JPH0240908A - エッチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、電解コンデンサ用アルミニウム済を連続的
にエツチングするためのエツチング装置に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

一般に、電解コンデンサに用いられるアルミニウム箔は
静電容量を増大させるために、適当な電解液中でエツチ
ング処理され、第３図にはそのエツチング装置の従来例
が示されている。

すなわち、このエツチング装置１は、適当な電解液２を
満たした電解槽３を備えている。この電解槽３内には一
対のカーボン電極４，５が所定の間隔をもって相対向し
て縦設さ九でいる。また、この電解槽３の上部には給電
ローラ６．７が配置され、これに関連して電解槽３内に
は中間ローラ８．９が設けられている。この給電ローラ
６．７とカーボン電極４．５との間には電源１０が接続
されている。エツチングされるアルミニウム箔１１は一
方の給電ローラ６側から導入され、中間ローラ８．９を
経て、カーボン電極４２５間を通過し。

他方の給電ローラ７側から導出される。

このエツチングは、アルミニウム箔１１がカーボン電極
４，５の下端間に進入した時点から開始され、その上端
に向けて移行する間に進行し、そして電解液２から引き
上げられた時点で終了することになる。

ところで、エツチングの開始時点における電流密度は所
定の電流密度より低く、これにより電流のアルミニウム
箔の集中化が起こり、均一なエツチング箔の進行が妨げ
られる。

これを防止するため、この従来装置においては、第４図
に示されているように、カーボン電極４゜５の下端の相
対向する部位に所定高さの突出部４ａ、５ａを形成して
、エツチング開始時点の電流密度を所定値にまで引き上
げるようにしている。

なお、エツチング用の電源としては交流電源、直流電源
のほか、パルス電源もしくはこれらの組合せなどがある
。また、カーボン電極４，５には余分な電流が漏れない
ようにその背面および側面に絶縁板１２が設けられ、同
じく底面にも絶縁板１３が設けられるとよい。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記従来装置においては、電極突出部４
ａ、５ａの突出寸法がその幅方向において同じであるた
め、すなわち各突出部４ａ、５ａが平行であるため、電
流の漏れ易い両端で所定の電流密度が確保できず、した
がって不良率が高いという欠点を抱えている。ここで、
その−例を示すと、カーボン電極４，５間の間隔ａを５
０閣、突出部４ａ、５ａ間の間隔すを１５ｍｍとして厚
さが１００μｍのアルミニウム箔を電流密度４００ｏ＋
Ａ／ａｄでエツチングし、アジピン酸水溶液中で７０Ｖ
化成したところ、第５図の幅方向−静電容量の特性図に
示されているように、その両サイドの静電容量は他の部
分よりも低く、従来ではこの部分を不良としてカットし
ていた。ちなみに、その静電容量のバラツキは１５％に
も達していた。

この発明は上記従来装置の欠点に鑑みなされたもので、
その目的は、アルミニウム箔のほぼ全幅にわたって所定
の静電容量が得られるようにしたエツチング装置を提供
することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、この発明においては、電解液
を満たした電解槽内に一対のカーボン電極を所定の間隔
をもって縦設するとともに、アルミニウム箔が導入され
るそれら各電極の下端の相対向する位置に上記電極間の
間隔よりも狭いギャップを形成する突出部を設けてなり
、該ギャップよりと記アルミニウム箔を上記電極間に導
入しながら同アルミニウム箔をエツチングするエツチン
グ装置において、 上記突出部の両端におけるギャップ幅をその中央部分よ
りも実質的に狭くしたことを特徴としている。

〔作　　用〕

上記構成によれば、電極突出部の両端における漏れ電流
が少なくなり、したがってアルミニウム箔はそのほぼ全
幅にわたって所定の静電容量を示すようにエツチングさ
れることになる。

〔実　施　例〕

以下５この発明の実施例を第１図および第２図を参照し
ながら詳細に説明する。なお、第１図には第４図と同様
にカーボン電極４，５の横断面しか示されていないが、
他の構成については先に説明の第３図を参照されたい。

この発明によると、カーボン電極４．５の突出部４ａ、
５ａの両端におけるギャップ幅Ｃはその中央部分の間隔
すよりも実質的に狭くされている。

言い替えると、突出部４ａ、５ａの両端における突出寸
法はその中央部よりも好ましくは１〜２倍大きくされて
いる。この場合、突出部４ａ、５ａはその所定部位から
両端に向けて徐々に立ち上がるが、その立上り範囲ｄは
両サイド３〜１５■位が好ましい。図示の例では、所定
の角度をもって直線的に立ち上がっているが、彎曲状に
立ち上るようにしてもよい。

突出部４ａ、５ａの中央部分の間隔すを１５＋ｎｍ、両
端部の間隔Ｃを５Ｉ、その立上り範囲ｄをｌｏｌとして
、厚さ１１００ｕのアルミニウム箔を電流密度４００ｍ
Ａ／ｃ＋Ｊでエツチングし、アジピン酸水溶液中で７０
Ｖ化成したところ、第２図に示すような幅方向−静電容
量特性が得られた。同図と従来の第５図とを比較すると
、両端部における静電容量の差は明瞭であり、この発明
によると殆ど両端部まで使用可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、電極突出部の
両端における間隔を狭くしてその部分からの漏れ電流を
少なくしたことにより、アルミニウム箔をそのほぼ全幅
にわたって所定の静電容量を示すようにエツチングする
ことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す第４図と同様なカー
ボン電極の横断面図、第２図は同実施例によりエツチン
グされたアルミニウム箔の幅方向−静電容量を示す特性
図、第３図は従来のエツチング装置を示す縦断面図、第
４図は第３図の■−ｒｖ線に沿った横断面図、第５図は
従来装置によりエツチングされたアルミニウム箔の幅方
向−静電容量を示す特性図である。 図中、１はエツチング装置、２は電解液、３は電解槽、
４，５はカーボン電極、４ａ、５ａは突出部、６，７は
給電ローラ、８，９は中間ローラ、１０は電源、１１は
アルミニウム箔である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）電解液を満たした電解槽内に一対のカーボン電極
   を所定の間隔をもって縦設するとともに、アルミニウム
   箔が導入されるそれら各電極の下端の相対向する位置に
   上記電極間の間隔よりも狭いギャップを形成する突出部
   を設けてなり、該ギャップより上記アルミニウム箔を上
   記電極間に導入しながら同アルミニウム箔をエッチング
   するエッチング装置において、 上記突出部の両端におけるギャップ幅をその中央部分よ
   りも実質的に狭くしたことを特徴とするエッチング装置
   。
2. （２）上記突出部の両端における突出高さは、その中央
   部分よりも１〜２倍である請求項１記載のエッチング装
   置。