JP2957565B1 - Resin sealing mold for semiconductor element - Google Patents

Resin sealing mold for semiconductor element

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JP2957565B1 JP20087098A JP20087098A JP2957565B1 JP 2957565 B1 JP2957565 B1 JP 2957565B1 JP 20087098 A JP20087098 A JP 20087098A JP 20087098 A JP20087098 A JP 20087098A JP 2957565 B1 JP2957565 B1 JP 2957565B1
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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

【要約】 【課題】 樹脂封止装置側に新たな駆動源を設けること
なく、エジェクターピンと製品を完全に離型させること
ができる半導体素子の樹脂封止金型を提供すること。 【解決手段】 製品を形成するための上型チェイスブロ
ック7および下型チェイスブロック8、製品を樹脂封止
金型から離型させるためのエジェクターピン6、該エジ
ェクターピン6を保持するピンプレート4及びノックア
ウトプレート2、該ピンプレート4及びノックアウトプ
レート2を動作するためのスプリング5を備えた半導体
素子の樹脂封止金型であって、前記スプリング5と下型
チェイスブロック8との間にサブプレート10を設け、
該サブプレート10と下型チェイスブロック8との間に
前記スプリング5より弱い反力のリターンスプリング1
1を設けた。
An object of the present invention is to provide a resin sealing mold for a semiconductor element capable of completely separating an ejector pin and a product without providing a new drive source on the resin sealing device side. SOLUTION: An upper chase block 7 and a lower chase block 8 for forming a product, an ejector pin 6 for releasing the product from a resin sealing mold, a pin plate 4 for holding the ejector pin 6, and A knockout plate, a pin sealing plate, and a resin sealing mold for a semiconductor device having a spring for operating the knockout plate, wherein a sub plate is provided between the spring and a lower chase block; Is established,
A return spring 1 having a smaller reaction force than the spring 5 between the sub-plate 10 and the lower die chase block 8.
1 was provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子の樹脂
封止金型に関し、詳しくは、樹脂封止装置側に新たな駆
動源を設けることなく、エジェクターピンと製品を完全
に離型させることができる樹脂封止金型に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin mold for a semiconductor device, and more particularly, to a method for completely releasing an ejector pin and a product without providing a new drive source on the resin seal device side. The present invention relates to a resin mold that can be used.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の樹脂封止金型を図2に示してい
る。製品を形成するための上型チェイスブロック7およ
び下型チェイスブロック8、製品を樹脂封止金型から離
型させるためのエジェクターピン6、該エジェクターピ
ン6を保持するためのピンプレート4及びノックアウト
プレート2、ピンプレート4及びノックアウトプレート
2を動作するためのスプリング5で概略構成されてい
る。樹脂封止装置には、樹脂封止金型を搭載する主型1
とノックアウトプレート2を押し上げるノックアウトロ
ッド3がある。
2. Description of the Related Art FIG. 2 shows a conventional resin mold. An upper chase block 7 and a lower chase block 8 for forming a product, an ejector pin 6 for releasing the product from the resin sealing mold, a pin plate 4 for holding the ejector pin 6, and a knockout plate. 2, a pin plate 4 and a spring 5 for operating the knockout plate 2. The main mold 1 equipped with the resin sealing mold is used for the resin sealing device.
And a knockout rod 3 for pushing up the knockout plate 2.

【0003】図2の樹脂封止金型では、スプリング5と
ピンプレート4が一対しかなく、金型単独でのエジェク
タピン6の上下動作は不可能であった。そこで、エジェ
クターピン6と製品を離型させるようにした技術の一例
が特開平4−147633公報に記載されている。すな
わち、該公報にはICの外郭体の一片側面を形成する下
側の窪みの平坦部を担うと共に固形化されたICの外郭
体を下型の面より突出させるノックアウトピンを備え、
ICの外郭体が固形された後に、ノックアウトピンを引
き剥がすようにした半導体素子の樹脂封止金型が開示さ
れている。
In the resin-sealed mold shown in FIG. 2, there is only one pair of the spring 5 and the pin plate 4, and it is impossible to move the ejector pins 6 up and down by the mold alone. An example of a technique for releasing the product from the ejector pin 6 is described in Japanese Patent Laid-Open No. 4-147633. That is, the publication includes a knockout pin that serves as a flat portion of a lower recess forming one side surface of the outer shell of the IC, and that projects the solidified outer shell of the IC from the lower mold surface,
There is disclosed a resin sealing mold for a semiconductor element in which a knockout pin is peeled off after an outer package of an IC is solidified.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】図2の樹脂封止金型で
は、上述のようにスプリング5とピンプレート4が一対
しかなく、金型単独でのエジェクタピン6の上下動作は
不可能であった。現在、製品のコストダウン、生産性向
上等を目的に一枚のリードフレームに多数個の半導体素
子を配置し、樹脂封止を行なっている。それにより樹脂
封止後、製品を樹脂封止金型より離型させるためのエジ
ェクターピンの数が増え、製品とエジェクターピンの接
触面積もより大きくなる。製品はエジェクターピンによ
り樹脂封止金型からは離型することができるが、製品と
エジェクターピンは密着したままの状態にあり、エジェ
クターピンから完全に製品を離脱させることは困難であ
る。そのため、リードフレーム中の半導体素子の配列数
に制約があった。
The resin-sealed mold shown in FIG. 2 has only one pair of the spring 5 and the pin plate 4 as described above, so that the ejector pin 6 cannot be moved up and down by the mold alone. Was. At present, a large number of semiconductor elements are arranged on one lead frame and resin-sealed for the purpose of cost reduction of a product, improvement of productivity, and the like. Thereby, after resin sealing, the number of ejector pins for releasing the product from the resin sealing mold increases, and the contact area between the product and the ejector pin also increases. Although the product can be released from the resin-sealed mold by the ejector pin, the product and the ejector pin remain in close contact, and it is difficult to completely remove the product from the ejector pin. Therefore, there is a limit on the number of semiconductor elements arranged in the lead frame.

【0005】また、特開平4−1476333号公報の
樹脂封止金型は、一般的な樹脂封止装置に、新たにエジ
ェクターピンを駆動させるためのシリンダや制御機器を
設ける必要があり、プレス構造を根本的に変更しなけれ
ばならない。したがって、既存の樹脂封止装置に適用し
た場合大幅な改造となり、その実現性にはコスト面で問
題がある。本発明は、このような問題に鑑みてなされた
ものであって、樹脂封止装置側に新たな駆動源を設ける
ことなく、エジェクターピンと製品を完全に離型させる
ことができる半導体素子の樹脂封止金型を提供すること
を目的とする。
In the resin sealing mold disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-1476333, it is necessary to newly provide a cylinder and a control device for driving an ejector pin in a general resin sealing device. Must be fundamentally changed. Therefore, when applied to an existing resin sealing device, it becomes a significant modification, and there is a problem in cost in terms of its feasibility. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has been made in consideration of a problem that a resin sealing of a semiconductor element can be completely separated from an ejector pin and a product without providing a new driving source on the resin sealing device side. It is intended to provide a die.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するべ
く、本発明は、製品を形成するための上型チェイスブロ
ックおよび下型チェイスブロック、製品を樹脂封止金型
から離型させるためのエジェクターピン、該エジェクタ
ーピンを保持するピンプレート及びノックアウトプレー
ト、該ピンプレート及びノックアウトプレートを動作す
るためのスプリングを備えた半導体素子の樹脂封止金型
において、前記スプリングと前記下型チェイスブロック
との間にサブプレートを設け、該サブプレートと前記下
型チェイスブロックとの間に前記スプリングより弱い反
力のリターンスプリングを設けたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides an upper chase block and a lower chase block for forming a product, and a method for releasing a product from a resin mold. An ejector pin, a pin plate and a knockout plate for holding the ejector pin, and a resin sealing mold for a semiconductor element having a spring for operating the pin plate and the knockout plate. A sub-plate is provided between the sub-plate and a return spring having a smaller reaction force than the spring is provided between the sub-plate and the lower chase block.

【0007】本発明によれば、下型チェイスブロックの
下部にサブプレートとリターンスプリングを組込んだこ
とにより、樹脂封止装置側に新たな駆動源を設けること
なく、エジェクターピンと製品を完全に離型させること
ができる。したがって、既存の樹脂封止装置を改造する
ことなく離型が低コストで実現できる。
According to the present invention, the sub-plate and the return spring are incorporated in the lower portion of the lower chase block, so that the ejector pin and the product can be completely separated without providing a new drive source on the resin sealing device side. Can be typed. Therefore, the mold release can be realized at low cost without modifying the existing resin sealing device.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、本発明の袋シール装置の一
実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、
図2と同一部材または同一機能のものは同一符号で示し
ている。図1は本発明の実施の形態としての樹脂封止金
型の断面図である。樹脂封止金型は、製品を形成するた
めの上型チェイスブロック7および下型チェイスブロッ
ク8、製品を樹脂封止金型から離型させるためのエジェ
クターピン6、エジェクターピン6を保持するためのピ
ンプレート4及びノックアウトプレート2、ピンプレー
ト4及びノックアウトプレート2を動作するためのスプ
リング5を備えている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a bag sealing device according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition,
The same members or those having the same functions as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals. FIG. 1 is a cross-sectional view of a resin mold according to an embodiment of the present invention. The resin mold includes an upper chase block 7 and a lower chase block 8 for forming a product, an ejector pin 6 for releasing the product from the resin mold, and an ejector pin 6 for holding the ejector pin 6. A spring 5 for operating the pin plate 4 and the knockout plate 2 and the pin plate 4 and the knockout plate 2 is provided.

【0009】そして、本発明においては、スプリング5
と下型チェイスブロック8との間にサブプレート10を
設け、サブプレート10と下型チェイスブロック8との
間にリターンスプリング11を設けている。樹脂封止装
置には、樹脂封止金型を搭載する主型1とノックアウト
プレート2を押し上げるノックアウトロッド3を備えて
いる。
In the present invention, the spring 5
A sub-plate 10 is provided between the lower plate and the lower chase block 8, and a return spring 11 is provided between the sub-plate 10 and the lower chase block 8. The resin sealing device includes a main mold 1 on which a resin sealing mold is mounted and a knockout rod 3 for pushing up a knockout plate 2.

【0010】次に図1を参照して、本実施の形態の樹脂
封止金型の動作について説明する。ワイヤーボンディン
グされたリードフレームと樹脂は、射出成形により樹脂
封止される。樹脂封止完了後、上型チェイスブロック7
が上昇し、下型チェイスブロック8と分離される。型開
き始動時は、上型チェイスブロック7が上昇すると同時
に、下型チェイスブロック8とサブプレート10の間に
設けられているリターンスプリング11の反力により、
下型チェイスブロック8のみが上昇する。
Next, the operation of the resin-sealed mold of the present embodiment will be described with reference to FIG. The wire-bonded lead frame and resin are sealed with resin by injection molding. After resin sealing is completed, the upper chase block 7
Rises and is separated from the lower die chase block 8. At the time of opening the mold, the upper chase block 7 rises and at the same time, the reaction force of the return spring 11 provided between the lower chase block 8 and the sub-plate 10 causes
Only the lower die chase block 8 rises.

【0011】その間ピンプレート4及びノックアウトプ
レート2およびそれに保持されているエジェクターピン
6はリターンスプリング11の反力によりその位置は保
持されたままである。この段階で、製品とエジェクター
ピン6とを離型させることができる。バネ力の強さは、
リターンスプリング11をスプリング5より弱くしてお
く必要がある。
Meanwhile, the position of the pin plate 4 and the knockout plate 2 and the position of the ejector pin 6 held by the same are maintained by the reaction force of the return spring 11. At this stage, the product and the ejector pin 6 can be released from the mold. The strength of the spring force is
The return spring 11 needs to be weaker than the spring 5.

【0012】次に、樹脂封止装置のエジェクター機構に
よりノックアウトプレート2を押し上げ、それに保持さ
れてあるエジェクターピン6により、製品と樹脂封止金
型を離型させる。よって、通常の型開き動作を行なうだ
けで製品と樹脂封止金型を完全に離型させることができ
る。
Next, the knockout plate 2 is pushed up by the ejector mechanism of the resin sealing device, and the product and the resin sealing mold are released by the ejector pins 6 held thereon. Therefore, it is possible to completely release the product and the resin sealing mold simply by performing a normal mold opening operation.

【0013】本発明による樹脂封止金型は、上述のよう
に下型チェイスブロック7の下部にサブプレート10と
スプリング5より反力の弱いスプリング11を組込んだ
ことにより、上型チェイスブロック8の型開き動作に対
応して、下型チェイスブロック7のみが設定した量、す
なわち下型チェイスブロック7とサブプレート10間の
隙間hだけ上下動作できるようになる。したがって、樹
脂封止完了後の上型チェイスブロック8の型開き始動時
には、下型チェイスブロック7のみが上昇し、エジェク
ターピン6を保持しているピンプレート4の位置は変動
しないため、エジェクターピン6と製品を型開き動作だ
けで離型させることができる。その後は、従来の樹脂封
止金型と同様、樹脂封止装置側のエジェクター機構によ
りピンプレート4を押し上げ、製品を金型から離型させ
る。よって、製品と金型は完全に離型した状態にするこ
とが出来る。
The resin-sealed mold according to the present invention incorporates the sub-plate 10 and the spring 11 having a smaller reaction force than the spring 5 in the lower part of the lower mold chase block 7 as described above, thereby forming the upper mold chase block 8. In response to the mold opening operation, only the lower mold chase block 7 can move up and down by the set amount, that is, the gap h between the lower mold chase block 7 and the sub-plate 10. Therefore, when the upper chase block 8 is started to open after the resin sealing is completed, only the lower chase block 7 rises and the position of the pin plate 4 holding the ejector pins 6 does not change. And the product can be released simply by opening the mold. Thereafter, the pin plate 4 is pushed up by the ejector mechanism on the resin sealing device side, and the product is released from the mold, similarly to the conventional resin sealing mold. Therefore, the product and the mold can be completely separated from each other.

【0014】[0014]

【発明の効果】以上、詳述したように、本発明によれ
ば、下型チェイスブロックの下部にサブプレートとリタ
ーンスプリングを組込んだことにより、樹脂封止装置側
に新たな駆動源を設けることなく、エジェクターピンと
製品を完全に離型させることができる。したがって、既
存の樹脂封止装置を改造することなく離型が低コストで
実現できる。
As described above in detail, according to the present invention, a new driving source is provided on the resin sealing device side by incorporating the sub-plate and the return spring below the lower chase block. Without releasing, the ejector pin and the product can be completely released from the mold. Therefore, the mold release can be realized at low cost without modifying the existing resin sealing device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の半導体素子の樹脂封止金型の実施の
形態を示す縦断側面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional side view showing an embodiment of a resin sealing mold for a semiconductor element of the present invention.

【図2】 従来の半導体素子の樹脂封止金型の縦断側面
図である。
FIG. 2 is a vertical sectional side view of a conventional resin-sealing mold for a semiconductor element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 ノックアウトプレート 4 ピンプレート 5 スプリング 6 エジェクターピン 7 上型チェイスブロック 8 下型チェイスブロック 11 リターンスプリング 2 Knockout plate 4 Pin plate 5 Spring 6 Ejector pin 7 Upper chase block 8 Lower chase block 11 Return spring

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 製品を形成するための上型チェイスブロ
ックおよび下型チェイスブロック、製品を樹脂封止金型
から離型させるためのエジェクターピン、該エジェクタ
ーピンを保持するピンプレート及びノックアウトプレー
ト、該ピンプレート及びノックアウトプレートを動作す
るためのスプリングを備えた半導体素子の樹脂封止金型
において、前記スプリングと前記下型チェイスブロック
との間にサブプレートを設け、該サブプレートと前記下
型チェイスブロックとの間に前記スプリングより弱い反
力のリターンスプリングを設けたことを特徴とする半導
体素子の樹脂封止金型。
1. An upper chase block and a lower chase block for forming a product, an ejector pin for releasing the product from a resin mold, a pin plate and a knockout plate for holding the ejector pin, In a resin sealing mold for a semiconductor element having a spring for operating a pin plate and a knockout plate, a sub-plate is provided between the spring and the lower chase block, and the sub-plate and the lower chase block are provided. And a return spring having a reaction force weaker than the spring is provided between the mold and the resin.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN105313279A (en) * 2014-07-29 2016-02-10 第一精工株式会社 Resin sealing device

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