JPH0252716B2 - - Google Patents
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- JPH0252716B2 JPH0252716B2 JP5159383A JP5159383A JPH0252716B2 JP H0252716 B2 JPH0252716 B2 JP H0252716B2 JP 5159383 A JP5159383 A JP 5159383A JP 5159383 A JP5159383 A JP 5159383A JP H0252716 B2 JPH0252716 B2 JP H0252716B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/246—Replenishment of source material
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、鋼帯等の被めつき材に連続的に金属
皮膜を真空蒸着する真空蒸着装置に関する。
皮膜を真空蒸着する真空蒸着装置に関する。
従来の亜鉛真空蒸着装置を第１図及び第２図に
示す。この装置は、アンコイラ１から巻戻された
被めつき材である鋼帯２を入側差圧排気室群３か
ら真空蒸着室４に入れ、その表面に蒸発るつぼ５
から蒸発した亜鉛を蒸着する。亜鉛を蒸着した鋼
帯２は、出側差圧排気室群６を経てコイラ７に巻
かれて製品となる。
示す。この装置は、アンコイラ１から巻戻された
被めつき材である鋼帯２を入側差圧排気室群３か
ら真空蒸着室４に入れ、その表面に蒸発るつぼ５
から蒸発した亜鉛を蒸着する。亜鉛を蒸着した鋼
帯２は、出側差圧排気室群６を経てコイラ７に巻
かれて製品となる。
上記蒸発るつぼ５に保持されている溶融亜鉛８
は、大気中にある溶解炉９から大気圧により連通
管１０を介して補給される。蒸発るつぼ５、連通
管１０及び溶解炉９にはヒータ１１，１２が付設
されて、所定の温度に溶融亜鉛８を加熱してい
る。
は、大気中にある溶解炉９から大気圧により連通
管１０を介して補給される。蒸発るつぼ５、連通
管１０及び溶解炉９にはヒータ１１，１２が付設
されて、所定の温度に溶融亜鉛８を加熱してい
る。
なお図中１３は、溶融炉９を上昇又は下降させ
て蒸発るつぼ５内の亜鉛レベルを一定に保持又は
変更するためのレベル調整機。１４は、差圧排気
室群３，６に設けられたシールロール。１５は、
同室群３，６に設けられた排気口。１６は、真空
蒸着室４に設けられた排気口である。排気口１
５，１６は真空ポンプ（図示せず）に連結してい
る。
て蒸発るつぼ５内の亜鉛レベルを一定に保持又は
変更するためのレベル調整機。１４は、差圧排気
室群３，６に設けられたシールロール。１５は、
同室群３，６に設けられた排気口。１６は、真空
蒸着室４に設けられた排気口である。排気口１
５，１６は真空ポンプ（図示せず）に連結してい
る。
しかしこの装置は、蒸発るつぼ５内の溶融亜鉛
８の表面に酸化亜鉛皮膜（スカム）１７が浮いて
おり、沸騰現象の原因となつている。沸騰が生じ
ると、液滴状の亜鉛が生成して鋼帯２に付着し、
この結果蒸着面の状態を悪化させ、製品価値を損
う問題がある。
８の表面に酸化亜鉛皮膜（スカム）１７が浮いて
おり、沸騰現象の原因となつている。沸騰が生じ
ると、液滴状の亜鉛が生成して鋼帯２に付着し、
この結果蒸着面の状態を悪化させ、製品価値を損
う問題がある。
酸化亜鉛皮膜（スカム）１７が生成する原因と
しては、以下に示すスタートアツプ法に欠点があ
るためである。すなわち蒸着作業を一時停止する
場合、第２図に示すように溶解炉９のレベルを下
げて蒸発るつぼ５内から溶融亜鉛８を排出する必
要がある。この際、溶融亜鉛の一部が蒸発るつぼ
５及び連通管１０の内壁に付着残留する。この付
着亜鉛１８は大気又は不活性ガス雰囲気中の酸化
性ガスにより酸化され、付着亜鉛１８の表面に酸
化亜鉛皮膜１７を生成する。
しては、以下に示すスタートアツプ法に欠点があ
るためである。すなわち蒸着作業を一時停止する
場合、第２図に示すように溶解炉９のレベルを下
げて蒸発るつぼ５内から溶融亜鉛８を排出する必
要がある。この際、溶融亜鉛の一部が蒸発るつぼ
５及び連通管１０の内壁に付着残留する。この付
着亜鉛１８は大気又は不活性ガス雰囲気中の酸化
性ガスにより酸化され、付着亜鉛１８の表面に酸
化亜鉛皮膜１７を生成する。
この状態で次にスタートアツプすると、溶解炉
９から連通管１０を介して蒸発るつぼ５内に溶融
亜鉛８が供給される。そしてこの通過溶融亜鉛に
より、連通管１０や蒸発るつぼ５に付着していた
酸化亜鉛皮膜１７が剥離し、蒸発るつぼ５内の溶
融亜鉛８の表面にスカムとして浮遊してしまう。
９から連通管１０を介して蒸発るつぼ５内に溶融
亜鉛８が供給される。そしてこの通過溶融亜鉛に
より、連通管１０や蒸発るつぼ５に付着していた
酸化亜鉛皮膜１７が剥離し、蒸発るつぼ５内の溶
融亜鉛８の表面にスカムとして浮遊してしまう。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、そ
の目的とするところは、スタートアツプ前に酸化
皮膜を除去することにより、スタートアツプを良
好におこなうことができる真空蒸着装置を得んと
するものである。
の目的とするところは、スタートアツプ前に酸化
皮膜を除去することにより、スタートアツプを良
好におこなうことができる真空蒸着装置を得んと
するものである。
すなわち本発明は、被めつき材が走行する真空
蒸着室内に溶融金属を入れた蒸発るつぼを配置し
た真空蒸着装置において、上記蒸発るつぼの内側
に間隙を設けて取付けられ下部を上記蒸発るつぼ
の溶融金属に浸漬可能に突出した受け板と、下部
を上記蒸発るつぼの溶融金属に浸漬して上記受け
板方向に移動自在に設けたかきとり板とを具備し
たことを特徴とする。
蒸着室内に溶融金属を入れた蒸発るつぼを配置し
た真空蒸着装置において、上記蒸発るつぼの内側
に間隙を設けて取付けられ下部を上記蒸発るつぼ
の溶融金属に浸漬可能に突出した受け板と、下部
を上記蒸発るつぼの溶融金属に浸漬して上記受け
板方向に移動自在に設けたかきとり板とを具備し
たことを特徴とする。
以下本発明を第３図〜第５図にもとづいて説明
する。
する。
第３図は本発明の一実施例を示す真空蒸着装置
の説明図、第４図は蒸発るつぼの平面図、第５図
は同断面図である。この装置は、真空蒸着室４、
蒸発るつぼ５、溶解炉９、連通管１０、ヒータ１
１，１２などを備えているが、これらの構成は第
１図に示すものと同じなので、同一符号を付して
その説明を省略する。本発明に係る真空蒸着装置
は、従来のものに加えて更に受け板１９とかきと
り板２０とを設けている。受け板１９は、逆Ｌ字
状をなし、蒸発るつぼ５の上部内壁に取付けられ
ている。この受け板１９の下端は真空蒸着時の液
面レベルＡより下で、かつかきとり時の液面レベ
ルＢより上に位置している。上記かきとり板２０
は下端がかきとり時の液面レベルＢよりも下方に
あつて、受け板１９と対向する内壁から受け板１
９方向に移動できるようになつている。かきとり
板２０の駆動は、例えば第５図に示すようにかき
とり板２０を滑車２１に巻いたチエーン２２（又
はワイヤ）に取付け、滑車２１を連結棒２３を介
して真空蒸着室外の駆動装置（図示せず）に連結
してこれを回転させることによりおこなう。なお
図中２４は蒸着室隔壁、２５はシール部である。
又かきとり板２０の駆動手段は、この実施例に限
定されない。また受け板１９及びかきとり板２０
の材質は、溶融金属と反応せず、かつ耐熱性のあ
るものが好ましく、例えば溶融金属が亜鉛の場
合、Ｗ，Mo等の高融点金属、Al2O3，ZrO2等の
酸化物、炭素質材料などが好ましい。また受け板
１９は、蒸発るつぼ５と一体として製作してもよ
い。次にこの真空蒸着装置のスタートアツプ方法
につき説明する。
の説明図、第４図は蒸発るつぼの平面図、第５図
は同断面図である。この装置は、真空蒸着室４、
蒸発るつぼ５、溶解炉９、連通管１０、ヒータ１
１，１２などを備えているが、これらの構成は第
１図に示すものと同じなので、同一符号を付して
その説明を省略する。本発明に係る真空蒸着装置
は、従来のものに加えて更に受け板１９とかきと
り板２０とを設けている。受け板１９は、逆Ｌ字
状をなし、蒸発るつぼ５の上部内壁に取付けられ
ている。この受け板１９の下端は真空蒸着時の液
面レベルＡより下で、かつかきとり時の液面レベ
ルＢより上に位置している。上記かきとり板２０
は下端がかきとり時の液面レベルＢよりも下方に
あつて、受け板１９と対向する内壁から受け板１
９方向に移動できるようになつている。かきとり
板２０の駆動は、例えば第５図に示すようにかき
とり板２０を滑車２１に巻いたチエーン２２（又
はワイヤ）に取付け、滑車２１を連結棒２３を介
して真空蒸着室外の駆動装置（図示せず）に連結
してこれを回転させることによりおこなう。なお
図中２４は蒸着室隔壁、２５はシール部である。
又かきとり板２０の駆動手段は、この実施例に限
定されない。また受け板１９及びかきとり板２０
の材質は、溶融金属と反応せず、かつ耐熱性のあ
るものが好ましく、例えば溶融金属が亜鉛の場
合、Ｗ，Mo等の高融点金属、Al2O3，ZrO2等の
酸化物、炭素質材料などが好ましい。また受け板
１９は、蒸発るつぼ５と一体として製作してもよ
い。次にこの真空蒸着装置のスタートアツプ方法
につき説明する。
溶解炉９を予め加熱して炉内の蒸発用亜鉛など
を溶融させておく。一方蒸発るつぼ５、受け板１
９及び連通管１０を溶融金属の融点以上に加熱し
ておく。又かきとり板２０は、受け板１９の反対
側の位置（第４図に示す位置）に待機させてお
く。この状態で真空蒸着室４内を排気して、溶融
金属８（溶融亜鉛）をかきとり時のレベルＢまで
供給する。このかきとり板２０を受け板１９の位
置まで移動して、溶融金属８上の酸化皮膜１７を
かきとる。次にレベル調節機１３により溶融金属
８のレベルを蒸着レベルＡまで上げて蒸着を開始
する。
を溶融させておく。一方蒸発るつぼ５、受け板１
９及び連通管１０を溶融金属の融点以上に加熱し
ておく。又かきとり板２０は、受け板１９の反対
側の位置（第４図に示す位置）に待機させてお
く。この状態で真空蒸着室４内を排気して、溶融
金属８（溶融亜鉛）をかきとり時のレベルＢまで
供給する。このかきとり板２０を受け板１９の位
置まで移動して、溶融金属８上の酸化皮膜１７を
かきとる。次にレベル調節機１３により溶融金属
８のレベルを蒸着レベルＡまで上げて蒸着を開始
する。
この操作により溶融金属８上の酸化皮膜１７
は、かき取られて受け板１９に集められ封入され
ている。このため蒸発面には酸化皮膜はなく、異
常沸騰を生ずることはない。
は、かき取られて受け板１９に集められ封入され
ている。このため蒸発面には酸化皮膜はなく、異
常沸騰を生ずることはない。
なお受け板１９に集められた酸化皮膜１７は、
運転を停止し、溶融金属８を蒸発るつぼ５から溶
解炉９に抜き出した時に、溶解炉９内の溶融金属
表面に浮遊した酸化皮膜として取り除く。またこ
の装置は、亜鉛の真空蒸着に限らず、他の金属に
も適用できる。
運転を停止し、溶融金属８を蒸発るつぼ５から溶
解炉９に抜き出した時に、溶解炉９内の溶融金属
表面に浮遊した酸化皮膜として取り除く。またこ
の装置は、亜鉛の真空蒸着に限らず、他の金属に
も適用できる。
以上説明したように、本発明によれば蒸着時に
溶融金属の蒸発面上に酸化皮膜がないので、異常
沸騰を生ぜず、正常な蒸着をおこなうことができ
る。
溶融金属の蒸発面上に酸化皮膜がないので、異常
沸騰を生ぜず、正常な蒸着をおこなうことができ
る。
第１図は従来の真空蒸着装置の説明図、第２図
は同装置のスタートアツプ時の説明図、第３図は
本発明の一実施例を示す真空蒸着装置の説明図、
第４図は同装置の蒸発るつぼの平面図、第５図は
同断面図である。 １……アンコイラ、２……鋼帯、３……入側差
圧排気室群、４……真空蒸着室、５……蒸発るつ
ぼ、６……出側差圧排気室群、７……コイラ、８
……溶融亜鉛（溶融金属）、９……溶解炉、１０
……連通管、１１，１２……ヒータ、１３……レ
ベル調整機、１４……シールロール、１５，１６
……排気口、１７……酸化亜鉛皮膜（酸化皮膜）、
１８……付着亜鉛、１９……受け板、２０……か
きとり板、２１……滑車、２２……チエーン、２
３……連結棒、２４……蒸着室隔壁、２５……シ
ール部。
は同装置のスタートアツプ時の説明図、第３図は
本発明の一実施例を示す真空蒸着装置の説明図、
第４図は同装置の蒸発るつぼの平面図、第５図は
同断面図である。 １……アンコイラ、２……鋼帯、３……入側差
圧排気室群、４……真空蒸着室、５……蒸発るつ
ぼ、６……出側差圧排気室群、７……コイラ、８
……溶融亜鉛（溶融金属）、９……溶解炉、１０
……連通管、１１，１２……ヒータ、１３……レ
ベル調整機、１４……シールロール、１５，１６
……排気口、１７……酸化亜鉛皮膜（酸化皮膜）、
１８……付着亜鉛、１９……受け板、２０……か
きとり板、２１……滑車、２２……チエーン、２
３……連結棒、２４……蒸着室隔壁、２５……シ
ール部。
Claims (1)
- １ 被めつき材が走行する真空蒸着室内に溶融金
属を入れた蒸発るつぼを配置した真空蒸着装置に
おいて、上記蒸発るつぼの内側に間隙を設けて取
付けられ下部を上記蒸発るつぼの溶融金属に浸漬
可能に突出した受け板と、下部を上記蒸発るつぼ
の溶融金属に浸漬して上記受け板方向に移動自在
に設けたかきとり板とを具備したことを特徴とす
る真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5159383A JPS59177368A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5159383A JPS59177368A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59177368A JPS59177368A (ja) | 1984-10-08 |
| JPH0252716B2 true JPH0252716B2 (ja) | 1990-11-14 |
Family
ID=12891206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5159383A Granted JPS59177368A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59177368A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2870719B2 (ja) * | 1993-01-29 | 1999-03-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置 |
| JP3406488B2 (ja) * | 1997-09-05 | 2003-05-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
| US6207006B1 (en) | 1997-09-18 | 2001-03-27 | Tokyo Electron Limited | Vacuum processing apparatus |
| CN117888061B (zh) * | 2024-03-14 | 2024-05-24 | 天水天光半导体有限责任公司 | 一种银金属蒸发真空镀膜的方法 |
-
1983
- 1983-03-29 JP JP5159383A patent/JPS59177368A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59177368A (ja) | 1984-10-08 |
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