JPH0246087B2 - - Google Patents
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- JPH0246087B2 JPH0246087B2 JP58145812A JP14581283A JPH0246087B2 JP H0246087 B2 JPH0246087 B2 JP H0246087B2 JP 58145812 A JP58145812 A JP 58145812A JP 14581283 A JP14581283 A JP 14581283A JP H0246087 B2 JPH0246087 B2 JP H0246087B2
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- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims 2
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/247—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using time shifts of pulses
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は特許請求の範囲第１項の上位概念によ
る長さ又は角度測定装置に関する。
る長さ又は角度測定装置に関する。
（従来の技術）
公知の長さ又は角度測定装置では走査ユニツト
によつて相互に位相のずれた２つのアナログ信号
が発生しそのうちアナログ信号の相互位相の調整
のために１つのアナログ信号が増幅混合段の第１
入力部に入り、その第２入力部に調整電圧が供給
され調整電圧は他のアナログ信号から導き出され
かつ電気的調整部材を介して調整可能である。
によつて相互に位相のずれた２つのアナログ信号
が発生しそのうちアナログ信号の相互位相の調整
のために１つのアナログ信号が増幅混合段の第１
入力部に入り、その第２入力部に調整電圧が供給
され調整電圧は他のアナログ信号から導き出され
かつ電気的調整部材を介して調整可能である。
この構成は必要な電気的要素のためにコスト高
でありかつ故障があり、そのためにこの電気的要
素を含む評価装置の交換の際に交換前の調整値は
失われる。
でありかつ故障があり、そのためにこの電気的要
素を含む評価装置の交換の際に交換前の調整値は
失われる。
更にアナログ走査信号の振幅の調整のための光
電的位置測定装置では走査ユニツトの走査フイー
ルドを通つて入射する光量をねじによつて調整す
ることが公知である。
電的位置測定装置では走査ユニツトの走査フイー
ルドを通つて入射する光量をねじによつて調整す
ることが公知である。
（発明の課題）
本発明はそのような位置測定装置で簡単な手段
によつて評価装置と無関係に予め与えられた位相
角の調整を可能にすることを課題とする。
によつて評価装置と無関係に予め与えられた位相
角の調整を可能にすることを課題とする。
（課題の解決のための手段）
この課題は特許請求の範囲第１項の特徴部によ
つて解決される。
つて解決される。
（発明の効果）
本発明によつて得られる利益は提案された手段
が評価装置の交換の際でも保持されるような位相
角の支障のない調整を可能にすることにある。
が評価装置の交換の際でも保持されるような位相
角の支障のない調整を可能にすることにある。
本発明の有利な他の構成は特許請求の範囲の他
の項から得られる。
の項から得られる。
（実施例）
第１ａ図、第１ｂ図は測定尺１を備えた公知の
長さ測定装置を示し、測定尺１のインクリメント
目盛２は走査ユニツトによつて走査され、走査ユ
ニツトはランプ３、コンデンサ４、走査板５及び
光電要素６ａ，６ｂを有する。走査板５はインク
リメント目盛７ａ，７ｂを備えた２つの走査フイ
ールド（走査格子又は検出格子の光透過スリツト
をいう）Ａ，Ｂを有し、インクリメント目盛は測
定尺１の目盛２と等しい格子定数ｃになるように
交互に繰り返す透明及び不透明のしまから成り、
目盛７ａは目盛７ｂに対して測定方向Ｘに（ｎ＋
１／４）ｃだけずらされている。ランプ３から出
る光はコンデンサ４、走査板５の走査フイールド
Ａ，Ｂの目盛７ａ，７ｂ、測定尺１の目盛２を通
り、それぞれ走査フイールドＡ，Ｂに所属する光
電要素６ａ，６ｂ上に来る。
長さ測定装置を示し、測定尺１のインクリメント
目盛２は走査ユニツトによつて走査され、走査ユ
ニツトはランプ３、コンデンサ４、走査板５及び
光電要素６ａ，６ｂを有する。走査板５はインク
リメント目盛７ａ，７ｂを備えた２つの走査フイ
ールド（走査格子又は検出格子の光透過スリツト
をいう）Ａ，Ｂを有し、インクリメント目盛は測
定尺１の目盛２と等しい格子定数ｃになるように
交互に繰り返す透明及び不透明のしまから成り、
目盛７ａは目盛７ｂに対して測定方向Ｘに（ｎ＋
１／４）ｃだけずらされている。ランプ３から出
る光はコンデンサ４、走査板５の走査フイールド
Ａ，Ｂの目盛７ａ，７ｂ、測定尺１の目盛２を通
り、それぞれ走査フイールドＡ，Ｂに所属する光
電要素６ａ，６ｂ上に来る。
走査ユニツトと測定尺１との間の測定方向Ｘに
おける相対運動の際に光は目盛２，７ａ，７ｂで
変調され、その結果光電要素６ａ，６ｂは２つの
アナログ信号SA，SBを発生し、これらのアナロ
グ信号は測定運動の向きの識別及び格子ピツチの
細分割のために目盛７ａ，７ｂを相互にｃ／４だ
けずらすことによつてアナログ信号SA，SBの間
に位相角φ＝90゜を得る。測定尺１の目盛２と走
査板５の目盛７ａ，７ｂは相互に僅かな間隔に配
置されており、その間隔は機械的な不完全に基づ
いて幾分の偏差をもたらす。この偏差が両アナロ
グ信号SA，SBの間に位相角φ＝90゜に誤差を生じ
させないために、ランプ３はコンデンサ４に対し
て光ができる限りコンデンサ４から平行に出るよ
うに調整される。しかし回避できない加工公差の
ためにアナログ信号SA，SB間の位相角誤差が生
じ得、その誤差は測定装置の電気的運転の際には
じめて認められるので、この誤差は電気的運転に
おける装置の調整によつて補償される。
おける相対運動の際に光は目盛２，７ａ，７ｂで
変調され、その結果光電要素６ａ，６ｂは２つの
アナログ信号SA，SBを発生し、これらのアナロ
グ信号は測定運動の向きの識別及び格子ピツチの
細分割のために目盛７ａ，７ｂを相互にｃ／４だ
けずらすことによつてアナログ信号SA，SBの間
に位相角φ＝90゜を得る。測定尺１の目盛２と走
査板５の目盛７ａ，７ｂは相互に僅かな間隔に配
置されており、その間隔は機械的な不完全に基づ
いて幾分の偏差をもたらす。この偏差が両アナロ
グ信号SA，SBの間に位相角φ＝90゜に誤差を生じ
させないために、ランプ３はコンデンサ４に対し
て光ができる限りコンデンサ４から平行に出るよ
うに調整される。しかし回避できない加工公差の
ためにアナログ信号SA，SB間の位相角誤差が生
じ得、その誤差は測定装置の電気的運転の際には
じめて認められるので、この誤差は電気的運転に
おける装置の調整によつて補償される。
格子ピッチの正確な細分割のために必要な位相
角φを所定の光の平行性の下で調整するために第
２図によれば走査板５′上に走査フイールドＢと
走査フイールドＡとが設けられており、走査フイ
ールドＡは２つの部分フイールド（走査フイール
ドを分割したものをいう）A1，A2から成る。走
査フイールドＢに対して、部分フイールドA1は
部分フイールドA1から得られたアナログ部分信
号SA1が走査フイールドＢから得られたアナログ
信号SBに対して位相角（φ＋α）だけずらされる
ようにされており（第３ａ図）、これに対して走
査フイールドＢに対して部分フイールドA2は部
分フイールドA2から得られたアナログ部分信号
SA2が走査フイールドＢから得られたアナログ信
号SBに対して位相角（φ−α）だけずらされてい
るようにされる。
角φを所定の光の平行性の下で調整するために第
２図によれば走査板５′上に走査フイールドＢと
走査フイールドＡとが設けられており、走査フイ
ールドＡは２つの部分フイールド（走査フイール
ドを分割したものをいう）A1，A2から成る。走
査フイールドＢに対して、部分フイールドA1は
部分フイールドA1から得られたアナログ部分信
号SA1が走査フイールドＢから得られたアナログ
信号SBに対して位相角（φ＋α）だけずらされる
ようにされており（第３ａ図）、これに対して走
査フイールドＢに対して部分フイールドA2は部
分フイールドA2から得られたアナログ部分信号
SA2が走査フイールドＢから得られたアナログ信
号SBに対して位相角（φ−α）だけずらされてい
るようにされる。
走査フイールドＢには光電要素PBが、そして
部分フイールドA1，A2には周期的アナログ信号
SA，SBを得るための共通の光電要素PAが付設さ
れている（第２図、第３ａ図〜第３ｃ図）。アナ
ログ信号SAは部分フイールドA1，A2によつて得
られるアナログ信号SA1，SA2から合成される。前
記のようにアナログ信号SBに対してアナログ部分
信号SA1は位相角（φ＋α）だけ（第３ａ図）、そ
してアナログ部分信号SA2は位相角（φ−α）だ
けずらされている。
部分フイールドA1，A2には周期的アナログ信号
SA，SBを得るための共通の光電要素PAが付設さ
れている（第２図、第３ａ図〜第３ｃ図）。アナ
ログ信号SAは部分フイールドA1，A2によつて得
られるアナログ信号SA1，SA2から合成される。前
記のようにアナログ信号SBに対してアナログ部分
信号SA1は位相角（φ＋α）だけ（第３ａ図）、そ
してアナログ部分信号SA2は位相角（φ−α）だ
けずらされている。
第２図によれば部分フイールドA1，A2を透過
する光量を変えることにより、従つて光電要素上
で発生されるアナログ信号の振幅を変えることに
よつて走査板５′における必要な位相角の調整の
ために部分フイールドA1，A2に光量の調整のた
めのねじTA1，TA2が設けられている。ねじのね
じ込みによつて透過光量が減少されることは周知
であり、またアナログ部分信号の振幅の変化によ
つてベクトル和の位相が変わることは以下に述べ
る第３ａ図〜第３ｃ図の記載から明らかにされ
る。アナログ信号SA2の振幅の減少によつて部分
信号SA2′が得られ、部分信号SA2′と部分信号SA1
とのベクトル和が求められ、これはアナログ信号
SBに対して位相角φ′だけずらされているアナログ
信号SA′を生ずる（第３ｂ図）。アナログ部分信
号SA1の振幅の減少によつて部分信号SA1″が得ら
れ、部分信号SA1″は部分信号SA2と共にアナログ
信号SBに対して位相角φ″だけずらされたアナロ
グ信号SA″を生ずる（第３ｃ図）。走査フイール
ドＢのためのねじTBによつてアナログ信号SBの
振幅が調整される。
する光量を変えることにより、従つて光電要素上
で発生されるアナログ信号の振幅を変えることに
よつて走査板５′における必要な位相角の調整の
ために部分フイールドA1，A2に光量の調整のた
めのねじTA1，TA2が設けられている。ねじのね
じ込みによつて透過光量が減少されることは周知
であり、またアナログ部分信号の振幅の変化によ
つてベクトル和の位相が変わることは以下に述べ
る第３ａ図〜第３ｃ図の記載から明らかにされ
る。アナログ信号SA2の振幅の減少によつて部分
信号SA2′が得られ、部分信号SA2′と部分信号SA1
とのベクトル和が求められ、これはアナログ信号
SBに対して位相角φ′だけずらされているアナログ
信号SA′を生ずる（第３ｂ図）。アナログ部分信
号SA1の振幅の減少によつて部分信号SA1″が得ら
れ、部分信号SA1″は部分信号SA2と共にアナログ
信号SBに対して位相角φ″だけずらされたアナロ
グ信号SA″を生ずる（第３ｃ図）。走査フイール
ドＢのためのねじTBによつてアナログ信号SBの
振幅が調整される。
走査信号A1，A2に対して１つの光電要素PAだ
け設けられればよいことは有利である。図示しな
い方法で部分フイールドA1，A2に別々の光電要
素を付設されることができ、それらのアナログ信
号は合成される。両部分信号の合成によつて、 SA1＝SA10＋SA11・Sin（ωt＋α）（第７図）、 SA2＝SA20＋SA21・Sin（ωt−α）から 合成アナログ信号SAが生じ、合成アナログ信
号は最も簡単な場合 SA10＝S20＝SA0／２、SA11＝SA21＝SA3／２、SA
＝SA0＋SA3／２（Sinωt・Cosα＋Cosωt・Sinα＋
Sinωt・Cosα−Cosωt・Sinα）、 SA＝SA0＋SA3・Sinωt・Cosαとなる。
け設けられればよいことは有利である。図示しな
い方法で部分フイールドA1，A2に別々の光電要
素を付設されることができ、それらのアナログ信
号は合成される。両部分信号の合成によつて、 SA1＝SA10＋SA11・Sin（ωt＋α）（第７図）、 SA2＝SA20＋SA21・Sin（ωt−α）から 合成アナログ信号SAが生じ、合成アナログ信
号は最も簡単な場合 SA10＝S20＝SA0／２、SA11＝SA21＝SA3／２、SA
＝SA0＋SA3／２（Sinωt・Cosα＋Cosωt・Sinα＋
Sinωt・Cosα−Cosωt・Sinα）、 SA＝SA0＋SA3・Sinωt・Cosαとなる。
合成アナログ信号SAのコントラストＫは、Ｋ
＝SA1Cosα／SA0（＝変調／平行光）であつて、
Cosαに従つて減少する。実際上α＝15゜でありそ
の結果コントラストＫは最大１−Cos15゜＝3.4％
しか減少しない。
＝SA1Cosα／SA0（＝変調／平行光）であつて、
Cosαに従つて減少する。実際上α＝15゜でありそ
の結果コントラストＫは最大１−Cos15゜＝3.4％
しか減少しない。
第４図には４個の走査フイールドＡ，Ｂ，Ｃ，
Ｄを備えた走査板５″が示されており、走査フイ
ールドはそれによつて測定方向にｃ／４だけずら
されている。走査フイールドＡは２つの部分フイ
ールドA1，A2から成り、走査フイールドＢは２
つの部分フイールドB1，B2から成る。走査フイ
ールドＤに対して、部分フイールドA1は、部分
フイールドA1から得られたアナログ部分信号SA1
は走査フイールドＤから得られたアナログ信号SD
に対して位相角（φ＋α）だけずらされ、これに
対して走査フイールドＤに対して部分フイールド
A2は、部分フイールドA2から得られたアナログ
部分信号SA2が走査フイールドＤから得られたア
ナログ信号SDに対して位相角（φ−α）だけずら
されているようされる（第５図）。走査フイール
ドＣに対して部分フイールドB1は部分フイール
ドB1から得られたアナログ部分信号SB1が走査フ
イールドＣから得られたアナログ信号Scに対して
位相角（φ＋α）だけずらされるようにされる。
これに対して部分フイールドB1は走査フイール
ドＣに対して部分フイールドB2から得られたア
ナログ部分信号SB2が走査フイールドＣから得ら
れたアナログ部分信号SCに対して位相角（φ＋
α）だけずらされるようにされる（第５図）。
Ｄを備えた走査板５″が示されており、走査フイ
ールドはそれによつて測定方向にｃ／４だけずら
されている。走査フイールドＡは２つの部分フイ
ールドA1，A2から成り、走査フイールドＢは２
つの部分フイールドB1，B2から成る。走査フイ
ールドＤに対して、部分フイールドA1は、部分
フイールドA1から得られたアナログ部分信号SA1
は走査フイールドＤから得られたアナログ信号SD
に対して位相角（φ＋α）だけずらされ、これに
対して走査フイールドＤに対して部分フイールド
A2は、部分フイールドA2から得られたアナログ
部分信号SA2が走査フイールドＤから得られたア
ナログ信号SDに対して位相角（φ−α）だけずら
されているようされる（第５図）。走査フイール
ドＣに対して部分フイールドB1は部分フイール
ドB1から得られたアナログ部分信号SB1が走査フ
イールドＣから得られたアナログ信号Scに対して
位相角（φ＋α）だけずらされるようにされる。
これに対して部分フイールドB1は走査フイール
ドＣに対して部分フイールドB2から得られたア
ナログ部分信号SB2が走査フイールドＣから得ら
れたアナログ部分信号SCに対して位相角（φ＋
α）だけずらされるようにされる（第５図）。
部分フイールドA1，A2には共通して光電要素
PAが部分フイールドB1，B2には共通して光電要
素PBが、走査フイールドＣには光電要素PCがそ
して走査フイールドＤには光電要素PDが周期的
にアナログ信号SA，SB，SC，SDの取得のために
付設されている。アナログ信号SAはアナログ部
分信号SA1，SA1から合成され、そしてアナログ部
分信号SBはアナログ信号SB1，SB2から合成され
る。
PAが部分フイールドB1，B2には共通して光電要
素PBが、走査フイールドＣには光電要素PCがそ
して走査フイールドＤには光電要素PDが周期的
にアナログ信号SA，SB，SC，SDの取得のために
付設されている。アナログ信号SAはアナログ部
分信号SA1，SA1から合成され、そしてアナログ部
分信号SBはアナログ信号SB1，SB2から合成され
る。
第４図によれば部分フイールドA1，A2，B1，
B2を透過する光量を変えることにより、従つて
この光量の変化によつて生じるアナログ部分信号
の振幅の変化によつて走査板５″における必要な
位相角φの調整のために、同時に部分フイールド
A1，A2，B1，B2を通る光量の調節のためのねじ
TA1，TA2，TB1TB2が設けられている。ねじをね
じ込む程透過光量が絞られることは周知のことで
ある。ねじTC，TDによつてアナログ信号SC，SD
の振幅が調整される。増幅器V1，V2の出力にア
ナログ信号S1，S2が生じ、そのゼロ点（対称）及
び反対位相はねじTA1，TA2，TB1，TB2，TC，TD
の回動によつて調整されることができ、その結果
位相は信号ピツチの正確な細分に好適である。
B2を透過する光量を変えることにより、従つて
この光量の変化によつて生じるアナログ部分信号
の振幅の変化によつて走査板５″における必要な
位相角φの調整のために、同時に部分フイールド
A1，A2，B1，B2を通る光量の調節のためのねじ
TA1，TA2，TB1TB2が設けられている。ねじをね
じ込む程透過光量が絞られることは周知のことで
ある。ねじTC，TDによつてアナログ信号SC，SD
の振幅が調整される。増幅器V1，V2の出力にア
ナログ信号S1，S2が生じ、そのゼロ点（対称）及
び反対位相はねじTA1，TA2，TB1，TB2，TC，TD
の回動によつて調整されることができ、その結果
位相は信号ピツチの正確な細分に好適である。
部分信号SA1，SA2はアナログ信号SBに対して位
相角（φ＋α1）、（φ−α2）だけずらされることも
できる。
相角（φ＋α1）、（φ−α2）だけずらされることも
できる。
部分フイールド及び走査フイールドの部分的遮
断は図示しない方法で、絞りによつても行われる
ことができる。
断は図示しない方法で、絞りによつても行われる
ことができる。
第１ａ図、第１ｂ図は公知の長さ測定装置の図
式図、第２図は本発明による特徴を備えた走査
板、第３ａ図、第３ｂ図、第３ｃ図は走査ユニツ
トのアナログ信号のベクトル図、第４図は本発明
の特徴を備えた他の走査板、第５図は走査ユニツ
トのアナログ信号の他のベクトル図、第６図は光
電要素の回路図、そして第７図はアナログ信号波
形を示すグラフである。 図中符号、Ａ，Ｂ……走査フイールド、A1，
A2，B1，B2……部分フイールド、SA，SB……ア
ナログ信号、SA1，SB1，SA2，SB2……アナログ部
分信号、α1……角、α2……角、φ……位相角。
式図、第２図は本発明による特徴を備えた走査
板、第３ａ図、第３ｂ図、第３ｃ図は走査ユニツ
トのアナログ信号のベクトル図、第４図は本発明
の特徴を備えた他の走査板、第５図は走査ユニツ
トのアナログ信号の他のベクトル図、第６図は光
電要素の回路図、そして第７図はアナログ信号波
形を示すグラフである。 図中符号、Ａ，Ｂ……走査フイールド、A1，
A2，B1，B2……部分フイールド、SA，SB……ア
ナログ信号、SA1，SB1，SA2，SB2……アナログ部
分信号、α1……角、α2……角、φ……位相角。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 相互に移動可能な２つの対象物に取付けられ
た測定目盛とこの測定目盛を走査する光学的走査
ユニツトとを備えた長さ又は角度測定装置にし
て、光学的走査ユニツトは相互に位相のずれたア
ナログ信号を得るための相互にずらされた複数の
走査フイールドを有し、そのアナログ信号が評価
装置に供給される長さ又は角度測定装置におい
て、 複数の走査フイールドＡ，Ｂの少なくとも１つ
が少なくとも２つの部分フイールドA1，A2，
B1，B2から成り、第１の部分フイールドA1，B1
から得られたアナログ部分信号SA1，SB1が予め設
定された位相角φに対して正の角度＋α1だけそし
て第２の部分フイールドA2，B2から得られたア
ナログ部分信号SA2，SB2が予め設定された位相角
φに対して負の角度−α2だけ位相がずれるよう
に、部分フイールドA1，A2，B1，B2が相互にず
らされて配列されており、部分フイールドA1，
A2，B1，B2は位相角φの調整のためにその光透
過スリツトを部分的に遮蔽するための遮蔽手段を
備え、そして走査フイールドＡ，Ｂに属するアナ
ログ信号SA，SBを得るために、部分フイールド
A1，A2，B1，B2に光電変換手段が付設されてお
りかつ光電変換手段で得られたアナログ部分信号
SA1，SB1，SA2，SB2から前記アナログ信号SA，SB
を合成するための合成手段が前記光電変換手段に
付設されていることを特徴とする長さ又は角度測
定装置。 ２ 部分フイールドA1，A2，B1，B2の部分的遮
蔽のための遮蔽手段がねじTA1，TA2，TB1，TB2
である、特許請求の範囲第１項記載の長さ又は角
度測定装置。 ３ 部分フイールドの部分的遮蔽のための遮蔽手
段が絞りである、特許請求の範囲第１項記載の長
さ又は角度測定装置。 ４ 複数の走査フイールドＡ，Ｂの部分フイール
ドA1，A2，B1，B2にそれぞれ共通に光電変換手
段及び合成手段としての光電要素PA，PBが付設
されている、特許請求の範囲第１項記載の長さ又
は角度測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3229846.3 | 1982-08-11 | ||
| DE3229846A DE3229846C2 (de) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5948603A JPS5948603A (ja) | 1984-03-19 |
| JPH0246087B2 true JPH0246087B2 (ja) | 1990-10-12 |
Family
ID=6170585
Family Applications (1)
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- 1983-08-11 JP JP58145812A patent/JPS5948603A/ja active Granted
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