JPH0234578A - センダスト合金とセラミックスとの接合体 - Google Patents

センダスト合金とセラミックスとの接合体

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JPH0234578A
JPH0234578A JP18484988A JP18484988A JPH0234578A JP H0234578 A JPH0234578 A JP H0234578A JP 18484988 A JP18484988 A JP 18484988A JP 18484988 A JP18484988 A JP 18484988A JP H0234578 A JPH0234578 A JP H0234578A
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JP
Japan
Prior art keywords
alloy
sendust
ceramic
sendust alloy
intermediate layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP18484988A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshikazu Sugimura
俊和 杉村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は金属とセラミックスとを加熱により一体化接合
する技術に係わり、特に高密度磁気ヘッドコアとして使
用されるセンダスト合金とセラミックスの接合する技術
に関する。
〔従来の技術〕
一般に金属とセラミックスの接合体を得るには、セラミ
ックスの接合界面をメタライズしておき、銀ロウ等のロ
ウ材を用いてロウ付けする方法が広く用いられている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、この方法で銀ロウ接合部の強度を望まし
い程度にするには溶着温度を800°C以上の高温に上
げる必要があり、その結果として銀ロウ元素のセンダス
ト結晶粒界や粒内への拡散が激しくなり、センダスト合
金の磁気的な劣化や、センダスト合金の機械的強度の低
下が生じることがあった。
又、センダスト合金とセラミックスとを銀ロウにより接
合させると、両者の熱膨張係数が大きく異なるため、接
合部に大きな応力が発生し、セラミックス又はセンダス
ト合金に、クラックが生じることがあった。
〔課題を解決するための手段〕
本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、センダスト
合金とセラミックスとの接合材として、接合部でのセン
ダスト合金への元素の拡散が少なく、かつその接合部に
発生する残留応力を軽減できる材料を用いることにより
、センダスト合金の磁気特性の低下、′機械的強度の低
下及び、接合部での残留応力に起因するセンダスト合金
やセラミックスの割れを防止させることを目的とする。
本発明に用いられるセラミックス材は、チタン酸カルシ
ウム、チタン酸バリウム、ジルコニア。
及び結晶化ガラスなどを挙げることができる。
センダスト合金は一般のM4〜8vt%、518〜+ 
1vt%、残部Fe組成以外にも、たとえば、TI、 
Ruを少量添加したタフパーム(日立金属商品名、A!
!8、Ovt%、 Si9.65wt%、 TiO,7
wt%、 RuO,3vt%、  残部Fe)などでも
むろん有効である。
また、本発明の中間層としては純Mで十分であるが、M
に少量Sl、 Ti、 Mgを添加したM合金を用いる
と、純Mを用いる場合に比べて、50〜100℃低い温
度で拡散接合を行えるため、拡散接合のための冷却中に
発生する残留応力を小さく抑制でき、かつセンダスト合
金への原子の拡散を制御できるので有効である。
本発明において、センダスト合金とセラミックスとの間
に設ける中間層の膜厚は0.3〜30μmの範囲が好ま
しく、0.3μm未満では接合部で発生する残留応力の
緩和の効果が少なく、また30μmを越えると中間層の
M自身の強度が接合体の強度に強く影響を与え、接合強
度の低下が生じるため好ましくない。そして中間層のよ
り好ましい厚さの範囲は0.8〜lOμmである。
〔作用〕
本発明によれば、センダスト合金とセラミックスとの間
にAl又はAl合金を介在することによって接合界面で
発生する残留応力を中間層で緩和させ、両者を強靭に接
合させる。
又純MまたはM合金を介在層として接合させる場合、接
合温度を低くおさえることができるため、センダスト合
金中へのMまたはM合金の進入を極力おさえ、センダス
トの磁気特性の低下や機械的強度の低下を防ぐことがで
きる。
〔第1実施例〕 第1実施例を第1図を参考にして説明する。
ここで第1図は本発明の第1実施例に係るセンダスト合
金とセラミックス材の接合体の概要を示す概略構成図で
ある。直方体形状(6■mX 10■鵬×0.1m腸)
のセンダスト合金材1と、チタン酸カルシウム(CaT
103)からなる直方体形状(6■腸×IOmmX4m
腸)のセラミックス材2とを5μmのM箔(純度99.
5%)3を介して重ね合わせた後、治具で1kg/cT
IIの圧力を加えながら約10−”torr、温度82
0℃1時間15分で拡散接合した。
炉冷後、センダスト合金、チタン酸カルシウム材とも、
破壊することなく良好な接合体を得た。
又、センダスト合金の磁気特性も接合前と比べ劣化しな
かった。
〔第2実施例〕 第2実施例を第2図を参考にして説明する。
ここで第2図は本発明の第2実施例に係るセンダスト合
金とセラミックス部材の接合体の概要を示す概略構成図
である。
直方体形状(10i+nX20■鵬X4膳鵬)の結晶化
ガラス(日電硝子製、商品名札−05)5上にAt’−
10%51合金6を2μm蒸着し、この蒸着層を介して
、直方体形状(1(ls+mX 20m+zX 0.0
8mm)のセンダスト合金1と重ね合わせた後、治具で
1kg/cFの圧力を加えながら、約1O−5torr
、温度560℃9時間!5分で拡散接合した。
炉冷後、センダスト合金、チタン酸カルシウム部材とも
破壊することなく良好な接合体を得た。
又センダスト合金の磁気特性も接合前と比べ劣化しなか
った。
〔効果〕
以上に説明したように、本発明によれば、Al又はAl
合金を中間層として用いたセンダスト合金とセラミック
ス材の拡散接合において、強固な接合が得られ、かつ接
合後のセンダスト合金やセラミックス材の割れや接合面
で剥離のない接合体が得られるという顕著な効果を有す
る。
またMまたはM合金を中間層として用いるために、接合
温度を低く抑えることができ、接合部で中間層からセン
ダスト合金への元素の移動を抑えることができる。これ
により、センダストの磁気的特性の低下を防止すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例を示す概略構成図である。 第2図は本発明の第2実施例を示す概略構成図である。 1・・・・・・センダスト合金、 2・・・・・・セラミックス材(チタン酸カルシウム)
、3・・・・・・中間層(M箔)、 4・・・・・・接合体、 5・・・・・・セラミックス材(結晶化ガラス、ML−
05)、6・・・・・・中間層CM−51スパッタ膜)
、第1図 1−一一切77゛入ト合金 2−−−セフミ77ス賊−47Jt豹Vシャベ3−−−
す間層−Af;g 4−一一丁1F令イ2ド、 1−m−媒ン7゛スト4ト金 5−一一ヒラミックス林−オ*&4’−II) ”2ス
(ML−〇5)6−−−す間層−Azs・スバ7フイ更
7−−− 接合イ〉ト:

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、センダスト合金とセラミックスとの接合面に、純A
    l又はAl合金を介在して拡散接合させたことを特徴と
    するセンダスト合金とセラミックスとの接合体。 2、該セラミックスが、チタン酸カルシウム、チタン酸
    バリウム、ジルコニア又は結晶化ガラスである特許請求
    の範囲第1項記載の接合体。 3、該中間層のAl合金がAl−Si、Al−Ti、A
    l−Mgである特許請求の範囲第1項記載の接合体。 4、該中間層のAl又はAl合金の厚さが0.3〜30
    μmである特許請求の範囲第1項記載の接合体。
JP18484988A 1988-07-25 1988-07-25 センダスト合金とセラミックスとの接合体 Pending JPH0234578A (ja)

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