JPH0270457A - 感熱ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は感熱プリンタに用いられる感熱ヘッドに係り、
特に低価格・高画質に適した感熱ヘッド構造に関する。

〔従来の技術〕

感熱ヘッドは大きく別けて２種類がある。一つは厚膜方
式によるもので、例えば特公昭５４−１９１７８号に記
載ように、信号電極と共通電極が対向している上に酸化
ルテニウム等の抵抗体を一体で塗布して成膜し、電流通
路を考慮してパターンを形成しているものや、特開昭６
２−４２８５７号に記載のように電流通路を単純化して
抵抗体を電極間で切断しているものが挙げられる。

また薄膜方式によるものとしては、例えば特開昭６１−
１６２３６９号に示すようなものがあり、電極や抵抗体
をスパッタで成膜している。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術のうち厚膜方式によるヘッドは、その製造
上工数が少なく低価格にできる特長があるが、抵抗体中
には絶縁物も混入しており、その分布によっては抵抗体
中の抵抗分布を均一にすることは不可能であった。その
ためファックスのような２値画では問題なかったが、中
間調表現を行うプリンタでは濃度むらを生じる欠点があ
った。

上記欠点を補うため特開昭６１−２６６２６６号のよう
にパルス印加により抵抗値補正を行い、高画質化を狙う
ことも提案されているが、混合状態のばらつきにより完
全に一様な濃度分布にすることは困難である。

上記理由により、中間調を表現するプリンタ用ヘッドと
しては殆んど薄膜方式によるヘッドが用いられている。

しかし薄膜ヘッドの製造は、電極をはじめ抵抗体等全て
がスパッタとホトレジスト工程によるため工数が増し高
価になる欠点があり、これによりプリンタ自体の価格も
上昇する問題があった。

本発明の目的は上記厚膜方式によるヘッドの低価格と、
薄膜方式によるヘッドの高画質化を組合せることにある
。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は抵抗体成膜以外は厚膜方式で行い、抵抗体成
膜のみ薄膜方式にすることにより、達成される。

〔作用〕

抵抗体としては例えばＣｒ−Ｓｉ−Ｓｉ○２をスパッタ
により成膜し、その後エツチングを行うため、抵抗体中
の抵抗分布は厚膜ヘッドよりはるかに一様になり、中間
調を表現するプリンタにおいては高画質化が図れる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図により説明
する。

第１図において（ａ）は厚膜ヘッドの抵抗体部を拡大し
た平面、（ｂ）はＡ−Ａ’断面、（Ｃ）はＢ−Ｂ’断面
を示す。（ａ）の１は抵抗体、２１．２２はコモン電極
、３は信号電極、（ｂ）の４は電極の材質と抵抗体１の
材質と拡散しづらく、選択エツチングの可能なもの例え
ばＣｒ等（本発明ではＣｒで説明する）、５は基板、６
は基板の一部に取付けられた部分グレーズを示す。

第１図で示す厚膜方式による構成は、第２図◎に示すよ
うに基板５上に設けられた部分グレーズ６上に、厚膜方
式により例えば金（Ａｕ）の電極２，３を印刷により成
膜する。その上に電極２．３の材質Ａｕと抵抗体１の材
質例えばＣｒ−Ｓｉ−Ｓｉ○２が拡散したり、共晶点が
低くならないように分離するための材質、例えばＣｒ層
４をスパッタにより設けさらにホトレジスト工程で電極
２，３部付近のみ残す。次に抵抗体１をスパッタし、ホ
トレジスト工程で成膜を行い、図示していないが保護の
ための保護層を焼成して製造される。抵抗体１は薄膜の
ため断面的には第１図Ｃのように凹凸になるが、抵抗値
分布が従来の厚膜抵抗値より一様になるため、画質とし
ては向上する。

第２図の工程の部分衣からみても分かるように■の薄膜
ヘッドにおけるＡｕのスパッタとホトレジスト工程がＡ
ｕ印刷工程になるため、工数と時間を省略できる特長が
ある。

また、■の厚膜工程より工数的には増すものの抵抗値補
正がないことから比較すると、時間的には殆んど同じで
あるばかりでなく、抵抗値分布が平坦で高画質化が図れ
る特長がある。

また、従来使用しているＣｒ−Ｓｉの抵抗体１では抵抗
率が２０００〜３０００μΩ、（！Ｉｔ　と低く、第１
図のような交互リード構造では使用不可であったが、Ｃ
ｒ　−Ｓ　ｉ　−Ｓ　ｉ　Ｏｚを２元スパッタで行うこ
とにより可能となった。さらに抵抗値を上げるためには
できるだけ薄くすることが要求されるが、あまり薄いと
電極部付近で断線することから、抵抗体１の厚さとして
は５００Å以上であることが望まれる。

本発明の別な実施例について第３図により説明する。

第３図は共通電極２と信号電極３が対向するように配置
された場合を示す。（、）が抵抗体１部の平面拡大、（
ｂ）はＡ−Ａ’断面、（ｃ）はＢ−Ｂ′断面を示す。本
実施例においても電極２，３は厚膜方式の印刷により行
われ、その上にＣｒ４゜抵抗体１をスパッタしてホトエ
ツチング行うものである。本発明は共通電極２と信号電
極３間が大きくとれるため、抵抗材料としてＣｒ−Ｓｉ
も使用できる特長がある。

第１図及び第３図におけるＢ−Ｂ’断面形状として、抵
抗体１、電極２、Ｃｒ４の関係の変形について第４図か
ら傘６図により説明する。

第４図は電極２の上にＣｒ４及び抵抗体１をスパッタリ
ングした場合の１例である。抵抗体１と電極２は端部で
接触している。このため接触部が溶融する心配があるが
、第３図で示した実施例と併用すれば問題なく、次に示
す第５図の構成より簡単になる特長がある。

第５図は第４図で接触した電極２と抵抗体１の端部まで
Ｃｒ４をホトエツチングした場合である。

本構成によれば第１図及び第３図の全てに使用できる特
長がある。

第６図は部分グレーズ５の上にまず抵抗体１を成膜した
上にＣｒ４をスパッタリングして、電極２を印刷した場
合である。本実施例によれば、抵抗体１形状が平坦にな
るため断線の心配がなくなる特長がある。

本発明の別な実施例について第７図に示す。７は絶縁物
であり例えば５ｉＯｚ等が用いられる。

第７図では電極２間の凹部にあらかじめＳｉＯ２等のよ
うな絶縁物７をスパッタリング等により設け、電極２と
Ｃｒ４面をほぼ一様にした上に抵抗体１を成膜するため
、ヘッド表面がさらに平坦になる特長がある。

上記した感熱ヘッドは、中間調表現に適しているため、
本発明の感熱ヘッドはビデオプリンタのようなフルカラ
ープリンタに適している。

〔発明の効果〕

本発明によれば、厚膜方式によるヘッド製造工程の中で
、抵抗体のみ薄膜方式にするため、低価格、高画質化の
図れる感熱ヘッドが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は本発明及
び従来の製造工程を示す図、第３図は本発明の別な実施
例を示す図、第４図、第５図、第６図は本発明の電極断
面の一部を示す図、第７図は本発明の別な実施例を示す
図である。 １・・・抵抗体、２・・・共通電極、３・・・信号電極
。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板の上にグレーズ層を設け、グレーズ層の上に金
   もしくはアルミニウムから成る電極と電気エネルギーに
   よる発熱抵抗体を設け、上記発熱抵抗体に電気信号を送
   り、電気信号に対応した発熱量により記録媒体へ熱を伝
   達する感熱ヘッドにおいて、電極を厚膜方式による印刷
   により形成し、抵抗体を薄膜方式によるスパッタリング
   で形成したことを特徴とする感熱ヘッド。 ２、抵抗体の材質としてＣｒ−Ｓｉ−ＳｉＯ＿２を用い
   たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の感熱ヘ
   ッド。 ３、抵抗体と印刷された電極の間には、抵抗体や電極の
   エッチング液が異なり、共晶点の高い材質例えばＣｒを
   設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の感
   熱ヘッド。 ４、電極間の凹部に例えばＳｉＯ＿２のような絶縁物を
   配置して、概略平坦にしたことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の感熱ヘッド。 ５、抵抗体Ｃｒ−Ｓｉ−ＳｉＯ＿２のスパッタリングを
   ２元スパッタリングにより行うことを特徴とする感熱ヘ
   ッドの製造方法。 ６、特許請求の範囲第１項記載の感熱ヘッドをビデオプ
   リンタ等フルカラープリンタに適用したことを特徴とす
   るフルカラープリンタ装置。