JPH01102808U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01102808U JPH01102808U JP19993787U JP19993787U JPH01102808U JP H01102808 U JPH01102808 U JP H01102808U JP 19993787 U JP19993787 U JP 19993787U JP 19993787 U JP19993787 U JP 19993787U JP H01102808 U JPH01102808 U JP H01102808U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- image
- heat ray
- ray absorption
- absorption filter
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 6
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案に係る光学測定機を投影機とし
た場合の実施例を示す光学系統図、第２図は同実
施例におけるセンサ部分を拡大して示す平面図、
第３図は同実施例におけるエツジ検出系の構成を
示すブロツク図、第４図は本考案の第２実施例に
係る熱線吸収フイルタを示す断面図である。 １０……測定対象物、１１……熱線吸収フイル
タ、１１Ａ……薄膜部、１１Ｂ……貫通孔、１２
……照明系、１４……結像光学系、１６……セン
サ、１６Ａ，１６Ｂ……受光素子、１８……投影
機。
た場合の実施例を示す光学系統図、第２図は同実
施例におけるセンサ部分を拡大して示す平面図、
第３図は同実施例におけるエツジ検出系の構成を
示すブロツク図、第４図は本考案の第２実施例に
係る熱線吸収フイルタを示す断面図である。 １０……測定対象物、１１……熱線吸収フイル
タ、１１Ａ……薄膜部、１１Ｂ……貫通孔、１２
……照明系、１４……結像光学系、１６……セン
サ、１６Ａ，１６Ｂ……受光素子、１８……投影
機。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 熱線吸収フイルタを通して測定対象物を照
明する照明系と、この照明系により照明された前
記測定対象物の像を形成する結像光学系と、この
結像光学系により形成された像の結像面に沿つて
相対的に移動自在に設けられた受光素子を含むセ
ンサと、を有してなり、前記測定対象物の像と前
記センサを相対移動させ、該像の明暗の境界が前
記センサ前面を横切るときエツジ信号を発生させ
ることにより前記境界を検出するようにした光学
測定機において、前記熱線吸収フイルタにおける
、前記センサに対応する部分の、光透過率を他の
部分よりも増大させたことを特徴とする光学測定
機。 (2) 前記熱線吸収フイルタの、前記センサに対
応する部分の膜厚が他の部分よりも薄く形成され
てなる実用新案登録請求の範囲第１項記載の光学
測定機。 (3) 前記熱線吸収フイルタの、前記センサに対
応する部分は貫通孔とされた実用新案登録請求の
範囲第１項記載の光学測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19993787U JPH01102808U (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19993787U JPH01102808U (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01102808U true JPH01102808U (ja) | 1989-07-11 |
Family
ID=31490367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19993787U Pending JPH01102808U (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01102808U (ja) |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP19993787U patent/JPH01102808U/ja active Pending