JPH0252970A - 冷却装置 - Google Patents
冷却装置Info
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- JPH0252970A JPH0252970A JP63204086A JP20408688A JPH0252970A JP H0252970 A JPH0252970 A JP H0252970A JP 63204086 A JP63204086 A JP 63204086A JP 20408688 A JP20408688 A JP 20408688A JP H0252970 A JPH0252970 A JP H0252970A
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- JP
- Japan
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- cooling system
- water
- temperature
- primary
- primary cooling
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 63
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000007710 freezing Methods 0.000 abstract description 5
- 230000008014 freezing Effects 0.000 abstract description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 abstract 1
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は冷却装置に関し、特に高周波用大電力増幅管冷
却する冷却装置に関する。
却する冷却装置に関する。
従来、この種の冷却装置は、第２図に示すような構成を
とっている。すなわち、一次冷却系としては、冷却水と
して利用する純水２を貯蔵するタンク１、純水２を送水
するポンプ３、配管４、二次冷却系へ熱を伝える熱交換
器６を備え、また、二次冷却系としては、エチレングリ
コール混入水８を貯蔵するタンク７、エチレングリコー
ル混入水８を送水するポンプ９、配管１０、一次冷却系
から熱を受ける熱交換器６、受けた熱を屋外に放出する
空冷式の熱交換器１１と、冷却用ファン１２を備えて、
一次冷却系の発熱を二次冷却系で冷却し、屋外に放散さ
せることによって被冷却体５の高周波用大電力増幅管の
冷却を行なっている。
とっている。すなわち、一次冷却系としては、冷却水と
して利用する純水２を貯蔵するタンク１、純水２を送水
するポンプ３、配管４、二次冷却系へ熱を伝える熱交換
器６を備え、また、二次冷却系としては、エチレングリ
コール混入水８を貯蔵するタンク７、エチレングリコー
ル混入水８を送水するポンプ９、配管１０、一次冷却系
から熱を受ける熱交換器６、受けた熱を屋外に放出する
空冷式の熱交換器１１と、冷却用ファン１２を備えて、
一次冷却系の発熱を二次冷却系で冷却し、屋外に放散さ
せることによって被冷却体５の高周波用大電力増幅管の
冷却を行なっている。
このような冷却装置では、さらに過冷却水防止用として
一次冷却系の水温を検知するための温度検知１３、制御
回路１４およびヒータ１５を備え、この温度検知器１３
によって検知した温度情報を受けてヒータ１５のオン・
オフを制御し冷却水の純水２の過冷却を防止している。
一次冷却系の水温を検知するための温度検知１３、制御
回路１４およびヒータ１５を備え、この温度検知器１３
によって検知した温度情報を受けてヒータ１５のオン・
オフを制御し冷却水の純水２の過冷却を防止している。
上述した冷却装置は、被冷却体としての高周波大電力増
幅管に印加されている高電圧による制約から一次冷却系
の過冷却による凍結を防止するため、温度センサで純水
の温度を検知しつつ、純水を暖めるヒーターに電圧を印
加し純水の温度を０°Ｃ以上に保つ必要がある。
幅管に印加されている高電圧による制約から一次冷却系
の過冷却による凍結を防止するため、温度センサで純水
の温度を検知しつつ、純水を暖めるヒーターに電圧を印
加し純水の温度を０°Ｃ以上に保つ必要がある。
従って、寒冷時は、通常の冷却電力に加えて、過冷却防
止のためのヒーターの電力が必要となるという欠点があ
る。
止のためのヒーターの電力が必要となるという欠点があ
る。
本発明の装置は、被冷却体を冷却水で水冷する一時冷却
系と、前記一次冷却系による発熱を屋外に排出する二次
冷却系を備えて成る冷却装置において、前記一次冷却系
の冷却水の水温に対応して前記二次冷却系の動作および
非動作を制御しつつ前記一次冷却系の過冷却を抑止する
手段を備えて構成される。
系と、前記一次冷却系による発熱を屋外に排出する二次
冷却系を備えて成る冷却装置において、前記一次冷却系
の冷却水の水温に対応して前記二次冷却系の動作および
非動作を制御しつつ前記一次冷却系の過冷却を抑止する
手段を備えて構成される。
［］実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の構成図である。第１図に示
す実施例は、一次冷却系として、冷却水である純水２を
貯蔵するタンク１、純水９を送水するポンプ３、配管４
、一次冷却系へ熱を伝える熱交換器６を備え、また二次
冷却系として、エチレングリコール混入水８を貯蔵する
タンク７、エチレングリコール混入水を送水するポンプ
９、配管１０．１次冷却系から熱を受ける熱交換器６、
受けた熱を屋外に放出する空冷式熱交換器１１と冷却用
ファン１２を備え、また、過冷却防止用として一次冷却
系の水温を検知するための温度検知器１３、温度検知器
１３による検知温度を受けて二次冷却系のポンプ９なら
びに冷却用ファン１２の動作をオン・オフする制御回路
１４を備えさらに第１図には被冷却体５を併記して示す
。
す実施例は、一次冷却系として、冷却水である純水２を
貯蔵するタンク１、純水９を送水するポンプ３、配管４
、一次冷却系へ熱を伝える熱交換器６を備え、また二次
冷却系として、エチレングリコール混入水８を貯蔵する
タンク７、エチレングリコール混入水を送水するポンプ
９、配管１０．１次冷却系から熱を受ける熱交換器６、
受けた熱を屋外に放出する空冷式熱交換器１１と冷却用
ファン１２を備え、また、過冷却防止用として一次冷却
系の水温を検知するための温度検知器１３、温度検知器
１３による検知温度を受けて二次冷却系のポンプ９なら
びに冷却用ファン１２の動作をオン・オフする制御回路
１４を備えさらに第１図には被冷却体５を併記して示す
。
上述した制御回路１４は、・一次冷却系の水温を検知し
、水温が低下すると、まず冷却用のファン１２を停止さ
せ、さらに低下した場合にはさらにポンプ９を停止させ
水温の低下による凍結を防止している。
、水温が低下すると、まず冷却用のファン１２を停止さ
せ、さらに低下した場合にはさらにポンプ９を停止させ
水温の低下による凍結を防止している。
こうして、一次冷却系の冷却水の温度に対応して二次冷
却系の動作な制御することにより、過冷却防止のための
、電力消費を著しく抑圧できる。
却系の動作な制御することにより、過冷却防止のための
、電力消費を著しく抑圧できる。
以上説明したように本発明は、温度検知器を用いて一次
冷却系の水温を検知しつつ二次冷却系の動作を制御する
ことにより、付加的な電力消費を必要とすることなく、
かつ消費電力を著しく節減して一次冷却系の凍結を防止
することができるという効果がある。
冷却系の水温を検知しつつ二次冷却系の動作を制御する
ことにより、付加的な電力消費を必要とすることなく、
かつ消費電力を著しく節減して一次冷却系の凍結を防止
することができるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は従来の冷
却装置の構成図である。 １・・・タンク、２・・・純水、３・・・ポンプ、４・
・・配管、５・・・被冷却体、６・・・熱交換器、７・
・・タンク、８・・・エチレングリコール混入水、９・
・・ポンプ、１０・・・配管、１１・・・空冷式熱交換
器、１２・・・ファン、１３・・・温度検知器、１４・
・・制御回路、１５・・・ヒータ１６・・・建物。 第 ／ Ｘ
却装置の構成図である。 １・・・タンク、２・・・純水、３・・・ポンプ、４・
・・配管、５・・・被冷却体、６・・・熱交換器、７・
・・タンク、８・・・エチレングリコール混入水、９・
・・ポンプ、１０・・・配管、１１・・・空冷式熱交換
器、１２・・・ファン、１３・・・温度検知器、１４・
・・制御回路、１５・・・ヒータ１６・・・建物。 第 ／ Ｘ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被冷却体を冷却水で水冷する一時冷却系と、前記一次冷
却系による発熱を屋外に排出する二次冷却系を備えて成
る冷却装置において、 前記一次冷却系の冷却水の水温に対応して前記二次冷却
系の動作および非動作を制御しつつ前記一次冷却系の過
冷却を抑止する手段を備えて成ることを特徴とする冷却
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63204086A JPH0252970A (ja) | 1988-08-16 | 1988-08-16 | 冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63204086A JPH0252970A (ja) | 1988-08-16 | 1988-08-16 | 冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0252970A true JPH0252970A (ja) | 1990-02-22 |
Family
ID=16484554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63204086A Pending JPH0252970A (ja) | 1988-08-16 | 1988-08-16 | 冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0252970A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007066582A1 (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-14 | Nikon Corporation | 温調装置、露光装置、温調方法及びデバイスの製造方法 |
| JP2013204956A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Kurita Water Ind Ltd | 純水冷却装置の運転方法 |
-
1988
- 1988-08-16 JP JP63204086A patent/JPH0252970A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007066582A1 (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-14 | Nikon Corporation | 温調装置、露光装置、温調方法及びデバイスの製造方法 |
| JP2013204956A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Kurita Water Ind Ltd | 純水冷却装置の運転方法 |
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