JPH02503595A - 信号経路の電気的伝播時間の確認方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 信号経路の電気的伝播時間の確認方法 本発明は、それぞれ一方の端でたとえば集積モジュールに対する１つの端子に接 続されており、また他方の端にそれぞれ送信器および受信器を存する信号経路の 電気的伝播時間のｆＩ認方法に関するものである。

自動試験装置はたとえば集積回路をその無エラー性に関して検査する役割をする 。そのために自動試験装置は端子、たとえば接触要素を有し、そのなかに被試験 物が差し込まれる。続いて被試験物に試験信号が自動試験装置から供給され、そ の結果として被試験物から発せられる応答信号が取り出され、目標信号と比較さ れる。試験信号および応答信号の伝送は信号経路を介して行われ、その際にそれ ぞれ１つの信号経路が被試験物の１つの端子に対応付けられている。各信号経路 は試験信号の発生のための１つの送信器または応答信号の評価のための１つの受 信器を有する。１つの信号経路における被試験物の端子が１つの出力端であるか １つの入力端であるかに応じて、各信号経路は一方または他方の方向に作動させ られる。

集積回路に対する自動試験装置では、被試験物に対する接続個所（被試験物境界 個所とも呼ばれる）において、理想的な場合には、すべての信号経路が同一の電 気的長さを有していなければならない、すなわち、フォーマット化論理回路、ド ライバ、ケーブルなどを存する駆動時（試験対象物入力端）またはケーブル、コ ンパレータ、エラー論理回路を有する受信時（試験対象物出力端）に対する検査 の際に関与する信号経路はそれぞれ同一の電気的伝播時間を存するべきであり、 または種々の負荷条件のもとにこの際に生ずるドライバパルス側縁の歪曲および その試験対象物の回路スイッチングしきいの通過を考慮に入れるべきである。し かし個々の信号経路は相異なる伝播時間を存するので、信号経路を経て伝達され る信号が補正されなければならない、この過程は“デスキューイングと呼ばれる 。この補正は高価な外部の測定方法により行われ得る０、たとえば試験対象物境 界個所にパルスを１つの集積されたリレースイッチングマトリックスを介して特 殊ドライバおよびコンパレータ回路と結び付いて供給しまたは取り出し、またさ らに個々の信号経路の伝播時間を確認し得る。しかしこの方法は高価であり、ま た追加的に挿入された回路も伝播時間を有することを考慮に入れない。

本発明の課題は、大きな追加的費用なしに信号経路の相異なる伝播時間を補正す るための受信時に対する補正値を得るこきができる方法を提供することである。

この課題は特許請求の範囲第１項の前文による方法において特許請求の範囲第１ 項の特徴部分に記載されている特徴により解決される。

本発明の実施例は特許請求の範囲第２項以下にあげられている。

本発明による方法の利点は、追加的な要素として、試験対象物の代わりに試験対 象物境界個所に差し込まれる短絡ブリッジしか必要としないことである。伝播時 間の測定のために使用される信号は自動的に、伝播時間を検査されない存在する 信号経路を使って、測定すべき信号経路に対してほぼ等しい形態を有する中央パ ルスとして発生される。受信器の出力信号の時間的生起が中央パルスに関係して 確認され、またこれがすべての信号経路に対して確認されるならば、接続個所か ら信号経路を経て受信器への信号の伝達の相異なる伝播時間を特徴付ける相対値 が得られる。この値をたとえば最小値に正規化することにより、信号経路を経て の伝播時間の補正のために利用可能であり、また種々の伝播時間経路上の電気的 関係が均一化されていることに通ずる１つの補正係数が得られる。

以下、図面に示されている実施例により本発明を説明する。

第１図は１つの試験対象物に対する接続個所に通じており、また相異なる伝播時 間を確認されるべき信号経路の原理回路図、第２図は本方法を説明するための、 時間ｔを横軸にとったパルスダイアグラムである。

第１図には、接続個所ＡＳに接続されているたとえば８つの信号経路ＳＳが示さ れている。接続個所ＡＳにはたとえば試験時に試験対象物、たとえば集積回路が 差し込まれる。しかし、本方法によれば、これらの接続個所は短絡ブリッジＫＢ を介して互いに接続されている。信号経路の数は実際にははるかに多数、たとえ ば１０２４であってよい。

信号経路はたとえば送信器Ｓ、導線し、受信器Ｅから成っていてよい、たとえば 送信器Ｓはドライバ段であってよく、また受信器Ｅはコンパレータ段であってよ い、送信器Ｓの出力端に導線りの前に抵抗Ｒが挿入されていてもよい。

試験時には送信器Ｓを介して、試験信号が発せられ、これらの試験信号は導線り を経て接続個所ＡＳに伝達され、またそこから試験対象物入力端に到達する。接 続個所ＡＳが試験対象物出力端と接続されていれば、試験対象物から発せられた 応答信号が導線りを経て受信器已に伝達される。受信器Ｅは応答信号を参照電圧 を用いて評価し、また相応の信号Ｋを出力端に発する。自動試験装置のこの作動 は知られており、従ってこれ以上説明する必要はない。

個々の信号経路ＳＳの相異なる伝播時間を確認するため、試験対象物に対する接 続個所ＡＳが短絡ブリツジＫＢを用いて短絡される０次いで、測定すべき信号経 路の送信器を除いて全ての送信器Ｓがスイッチオンされ、また測定すべき信号経 路の受信器を除いて全ての受信器Ｅがスイッチオフされる。たとえば信号経路Ｓ ３１が試験されるべきであれば、この信号経路の送信器Ｓ１はスイッチオフされ 、この信号経路の受信器Ｅ１はスイッチオンされる。測定すべきではない信号経 路のスイッチオンされた送信器Ｓは次いで同時に能動化され、また出力端Ａに送 信パルスを発する。

個々の送信器Ｓは既に相異なる伝播時間を有し得るので、パルスは能動的な送信 器Ｓの出力端に種々の時点で現れる。このことは第２図の行Ｚ１に示されている 。たとえば、最初のパルス縁は、信号経路ＳＳ２の出力端Ａ２に現れるパルス縁 である。行Ｚ１の最後のパルス縁は、信号経路ＳＳ８の出力端Ａ８に現れるパル ス縁である０行Ｚ１のパルスダイアグラムは、時間的相互関係をもって信号経路 の個所Ａに生ずるパルスを重畳したものである。

次いで信号経路ＳＳの個所Ｂには、行Ｚ２に示されているパルス縁が生ずる。実 施例では個所Ｂに、個所Ａのパルスの振幅を二分する分圧器が設けられている。

再び最初のパルスは信号経路ＳＳ２の個所Ｂ２におけるパルスであり、最後のパ ルスは第８の信号経路ＳＳ８の個所Ｂ８におけるパルスである０種々の信号経路 の個々のパルスは再び行Ｚ２に重畳されて示されている。

個所Ｂにおけるパルス縁はいま導線りを経て接続個所ＡＳＯ点Ｃへ伝達される。

導線りにより決定される伝播時間の後にパルス縁が、第２図中の行Ｚ３に示され ているように、点Ｃに現れる。

接続個所ＡＳは短絡ブリッジＫＢにより短絡されているので、導ｖＡＬを経て伝 達されるパルスは、信号経路ＳＳを経て伝達されまた個所Ｃで反射されるパルス 縁から構成されている中央パルスＺＩに重畳する。この中央パルスＺｌの形態は 、他の信号経路が測定されるときにほとんど変化しない。なぜならば、パルスが 送られる多数の信号経路により個々の信号経路の伝播時間の差が等化されるから である。

行Ｚ２にはさらに、導線りを経て伝達される個々のパルス縁が個所Ｃにおいて反 射されまた信号経路の個所Ｂへ復帰伝達されることが示されている。こうして個 所Ｂにおけるパルス縁が２倍の値に高められる。

個所Ｃにおける中央パルスＺｌはいま信号経路３３１の導線Ｌ１を経てさらに伝 播し、また導線Ｌ１の伝播時間ＴＬＩの経過の後に信号経路５ＳＩＯ点Ｂ１に到 達する。このことは第２図の行Ｚ４に示されている。それによって中央パルスの パルス縁が受信器Ｅ１にも到達する。この個所における中央パルスの振幅が参照 電圧ＵＲを上回ると、受信器Ｅが１つの信号を発し得る。この信号の生起の時点 はいま、行Ｚ５のなかに示されている走査クロックＣＬによりｉ認される。すな わち、受信器Ｅ１の出力端には、中央パルスが参照電圧ＵＲを上回り、かつ同時 に走査クロックＣＬが与えられているとき、行Ｚ６に相応する１つの信号が現れ る。

第４図の実施例では、このことはたとえば走査クロック４が与えられているとき に生ずる。

この値、たとえばＳＳＩでは走査クロック４は１つのテーブルのなかに記憶され 、また個所Ｃから受信器Ｅ１の出力端へのパルスの伝播時間に対する尺度である 。

上記の方法がすべての信号経路ＳＳに対して繰り返され、その際に常に、測定す べきでない信号経路の送信器は同時に能動状態に切換えられ、また測定すべき信 号経路の受信器のみがスイッチオンされている。走査クロックＣＬが送信器Ｓの 能動状態への切換の時点に比較して常に同一の時点で開始されるならば、各信号 経路に対して走査クロックの数が、測定すべき信号経路の受信器における中央パ ルスＺＩのパルス縁の生起の際に確認され、またこの測定値が伝播時間の尺度と して利用され得る。こうして、信号経路の相異なる伝播時間に対する１つの指標 である信号経路の種々の伝播時間に対する相対値が得られる。いまこれらの測定 値がなおたとえば最小の測定値に正規化されると、信号経路を経て伝達される信 号が各信号経路のこの正規化された値により補正され得る。

本方法にとって重要なことは、送信器が同時に能動化され得ること、また走査ク ロックがすべての信号経路に対して同時にスイッチオンされ得ることである。測 定すべき信号経路の送信器はこの際にそれぞれスイッチオフされており、または その適合された出力抵抗（たとえば個所ＡにおけるＲはＺに等しい）に基づいて 信号経路の導波路に対する終端抵抗としての役割をする。こうして各信号経路に 対して中央パルス縁に対して相対的に、例えば１つのテーブルのなかに格納され 得る１つの個別測定値が得られる。

別のテーブルのなかに次いで伝播時間差が補正値（スキュー値）として記入され 得る。

上記の伝播時間補正方法は自動試験装置の較正のために短絡板ＫＢのほかに別の 電子的補助手段を全く必要としない。すなわち、すべての較正過程は自動試験装 置の内部で行われ得る。この補正方法はすべての測定値を走査クロックＣＬおよ びその微細遅延分解能に関係付けるので、較正は、走査クロックが直線的である ほど、またその遅延分解能が微細段であるほど正確である。もちろん、この方法 は他の自動試験装置内部の信号の検出および較正のためにも、これらが接続個所 Ａｓを介して近接可能であるかぎり、使用され得る。

また、中央パルス縁の発生は、接続個所ＡＳにおいて短絡されまた並列に駆動さ れる送信器により、このパルス縁の内部抵抗がｎ個の並列接続された信号経路か ら成っているので、あまり問題をもたらさない、たとえば１つの信号経路の導波 抵抗がＲ＝１００Ωであれば、内部抵抗はたとえば１００個の並列接続された送 信経路では１００Ω：ｔｏｏ＝１Ωであり、それによってたとえば２ｎｓの個別 送信器のスキュー誤差は２ｎｓ　＝　１００＝２０ｐｓしか表面化しない、中央 パルス縁の絶対位置はこの方法では重要でない、走査クロックを発生するだめの 装置は図示されていない、このような装置は公知であり、また自動試験装置のな かに通常存在している。

ｉＧ　　１

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. １．それぞれ一方の端で１つの接続個所に接続されており、また他方の端にそれ ぞれ送信器および受信器を有する信号経路の電気的伝播時間の確認方法において 、 ａ）すべての信号経路（ＳＳ）の接続個所（ＡＳ）が短絡され、ｂ）測定すべき 信号経路の受信器を除いてすべての受信器（Ｅ）がスイッチオフされ、 ｃ）測定すべき信号経路の送信器を除いてすべての送信器（Ｓ）がスイッチオン され、また同時に、付属の接続個所へ伝達されるそれぞれ１つの送信パルスを発 し、ｄ）短絡された接続個所（ＡＳ）において送信パルスが、測定すべき信号経 路を経て付属の受信器へ伝達されるので、１つの中央パルス（ＺＩ）に重畳し、 ｅ）測定すべき信号経路の受信器の出力端において、中央パルスによりトリガさ れるパルスの生起の時点が確認され、また伝播時間として特徴付ける測定値がテ ーブルに書込まれ、ｆ）過程ａ）ないしｅ）がすべての信号経路に対して行われ る過程を含んでいることを特徴とする信号経路の電気的伝播時間の確認方法。
2. ２．テーブル内に記憶された測定値が正規化され、その際に値が最小値に関係付 けられることを特徴とする請求項１記載の方法。
3. ３．測定すべき信号経路の受信器において中央パルス（ＺＩ）の生起の時点が、 １つの決定された時点で送信パルスのトリガと比較して開始されまたその数が中 央パルスによる送信器の影響までカウントされる走査クロック（ＣＬ）を用いて 確認されることを特徴とする請求項１または２記載の方法。
4. ４．受信器（Ｅ）が、中央パルスによりトリガされたパルスが参照値（ＵＲ）を 上回り、かつ走査クロック（ＣＬ）が与えられているときに、出力パルスを発す るコンパレータであることを特徴とする請求項１ないし３の１つに記載の方法。
5. ５．信号経路（ＳＳ）が送信器（Ｓ）と、出力端に接続されている導線（Ｌ）と 、送信器と導線との間の接続点に接続されている受信器（Ｅ）とを有し、その際 に導線（Ｌ）の自由端が接続個所（ＡＳ）を形成することを特徴とする請求項１ ないし４の１つに記載の方法。
6. ６．信号経路（ＳＳ）が自動試験装置の試験ピンの受信信号路を形成することを 特徴とする請求項１ないし５の１つに記載の方法。