JPH0277007A - 顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、顕微鏡、特に、反射光によって試料面が観
察される顕微鏡、例えば、金属顕微鏡に関するものであ
る。

［従来の技術］ 従来の金属顕微鏡の照明装置の一例を、その光路によっ
て示すと、第２図のとおりである。

図において、符号（１）は顕微鏡観察する試料、（２）
は光源、　（３）はコレクタレンズ、（４）はハーフミ
ラ−１（５）は対物レンズであり、（６）は接眼レンズ
である。

このように構成される従来の顕微鏡にあっては、視野の
照度を明るくするため、光源（１）からの投光をハーフ
ミラ−（４）によって方向変換して、観察する試料（１
１）に対して、同軸から対物レンズ（５）を透して集光
して光を当て、試料（１）からの反射光をハーフミラ−
（４）を透光させた後、方向変換させて接眼レンズ（６
）に取り入れる構造になっている。

このように構成されている従来の照明装置を用いて試料
（１）を観察し、撮影する場、試料（１）の表面が平滑
に形成されている場合には、その表面が正しく観察され
る。

［発明が解決しようとする課題］ 金属顕微鏡は一般的に高倍率であり、中心の解像力が良
く、従って、平滑な金属表面等を観察するのには優れて
いるが、例えば、球面又は凹凸面のような立体的な表面
をａする試料を観察する場合には、凹凸面や球面が、不
鮮明となり、正確に面を観察することは困難であり、例
えば、液体中の異物、降下する塵埃あるいは微細な金属
片等の観察は困難である。このような表面か球面あるい
は凹凸を有する微細物に対しても、反射光による顕微鏡
によって明瞭に観察したいという課題を有していた。

この発明は、かかる課題を解決するためになされたもの
で、反射光により観察する顕微鏡によって、裏面凹凸を
有する試料を明瞭に観察することの可能な顕微鏡を得る
ことを目的とする。

［課題を解決するための手段］ この発明に係る顕微鏡は、同軸からの照明装置と共に、
試料面に対して斜方向から照射光を照射する斜光照明装
置を設けているものである。

［作　用］ この発明の顕微鏡においては、表面平滑な試料面に対し
ては、同軸からの照明装置により観察し、また、試料が
球面又は凹凸面を有するものに対しては、斜光照明装置
により、試料に対して斜方向から照明し、光を乱反射さ
せて球面や凹凸面を有する試料を立体的に観察する。

［実施例１ 以下、この発明をその一実施例を示す第１図に基づいて
説明する。

図において、符号（１）〜（６）で示すものは、従来の
顕微鏡ｊこおいて同一符号で示したものと同等のもので
ある。

次に、符号（１１）は斜光照明装置であって、この斜光
照明装置（１１）によると、その先軸（１２）は試料面
（１）対して斜方向から照射される。従って、乱反射さ
れた反射光は、対物レンズ（５）を通って、従来装置と
同様に接眼レンズ（６）に至り、観察される。

なそ、この斜光照明装置（１１）はその照射角度すなわ
ち試料面（１）と光軸（１２）とのなす角度を任意に調
整し得るようにすることもできる。

この発明の顕微鏡は、上記のように構成されているので
、例えば、球面や凹凸面を有する試料であっても、通常
の反射光による顕微鏡と同等に立体的な観察ができる。

［発明の効果］ 以上のようにこの発明によれば、試料面に対して斜方向
から照射光を照射する斜光照明装置を設けているので、
球面や凹凸面を有する試料面に対しても、反射光による
顕微鏡例えば金属顕微鏡を用い、凹凸等による乱反射光
を利用して、立体的な観察ができ、しかも、装置自体も
簡単な構成でよく、更に、従来の金属顕微鏡をそのまま
利用し得る顕微鏡か得られる効果を有している。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の光経路構成図、第２図は
従来の金属顕微鏡の光経路構成図である。 （１）・・・試料（試料面）　、（４）・・・ハーフミ
ラ−１（５）・・・対物レンズ、（６）・・・接眼レン
ズ、（ＩＩ）・・・斜光照明装置、（１２）・・・光軸
。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 手続補正書 平成　１年１２月１３日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 同軸から試料面に直角に照明する照明装置と共に、試料
   面に対して斜方向から照射光を照射する斜光照明装置を
   設けていることを特徴とする顕微鏡。