JPH0241072B2 - - Google Patents
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- JPH0241072B2 JPH0241072B2 JP56102913A JP10291381A JPH0241072B2 JP H0241072 B2 JPH0241072 B2 JP H0241072B2 JP 56102913 A JP56102913 A JP 56102913A JP 10291381 A JP10291381 A JP 10291381A JP H0241072 B2 JPH0241072 B2 JP H0241072B2
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 12
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- PCTMTFRHKVHKIS-BMFZQQSSSA-N (1s,3r,4e,6e,8e,10e,12e,14e,16e,18s,19r,20r,21s,25r,27r,30r,31r,33s,35r,37s,38r)-3-[(2r,3s,4s,5s,6r)-4-amino-3,5-dihydroxy-6-methyloxan-2-yl]oxy-19,25,27,30,31,33,35,37-octahydroxy-18,20,21-trimethyl-23-oxo-22,39-dioxabicyclo[33.3.1]nonatriaconta-4,6,8,10 Chemical compound C1C=C2C[C@@H](OS(O)(=O)=O)CC[C@]2(C)[C@@H]2[C@@H]1[C@@H]1CC[C@H]([C@H](C)CCCC(C)C)[C@@]1(C)CC2.O[C@H]1[C@@H](N)[C@H](O)[C@@H](C)O[C@H]1O[C@H]1/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/[C@H](C)[C@@H](O)[C@@H](C)[C@H](C)OC(=O)C[C@H](O)C[C@H](O)CC[C@@H](O)[C@H](O)C[C@H](O)C[C@](O)(C[C@H](O)[C@H]2C(O)=O)O[C@H]2C1 PCTMTFRHKVHKIS-BMFZQQSSSA-N 0.000 description 3
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06V—IMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
- G06V10/00—Arrangements for image or video recognition or understanding
- G06V10/20—Image preprocessing
- G06V10/24—Aligning, centring, orientation detection or correction of the image
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はパターン位置検出装置に係り、特に被
認識パターンが傾いて配置されている場合にも正
確なパターン位置が検出できるパターン位置検出
装置に関する。
認識パターンが傾いて配置されている場合にも正
確なパターン位置が検出できるパターン位置検出
装置に関する。
自動ワイヤ・ボンデング工程に於て半導体IC
のチツプ上に形成したボンデング・パツドパター
ンはその位置を高精度で高速に検出する必要があ
り、これらの問題を解決するために、半導体IC
チツプ等の被認識パターンの部分的な情報を検出
して、そのデータに基づいて被認識パターン上の
所定位置に検出窓を設定し、該検出窓内の例えば
ボンデング・パツドやパターン等を認識するパタ
ーン位置検出装置を必要とする。
のチツプ上に形成したボンデング・パツドパター
ンはその位置を高精度で高速に検出する必要があ
り、これらの問題を解決するために、半導体IC
チツプ等の被認識パターンの部分的な情報を検出
して、そのデータに基づいて被認識パターン上の
所定位置に検出窓を設定し、該検出窓内の例えば
ボンデング・パツドやパターン等を認識するパタ
ーン位置検出装置を必要とする。
本出願人は先に上述の如きパターン位置検出装
置を提案した。この大要を第１図乃至第６図につ
いて簡単に説明する。
置を提案した。この大要を第１図乃至第６図につ
いて簡単に説明する。
第１図は従来のパターン位置認識手段を示すも
ので被認識パターンがIC半導体のパツドパター
ンである場合、載置台１上に被認識パターンの
ICチツプを載置し、該ICチツプ８上に撮像装置
３を設けて、該撮像装置の撮像レンズ２等を介し
てICチツプ８を撮像する。該撮像装置３よりの
出力は２値化信号処理回路４によつて特定のスラ
イス・レベルでチツプとパツドの映像が２値化信
号処理される。本発明では該処理回路を第１及び
第２の２値化処理手段と定義する。
ので被認識パターンがIC半導体のパツドパター
ンである場合、載置台１上に被認識パターンの
ICチツプを載置し、該ICチツプ８上に撮像装置
３を設けて、該撮像装置の撮像レンズ２等を介し
てICチツプ８を撮像する。該撮像装置３よりの
出力は２値化信号処理回路４によつて特定のスラ
イス・レベルでチツプとパツドの映像が２値化信
号処理される。本発明では該処理回路を第１及び
第２の２値化処理手段と定義する。
第２図ａに示すものは該撮像装置３によつて撮
像されるICチツプ８の上面図で符号８ａで示す
パツドパターンを有する。撮像された映像信号は
第２図ｂに示す如くチツプ８の所定パツドパター
ン８ａが拡大撮像される。
像されるICチツプ８の上面図で符号８ａで示す
パツドパターンを有する。撮像された映像信号は
第２図ｂに示す如くチツプ８の所定パツドパター
ン８ａが拡大撮像される。
第２図ｃは撮像装置よりの映像信号を第１の２
値化処理手段４ａによつて処理を行なつた場合の
チツプ８の部分の信号パターン８ｂを示すもので
ある。
値化処理手段４ａによつて処理を行なつた場合の
チツプ８の部分の信号パターン８ｂを示すもので
ある。
第１の２値化信号処理手段４ａよりの信号はチ
ツプ８外形の映像検出が検出手段５でなされ、そ
の検出位置情報は検出窓算定手段６に与えられ
る。該検出窓算定手段６にはチツプ８とパツドパ
ターン８ａの相対アドレスデータの格納されたメ
モリ７ａと窓サイズデータの格納されたメモリ７
ｂからのデータが与えられている。勿論、この場
合はこれらの情報を上記メモリ以外から直接的に
与えてもよい。
ツプ８外形の映像検出が検出手段５でなされ、そ
の検出位置情報は検出窓算定手段６に与えられ
る。該検出窓算定手段６にはチツプ８とパツドパ
ターン８ａの相対アドレスデータの格納されたメ
モリ７ａと窓サイズデータの格納されたメモリ７
ｂからのデータが与えられている。勿論、この場
合はこれらの情報を上記メモリ以外から直接的に
与えてもよい。
上記検出窓算定手段６によつてパツド検出窓の
位置と大きさが算定され、第２の２値化信号処理
手段４ｂによつてパツド映像が２値化された信号
が系路１２より与えられてパツドパターン映像が
検出手段９で検出される。この場合検出窓算定手
段６で切り取られた領域に於けるパツドパターン
の映像信号は第１の２値化信号処理手段とは異な
つたスラスイス・レベルで２値化処理をなす。
位置と大きさが算定され、第２の２値化信号処理
手段４ｂによつてパツド映像が２値化された信号
が系路１２より与えられてパツドパターン映像が
検出手段９で検出される。この場合検出窓算定手
段６で切り取られた領域に於けるパツドパターン
の映像信号は第１の２値化信号処理手段とは異な
つたスラスイス・レベルで２値化処理をなす。
この様に処理されたパツドパターン８ａを第２
図ｄに示す。１１は検出窓領域で、８a′は不認識
領域のパツド・パターンである。尚１０はパツド
位置の認識を示す。
図ｄに示す。１１は検出窓領域で、８a′は不認識
領域のパツド・パターンである。尚１０はパツド
位置の認識を示す。
チップ映像検出の手順は第３図ａに示す様にパ
ターン認識装置に予め入力しておくチツプとパツ
ド・パターンの相対位置及び検出窓のデータに基
づく映像エリア（ABCD）の左上のコーナＡか
ら該映像エリアを斜め方向に矢印のように走査
し、チツプコーナにぶつかつた時のアドレスC1
を左上のチツプコーナとし、次いで第３図ｂに示
すように映像エリア（ABCD）の右下のコーナ
Ｃから該映像エリアを斜めに矢印方向に走査し、
チツプ信号にぶつかつたアドレスC2を右下のチ
ツプコーナとしてチツプ位置の検出を行なう。
ターン認識装置に予め入力しておくチツプとパツ
ド・パターンの相対位置及び検出窓のデータに基
づく映像エリア（ABCD）の左上のコーナＡか
ら該映像エリアを斜め方向に矢印のように走査
し、チツプコーナにぶつかつた時のアドレスC1
を左上のチツプコーナとし、次いで第３図ｂに示
すように映像エリア（ABCD）の右下のコーナ
Ｃから該映像エリアを斜めに矢印方向に走査し、
チツプ信号にぶつかつたアドレスC2を右下のチ
ツプコーナとしてチツプ位置の検出を行なう。
また、検出窓の切出しはチツプコーナC1を基
点として予め入力されているチツプコーナから検
出窓の中心までの距離x1とy1離れた位置を中心と
して予め入力されている大きさ（xp1，yp1）を有
する検出窓１１を第４図の如く設定する。そして
次いで該検出窓内のパツドパターンの認識がなさ
れる。
点として予め入力されているチツプコーナから検
出窓の中心までの距離x1とy1離れた位置を中心と
して予め入力されている大きさ（xp1，yp1）を有
する検出窓１１を第４図の如く設定する。そして
次いで該検出窓内のパツドパターンの認識がなさ
れる。
この様な検出窓内に切り出されたパツドパター
ン映像は２値化処理されているのでパツドパター
ンの認識は第５図に示すようなパツドパターン２
値化信号機P1′をｘ軸及びｙ軸へ投影し、その信
号ビツト数からパターン幅及びその中心を求める
ようになされている。第５図に於て、１３ａ，１
３ｂは認識不要の２値化信号パターン、１４はＰ
−Ｐきず、Ｘ・Ｙは２値化信号線P1′のｘ軸及び
ｙ軸投影パターンである。
ン映像は２値化処理されているのでパツドパター
ンの認識は第５図に示すようなパツドパターン２
値化信号機P1′をｘ軸及びｙ軸へ投影し、その信
号ビツト数からパターン幅及びその中心を求める
ようになされている。第５図に於て、１３ａ，１
３ｂは認識不要の２値化信号パターン、１４はＰ
−Ｐきず、Ｘ・Ｙは２値化信号線P1′のｘ軸及び
ｙ軸投影パターンである。
このようなパターン位置検出装置によると第５
図のようにパツドパターン又はチツプが傾いてい
ると２値化されたパツドパターンの信号線P1′に
対し認識不要のリード等の２値化信号パターン１
３ａが上記信号像の近傍にあるとＸ軸及びＹ軸の
投影パターンは台形に近くなり、第６図の如く垂
直にＸ軸及びＹ軸に投影した場合に比べて例えば
Ｘ軸の投影パターンは２山が１山に表われ検出精
度が低下する欠点を有する。
図のようにパツドパターン又はチツプが傾いてい
ると２値化されたパツドパターンの信号線P1′に
対し認識不要のリード等の２値化信号パターン１
３ａが上記信号像の近傍にあるとＸ軸及びＹ軸の
投影パターンは台形に近くなり、第６図の如く垂
直にＸ軸及びＹ軸に投影した場合に比べて例えば
Ｘ軸の投影パターンは２山が１山に表われ検出精
度が低下する欠点を有する。
本発明は上述の如き欠点を除去したパターン位
置検出装置を提供するものであり、その特徴とす
るところは被認識パターンが傾いている場合に傾
いた方向を検出して、検出窓内の情報を傾いた検
出角方向に読み取ることでＸ又はＹ軸への投駅パ
ターンを正確に検出せんとするものである。
置検出装置を提供するものであり、その特徴とす
るところは被認識パターンが傾いている場合に傾
いた方向を検出して、検出窓内の情報を傾いた検
出角方向に読み取ることでＸ又はＹ軸への投駅パ
ターンを正確に検出せんとするものである。
すなわち、本発明はICチツプおよび該ICチツ
プ上の被認識パターンを撮像するための撮像手段
と、該撮像手段よりの映像出力を第１のレベルで
２値化処理する第１の２値化処理手段と、同一映
像処理出力を第２のレベルで２値化処理する第２
の２値化処理手段と、上記第１の２値化処理手段
の出力により上記ICチツプ位置を検出する位置
検出手段と、上記第１の２値化処理手段の出力に
より上記ICチツプの傾きを検出する傾き検出手
段と、上記第２の２値化処理手段の出力により認
識されたICチツプ上の被認識パターンを含む一
定窓内の信号を切り出す窓内切り出し手段と、前
記傾き検出手段の出力に基づいて該切り出された
窓内信号の読み取り角度を算定する窓内信号読取
角度算定手段と、該窓内の被認識パターンのアド
レスを該算定手段の出力に基づいて斜め方向に読
み出す検出窓内信号読取手段を有し、上記ICチ
ツプに対する座標軸上への投影パターンを得るこ
と特徴とするパターン位置検出装置を提供するも
のである。第７図は認識装置の系統図を示すもの
で、第１図と同一部分には同一符号を付して重複
説明を省略する。第１の２値化処理手段４ａより
の出力信号はチツプ傾き検出手段１５によつてチ
ツプの傾きが検出され、次に検出出力に基づいて
窓内信号読取角度算定手段１６で窓内の信号読取
角度算定がなされる。上記チツプ傾き検出手段１
５では第８図に示すようにチツプコーナC1に於
て、該チツプコーナC1か右側へ所定の距離lx1離
れた位置で垂直方向へ、又C1から下側へ所定の
距離ly1離れた位置で水平方向へチツプを走査し、
チツプの傾きによるずれΔx1及びΔy1を検出する。
このΔx1及びΔy1に基づいて窓内信号読取角度算
定手段によつて読取角度が算定される。
プ上の被認識パターンを撮像するための撮像手段
と、該撮像手段よりの映像出力を第１のレベルで
２値化処理する第１の２値化処理手段と、同一映
像処理出力を第２のレベルで２値化処理する第２
の２値化処理手段と、上記第１の２値化処理手段
の出力により上記ICチツプ位置を検出する位置
検出手段と、上記第１の２値化処理手段の出力に
より上記ICチツプの傾きを検出する傾き検出手
段と、上記第２の２値化処理手段の出力により認
識されたICチツプ上の被認識パターンを含む一
定窓内の信号を切り出す窓内切り出し手段と、前
記傾き検出手段の出力に基づいて該切り出された
窓内信号の読み取り角度を算定する窓内信号読取
角度算定手段と、該窓内の被認識パターンのアド
レスを該算定手段の出力に基づいて斜め方向に読
み出す検出窓内信号読取手段を有し、上記ICチ
ツプに対する座標軸上への投影パターンを得るこ
と特徴とするパターン位置検出装置を提供するも
のである。第７図は認識装置の系統図を示すもの
で、第１図と同一部分には同一符号を付して重複
説明を省略する。第１の２値化処理手段４ａより
の出力信号はチツプ傾き検出手段１５によつてチ
ツプの傾きが検出され、次に検出出力に基づいて
窓内信号読取角度算定手段１６で窓内の信号読取
角度算定がなされる。上記チツプ傾き検出手段１
５では第８図に示すようにチツプコーナC1に於
て、該チツプコーナC1か右側へ所定の距離lx1離
れた位置で垂直方向へ、又C1から下側へ所定の
距離ly1離れた位置で水平方向へチツプを走査し、
チツプの傾きによるずれΔx1及びΔy1を検出する。
このΔx1及びΔy1に基づいて窓内信号読取角度算
定手段によつて読取角度が算定される。
この算定出力に基づいてパツド検出窓内信号読
取手段１７によつて窓１１内に切り出されたパツ
ドパターンP1′のアドレスを斜め方向に読み出す
ようにする。尚、窓１１はあらかじめ決定された
大きさであり、傾きがない時のパツドの位置を窓
１１の中心の位置とし、許容されるチツプの傾き
の時にこの窓１１内に目的のパツドが入るように
した大きさである。本発明のチツプの傾きは、
45゜等ｘ，ｙ軸方向がわからなくなつてしまう程
のものではなく、例えば目測で配置した時の位置
を補正するものであり、この目測で配置した傾き
が発生しても、目的のパツドが充分に窓１１内に
入る大きさである。このようにして読み出された
パツドパターンP1′のＸ軸およびＹ軸投影パター
ンを第９図に示す。同図にいて、P1′は第５図と
同様にパツドパターン２値化信号線、１３ａ，１
３ｂは認識不要の２値化信号パターン、１４はＰ
―Ｐきず、Ｘ，ＹはＸ軸およびＹ軸投影パターン
である。チツプの傾き角θだけＸ軸を傾けること
により、パツドパターンP1′のＸ軸投影パターン
Ｘが認識不要パターン１３ａの投影パターンと明
確に分離され、第６図のチツプが傾いてない場合
と同様に、正確な投影パターン検出が可能にな
る。
取手段１７によつて窓１１内に切り出されたパツ
ドパターンP1′のアドレスを斜め方向に読み出す
ようにする。尚、窓１１はあらかじめ決定された
大きさであり、傾きがない時のパツドの位置を窓
１１の中心の位置とし、許容されるチツプの傾き
の時にこの窓１１内に目的のパツドが入るように
した大きさである。本発明のチツプの傾きは、
45゜等ｘ，ｙ軸方向がわからなくなつてしまう程
のものではなく、例えば目測で配置した時の位置
を補正するものであり、この目測で配置した傾き
が発生しても、目的のパツドが充分に窓１１内に
入る大きさである。このようにして読み出された
パツドパターンP1′のＸ軸およびＹ軸投影パター
ンを第９図に示す。同図にいて、P1′は第５図と
同様にパツドパターン２値化信号線、１３ａ，１
３ｂは認識不要の２値化信号パターン、１４はＰ
―Ｐきず、Ｘ，ＹはＸ軸およびＹ軸投影パターン
である。チツプの傾き角θだけＸ軸を傾けること
により、パツドパターンP1′のＸ軸投影パターン
Ｘが認識不要パターン１３ａの投影パターンと明
確に分離され、第６図のチツプが傾いてない場合
と同様に、正確な投影パターン検出が可能にな
る。
さらに詳細に説明すると、信号読取角度算出手
段１６は、パツド検出窓内信号読取手段１７に対
し、傾き補正した、Ｘ軸方向やＹ軸方向の投影を
行うための投影する線（すなわち、パツドと平行
な読取ドツト線）を構成する各ドツトのアドレス
の変化を指示する信号を発生する。このアドレス
の変化は例えばＸ軸方向（右方向）へ３ドツト移
動した後、Ｙ軸方向（上方向）へ１ドツト等の順
であり、この各ドツト数をバツド検出窓内位置読
取手段１７は受け取りパツドの白ドツト等の投影
データを求めるためスキヤンする。
段１６は、パツド検出窓内信号読取手段１７に対
し、傾き補正した、Ｘ軸方向やＹ軸方向の投影を
行うための投影する線（すなわち、パツドと平行
な読取ドツト線）を構成する各ドツトのアドレス
の変化を指示する信号を発生する。このアドレス
の変化は例えばＸ軸方向（右方向）へ３ドツト移
動した後、Ｙ軸方向（上方向）へ１ドツト等の順
であり、この各ドツト数をバツド検出窓内位置読
取手段１７は受け取りパツドの白ドツト等の投影
データを求めるためスキヤンする。
チツプの位置及び傾き検出手段としての他の検
出手段としては第１０図に示すように直交する２
組（４本）の走査線イ，ロ，ハ，ニを用いてチツ
プ映像８のメモリパターン上を走査し、走査線と
チツプの各辺との交点アドレスC11，C12，C13，
C14，C15，C16，C17，C18を検出し、11 16，
C12C15，13 18，14 17の中点Ｅ・Ｆ・Ｇ・Ｈを
算出し、該中点のアドレスからのチツプ８の中心
アドレス０を求め、更にチツプの傾き及びコー
ナ・アドレスC1，C2，C3，C4を求めてもよい。
出手段としては第１０図に示すように直交する２
組（４本）の走査線イ，ロ，ハ，ニを用いてチツ
プ映像８のメモリパターン上を走査し、走査線と
チツプの各辺との交点アドレスC11，C12，C13，
C14，C15，C16，C17，C18を検出し、11 16，
C12C15，13 18，14 17の中点Ｅ・Ｆ・Ｇ・Ｈを
算出し、該中点のアドレスからのチツプ８の中心
アドレス０を求め、更にチツプの傾き及びコー
ナ・アドレスC1，C2，C3，C4を求めてもよい。
本発明は叙上の如く構成させたので被認識パタ
ーンが傾いていても、その読み出しを、傾きを検
出してその傾きに沿つて行なうために、Ｘ又はＹ
座標軸投影パターンを正確に認識することが可能
となり、被認識パターン近傍にあるパターンの影
響を受けることなく認識が行なわれて信頼性が向
上する特徴を有する。
ーンが傾いていても、その読み出しを、傾きを検
出してその傾きに沿つて行なうために、Ｘ又はＹ
座標軸投影パターンを正確に認識することが可能
となり、被認識パターン近傍にあるパターンの影
響を受けることなく認識が行なわれて信頼性が向
上する特徴を有する。
第１図は従来のパターン位置検出装置の系統
図、第２図ａ〜ｄは第１図のパターン工程を示す
被認識物の平面図、第３図ａ，ｂは従来のチツプ
映像検出手段の説明図、第４図は従来の検出窓の
切出手段の説明図、第５図及び第６図は従来のパ
ツドパターンが傾いている場合と傾いていない場
合のＸ軸Ｙ軸投影図、第７図は本発明のパターン
位置険出装置の１実施例を示す系統図、第８図は
本発明のチツプの傾きを検出する手段を説明する
ための線図、第９図は本発明における被認識パタ
ーンのＸ軸およびＹ軸へのパターン投影図、第１
０図は本発明の傾き検出方法を説明するための他
の実施例を示す線図である。 １…載置台、２…撮像レンズ、３…撮像装置、
４ａ，４ｂ…第１及び第２の２値化信号処理回
路、５…チツプ映像検出手段、６…検出窓算定手
段、７ａ，７ｂ…メモリ、８…チツプ、８ａ…パ
ツドパターン、９…パツドパターン検出手段、１
１…検出窓領域、１５…チツプ傾き検出手段、１
６…信号読取角度算定手段、１７…パツド検出窓
内信号読取手段。
図、第２図ａ〜ｄは第１図のパターン工程を示す
被認識物の平面図、第３図ａ，ｂは従来のチツプ
映像検出手段の説明図、第４図は従来の検出窓の
切出手段の説明図、第５図及び第６図は従来のパ
ツドパターンが傾いている場合と傾いていない場
合のＸ軸Ｙ軸投影図、第７図は本発明のパターン
位置険出装置の１実施例を示す系統図、第８図は
本発明のチツプの傾きを検出する手段を説明する
ための線図、第９図は本発明における被認識パタ
ーンのＸ軸およびＹ軸へのパターン投影図、第１
０図は本発明の傾き検出方法を説明するための他
の実施例を示す線図である。 １…載置台、２…撮像レンズ、３…撮像装置、
４ａ，４ｂ…第１及び第２の２値化信号処理回
路、５…チツプ映像検出手段、６…検出窓算定手
段、７ａ，７ｂ…メモリ、８…チツプ、８ａ…パ
ツドパターン、９…パツドパターン検出手段、１
１…検出窓領域、１５…チツプ傾き検出手段、１
６…信号読取角度算定手段、１７…パツド検出窓
内信号読取手段。
Claims (1)
- １ ICチツプおよび該ICチツプ上の被認識パタ
ーンを撮像するための撮像手段と、該撮像手段よ
りの映像出力を第１のレベルで２値化処理する第
１の２値化処理手段と、同一映像出力を第２のレ
ベルで２値化処理する第２の２値化処理手段と、
上記第１の２値化処理手段の出力により上記IC
チツプ位置を検出する位置検出手段と、上記第１
の２値化処理手段の出力により上記ICチツプの
傾きを検出する傾き検出手段と、上記第２の２値
化処理手段の出力により認識されたICチツプ上
の被認識パターンを含む一定窓内の信号を切り出
す窓内切り出し手段と、前記傾き検出手段の出力
に基づいて該切り出された窓内信号の読み取り角
度を算定する窓内信号読取角度算定手段と、該窓
内の被認識パターンのアドレスを該算定手段の出
力に基づいて斜め方向に読み出す検出窓内信号読
取手段を有し、上記ICチツプに対する座標軸上
への投影パターンを得ることを特徴とするパター
ン位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56102913A JPS584488A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | パタ−ン位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56102913A JPS584488A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | パタ−ン位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS584488A JPS584488A (ja) | 1983-01-11 |
| JPH0241072B2 true JPH0241072B2 (ja) | 1990-09-14 |
Family
ID=14340088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56102913A Granted JPS584488A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | パタ−ン位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS584488A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60258689A (ja) * | 1984-06-06 | 1985-12-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像認識装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4966032A (ja) * | 1972-10-28 | 1974-06-26 | ||
| JPS5125936A (ja) * | 1974-08-28 | 1976-03-03 | Oki Electric Ind Co Ltd |
-
1981
- 1981-06-30 JP JP56102913A patent/JPS584488A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4966032A (ja) * | 1972-10-28 | 1974-06-26 | ||
| JPS5125936A (ja) * | 1974-08-28 | 1976-03-03 | Oki Electric Ind Co Ltd |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS584488A (ja) | 1983-01-11 |
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