の棒状突起４３又は棒状突
起４４は、同じ配列にして挿入された薄板３８の表裏か
ら同じ位置を挟持するようにしても良いが、処理液の流
動や液切れあるいは乾燥空気の流通をより良好にするた
めには交互にずらせた位置に配設するのが望ましい。こ
のように隣接する各棒状突起群を交互にずらせた位置に
配設すると、棒状突起群を構成する棒状突起の数を半分
に減らしても薄板３８の挿入性や挿入後の整合性は低下
しない。また、薄板３８の挿入性と挿入後の整合性を良
好にするためには、側壁３２側の棒状突起群に対する側
壁３３側の棒状突起群の配列も第４図のように交互にず
らせた位置で対向するように配設するようにしても良い
。
前記薄板３８が挿入される入口側の各側壁３２゜３３に
は、前記棒状突起４３．４４と同様の棒状突起４７．４
８を並設して案内空間４９．５０が各々形成され、この
案内空間４９．５０を介して挿入された各薄板３８を前
記棒状突起群が形成する各挿入空間４５．４６へ案内さ
せるようにしている。尚、前記棒状突起４７．４８の代
わりに短かい隔壁を並設して各案内空間を形成するよう
にしても良いし、前記のように交互にずらせて配設した
棒状突起４３．４４による棒状突起群を、薄板３８が挿
入される各側壁３２．３３の入口側まで延長させて配列
する態様もある。
前記のように各挿入空間４５．４６に挿入された各薄板
３８は、前記台部３９．４０の傾斜面に円弧面が係止状
態で載置されるが、該台部３９゜４０には傾斜面から三
角状の係止突片５１，５２が突設されている。この係止
突片５１，５２は、前記棒状突起４３．４４と同じ間隔
でバスケット３１の長手方向に沿って並設され、隣接す
る係止突片間には各薄板３８を挿入する挿入溝５３，５
４が形成される。尚、前記の係止突片５１．５２に代え
て前記棒状突起４３．４４と同様の棒状突起を台部３９
，４０の傾斜面から並列状に突設させて各薄板３８、を
挿入する挿入空間を形成する態様もある。
更に、前記バスケット３１には必要に応じて前記した従
来例の場合と同様に、薄板移し替え時の位置決め用の小
径突起５５と小径孔５６、掴持用工具が係合される掴持
用切欠き部５７，５８、コンベアの送り機構が係合する
係合用切欠き部５９゜６０が設けられる。
以上の構成によるバスケット３１には、多数の薄板３８
が前記案内空間４９．５０を介して挿入空間４５．４６
及び挿入溝５３．５４に挿入されて整合状態で収容され
、その際に前記各棒状突起４３．４４による間隔保持部
材が当該各薄板３８の安定保持を行い且つ均一な洗浄や
エツチングあるいは遠心乾燥等の処理を行うのに寄与す
る。
（発明の効果） 前記した実施例でも明らかなとおり、本発明では側壁面
に間隔をおいて配置された棒状突起群の間に薄板が挿入
されるので、連続する隔壁間に形成された講に挿入され
る従来の構造に比べて、処理液の澱み現象や気泡の発生
が少なくなって処理液の流動を良好にすると共に、当該
棒状突起は薄板と点接触に近い状態で接触するので処理
後の液切れも良く、均一な処理が得られる構造である。
また間隔保持部材に前記棒状突起を用いたことによって
、収納した薄板のエツチングや洗浄及び乾燥に最も適し
た形状や配列に構成することが可能である。
更に、前記薄板の挿入側入口に、棒状突起又は隔壁を並
設して形成された案内空間又は案内溝を設けて各薄板を
前記棒状突起群で形成される挿入空間へ案内させること
によって、薄板の挿入を容易にし且つ整合性を良くする
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例による薄板処理用バスケットの
全体斜視図、第２図は同バスケットの一部を省略して示
す第１図の■−■線に沿った縦断面図、第３図は同バス
ケットの第１図のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った縦断面図、
第４図は同バスケットの部分横断面図、第５図は他の実
施例によるバスケットの縦断面図、第６図は同バスケッ
トの棒状突起を更に改善した第５図の部分断面図、第７
図は従来例による薄板処理用バスケットの全体斜視図、
第８図は同バスケットの一部を省略して示す第７図の■
−■線に沿った縦断面図、第９図は同バスケットの第７
図のＩＸ　−ＩＸ線に沿った縦断面図、第１０図は同パ
スゲットの部分横断面図である。 ［符号の説明］ ３１・・・バスケット　　　３２．３３・・・側壁３４
．３５・・・端壁　　　３６，３７・・・窓孔３８・・
・薄板　　　　　−３９，４０・・・台部４１．４２・
・・スリット ４３．４４，４７．４８・・・棒状突起４５．４６・・
・挿入空間　４９．５０・・・案内空間、５１．５２・
・・係止突片　５３，５４・・・挿入溝ｃ″ｊ　　　町 ！卜 区 の 派

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）多数の薄板を収容する上下に開口した方形状の容
    器で、該容器の平行する各側壁には各薄板の両側端部に
    係合して当該薄板を並列状に整合させて隔置する間隔保
    持部材と、薄板に対する処理液や空気の流動を良好にす
    るための連通孔が設けられると共に、前記各側壁の下側
    には薄板が係止される台部が内向き対向状に突設された
    薄板処理用バスケットにおいて、 前記各側壁の内面には間隔保持部材として内向き対向状
    に多数の棒状突起が突設され、これらの棒状突起は薄板
    の挿入方向に沿つて間隔をおいて複数個が配列されて棒
    状突起群を形成し、当該棒状突起群は薄板の隔置される
    間隔毎に一定のピッチで並設され、隣接する各棒状突起
    群の間に薄板が挿入されるようにしたことを特徴とする
    薄板処理用バスケット。
  2. （２）前記棒状突起は、先端側が次第に縮径されるよう
    に形成した請求項（１）記載の薄板処理用バスケット。
  3. （３）前記棒状突起は断面形状が円形又は縦長の楕円形
    である請求項（１）又は（２）記載の薄板処理用バスケ
    ット。
  4. （４）前記棒状突起群は基部側の径が一定の各棒状突起
    によって構成され、前記薄板の挿入側入口に位置する棒
    状突起の高さが最も高く形成されると共に、底部側に移
    行するに従って順次高さを減するように形成した請求項
    （１）乃至（３）のいずれかに記載の薄板処理用バスケ
    ット。
  5. （５）前記棒状突起群は高さが一定の各棒状突起によっ
    て構成され、前記薄板の挿入側入口に位置する棒状突起
    の基部側の径が最も小さく形成されると共に、底部側に
    移行するに従って順次基部側の径を大きく形成した請求
    項（１）乃至（３）のいずれかに記載の薄板処理用バス
    ケット。
  6. （６）前記棒状突起群は高さと径が異なる各棒状突起に
    よって構成され、前記薄板の挿入側入口に位置する棒状
    突起は基部側の径が最も小さく且つ高さが最も高く形成
    されると共に、底部側に移行するに従って順次基部側の
    径を大きくし且つ高さを低くするように形成した請求項
    （１）乃至（３）のいずれかに記載の薄板処理用バスケ
    ット。
  7. （７）隣接する棒状突起群の各棒状突起は、交互にずら
    せた位置に配設した請求項（１）乃至（６）のいずれか
    に記載の薄板処理用バスケット。
  8. （８）前記薄板の挿入側入口には、棒状突起又は隔壁を
    並設して形成された案内空間が設けられ、前記棒状突起
    群が形成する各薄板の挿入空間へ案内させるようにした
    請求項（１）乃至（７）のいずれかに記載の薄板処理用
    バスケット。
JP63228450A 1988-09-14 1988-09-14 薄板処理用バスケット Pending JPH0278246A (ja)

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DE3930056A DE3930056C2 (de) 1988-09-14 1989-09-08 Behandlungskorb zur Aufnahme dünner Platten, insbesondere von Halbleiterwafern
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