JPH0254123A - ガス流量検出器 - Google Patents
ガス流量検出器Info
- Publication number
- JPH0254123A JPH0254123A JP63205339A JP20533988A JPH0254123A JP H0254123 A JPH0254123 A JP H0254123A JP 63205339 A JP63205339 A JP 63205339A JP 20533988 A JP20533988 A JP 20533988A JP H0254123 A JPH0254123 A JP H0254123A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- gas
- gas flow
- potential difference
- detection pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガス流量検出器に関し、特にガス流量を正確に
検出できる流量検出器に関する。
検出できる流量検出器に関する。
従来、この種ガス流量検出器としては、ガラステーパ管
式流量検出器がある。この検出器は、ガス流量換算目盛
が刻まれたガラステーパ管の中をボールなどのフロート
がガス流量に応じて上下する構造であって、このフロー
ト位置の目盛を読むことによっておおよそのガス流量を
検出できるようになっている、。
式流量検出器がある。この検出器は、ガス流量換算目盛
が刻まれたガラステーパ管の中をボールなどのフロート
がガス流量に応じて上下する構造であって、このフロー
ト位置の目盛を読むことによっておおよそのガス流量を
検出できるようになっている、。
上述した従来のガラス管式流量検出器は、ガラス管内を
ガス流量に応じて上下に移動するフロートの位置で流量
を判断するため、フロート位置が安定しなかっなり、自
警による個人差などにより、正確な流量の検出ができな
いという欠点がある６特に半導体装置の製造ように微量
なガスコントロールを必要とする場合には、正確な検出
が困難であった。
ガス流量に応じて上下に移動するフロートの位置で流量
を判断するため、フロート位置が安定しなかっなり、自
警による個人差などにより、正確な流量の検出ができな
いという欠点がある６特に半導体装置の製造ように微量
なガスコントロールを必要とする場合には、正確な検出
が困難であった。
本発明のガス流量検出器は、一定温度に加熱可能なヒー
ター手段を有し被流量検出ガスを通す検出管を設け、こ
の検出管にホイートストンブリッジ回路の一部を形成す
る巻線抵抗を設け、前記検出管内のガス流量の変（ヒに
対応する該検出管の温度変化を前記巻線抵抗の電気抵抗
変化に置き換えてガス流量を検出するガス流量検出器で
ある。
ター手段を有し被流量検出ガスを通す検出管を設け、こ
の検出管にホイートストンブリッジ回路の一部を形成す
る巻線抵抗を設け、前記検出管内のガス流量の変（ヒに
対応する該検出管の温度変化を前記巻線抵抗の電気抵抗
変化に置き換えてガス流量を検出するガス流量検出器で
ある。
次に本発明について図面を参照して説明する７第１図は
本発明の一実施例の構成図である。
本発明の一実施例の構成図である。
検出管１にはほぼ中央部にヒーター２が巻かれ、温度コ
ントロール°手段により検出管１は一定温度に設定でき
るようになっている。また検出管１のガス流入側および
流出側の少くとも一方の側に、巻線抵抗７が設けられて
いる。
ントロール°手段により検出管１は一定温度に設定でき
るようになっている。また検出管１のガス流入側および
流出側の少くとも一方の側に、巻線抵抗７が設けられて
いる。
まずストップバルブを閉じてガス流を止め、ヒーター２
によって検出管１を一定温度に加熱すれば巻線抵抗７も
一定温度に加熱される。この状態でホイートストンブリ
ッジ回路３が平衡するように可変抵抗４，５．６を調整
しておくと、端子８．９間に電位差は生じないが、スト
ップバルブを開きガスが検出管１内を流れ始めると、検
出管１の温度はガス流量に応じて上下し、それに応じて
巻線抵抗７の抵抗値が増減する。その結果ホイートスト
ンブリッジ回路３のバランスがくずれて、端子８．９間
にガス流量に比例した電位差が生じる。この電位差によ
りガス流量の検出を行う。検出管１は温度コントロール
手段によって一定温度を維持し続けようとするため、特
に微量なガス流量検出の場合には、巻線抵抗７を予めヒ
ーター２から離して検出管１の端部に取り付けることに
よって、ガス流による巻線抵抗７の温度変化が容易に得
られるようにすればよい。
によって検出管１を一定温度に加熱すれば巻線抵抗７も
一定温度に加熱される。この状態でホイートストンブリ
ッジ回路３が平衡するように可変抵抗４，５．６を調整
しておくと、端子８．９間に電位差は生じないが、スト
ップバルブを開きガスが検出管１内を流れ始めると、検
出管１の温度はガス流量に応じて上下し、それに応じて
巻線抵抗７の抵抗値が増減する。その結果ホイートスト
ンブリッジ回路３のバランスがくずれて、端子８．９間
にガス流量に比例した電位差が生じる。この電位差によ
りガス流量の検出を行う。検出管１は温度コントロール
手段によって一定温度を維持し続けようとするため、特
に微量なガス流量検出の場合には、巻線抵抗７を予めヒ
ーター２から離して検出管１の端部に取り付けることに
よって、ガス流による巻線抵抗７の温度変化が容易に得
られるようにすればよい。
検出手段としては、この電位差をガス流量に換算してデ
ジタル表示させてもよいし、あるいは直接電磁弁を作動
させて流量コントロールを行ってもよい、 なお巻線抵抗７を検出管１の流入側と流出側の両端に設
け、それぞれがホイートストンブリッジ回路を形成する
ようにしておけば、流入側と流出側との温度差を補正で
き、より正確なガス流量検出ができる。
ジタル表示させてもよいし、あるいは直接電磁弁を作動
させて流量コントロールを行ってもよい、 なお巻線抵抗７を検出管１の流入側と流出側の両端に設
け、それぞれがホイートストンブリッジ回路を形成する
ようにしておけば、流入側と流出側との温度差を補正で
き、より正確なガス流量検出ができる。
以上説明したように本発明は、ガスの流量に応じてホイ
ートストンブリ・ソジ回路に発生する電位差により流量
を検出するため、目視で検出していたのに比べ正確にガ
ス流量の検出ができる効果がある。さらに本発明はガス
の種類に限定されることもなく、また微量なガス流量の
検出のみならず、多量のガス流量の検出にも適用できる
ことは勿論である。
ートストンブリ・ソジ回路に発生する電位差により流量
を検出するため、目視で検出していたのに比べ正確にガ
ス流量の検出ができる効果がある。さらに本発明はガス
の種類に限定されることもなく、また微量なガス流量の
検出のみならず、多量のガス流量の検出にも適用できる
ことは勿論である。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。
１・・・検出管、２・・・ヒーター、３・・・ホイート
ストンブリッジ回路、４．５．６・・・可変抵抗、７・
・・巻線抵抗、８．９・・・端子９
ストンブリッジ回路、４．５．６・・・可変抵抗、７・
・・巻線抵抗、８．９・・・端子９
Claims (1)
- 一定温度に加熱可能なヒーター手段を有し被流量検出ガ
スを通す検出管を設け、この検出管にホイートストンブ
リッジ回路の一部を形成する巻線抵抗を設け、前記検出
管内のガス流量変化に対応する該検出管の温度変化を前
記巻線抵抗の電気抵抗変化に置き換えてガス流量を検出
することを特徴とするガス流量検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63205339A JPH0254123A (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 | ガス流量検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63205339A JPH0254123A (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 | ガス流量検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0254123A true JPH0254123A (ja) | 1990-02-23 |
Family
ID=16505269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63205339A Pending JPH0254123A (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 | ガス流量検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0254123A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8004859B2 (en) | 2009-01-30 | 2011-08-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electronic apparatus |
| US9791154B2 (en) | 2013-06-18 | 2017-10-17 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Power generation system and method of operating power generation system |
-
1988
- 1988-08-17 JP JP63205339A patent/JPH0254123A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8004859B2 (en) | 2009-01-30 | 2011-08-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electronic apparatus |
| US9791154B2 (en) | 2013-06-18 | 2017-10-17 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Power generation system and method of operating power generation system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5311762A (en) | Flow sensor calibration | |
| US4283944A (en) | Apparatus for measuring the mass of a fluid medium | |
| JPS60259922A (ja) | 歪センサ | |
| JPH0432328B2 (ja) | ||
| US5837884A (en) | Humidity sensor using temperature sensing resistor controlled to be at constant temperature of more than 150° C. | |
| EP0387025B1 (en) | Temperature compensating circuit | |
| US4843881A (en) | Fluid flow sensor system | |
| Hinkle et al. | Toward understanding the fundamental mechanisms and properties of the thermal mass flow controller | |
| US6508117B1 (en) | Thermally balanced mass air flow sensor | |
| JPH0690062B2 (ja) | 熱式流速検出装置 | |
| JPH0254123A (ja) | ガス流量検出器 | |
| EP0324620B1 (en) | Angular velocity sensor | |
| US4807470A (en) | Circuit arrangement with a flow-measuring probe operated in a bridge circuit | |
| JP2003106886A (ja) | 熱式流量計 | |
| US20050000281A1 (en) | Flow sensor having improved operational performance | |
| JP2798184B2 (ja) | 流速センサ及び流速センサ付フルイディック流量計 | |
| JPH0934556A (ja) | マスフローコントローラ | |
| GB1573419A (en) | Wehatstone bridge measuring circuit | |
| JPS6242368Y2 (ja) | ||
| JPS61105422A (ja) | 流量測定装置 | |
| JPH0516730B2 (ja) | ||
| JPH02272335A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JP3721575B2 (ja) | 磁気式酸素計 | |
| JPS58158552A (ja) | ガスクロマトグラフにおける熱伝導度形検出器によるガス濃度の測定方法 | |
| JP3168782B2 (ja) | 電磁誘導加熱器 |