JPH02504436A

JPH02504436A - カラーフィルターアレイ

Info

Publication number: JPH02504436A
Application number: JP1506461A
Authority: JP
Inventors: ウェイク，ロナルド・ウォーレン; レイセル，シビル・リーバー; マクガッキン，ヒュー・ジェラルド
Original assignee: イーストマン・コダック・カンパニー
Priority date: 1988-05-19
Filing date: 1989-05-11
Publication date: 1990-12-13
Also published as: EP0366785A1; WO1989011679A1; DE68917256D1; US4876166A; EP0366785B1; DE68917256T2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】カラーフィルターアレイ挟丘九訪本発明はカラーフィルターアレイに関する。

１１改拡イメージセンサ−は、基板中にポテンシャル井戸または空乏領域を生じる検出素子を備えている０色のパターンを有するカラーフィルターアレイは検出素子上の上方に選択的に形成される。光はこれらのカラーパターンを通過し、ポテンシャル井戸に集められるべき電荷を生じる。

カラーフィルターアレイは一般に２種に分類される。すなわちレッド、グリーンおよびブルーを用いる原色型アレイ（ＲＧＢ）、ならびにホワイト、イエローおよびシアン（ＷＹＣ）またはホワイト、イエロー、シアンおよびグリーン＜ＷＹＣＧ）を用いる補色型フィルターアレイである。部分原色一部分補色フィルターアレイ様のＷＹＣＧの場合、原色のスペクトル特性が、２種の補色が重なった際に設定されるものと一致しない限り、良好な色の再現は達成されない。

カラーフィルターアレイは現在、光電子センサー上に、カチオン媒染剤を含有するジアゾ樹脂または他の適宜な結合剤をパターン形成することにより作成されている。次いでこのパターンをアニオン染料の溶液で処理する。その結果、アニオン染料がカチオン媒染剤部位に結合することにより、染料がパターン同へ取込まれる。全カラーフィルターアレイはこれら染色されたパターンの多重層を必要とし、従ってオーバーコーテイングが必要である。各層につき同種の樹脂を用いるので、染料もすべてアニオン系でなければならない、このため、染料が媒染剤に十分に堅固に結合していない場合には問題が生じる。すなわち次の層の樹脂をオーバーコートする際に若干の染料が浸出し、このためパターン全体にわたって最適な染料濃度を下回りかつ不均一な染料濃度となる。この、次の層をパターン形成する際に、常に下層の染色パターンの領域が若干露出したまま残される。その結果、これらの露出領域への第２染料の取込みによって、目的としない交差染色が起こる。

この問題は、次の層をコーティングする前に、染色パターンを中間処理することによって回避される。この処理は浸出する染料に対するバリヤーとして作用させ、従って交差染色を防止するためのものである。しかしこの処理には材料を施すための少なくとも１回の付加的コーティング工程が付随し、第２樹脂層を施す前にさらに処理を必要とする場合がしばしばある。この種のバリヤー処理の例は米国特許第４，３１５，９７８．４，３５５，０８７゜および４，３５７，４１５号明細書に示されている。

交差染色の間辻を除く方法は、米国特許第４，５８０，１５９号明細書に記載されている。これも、染色特性の異なる染料結合剤の層を交互に用いることを伴う、この方法は、一方が親水性であり、他方が疎水性であるという点で、本発明と異なる。親水層は酸性染料の溶液に浸漬することにより染色され、分散染料が疎水性結合剤中へ熱転写される。

この方法は確かに交差染色を防止するであろうが、これは疎水層をコーティングするために有機溶剤の使用をも伴う。これは、すべて親水性の系を用いる場合には生じない環境安全性および廃棄の問題を有機溶剤がひき起こすので、望ましくない。

また、熱転写染色法によって得られる染料濃度および均一性は、親水層を飽和に達するまで溶液染色する方法はど制御可能でない。

児！！」ト瓦本発明の目的は、上記の交差染色の問題が除かれる改良されたカラーフィルターアレイを提供することである。

この目的は、第１極性を有する第１ｇＸ染剤および第２の反対極性を有するカラー染料を含む第１層、ならびに第１媒染剤と反対の第２極性を有する第２ｇ染剤および第１極性を有するカラー染料を含む第２層からなる、イメージセンサ−用カラーフィルターアレイによって達成される区Ｉ！」１１ｒ説］− 第１（ａ−ｄ）図は、先行技術によりカラーフィルターアレイを作成する際に付随する各種工程を示し；第２図（ａ−ｃ）は本発明に従ってカラーフィルターアレイを作成する際に付随する各種工程を示す。

これらの図が説明の容易さのため縮尺でない点は認識されるであろう。

几朋！」口１月１本発明は電子イメージセンサ−上のカラーフィルターアレイの製造に特に有用であるが、これは多重層のパータン化された色を形成することが要求されるいかなる用途にも有用である。

第１ａ図は基板１０、一般にシリコンに形成された電子イメージセンサ−を示す。このセンサーは基本的には遮光領域１４（一般にアルミニウム製）により分離された感光性領域１２からなる。このセンサー全体が絶縁層１６（一般に二酸化ケイ素）で被覆されている。この時点では、感光性領域はカラー識別能をもたないため、明暗領域のみを感知しうるにすぎない。感色能は以下により得られる。

まずセンサーを材料１８でコーティングして、センサー表面をより平坦にする。

この材料は、後続樹脂層との混和を防ぎ、かつ用いる染料に対し不透過性となるのに十分なほど硬化しうるいかなるものであってもよい、この種の材料の例は先行技術においてバリヤ一層として用いたものと同一の材料、または上部の染料層に用いるものと同一の樹脂であってもよい。

センサー表面が微細な解像パターンを形成しうるのに十分なほど平坦になった時点で、第１の感光性媒染剤層２０を付与する。付与は必要な厚さおよび均質性を与えるいかなる方法によってもよい、電子イメージセンサ−に付与するための好ましい方法はスピンコーティングによるものである。これは、怒光性媒染剤の溶液をセンサーの表面に施して、センサーを希望する速度で回転させることによる。感光性媒染剤組成物はパターン形成しうるカチオン媒染剤組成物のいずれであってもよい。きわめて一般的にはこれらはジアゾ樹脂／カチオン媒染剤の組合わせである。これらの有用な例は米国特許第４，２２０，７００および４．２４７，６１５号明細書に記載されている。水溶性、感光性のジアゾ樹脂はいずれも使用できる。特に有用な例は次式の反復単位を含む低分子量樹脂である。

式中、Ｊは下記に定めるＪｌまたはＪ２であり、Ｘｅはアニオン、たとえばクロリドなどである。一般にこれらは活性カルボニル化合物、たとえばホルムアルデヒドまたはバラホルムアルデヒドを下記一般式のジアゾ化合物と縮合させることにより製造される。

Ｘ゛はハライド、たとえばクロリドであり；Ｍはジアゾニウム基を安定化することが知られている族の二価または三価の金属、たとえばカドミウム、亜鉛、ビスマス、ヒ素、アンチモン、スズ、鉄、白金、水銀であり：χｅはアニオンまたはアニオン混合物、たとえばハライドまたはスルフェートであり；そしてＪ２はフェニルまたは置換フェニルであり、この場合樹脂はｐ−ジアゾジフェニルアミン塩であり、Ｊｌは水素原子であり：Ｊ２およびＪ’は付加重合、ポリエステル化、縮合、または樹脂を生成しうる他の反応に関与しうる官能性をもつ有機残基であってもよい、この場合、Ｊｌと５２は同一でも異なってもよく、ジアゾニウム化合物は置換ｐ−ジアゾ−アニリンである。

きわめて好ましい樹脂は、ｐ−アミノジフェニルアミンのジアゾニウム塩たとえばジフェニルアミン−４−ジアゾニウムハライドまたはジフェニルアミン−４− ジアゾニウムホスフェートが酸中でアルデヒド類たとえばバラホルムアルデヒドまたはホルムアルデヒドと締合し、複金属塩たとえばクロロ亜鉛酸塩またはフルオロホウ酸塩に変換された酸縮合型生成物である。

この種の樹脂は一般的なものであり、その詳細はさらにたとえばコーザル（Ｋｏｓａｒ）、Ｌｉ　ｈｔ　　５ｅｎｓｉｔｉｖｅ　　Ｓ　ｓｔｅｍｓ　３２３−３２４頁＜１９６５）、および米国特許第３．２３５，３８４号明細書に記載されている。特に好適なジアゾ樹脂組成物はＲｅ５ｅａｒｃｈ　　Ｄ　１ｓｅｌｏｓｕｒｅ、　１６９巻、１６９７６頁、１９７８年５月１表題“連続色調に染色されたジアゾ系画像形成素子”に記載された組成物である。

ジアゾ樹脂に関して、ジアゾ基により付与される水溶性はＵＶ照射によって除かれるので、不溶化機構は沈殿の１種であり、架橋ではないと思われる。

被膜に向上した貯蔵寿命を付与するためには、前記のジアゾ樹脂に酸系防腐剤を添加するのが一般的である。このために用いられる通常の酸にはリン酸、クエン酸、ｐ−トルエンスルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸およびそれらの置換誘導体、２−ナフタリンスルホン酸などが含まれる。あるいは、直ちに使用する予定の場合、この種の酸系安定剤を省くことができる。酸系安定剤を用いる場合、量は約０．１＋＋ｌ？、／ｄａ、２（１，Ｏｍｙ、／ｆｔ、２）から約１．ＯＢ、／ｄｍ、’（１０，ＯＢ、／ｆｔ、２）の範囲とすることができる。

上記樹脂と混和したカチオン媒染剤は、画像形成下に光硬化した組成物から形成された素子を適宜な染料溶液に浸漬する際に、アニオン染料を媒染する作用を示す。必ずしもすべてのカチオン媒染剤がジアゾ樹脂に関し効果的に機能しうるわけではない、たとえばある種の媒染剤は樹脂を溶液から沈殿させ、組成物がコーティングされるのを防げるので、樹脂と不相溶性である。さらに他のものは、光硬化したジアゾ樹脂が基板に対して有する正常な付着性を実質的に除くか、または樹脂の光硬化を妨げる。従って媒染剤は相溶性媒染剤でなければならず、ここで用いる“相溶性媒染剤”とは、コーティングに必要な溶液特性、光硬化した樹脂の付着特性、光硬化過程自体、または光硬化に関連する他の何らかの樹脂特性のいずれに対する妨害であっても、ジアゾ樹脂の正常な光硬化能を妨害しないものである。

相溶性媒染剤とジアゾ樹脂の相互作用の機構は完全には分かっていない、すなわち、光架橋がジアゾ樹脂内のみで起こり、その中に媒染剤が閉じ込められるのか、または媒染剤がポリマー状である場合、樹脂と架橋するのかは明らかでない。

いずれにしろ媒染剤は、先に定義したように相溶性であるほかに、何らかの機構によって、光硬化した形の組成物中に保持されうるちのでなければならない。

有用な高分子量媒染剤には、これまで各種の写真用フィルム、紙および他の用途に用いられており、帯電したカチオン基を有する反復モノマ一単位を含む組成をもつある種のものが含まれる。もちろん、上記の特性および化学組成を有するが、これまで写真技術の分野で有用な写真用媒染剤であることが確認されていなかった他の高分子材料な用いることも本発明の範囲に含まれると認識すべきである。

本発明に使用しうる特に有用な高分子量媒染剤組成物は下記構造式に相当する反復単位を含むビニルベンジル第四アンモニウムポリマー系媒染剤である。

ＣＩ（−Ｒ’ 式中、Ｒ＋およびＲ２は同一かまたは異なり、６〜約２０個の炭素原子を含むアリール、アルアルキルもしくはアルカリール、または１〜約１０個の炭素原子を含むアルキル基であり；ｎは０．１または２であり；Ｒ３およびＲ４は双方とも水素原子であるか、またはそれらが結合している炭素原子と一緒に、５〜１０個の炭素原子を含む飽和、不飽和または芽香族の環または環系、たとえばシクロヘキシル、シクロペンチル、フェニルおよびナフチルを形成し：そしてＸｅはアニオン、たとえばハライド、たとえばクロリド；メトスルフェート；またはｐ−１ルエンスルホネートである。

媒染剤がコポリマーである場合、高分子量媒染剤の残部は決定的ではない。多種のエチレン性不飽和モノマーを上記のビニルベンゼン第四アンモニウムモノマーと共重合させて、満足すべき媒染剤を生成しうる。ビニレンベンゼン類、たとえばスチレンがａ染剤コポリマーに含有させるのに好ましいエチレン性不飽和モノマーである。上記の第四アンモニウム含有反復単位は通常、高分子量媒染剤の１０〜１００．８ましくは４ｏ〜１００モル％を構成する。

好ましいカチオン媒染剤の例は米国特許第４，２２０，７００号および同一出願人による米国特許出願第８７６．５１０号明細書（１９８６年６月２０日出願、表題“カラーフィルターアレイ”）に挙げられており、その記載をここに参考として引用する。

媒染剤とジアゾ樹脂の相対量は媒染剤の媒染強度、カラーフィルターアレイのカラーフィルター素子を形成するために用いられる個々の染料、その他の因子に依存する。ジアゾ樹脂の好ましい範囲は約０．１６〜約１．０す／ｄａ’（被Ｍ）、および媒染剤の好ましい範囲は約０．５〜約５．０ｍｙ／ｄｍ２、好ましくは約１．０〜１．５ｍ２／ｄｍ２である。

コーティングしたのち、層を周囲温度または高められた温度で乾燥させることにより、溶剤、一般に水を除去する９次いで、得られた固体相を画像形成下に化学線、一般に紫外線に露光して、目的パターンを定める。露光後に、非露光領域の層を選択的に洗い去る現像液、一般に水に層を接触させる。層を保有する基板を一般に現像液に浸漬するか、または現像液を吹付けながら回転させ、均一な現像液の接触を保証する。

パターン付きのフィルタ一層が形成されたのち、アニオン帯電基を含む単一種の減法三原色で染色することが野ましい。これは、溶液状の染料をフィルタ一層と接触させ、染料をフィルタ一層に転染させることにより行われる。原則としてアニオン電荷をもつ染料はいずれもパターン付きカチオン媒染剤層に転染されるが、前記の米国特許出願第８７６．５１０号明細書（１９８６年６月２０日出願３表題“カラーフィルターアレイ”）に教示されるように減法三原色（シアン、マゼンタおよびイエロー）が好ましい。好ましいイエロー、マゼンタおよびシアン染料の例は同明細書中に挙げられている。

パターン付き染色されたフィルタ一層を第２ａ図の素子２゜として示す。カラーフィルターアレイ作成のこの時点で、先行技術は後続のオーバーコーテイングにより素子２０が何らの変化を生じるのを防止するために、第１ｃ図のバリヤ一層２２をコーティングする必要がある。しかし本発明は、第２ｂ図において次の光パターン形成可能な媒染剤層３０を直接コーティングすることができる。この光パターン形成可能な媒染剤層は、目的の厚さおよび均質性においてコーティングすることができ、光パターン形成可能であり、カチオン画像染料を強固に媒染しうるいかなる材料であってもよい９好ましくは層のすべての処理；コーティング、画像形成、および乾燥は、無毒性の親水性溶剤中で行うべきである。有用な一群の光硬化性感光性ポリマーは次式により表わされる感光性ポリエステルイオノマーである。

ＲＩは２〜１０個の炭素原子を含む直鎖もしくは分枝鎖アルキレン、たとえばエチレン、プロピレン、ブチレン、トリメチレン、２，２−ジメチル−１，３−プロピレン、もしくは１，１０−デシレノ１５〜６個の炭素原子を含むシクロアルキレン基、たとえば１，４−シクロヘキシレンもしくは１，４−ジクロヘキシレンジメチレン；または脂肪族エーテル鎖中に３〜１２個の炭素原子を含む脂肪族エーテル基、たとえばオキシジエチレンおよびエチレンビス（オキシエチレン）であり；Ｒ２は６〜１２個の炭素原子を含む芳香族残基、たとえばフェニレンまたはナフチレンであり；Ｒ３は２〜１０個の炭素原子を含む直鎖または分枝鎖アルキレン、たとえばエチレン、プロピレン、ブチレン、２．２−ジメチル−１，３−プロピレンおよび１．１０−ブチレンであり；Ｒ４は下記の構造を有するものから選ばれるイオン基であり：式中、？°ゝ１１；ＳＯ３”ＭΦ Ｈｅはアルカリ金属またはアンモニウムイオンであり；×は５０〜１００モル％であり；Ｖは０〜３５モル％であり； −はＯ〜３５モル％であり；ｙは５０〜８５モル％であり；そして２は１５〜４０モル％である。

感光性ポリエステルイオノマーはポリマー合成技術の分野で既知の方法により製造される。有用な感光性ポリエステルイオノマーの製造例はたとえば米国特許第３，９２９，４８９号および英国特許第１．４７０．０５９号明細書に記載されており、それらの記載をここに参考として引用する。

特に有用な感光性ポリエステルイオノマーは次式により表わされるポリ［１，４ −シクロヘキシレンビス（オキシエチレン）−ｐ−フェニレンジアクリレート− ｃｏ−３，３’−ソディオイミノジスルホニルビス（ベンゾエート）］である。

第１表これは第２ｃ図に示す三色アレイを与える。３個の異なる忌光領域１２は３種の異なる色の光を見るであろう、たとえば２０がシアン染料で染色され、３０がイエローで染色されている場合、２０と３０が重なる領域はグリーンの光のみを惑じるであろう。

本発明は２層のみを含むカラーフィルターアレイに限定されない。２０と同様な極性をもつ第３層を第２ｃ図に示すｍ迫上に施すことができる。この第３層は２０のものと同様な極性をもち、２０と接触する領域があると思われるので、各層の全体的配置を慎重に選ぶことが助言される。本発明を実施するのに好ましい方法は、第１のパターン付き層２０を染料が最も強く媒染される層となすことである。従って、この第１層が目的の色素で飽和される場合、同様な極性をもつ後続層からの妨害が防止されるであろう。

以下の例は本発明の実施態様をさらに説明するものであり、本発明の範囲を限定するものではない。

Ｋ芝匠直径７５ｍｍのガラス製ウェーハーこれは実際の基板でないため、付着を可能にする処理を施しであるーをジアゾ樹脂／媒染剤組成物７ｍ！’で２００Ｑｒｐｎにおいてスピンコーティングした。このジアゾ樹脂／Ｈ染剤組成物は前記の出願中の米国特許出願第８７６．５１０号明細書（１９８６年６月２０日出願）に記載されたものと同様であった。

目的とするシアンパターンを描いたガラス上クロムのマスクを通して５００ＩＩＩＪ／ｃＩ１１２の紫外線に露光した。この画像を流動脱イオン水で２０秒間現像し、銅フタロシアニンテトラスルホン酸テトラナトリウム塩で２０秒間染色したー前記の米国特許出願第８７６．５１０号明Ｓ書（１９８６年６月２０８出願、表題”カラーフィルターアレイ”）の記載に従う。

怒光性ボリエ・ステルイオノマー組成物は下記により調製された。まず２０９のポリ［１，４−シクロヘキシレンビス（オキシエチレン）−ｐ−フェニレンジアクリレ−）　−ｃｏ−３，３’−ソディオイミノジスルホニルビスくベンゾエート）コナ脱イオン水７０ｙに溶解し、オーリン（Ｏｆｉｎ）　１０　Ｇの１０％溶液１社を添加した。この混合物を撹拌し、５５〜６０℃に加熱し、これにアセトン中の２−［ビス（２−フロイル）メチレン］−１−二チルーナフト［１，２ −Ｄ］チアゾリンの１％溶液２０ｍ１を添加した。ア七トンの蒸発に伴ってこれは連続的に脱イオン水で置換され、最終容量１００＋＋＋ｆが維持された。

得られた５光性ポリエステルイオノマー溶液を、ウェーハが本質的に覆われるのに十分な容量で分配し、ウェーハを２０Ｏｒｐｍで２分間回転させることにより、上記のガラスウェーハ上にコーティングした。この被膜を全出力１０００ＷのＨｇＸｅランプで５秒間画像形成下に露光し、流動脱イオン水下で５秒間現像することにより、パターン形成を行った。得られたパターンは、ウェーハ上にこれを完全に覆うのに十分な容量の染料溶液を分配し、これを４５秒間放置して硬化させ、次いで過剰量を回転除去することにより染色された。染料溶液は下記のものから構成されていた。

第１表ｇ照　　　　　　　０．２ｇ。

脱イオン水　　　　　　　　１７＋ｅＬ。

上記のジアゾ／媒染剤−５光性組成物を同様な条件下で再びコーティングすることにより、第３カラ一層を付加した０画像形成も同様な方法で行われたが、ただしマスクはイエローに対する目的パターンを含んでいた。現像後にこのパターンを前記の米国特許出願第８７６．５１０号明細書（１９８６年６月２０日出願）に記載の構造のアリールアゾピラゾロン染料で染色した。

交差染色の問題はこの例により製造された精造物によって効果的に除かれたの　　　　お　　　１占本発明は、下層に結合の弱い染料が含まれる場合、隣接層に反対の極性をもつ媒染剤／染料系を用いる。下層にカチオン媒染剤およびアニオン染料が含まれる場合、次の層はアニオン媒染剤中にカチオン染料を吸収させることにより構成すべきである。アニオン媒染剤はコーティング操作中に下層からアニオン染料を抽出することはないであろう。同様に下層の保護されていない領域は、極性が不適合であるため、後続層の染色に際して目的外の染料を吸収することはないであろう。その結果、要求される工程がより少ない、簡潔な方法が得られる。

ＦＩＧ、　２ａＦＩＧ、Ｉａ＋り＝　！テ　七Ｒ）ＦＩＧ、　　Ｉｃ　　［光チテ収１テ）ＦＩＧ、　Ｉｄ　（又８杖７ｆｆ）国際ｙ４査報告 −−−−−−−−，，−−，−，，−−−−ＰＣＴ／ｌｌｓ　　８９１０２０４７ＦＩＧ、　２ｂ国際調査報告

Claims

【特許請求の範囲】

１．第１極性を有する第１媒染剤および第２の反対極性を有するカラー染料を含む第１層、ならびに第２極性を有する第２媒染剤および第１極性を有するカラー染料を含む第２層からなるカラーフィルターアレイ。
２．カチオン媒染剤およびアニオンカラー染料を含む第１層；ならびにアニオン媒染剤およびカチオン染料を含む第２層からなり、これにより交差染色が防止されたカラーフィルターアレイ。
３．請求の範囲第１項の記載において、カチオン媒染剤が下記のものであり： ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中、Ｒ１およびＲ２は同一かまたは異なり、６〜約２０個の炭素原子を含むアリール、アルアルキルもしくはアルカリール、または１〜約１０個の炭素原子を含むアルキル基であり；ｎは０，１または２であり；Ｒ３およびＲ４は双方とも水素原子であるか、またはそれらが結合している炭素原子と一緒に、５〜１０個の炭素原子を含む飽和、不飽和または芳香族の環または環系、たとえばシクロヘキシル、シクロペンチル、フェニルおよびナフチルを形成し；そしてＸ■はアニオン、たとえばハライド、たとえばクロリド；メトスルフェート；またはｐ−トルエンスルホネートである）アニオン媒染剤が下記のものである： ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中、Ｒ１は２〜１０個の炭素原子を含む直鎖もしくは分枝鎖アルキレン、たとえばエチレン、プロピレン、ブチレン、トリメチレン、２，２−ジメチル−１，３−プロピレン、もしくは１，１０−デシレン；５〜６個の炭素原子を含むシクロアルキレン基、たとえば１，４−シクロヘキシレンもしくは１，４−シクロヘキシレンジメチレン；または脂肪族エーテル鎖中に３〜１２個の炭素原子を含む脂肪族エーテル基、たとえばオキシジエチレンおよびエチレンビス（オキシエチレン）であり；Ｒ２は６〜１２個の炭素原子を含む芳香族残基、たとえばフェニレンまたはナフチレンであり；Ｒ３は２〜１０個の炭素原子を含む直鎖または分枝鎖アルキレン、たとえばエチレン、プロピレン、ブチレン、２，２−ジメチル−１，３−プロピレンおよび１，１０−デシレンであり；Ｒ４は下記の構造を有するものから選ばれるアニオン基であり： ▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼，および▲数式、化学式、表等があります▼ 式中、Ｍ■はアルカリ金属またはアンモニウムイオンであり；ｘは５０〜１００モル％であり；ｖは０〜３５モル％であり；ｗは０〜３５モル％であり；ｙは５０〜８５モル％であり；そしてｚは１５〜４０モル％である）カラーフィルターアレイ。
４．基板上にカラーアレイを形成する方法において、ａ）アニオン極性媒染剤またはカチオン極性媒染剤のいずれかを含有する第１樹脂の第１層をパターン形成し；ｂ）第１樹脂層を樹脂と反対の極性を有するカラー染料で処理し；ｃ）第１層のものと反対の極性を有する第２樹脂の第２層をパターン形成し；そしてｄ）第２樹脂層を第２樹脂と反対の極性を有するカラー染料で処理することよりなる方法。