JPH0272961U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0272961U JPH0272961U JP15227988U JP15227988U JPH0272961U JP H0272961 U JPH0272961 U JP H0272961U JP 15227988 U JP15227988 U JP 15227988U JP 15227988 U JP15227988 U JP 15227988U JP H0272961 U JPH0272961 U JP H0272961U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- plasma
- condenser lens
- shielding plate
- vacuum device
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
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- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例装置を真空装置に装着
した状態を示す図、第２図は本考案の作用を説明
するための光の経路図、第３図は従来のプラズマ
計測装置を真空装置に装着した状態を示す図であ
る。 １…真空装置、２…プラズマ光、３…ビユーイ
ングポート、４…受光部、５…光電変換素子、６
…光学フイルタ又はモノクロメータ、７…電源部
、８…高圧電源部、９…増幅回路部、１０…演算
回路部、１１…表示部、１２…反射光、１３…第
１の遮光板、１４…集光レンズ、１５…第２の遮
光板、１５′…光透過孔、Ｘ，Ｘ′，Ｘ″…プラ
ズマ光源の位置、Ｆ，Ｆ′，Ｆ″…収歛位置。
した状態を示す図、第２図は本考案の作用を説明
するための光の経路図、第３図は従来のプラズマ
計測装置を真空装置に装着した状態を示す図であ
る。 １…真空装置、２…プラズマ光、３…ビユーイ
ングポート、４…受光部、５…光電変換素子、６
…光学フイルタ又はモノクロメータ、７…電源部
、８…高圧電源部、９…増幅回路部、１０…演算
回路部、１１…表示部、１２…反射光、１３…第
１の遮光板、１４…集光レンズ、１５…第２の遮
光板、１５′…光透過孔、Ｘ，Ｘ′，Ｘ″…プラ
ズマ光源の位置、Ｆ，Ｆ′，Ｆ″…収歛位置。
Claims (1)
- 真空装置内で発生したプラズマ光を該真空装置
外の光電変換素子で受光しプラズマ状態を知るプ
ラズマ計測装置であつて；集光レンズと；集光レ
ンズの前に配置され、集光レンズの中心を含む所
定範囲への光入射を遮る第１の遮光板と；集光レ
ンズを透過した光を受光し電気信号に変換する光
電変換素子と；光電変換素子の前方に置かれ、集
光レンズの光軸を含む所定面積の光透過孔を有す
る第２の遮光板と；を具備することを特徴とする
プラズマ計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15227988U JPH0272961U (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15227988U JPH0272961U (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0272961U true JPH0272961U (ja) | 1990-06-04 |
Family
ID=31427062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15227988U Pending JPH0272961U (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0272961U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61129555A (ja) * | 1984-11-29 | 1986-06-17 | Tdk Corp | 空間分解能を有するモニタ− |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP15227988U patent/JPH0272961U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61129555A (ja) * | 1984-11-29 | 1986-06-17 | Tdk Corp | 空間分解能を有するモニタ− |