JPH0242904B2 - - Google Patents
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- JPH0242904B2 JPH0242904B2 JP12757182A JP12757182A JPH0242904B2 JP H0242904 B2 JPH0242904 B2 JP H0242904B2 JP 12757182 A JP12757182 A JP 12757182A JP 12757182 A JP12757182 A JP 12757182A JP H0242904 B2 JPH0242904 B2 JP H0242904B2
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- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 18
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 claims description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- -1 EDTA compound Chemical class 0.000 claims description 5
- KXZJHVJKXJLBKO-UHFFFAOYSA-N chembl1408157 Chemical compound N=1C2=CC=CC=C2C(C(=O)O)=CC=1C1=CC=C(O)C=C1 KXZJHVJKXJLBKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 17
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 17
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 15
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- QPCDCPDFJACHGM-UHFFFAOYSA-N N,N-bis{2-[bis(carboxymethyl)amino]ethyl}glycine Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(=O)O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O QPCDCPDFJACHGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000004065 wastewater treatment Methods 0.000 description 2
- RAEOEMDZDMCHJA-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[bis(carboxymethyl)amino]ethyl-[2-[2-[bis(carboxymethyl)amino]ethyl-(carboxymethyl)amino]ethyl]amino]acetic acid Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(=O)O)CCN(CCN(CC(O)=O)CC(O)=O)CC(O)=O RAEOEMDZDMCHJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HTOZXIQQEDNZQL-UHFFFAOYSA-N 2-[bis(carboxymethyl)amino]acetic acid ethane-1,2-diamine Chemical compound NCCN.OC(=O)CN(CC(O)=O)CC(O)=O HTOZXIQQEDNZQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N Cyanide Chemical compound N#[C-] XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000002932 luster Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229960003330 pentetic acid Drugs 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- NNFCIKHAZHQZJG-UHFFFAOYSA-N potassium cyanide Chemical compound [K+].N#[C-] NNFCIKHAZHQZJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/10—Etching compositions
- C23F1/14—Aqueous compositions
- C23F1/32—Alkaline compositions
- C23F1/34—Alkaline compositions for etching copper or alloys thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/44—Compositions for etching metallic material from a metallic material substrate of different composition
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は剥離剤，特に銀，銅，金等の剥離に好
適な剥離剤に関する。
適な剥離剤に関する。
従来既知の剥離剤には種々のタイプのものがあ
るけれども、そのいずれもが液の管理が複雑でし
かも剥離した金属の回収が大変なものである。例
えば銀メツキ処理に於いては素地に銅ストライク
メツキを予め施しその上に本メツキとして銀メツ
キを施し次の剥離工程では銀メツキの施されてい
ない銅ストライクメツキの部分を剥離剤を用いて
剥離するようにしているが、従来の種々の剥離剤
を使用すると本メツキ部分の光沢が落ちていわば
半光沢乃至は無光沢に近くなり、その分本メツキ
の性状が悪くなるという不具合がある。これは銅
ストライクのみならず銀本メツキも剥離されるか
らであり、このため従来の銀メツキ処理では後処
理での剥離を想定して予め銀本メツキをその分厚
くメツキする必要があり、しかも剥離した銀の回
収は液のろ過，目詰り対策等と共に液の管理をよ
り一層複雑なものとしている。
るけれども、そのいずれもが液の管理が複雑でし
かも剥離した金属の回収が大変なものである。例
えば銀メツキ処理に於いては素地に銅ストライク
メツキを予め施しその上に本メツキとして銀メツ
キを施し次の剥離工程では銀メツキの施されてい
ない銅ストライクメツキの部分を剥離剤を用いて
剥離するようにしているが、従来の種々の剥離剤
を使用すると本メツキ部分の光沢が落ちていわば
半光沢乃至は無光沢に近くなり、その分本メツキ
の性状が悪くなるという不具合がある。これは銅
ストライクのみならず銀本メツキも剥離されるか
らであり、このため従来の銀メツキ処理では後処
理での剥離を想定して予め銀本メツキをその分厚
くメツキする必要があり、しかも剥離した銀の回
収は液のろ過，目詰り対策等と共に液の管理をよ
り一層複雑なものとしている。
本発明はこのような従来の不具合に着目してな
されたもので、キレート剤を含有することにより
剥離させたくない金属（例えば銅ストライクメツ
キ上の銀メツキ）の剥離速度を抑制することによ
り上記従来の不具合を解決せんとしている。
されたもので、キレート剤を含有することにより
剥離させたくない金属（例えば銅ストライクメツ
キ上の銀メツキ）の剥離速度を抑制することによ
り上記従来の不具合を解決せんとしている。
具体的には、本発明に係る剥離剤は、液組成が
・シアン化カリウム又はシアン化ナトリウム：
１〜100g／
・アルキルベンゼンスルフオン酸塩：
１〜100g／
・キレート剤： 0.1〜50g／
である。
シアン化合物は銅等を剥離する際の主体となる
成分であり、溶けた銅が剥離液中で安定した錯体
となるための必須成分である。このシアン化合物
が1g／未満であると、剥離速度が遅くなつた
り、剥離能力が低下したりする。また、多過ぎる
と剥離処理には支障ないが、排水処理が面倒にな
るので、100g／以下が実用上の濃度である。
成分であり、溶けた銅が剥離液中で安定した錯体
となるための必須成分である。このシアン化合物
が1g／未満であると、剥離速度が遅くなつた
り、剥離能力が低下したりする。また、多過ぎる
と剥離処理には支障ないが、排水処理が面倒にな
るので、100g／以下が実用上の濃度である。
アルキルベンゼンスルフオン酸塩は、銅を酸化
して、シアン化合物に容易に溶解できるようにす
る働きをする。この量が1g／末満だと銅の酸
化が非常に遅くなり、剥離時間が長くなる。ま
た、100g／を越すと、前述のシアン化合物と
同様に排水処理上の問題が生じてしまうと共に、
銅のみでなく、銀の剥離速度も速くなつてしまう
ため、実用的には100g／が上限と言える。
して、シアン化合物に容易に溶解できるようにす
る働きをする。この量が1g／末満だと銅の酸
化が非常に遅くなり、剥離時間が長くなる。ま
た、100g／を越すと、前述のシアン化合物と
同様に排水処理上の問題が生じてしまうと共に、
銅のみでなく、銀の剥離速度も速くなつてしまう
ため、実用的には100g／が上限と言える。
キレート剤としては、EDTA（エチレンジアミ
ン四酢酸）化合物が好適である。このキレート剤
が0.1g／未満だと、従来の剥離剤と同様に銀剥
離が抑制されず、また50g／を超すと銅剥離も
抑制され、剥離剤として実用上使用不能となつて
しまう。
ン四酢酸）化合物が好適である。このキレート剤
が0.1g／未満だと、従来の剥離剤と同様に銀剥
離が抑制されず、また50g／を超すと銅剥離も
抑制され、剥離剤として実用上使用不能となつて
しまう。
尚、PHの安定剤として水酸化カリウムや水酸化
ナトリウムを含んでも剥離剤としての機能上問題
ない。
ナトリウムを含んでも剥離剤としての機能上問題
ない。
次に、実験例を示す。
シアン化ナトリウム25g／およびアルキルベ
ンゼンスルフオン酸18g／含む液を従来の剥離
剤とし、これにEDTA2Na（EDTA2Kでも可）
2g／加えたものを本発明の剥離剤として、銅
ストライク―銀本メツキ製品に適用したところ従
来の剥離剤では銅剥離／30escが0.3μそして銀剥
離／30secが0.7μであつたものが本発明に係る剥
離剤では銅剥離／30secが0.2μそして銀剥離／
30escが0.3μであつた。
ンゼンスルフオン酸18g／含む液を従来の剥離
剤とし、これにEDTA2Na（EDTA2Kでも可）
2g／加えたものを本発明の剥離剤として、銅
ストライク―銀本メツキ製品に適用したところ従
来の剥離剤では銅剥離／30escが0.3μそして銀剥
離／30secが0.7μであつたものが本発明に係る剥
離剤では銅剥離／30secが0.2μそして銀剥離／
30escが0.3μであつた。
即ち銀剥離は0.7μより0.3μにまで剥離速度が抑
制されて剥離量の減少していることが確認でき
た。
制されて剥離量の減少していることが確認でき
た。
更に本発明に係る剥離剤で金の剥離を試してみ
たところ、剥離速度は遅いものの従来の剥離剤に
比べて均一な剥離が達成でき、ソフトエツチング
に最適であること並びに素地（例えば，42アロイ
と称する鉄―ニツケル合金）を傷めることが殆ん
どないこと等が判明した。
たところ、剥離速度は遅いものの従来の剥離剤に
比べて均一な剥離が達成でき、ソフトエツチング
に最適であること並びに素地（例えば，42アロイ
と称する鉄―ニツケル合金）を傷めることが殆ん
どないこと等が判明した。
尚、キレート剤としてEDTAの例につき説明
を行なつたがEDTA以外のキレート剤例えば以
下のものが使用可能である。D.T.P.A（ジエチレ
ントリアミンペンタ酢酸），T.T.H.A（トリエチ
レンテトラミンヘキサ酢酸），NTA，エチレン
ジアミン（ニトリロトリ酢酸エチレンジアミン）
等及びその塩。
を行なつたがEDTA以外のキレート剤例えば以
下のものが使用可能である。D.T.P.A（ジエチレ
ントリアミンペンタ酢酸），T.T.H.A（トリエチ
レンテトラミンヘキサ酢酸），NTA，エチレン
ジアミン（ニトリロトリ酢酸エチレンジアミン）
等及びその塩。
以上説明してきたように、本発明に係る剥離剤
はキレート剤を含んでいるために金属の剥離速度
を抑制することができ、しかも銅ストライク―銀
本メツキの如く剥離させたくない金属である銀本
メツキの剥離量を大幅に抑制することが可能で、
銀本メツキの光沢を落とすことなく銅ストライク
メツキ部分の剥離を達成でき、しかも全体的に剥
離に因る沈澱物の量が減少するのでその分液の管
理が容易となり、ろ過や目詰り対策が楽になると
いう多くの効果がある。
はキレート剤を含んでいるために金属の剥離速度
を抑制することができ、しかも銅ストライク―銀
本メツキの如く剥離させたくない金属である銀本
メツキの剥離量を大幅に抑制することが可能で、
銀本メツキの光沢を落とすことなく銅ストライク
メツキ部分の剥離を達成でき、しかも全体的に剥
離に因る沈澱物の量が減少するのでその分液の管
理が容易となり、ろ過や目詰り対策が楽になると
いう多くの効果がある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 液組成が、 ・シアン化カリウム又はシアン化ナトリウム： １〜100g／ ・アルキルベンゼンスルフオン酸塩： １〜100g／ ・キレート剤： 0.1〜50g／ である剥離剤。 ２ キレート剤としてEDTA化合物を含む特許
請求の範囲第１項記載の剥離剤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12757182A JPS5920471A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 剥離剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12757182A JPS5920471A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 剥離剤 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5920471A JPS5920471A (ja) | 1984-02-02 |
| JPH0242904B2 true JPH0242904B2 (ja) | 1990-09-26 |
Family
ID=14963331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12757182A Granted JPS5920471A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 剥離剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5920471A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0444503A (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-14 | Nippon Doro Kodan | 鋼製伸縮継手 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5304284A (en) * | 1991-10-18 | 1994-04-19 | International Business Machines Corporation | Methods for etching a less reactive material in the presence of a more reactive material |
| JP6101421B2 (ja) * | 2010-08-16 | 2017-03-22 | インテグリス・インコーポレーテッド | 銅または銅合金用エッチング液 |
| JP5738121B2 (ja) * | 2010-08-30 | 2015-06-17 | Ｄｏｗａエコシステム株式会社 | 金の回収方法 |
| CN103397351B (zh) * | 2013-07-24 | 2016-04-06 | 励福(江门)环保科技股份有限公司 | 自动脱金生产装置、方法及使用的脱金水 |
-
1982
- 1982-07-23 JP JP12757182A patent/JPS5920471A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0444503A (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-14 | Nippon Doro Kodan | 鋼製伸縮継手 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5920471A (ja) | 1984-02-02 |
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