JPH025537A - Resin sealing die - Google Patents

Resin sealing die

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JPH025537A
JPH025537A JP15478388A JP15478388A JPH025537A JP H025537 A JPH025537 A JP H025537A JP 15478388 A JP15478388 A JP 15478388A JP 15478388 A JP15478388 A JP 15478388A JP H025537 A JPH025537 A JP H025537A
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JP
Japan
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resin
mold
lead frame
leads
stopper
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Application number
JP15478388A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshiyuki Oura
大浦 俊之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd
Hitachi Ltd
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Publication date
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  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent resin burrs from being formed between the leads of a lead frame at the time of resin sealing by a method wherein the title metal mold is constituted in such a way that when a top force or a bottom force having resin stoppers is fitted into the bottom force or the top force to correspond to the above top force or bottom force, the gap between the surface of the lead frame and the top and bottom forces is eliminated. CONSTITUTION:Resin stoppers 6 formed on a bottom force 3 are fitted into recessed parts 11 formed in a top force 2 and leads 5 of a lead frame 4 are provided between the top and bottom forces 2 and 3. The projecting amount of each stopper 6 is larger than the plate thickness of the lead frame 4, but the stoppers 6 are fitted into the recessed parts 11 of the force 2 and the leads 5 are pinched between the forces 2 and 3 in such a way that no gap is generated between the surface of the lead frame 4 and the forces 2 and 3. In such a way, as the stoppers 6, each consisting of each recessed part projecting larger than the plate thickness of the lead frame, are respectively made to position between the leads of the lead frame 4, a resin does not flow in between the leads at the time of resin sealing and resin burrs are prevented from being formed between the leads. Moreover, as the leads are pinched between the forces 2 and 3 in such a way that no gap is generated between the surface of the lead frame and the forces 2 and 3, resin flashes are prevented from being formed at the time of resin sealing.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は樹脂封止金型に関し、特に半導体装置の製造に
用いて好適な樹脂封止金型に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a resin-sealing mold, and particularly to a resin-sealing mold suitable for use in manufacturing semiconductor devices.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

樹脂封止金型には、カル、ランチ、ゲート、キャビティ
が形成されており、上型と下型とによりリードフレーム
を挟持して、半導体装置の樹脂封止を行なう通路および
空間を形成するように構成している。そして、樹脂封止
の際には樹脂封止金型のカル、ランチ、ゲートを介1〜
てキャビティ内に樹脂を導入して封止を行なっている。
A cull, a launch, a gate, and a cavity are formed in the resin sealing mold, and the lead frame is held between the upper mold and the lower mold to form a passage and a space for resin-sealing the semiconductor device. It is composed of Then, during resin sealing, the cull, launch, and gate of the resin sealing mold are used.
A resin is introduced into the cavity to seal it.

また、樹脂封止金型の上型と下型との間に1スードフ1
/−ムを挟持した状態ではリードフレ・−ムのリードと
上型およびリードと下型との間に間隙は存在しない。
In addition, 1 sudofu 1 is placed between the upper mold and lower mold of the resin sealing mold.
In the state where the lead frame is sandwiched, there is no gap between the lead and the upper mold, and between the lead and the lower mold of the lead frame.

しかし、リードフレームのリード間においては上型と下
型との間にリードフレ・−ムの板厚(0,25n程度)
分の間隙が存在する。この間隙により樹脂封止の際には
リード間に樹脂パリが形成される。
However, between the leads of the lead frame, the thickness of the lead frame (approximately 0.25n) is required between the upper die and the lower die.
There is a gap of minutes. Due to this gap, a resin gap is formed between the leads during resin sealing.

この樹脂パリが形成されることを防止するために、間隙
が形成されるリードフレームのリード間に凸部からなる
樹脂ストッパを位置さぜるように構成し樹脂パリの形成
を低減する樹脂封止金型も用いられている。なお、樹脂
封止に関連する技術と1〜ては特開昭61−26735
3号公報が挙げられる。
In order to prevent the formation of resin flash, a resin stopper consisting of a convex portion is positioned between the leads of the lead frame where a gap is formed, and the resin sealing reduces the formation of resin flash. Molds are also used. In addition, the technology related to resin sealing and 1 to 1 are disclosed in Japanese Patent Application Laid-open No. 61-26735.
Publication No. 3 is mentioned.

〔発明が解決しようどする課題〕[Problems that the invention attempts to solve]

前記従来技術は半導体装置の樹脂封止におけるリード間
の樹脂パリの形成を低減することはできるが防止するこ
とはできない。すなわち、凸部からなる樹脂ストッパの
突出量をリードフレ・−ムの板厚よりも大きくすると、
樹脂封止金型の上型と下型とを嵌合させても1月−ドフ
レーム表面と金型との間に間隙が形成され、リードフレ
ームを確実に挟持することができない。従って、樹脂封
止の際に樹脂フラッジ、、(リードフレーム表面に形成
される樹脂膜)が形成されてし!、5゜よって、樹脂ス
トッパの突出量はり−ドフレ・−ムの板厚よりも小さく
ぜざるをえず、樹脂封止の際にリード間に樹脂パリが形
成されることを防止することができない。
The above-mentioned conventional technology can reduce the formation of resin particles between leads in resin sealing of a semiconductor device, but cannot prevent it. In other words, if the amount of protrusion of the resin stopper consisting of a convex portion is made larger than the thickness of the lead frame,
Even when the upper and lower molds of the resin sealing mold are fitted together, a gap is formed between the surface of the molded frame and the mold, and the lead frame cannot be reliably held. Therefore, during resin sealing, a resin fludge (a resin film formed on the surface of the lead frame) is formed! , 5°. Therefore, the protrusion of the resin stopper has to be smaller than the thickness of the dome frame, and it is not possible to prevent resin gaps from forming between the leads during resin sealing. .

本発明の目的は前記課題を解決lまた、樹脂封止の際に
リード間に樹脂パリが形成されることを防止する樹脂封
止金型を低減することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and also to reduce the number of resin sealing molds that prevent the formation of resin pads between the leads during resin sealing.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば下記の通りである。
A summary of typical inventions disclosed in this application is as follows.

すなわち、本願発明はキャビティ部を有する上型と下型
との間にリードフレームを挟持し、前記上型と下型との
キャビティ部に樹脂を導入1〜て封止をする樹脂封止金
型において、前記上型または下型は前記リードフレーム
のり・−ド間に位置するように形成した凸部からなる樹
脂ストッパを有し、前記樹脂ストッパの突出量を前記リ
ードフレームの板厚よりも大きくし、前記樹脂ストッパ
を有する上型または下型とこれに対応する下型または上
型を嵌合させると前記リードフレームと前記型との間隙
がなくなるように構成したことを特徴とするものである
That is, the present invention provides a resin sealing mold in which a lead frame is sandwiched between an upper mold and a lower mold having a cavity portion, and a resin is introduced into the cavity portions of the upper mold and the lower mold to perform sealing. In the above, the upper mold or the lower mold has a resin stopper made of a convex portion formed to be located between the lead frame glue and the lead frame, and the resin stopper has a protruding amount larger than the plate thickness of the lead frame. The present invention is characterized in that when the upper mold or lower mold having the resin stopper and the corresponding lower mold or upper mold are fitted together, there is no gap between the lead frame and the mold. .

〔作用〕[Effect]

前記の構成によれば、リードフレームのリード間に突出
させる樹脂ストッパの突出量をリードフレームの板厚よ
りも大きくしているため樹脂封止金型の上型と下型とを
嵌合した際に、リード間における上型と下型との間に間
隙が生じない。従って、樹脂封止の際にリードフレ・−
ムのリード間に樹脂パリが形成されることを防止するこ
とができる。さらに、上型と下型とを嵌合させた際にり
−ド7レーム表面と上型および下型との間に間隙がなく
なるように構成したため、リードに樹脂フラッシュが形
成されることを防止することができる。
According to the above configuration, since the amount of protrusion of the resin stopper that protrudes between the leads of the lead frame is made larger than the plate thickness of the lead frame, when the upper mold and the lower mold of the resin sealing mold are fitted together, In addition, no gap is created between the upper mold and the lower mold between the leads. Therefore, when sealing with resin, lead deflection occurs.
This can prevent resin particles from forming between the leads of the film. Furthermore, when the upper and lower molds are fitted together, the structure is configured so that there is no gap between the lead 7 frame surface and the upper and lower molds, which prevents resin flash from forming on the leads. can do.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を第1図および第2図により説
明する。第1図は本発明の樹脂封止金型の概略図である
。樹脂封止金型1は上型2と下型3とからなっている。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a schematic diagram of a resin-sealed mold according to the present invention. The resin sealing mold 1 consists of an upper mold 2 and a lower mold 3.

下型3には、樹脂注入源となるカル9、樹脂をキャビテ
ィ部10まで導入する通路となるランナ8、ゲート7を
形成している。
The lower mold 3 is formed with a cull 9 serving as a resin injection source, a runner 8 serving as a passage for introducing the resin to the cavity portion 10, and a gate 7.

そし、て、下型3に配置するリードフレーム4のリード
5間に凸部からなる樹脂ストッパ6を形成している。こ
の樹脂ストッパ6は1月−ビードーム4の板厚よりも凸
部の突出量を大きく形成し、上型2に形成した凹部と嵌
合するように構成している。
Then, a resin stopper 6 consisting of a convex portion is formed between the leads 5 of the lead frame 4 disposed on the lower mold 3. The resin stopper 6 has a protruding portion larger in protrusion than the thickness of the bead dome 4, and is configured to fit into a recess formed in the upper mold 2.

この樹脂ストッパ6を有する下型3とこれに嵌合する上
型2との関係を第2図に示す。第2図は第1図に示す樹
脂封止金型1のAA′断面を示す概略図である。下型3
に形成した樹脂ストッパ6は上型2に形成した凹部11
に嵌合し9、リードフレーム4のリード5は上型2、下
型3に挟持されている。樹脂ストッパ6の突出量はり・
−ドフレーム4の板厚よりも大きくなっているが上型2
の凹部11に嵌合し、リードフレーム4表面と上型2お
よび下型3に間隙を生じないように挟持している。本実
施例によるとリードフレーム4のリード間にリードフレ
ームの板厚よりも大きく突出する凸部からなる樹脂スト
ッパ6を位置させているため、樹脂封止の際に樹脂はリ
ード間に流れ込まず、リード間に樹脂パリが形成される
ことを防止することができる。さらに、リードフレーム
表面をを上型と下型とで間隙が生じないように挟持して
いるため、樹脂封止の際の樹脂フラッシュの形成を防止
することができる。
FIG. 2 shows the relationship between the lower mold 3 having the resin stopper 6 and the upper mold 2 fitted therein. FIG. 2 is a schematic diagram showing the AA' cross section of the resin-sealing mold 1 shown in FIG. Lower mold 3
The resin stopper 6 formed in the recess 11 formed in the upper mold 2
9, and the leads 5 of the lead frame 4 are held between the upper die 2 and the lower die 3. Protrusion amount of resin stopper 6
-The thickness of the upper mold 2 is larger than that of the mold frame 4.
It fits into the recess 11 of the lead frame 4 and is sandwiched between the surface of the lead frame 4 and the upper mold 2 and lower mold 3 so as not to create a gap. According to this embodiment, the resin stopper 6 consisting of a convex portion that protrudes larger than the plate thickness of the lead frame is positioned between the leads of the lead frame 4, so that the resin does not flow between the leads during resin sealing. It is possible to prevent resin particles from forming between the leads. Furthermore, since the surface of the lead frame is held between the upper mold and the lower mold so that no gap is formed, it is possible to prevent the formation of resin flash during resin sealing.

第3図は、本発明の樹脂封止金型の他の実施例の断面を
示す概略図である。本実施例はwcz図に示した実施例
に樹脂除去部35を設けたものである(第2図と構成の
同じものは同一符号とした)。
FIG. 3 is a schematic diagram showing a cross section of another embodiment of the resin-sealed mold of the present invention. This embodiment is the same as the embodiment shown in the Wcz diagram except that a resin removal section 35 is provided (those having the same structure as in FIG. 2 are given the same reference numerals).

樹脂除去部35は複数の凸部からなり、各凸部は樹脂ス
トラフ60位置に対応して位置するように形成されると
ともに樹脂ストッパ6の凸部が嵌合する凹部11の一部
な構成している。そして、この樹脂除去部35はスプリ
ング36によって支持され上下に移動するようになって
いる。本実施例によると、樹脂封止の際に樹脂ストッパ
6と凹部11との間に形成される空間37に樹脂が流入
して硬化しても、矢印Fから加圧することにより樹脂除
去部35が下降し、空間37で硬化した封脂を容易に除
去することができる。従って、金型内に硬化した樹脂が
残留することを防止し、上型2と下捜3とを確実に嵌合
させることができる。また、樹脂パリおよび樹脂フラッ
シュの形成を防止した樹脂封止を行なうことができる。
The resin removing portion 35 is composed of a plurality of convex portions, and each convex portion is formed to correspond to the position of the resin strafe 60, and also constitutes a part of the concave portion 11 into which the convex portion of the resin stopper 6 fits. ing. This resin removing section 35 is supported by a spring 36 and is configured to move up and down. According to this embodiment, even if the resin flows into the space 37 formed between the resin stopper 6 and the recess 11 during resin sealing and hardens, the resin removal portion 35 can be removed by applying pressure from the arrow F. The sealant that has descended and hardened in the space 37 can be easily removed. Therefore, it is possible to prevent the hardened resin from remaining in the mold, and to reliably fit the upper mold 2 and the lower mold 3 together. Furthermore, resin sealing can be performed that prevents the formation of resin flash and resin flash.

第4図は本発明の樹脂封止金型の他の実施例の断面を示
す概略図である。本図面は、第1図のAに断面に相当す
る部分を示したものである。樹脂封止金型20の下型2
3にはリードフレーム24のリード250間隔に対応さ
せて孔30を形成し、その下方に設けた小室29へ開口
させている。そして、板体28と一体に形成した凸部か
らなる複数の樹脂ストッパ26を孔30へ嵌挿させてい
る。
FIG. 4 is a schematic diagram showing a cross section of another embodiment of the resin-sealed mold of the present invention. This drawing shows a portion corresponding to the cross section at A in FIG. 1. Lower mold 2 of resin sealing mold 20
A hole 30 is formed in the hole 30 corresponding to the spacing between the leads 250 of the lead frame 24, and opens into a small chamber 29 provided below. A plurality of resin stoppers 26 made of convex portions formed integrally with the plate body 28 are fitted into the holes 30.

板体28はスプリング27を介して支持板31で支持し
、樹脂ストッパ26はスプリング270弾性変形により
上下に移動できるようにしている。
The plate body 28 is supported by a support plate 31 via a spring 27, and the resin stopper 26 can be moved up and down by elastic deformation of the spring 270.

そして、上型22を下型23に嵌合させる以前の樹脂ス
トッパ26の突出量がリードフレーム24の板厚よりも
大きくなるように構成している。上型22は従来から適
用されている通常の樹脂封止金型の構造としている。こ
の樹脂封止金型20の下型23にリードフレーム24を
載置して上型22を嵌合させると、樹脂ストッパ26は
リードフレーム24のリード25間に配置され、リード
25間の間隙がなくなる。また、樹脂ストッパ26はス
プリング27を介して支持されているため上型22と下
型23が嵌合する際に、樹脂ストッパ26は上型22の
パーティング面に押圧されて下方に移動し、リードフレ
ーム24を上型22と下型23で挟持する。本実施例に
よると、リード間にリードフレームの板厚よりも大きく
突出する凸部からなる樹脂ストッパ26を位置させてい
るためIJ−ド間に樹脂パリが形成されることを防止す
ることができる。また、リードフレーム24を上型22
と下型23との間で間隙が生じないように挟持している
ため樹脂フラッシュが形成されることを防止することが
できる。さらに、樹脂ストッパを可動式としたため上型
22は従来の金型と同様の構造とすることができ、製造
が容易になる。
The resin stopper 26 is configured so that the amount of protrusion before the upper mold 22 is fitted to the lower mold 23 is greater than the thickness of the lead frame 24. The upper mold 22 has the structure of a conventional resin-sealed mold. When the lead frame 24 is placed on the lower mold 23 of this resin sealing mold 20 and the upper mold 22 is fitted, the resin stopper 26 is placed between the leads 25 of the lead frame 24, and the gap between the leads 25 is It disappears. Further, since the resin stopper 26 is supported via a spring 27, when the upper mold 22 and the lower mold 23 are fitted together, the resin stopper 26 is pressed by the parting surface of the upper mold 22 and moves downward. A lead frame 24 is held between an upper mold 22 and a lower mold 23. According to this embodiment, since the resin stopper 26 consisting of a convex portion that protrudes larger than the board thickness of the lead frame is located between the leads, it is possible to prevent a resin gap from being formed between the IJ and the IJ. . Also, the lead frame 24 is attached to the upper die 22.
Since the mold 23 and the lower mold 23 are held in such a manner that no gap is formed between them, it is possible to prevent resin flash from being formed. Furthermore, since the resin stopper is movable, the upper mold 22 can have a structure similar to that of a conventional mold, which facilitates manufacturing.

以上、本発明者によってなされた発明を実施例にもとづ
き具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更
可能であることはいうまでもない。たとえば、樹脂スト
ッパを個々に可動する構造としてもよい。
Above, the invention made by the present inventor has been specifically explained based on the examples, but it should be noted that the present invention is not limited to the above examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Not even. For example, a structure may be adopted in which the resin stoppers are individually movable.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によるとリード間にリードフレームの板厚よりも
大きく突出する凸部からなる樹脂ストッパを位置させて
いるため、樹脂封止の際にリード間に樹脂パリが形成さ
れることを防止することができる。また、リードフレー
ム表面を上型と下型とで間隙が生じないように挟持して
いるため、樹脂封止の際の樹脂フラッシュの形成を防止
することができる。
According to the present invention, since a resin stopper consisting of a convex portion that protrudes larger than the thickness of the lead frame is located between the leads, it is possible to prevent a resin gap from being formed between the leads during resin sealing. I can do it. Furthermore, since the surface of the lead frame is held between the upper mold and the lower mold so that no gap is formed, it is possible to prevent the formation of resin flash during resin sealing.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の樹脂封止金型の概略図、第2図は第1
図の樹脂封止金型のAA’断面を示す概略図、 第3図および第4図は本発明の樹脂封止金型の他の実施
例の断面を示す概略図である。 1.20・・・樹脂封止金型、2,22・・・上型、3
゜23・・・下型、4,24・・・リードフレーム、5
,25・・・リード、6,26・・・樹脂ストッパ 7
・・・ゲート、8・・・ランナ、9・・・カル、10・
・・キャビティ部、11・・・凹部、27.36・・・
スプリング、28・・・板体、29・・・小室、30・
・・孔、31・・・支持板、35・・・樹脂除去部、3
7・・・空間。 代理人 弁理士  小 川 勝 男 第 図 ノー じ・〉ズY゛ンハ・のり1す 2− レミ−’;2)・ソノ\= 、ゴーリード′フL−ム 4−77・ワ〉り゛ 第 図 〈−リードフし一7乙、 δ−+)−)’ 6−棹丁陥2)ツバ゛ 第 図
Fig. 1 is a schematic diagram of the resin sealing mold of the present invention, and Fig. 2 is a schematic diagram of the resin sealing mold of the present invention.
FIGS. 3 and 4 are schematic diagrams showing cross sections along line AA' of the resin-sealed mold shown in FIG. 1.20...Resin sealing mold, 2,22...Upper mold, 3
゜23...Lower mold, 4, 24...Lead frame, 5
, 25... Lead, 6, 26... Resin stopper 7
...Gate, 8...Runner, 9...Cal, 10.
... Cavity part, 11... Recessed part, 27.36...
Spring, 28... Plate body, 29... Small chamber, 30.
... hole, 31 ... support plate, 35 ... resin removal part, 3
7...Space. Agent: Patent Attorney Masaru Ogawa Figure 〈-Leadoff 17〇, δ-+)-)' 6-Stone 2) Tsuba゛Diagram

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、キャビティ部を有する上型と下型との間にリードフ
レームを挟持し、前記上型と下型のキャビティ部に樹脂
を導入して封止をする樹脂封止金型において、前記上型
または下型は前記リードフレームのリード間に位置する
ように形成した凸部からなる樹脂ストッパを有し、前記
樹脂ストッパの突出量を前記リードフレームの板厚より
も大きくし、前記樹脂ストッパを有する上型または下型
とこれに対応する下型または上型を嵌合させると前記リ
ードフレームと前記型との間隙がなくなるように構成し
たことを特徴とする樹脂封止型。 2、前記樹脂ストッパを有する上型または下型に対応す
る下型または上型は前記樹脂ストッパと嵌合する凹部を
有することを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の
樹脂封止金型。 3、前記樹脂ストッパを有する上型または下型は樹脂ス
トッパを弾性的に支持していることを特徴とする特許請
求の範囲第1項または第2項に記載の樹脂封止金型。
[Claims] 1. A resin sealing metal that sandwiches a lead frame between an upper mold and a lower mold having a cavity portion, and introduces resin into the cavity portions of the upper mold and the lower mold for sealing. In the mold, the upper mold or the lower mold has a resin stopper made of a convex portion formed to be located between the leads of the lead frame, and the resin stopper has a protruding amount larger than the plate thickness of the lead frame. , a resin-sealed mold characterized in that when the upper mold or lower mold having the resin stopper and the corresponding lower mold or upper mold are fitted together, there is no gap between the lead frame and the mold. . 2. The resin sealing metal according to claim 1, wherein the lower mold or upper mold corresponding to the upper mold or lower mold having the resin stopper has a recessed portion that fits with the resin stopper. Type. 3. The resin-sealed mold according to claim 1 or 2, wherein the upper mold or the lower mold having the resin stopper elastically supports the resin stopper.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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