JPH0271431A - 磁気記録媒体用基板の加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気記録媒体用基板の加工装置に関するもので
あり、特に磁気記録媒体用基板の表面にテクスチャーと
称する微細な溝若しくは凹凸を精度良く加工する装置に
関するものである。

〔従来の技術〕

従来より磁気記録媒体上に情報を記録し、若しくはこの
媒体上に記録した情報を再生出力するために磁気ディス
ク装置が使用されているが、上記の記録、再生を行なう
場合には磁気ヘッドと磁気記録媒体とを例えば０．２〜
０．３μｍの微小間隙に保持するのが通常である。従っ
て磁気ヘッドと磁気記録媒体との接触による摩擦、摩耗
および／または両者の衝突に伴なう１員傷を防止するた
め、浮動へラドスライダを使用する。すなわち磁気へン
ドを装着したスライダが、磁気記録媒体の表面との相対
速度により２両者の間隙に発生する流体力学的浮上刃を
利用して１両者の微小間隙を保持するように構成してい
る。しかしながら磁気記録媒体が静止している場合には
、上記流体力学的浮上刃が存在しないため、スライダは
磁気記録媒体上に接触した状態で係止している。一方ス
ライダおよび磁気記録媒体の表面は極めて高い面精度で
形成されているため、上記静止若しくは係止した状態で
はスライダが磁気記録媒体に吸着してしまうことがある
。このような吸着状態が発生すると。

磁気記録媒体の起動時において、極めて大なる起動トル
クを必要とし、起動不能となるか、若しくは両者の接触
摺動により摺動面を著しく損傷し以後の使用が不能とな
る等の問題点がある。

上記の問題点を解決する手段として、磁気記録媒体の表
面にテクスチャーと称する微細な溝若しくは凹凸を設け
、スライダが磁気記録媒体上に係止した場合においても
平滑面同志が接触することに起因する吸着現象の発生を
防止しているのが通常である。

上記のようなテクスチャーを加工する装置としては、磁
気記録媒体用基板（以下単に「基板」と記述する）を着
脱自在に保持する回転軸を設は例えばゴム等の弾性材料
からなる１対の加圧ロールを前記基板の表面に押圧可能
に保持し　加圧ロールを介して研磨テープを基板表面に
押圧するように構成した加工装置が一般に使用されてい
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来の加工装置においては、基板の表面に単に溝若
しくは凹凸を設けることのみを主眼にした構成であるた
め、加圧ロールに押圧力が均一に作用しないのみならず
、押圧力の調整若しくは制御が困難であり、テクスチャ
ーの加工精度が低いという問題点がある。このため基板
の内外周における表面あらさが異なるのみならず、所定
の表面あらさに制御することができず、磁気記録媒体と
してのＣＳ　Ｓ　（Ｃｏｎｔａｃｔ　５ｔａｒｔ　ａｎ
ｄ　５Ｌｏｐ）特性その他の特性が低いという欠点があ
る。一方近年の磁気記録媒体には記録密度および容量の
増大に対する要求が一段と厳しくなってきており、基板
の加工工程における加工精度を大幅に向上させる必要に
迫られている。また上記テクスチャーに対する要求も次
第に多様化しており、基板全体に−様な表面あらさで設
けるものの他１部分的に表面あらさを変化させたもの、
若しくは基板の一定範囲のみにテクスチャーを設けるも
の等が増加しており、従来の装置によっては所望のテク
スチャー加工が不可能であるという問題点がある。

本発明は上記従来技術に存在する問題点を解決し、基板
の表面に精度良く所望のテクスチャーを加工し得る磁気
記録媒体用基板の加工装置を提供することを目的とする
。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するために９本発明においては、磁気
記録媒体用基板を着脱自在に保持する回転軸を設け１弾
性材料からなる１対の加圧ロールを前記磁気記録媒体用
基板の表面に対して進退自在かつ半径方向移動自在に配
設すると共に、前記加圧ロールの外周に研摩テープを走
行自在に配設してなる磁気記録媒体用基板の加工装置に
おいて。

加圧ロールを圧力検出手段を有する加圧手段により加圧
力可変に支持する。という技術的手段を１采用した。

本発明において加圧ロールを磁気記録媒体用基板の半径
方向移動速度可変および／または位置制御自在に支持す
ると好ましい。

〔作　用〕

上記の構成により、基板の表面に精度良く均一な表面あ
らさのテクスチャーを設は得ることは勿論のこと９部分
的に表面あらさの異なるもの、若しくは基板の一定範囲
にのみテクスチャーを設は得るという作用を期待できる
。

〔実施例］ 第１図は本発明の実施例を示す一部断面平面図。

第２図は第１図におけるＡ矢視一部断面図である。

両図において１は回転軸であり、基ｖｉ２をその自由端
に着脱自在に保持し得るように形成すると共に、軸心を
水平にして回転自在に設ける。次に３はフレームであり
、略コ字形に形成すると共に。

前記基板２の下方において、基板２の表面と平行に移動
自在に配設する。４は移動装置であり、サブフレーム５
上に設けたサーボモータ６と送りねし７とから構成され
、送りねし７は１１；Ｉ記フレーム３下部に設けた送り
ナノ１−８と螺合するように設ける。次に９は加圧装置
であり、前記フレーム３の両端部を構成する側板３ａに
ガイドバー１０を介して基）ｆｆ１２の表面に対して進
退自在に１対を設ける。加圧装置９はガイドバー１０に
摺動自在に介装したブラケット１１と押板１２を主構成
部材として構成され、略Ｔ形に形成したブラケット１１
には、基板２に外周が臨むように加圧ロール１３を軸１
４を介して回転自在に設ける。なお軸１４の軸線は回転
軸１の軸線と同一平面内において直交するように設ける
のが望ましい。次に側板３ａにはエアシリンダ１５を装
着し１エアシリンダ１５と係合するロッド１６の先端が
前記ブラケット１１を貫通するように構成すると共に２
ロンド１６の先端には戻し仮１７を固着する。一方押板
１２には送りナンド１８を固着し、側板３ａに設けたサ
ーボモータ１９と同軸的に連結した送りねじ２０を式台
させる。ブラケット１１と押板１２との間には自由長り
なる圧縮コイルばね２１および圧力センサー２２を介装
させる。なお圧縮コイルばね２１　の自由長しは、第１
１２１に示すように加圧ロール１３と基板２の表面との
間隔を！ブラケット１１と押板１２に設けた圧力センサ
ー２２との間隔をａとした場合にＬ＞（ｆ＋ａ）に形成
することが好ましい。次に２３は研磨テープであり、前
記加圧ロール１３の外周に接触し、かつ長手方向に走行
自在に設ける。なお研磨テープ２３と基板２との間には
、相対移動が存在するように、研磨テープ２３の走行速
度および回転軸１の回転数を選定する。またエアシリン
ダ１５と係合するロッド１６のストロークは、加圧ロー
ル１３の外周と基板２の表面との間隔２よりも大に設定
する。

以上の構成により１次にその作用について記述する。ま
ず基板２を回転軸１にチャンク（図示せず）を介して装
着し、駆動装置（図示せず）を介して回転させ、エアシ
リンダ１５を作動させてロント用６を基板２に向かって
前進させると、ブラケット１１は圧縮コイルばね２１の
反発力により基板２に向かって前進し、第３図に示すよ
うに加圧ロール１３を介して研磨テープ（図示せず）が
基板２の表裏面と接触する。ロッド１６を更に前進させ
ると１ロンド１６の先端に設けた戻し仮１７とブラケッ
ト１１とが離反すると共に、圧縮コイルばね２１の長さ
はａ　ｌ−１−ｂに伸長する。

従って加圧ロール１３にはｇＸ（Ｌ−ｂ）（ｇは圧縮コ
イ１しばね２１のばね定数）に相当する１３口圧力が作
用し、研磨テープ（図示せず）による基板２に対するテ
クスチャー加工を施すことができる。

この場合の加圧力は、圧力センサー２２によって検出可
能であるから、加圧力を増減させる場合にはサーボモー
タ１９を作動させて送りねじ２０を回転させて送りナツ
ト１８を介して押板１２を前進若しくは後退させればよ
い。基板２の全面にテクスチャー加工を施す場合には、
第１図および第２図において、サーボモータ６を駆動ず
れば、送りねじ７および送りナツト８を介してフレーム
３を移動することができるから、加圧ロール１３を第３
図に示す位置から第４図に示す位置まで移動させて行な
い得る。第４図においては、サーボモータ１９により圧
縮コイルばね２１の長さをＣとしくｃ＜ｂ）、加圧ロー
ル１３に対する加圧力を増大させた例を示している。

本実施例においては加圧ロールを基板の略全面に亘って
移動させ、テクスチャー加工を広範囲に行なう例につい
て記述したが、フレームを移動するサーボモータの回転
数制御により、移りｊ範囲および／または移動速度を自
由に設定できるから基板の一定範囲にのみテクスチャー
を設けることおよびテクスチャー加工による表面あらさ
を基板の部位によって変化させることも可能である。ま
たＪＩＩ＋圧ロールの進退用のサーボモータを圧力セン
サーによって制御するように構成することもできると共
に、上記サーボモータと前記フレーム移動用のサーボモ
ータとを所定のコントローラを介して同時制御するよう
に構成することもできる。更に本実施例においては加圧
ロールの加圧手段として圧縮コイルばねによる例を示し
たが、圧力検出手段との関連において他の公知の加圧手
段および圧力検出手段を使用することができる。

〔発明の効果］ 本発明は以上記述のような構成および作用であるから、
基板に設けるべきテクスチャーの加工精度を大幅に向上
させることができ、ＣＳＳ特性の高い磁気記録媒体を得
ることができる。また基板に設けるテクスチャーに対す
る近年の要求に対しても充分対応できると共に、高記録
密度用の基板に対しても、所望の多様化したテクスチャ
ー加工が可能であるという効果がある。

ｌ：回転軸、２：基板、６゜ り１　Ｉ３：加圧ロール、２１ ２２：圧力センサー １９：サーボモー 圧縮コイルばね

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気記録媒体用基板を着脱自在に保持する回転軸
   を設け、弾性材料からなる１対の加圧ロールを前記磁気
   記録媒体用基板の表面に対して進退自在かつ半径方向移
   動自在に配設すると共に、前記加圧ロールの外周に研磨
   テープを走行自在に配設してなる磁気記録媒体用基板の
   加工装置において、加圧ロールを圧力検出手段を有する
   加圧手段により加圧力可変に支持したことを特徴とする
   磁気記録媒体用基板の加工装置。
2. （２）加圧ロールを磁気記録媒体用基板の半径方向移動
   速度可変および／または位置制御自在に支持した請求項
   （１）記載の磁気記録媒体用基板の加工装置。