JPH02303742A - 真空用搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明（＾、たとえば半導体製造装置等の真空槽内で
ウェハー等のワークを搬送するのに使用されろ真空用搬
送装置に関し、特に、真空槽内において、搬送テーブル
を一軸方向に直線移動さＵることができると共に、この
移動方向に平行な軸回りに回転させることができる真空
用搬送装置に関する。

〈従来の技術〉 従来、この種の真空用搬送装置としては、大気側から真
空側に延び、大気側において回転駆動される送りねじと
、この送りねじ１ミよって真空側において軸方向に送ら
れる移動部材と、この移動部材に、この移動部材の移動
方向に平行な軸回りに所定の角度範囲内で回転可能に支
持されろ搬送テーブルとを備え、Ｌ２送りねじの回転に
応じて、搬送テーブルを送りねじの方向に移動さＵると
災に、上記移動部材に取り付けたモータにより、］−紀
搬送テーブルを所定の角度だけ上記移動部材の移動方向
に平行な軸回り（ご回転駆動するようにしたものがある
。

〈発明が解決しようとする課題〉 しか１２ながら、上記従来の真空用搬送装置は、真空側
に位置する上記移動部材に、搬送デーブルを傾けるため
のモータを固定しているため、モータよりその巻き線等
に吸着されているガスが放出されて、真空側の清浄度を
低下させてしまうという問題かあった。一方、真空中で
使用してもガスを放出しないタイプのモータを用いると
ガスの放出は避けられるが、このようなガスを放出しな
いタイプのモータは、そうでない上記モータに比べて４
０〜５０倍も高価であるため、真空用搬送装置が非常に
高価になってしまう。

そこで、この発明の目的は、真空側に同等高価な真空対
応タイプのモータを用いたりしなくても、大気側からの
駆動により、搬送テーブルの一軸方向の直線移動とこの
移動方向に平行な軸回りの回転を実現することができ、
したがって、真空側の清浄度を低下さけたりすることの
ない真空用搬送装置を提供することにある。

く課題を解決するための手段〉 上記目的を達成するため、この発明の真空用搬送装置は
、大気側から真空側に延び、大気側において回転駆動さ
れる送りねじによって真空側において軸方向に送られる
移動部材と、この移動部材に、この移動部材の移動方向
に平行な軸回りに回転可能ただし軸方向に相対移動不可
に支持される搬送テーブルと、上記送りねじに平行に配
置され、大気側から真空側に延びると共に大気側におい
て回転駆動され、上記搬送テーブルに回転伝達可能かつ
軸方向に相対移動可能に嵌合するスプライン軸とを備え
たことを特徴としている。

〈作用〉 上記移動部材は、大気側から真空側に延び、大気側にお
いて回転駆動される送りねじの回転に応じて、真空側に
おいて軸方向に送られる。この真空側において軸方向に
送られる移動部材には、搬送テーブルがこの移動部材の
移動方向に平行な軸回りに回転可能ただし軸方向に相対
移動不可に支持される。したがって、上記搬送テーブル
は移動部材と共に軸方向に移動する。この搬送テーブル
には、上記送りねじに平行に配置され、大気側から真空
側に延びろと共に大気側において回転駆動されるスプラ
イン軸が回転伝達可能かつ軸方向に相対移動可能に嵌合
する。つまり、スプライン軸は、移動部材および搬送テ
ーブルの真空側における上記軸方向の移動は許容しつつ
、この真空側に位置する搬送テーブルに、大気側より、
搬送テーブルを所定の角度傾けるための回転を伝達する
。

したがって、搬送テーブルは、大気側において回転駆動
される送りねじの回転に応じて軸方向に移動すると共に
、この軸方向の移動とは独立に、大気側において回転駆
動される上記スプライン軸の回転に応じて、上記移動部
材の移動方向に平行な軸回りに傾く。上記移動部材は軸
方向の移動に際し、スプライン軸により送りねじ回りの
回転を止められ、送りねじと共回りするのが防止される
。

したがって、移動部材および搬送テーブルは、送りねじ
の回転に応じて、忠実に軸方向に送られる。

このように、移動部材に搬送テーブルを回転させるため
のモータを設けたりしなくても、大気側において送りね
じおよびスプライン軸を夫々回転駆動することにより、
搬送テーブルを送りねじの軸方向に直線移動させること
ができると共に、移動方向に平行な軸回りに回転させろ
ことができる。

従来のように搬送テーブルの回転にモータを用いないた
め、真空側の清浄度を低下させたり、搬送されるワーク
を汚染するようなガスが放出されろことはない。また、
高価な真空対応タイプのモータも必要ない。

〈実施例〉 以下、この発明を図示の実施例により詳細に説明する。

第１図において、ｌは送りねじとしてのボールねじ軸、
２はこのボールねじ軸ｌに螺合するホールナツト、３は
ボールナツト２と一体に固定され、ボールねじ軸ｌの回
転によってこのポールナツト２を介して軸方向（図中Ｘ
方向参照）に送られるＵ字状の移動部材である。上記ボ
ールねじ軸１は、真空′ＷＩ４の側壁５に回転自在に支
持されており、上記真空槽４の側壁５の大気側Ａに取り
付けたモータ６により回転駆動（図中矢印ａ参照）され
る。

そして、上記ボールねじ軸１はその大部分が真空Ｗ！４
内、つまり真空側Ｂに位置している。

上記移動部（第３のボールね０軸Ｉの軸心に略直交する
方向に突出する突出部３　ａ、　３　ａには、円筒状の
ボールスプラインナツト７か、ポール軸受８゜８（図の
右方側は表れていない）を介して、回転可能ただし軸方
向には相対移動不可に支承されている。このボールスプ
ラインナツトは７、その両端部にて、上記の如く突出部
３　ａ、　３　ａにポール軸受８を介して回転可能ただ
し軸方向に相対移動不可に支承されている。このボール
スプラインナツト７の軸心は上記送りねじｌと平行であ
る。このボールスプラインナツト７の略中火には、上記
突出１３ａ、３ａと夫々軸方向に一定の間隙を保って、
側面がＴ字状で、軸方向に延びる板状のテーブル部ＩＱ
ａとこのテーブル部に直交する突出部ｌＯｂとを備えた
搬送テーブル１０の１記突出部１０ｂが外嵌され、固定
されている。このため、搬送テーブル１０は、移動部材
３よりボール軸受８．８およびボールスプラインナツト
７を介して軸方向の力を伝えられて、この移動部材３と
共に軸方向に移動すると共に、ボールスプラインナツト
７と共回りする。この搬送テーブル１０は、そのテーブ
ル部１０ｃが第１図に示す紙面に直角な状態から少なく
とも紙面に平行になるまで、第１図の状態を中心として
両側に９０度以上、合計ｉｓｏ”以上の角度範囲で回転
できる。

上記ボールスプラインナツト７には、このボールスプラ
インナツト７と共にリニアボール軸受りを構成するボー
ルスプライン軸ｔｉが軸方向に滑らかに相対移動可能た
だ（２相対回転不可に嵌合されている。このボールスプ
ライン軸１１は、」−記ポールねじ紬Ｉと平行に配設さ
れており、このボールねじ軸ｌと同様、真空槽４の側壁
５に回転可能に支持されている。そして、このボールス
プライン軸１１も、真空槽４の側壁５の大気側Ａに取り
付けたモータ１２により回転駆動（図中矢印す参照）さ
れる。このボールスプライン軸１１は、その外周の周方
向９０°毎に軸方向の円筒面で形成される軌道１１１１
１１ａ、ｌｌａ、・・・を有する。そして、このボール
スプライン軸１１の各軌道溝１１ａ、ｌｌａ、・・には
、上記ボールスプラインナツト７に図示を省略した長円
状の循環経路に沿って循環可能に配設された各ボール列
のボールスプライン軸ｌｌ側経路に位置して内周側に露
頭する複数のボール１２゜１２、・・・が夫々密にかつ
転勤可能に嵌合している。

そして、この複数のボールｌ　２，１２．・・・、１２
゜１２、・・・、・・・を介して、ボールスプライン軸
１１の回転はボールスプラインナツト７に伝えられる。

ただし、ボールスプライン軸ＩＩに対するボールスプラ
インナツト７の軸方向の移動は許容される。

なお、上記ボールねじ軸ｌおよびボールスプライン軸１
１の側壁５通過部分は十分にシールに配慮がなされてい
るため、この部分からリークして、真空槽４内の真空度
が低下することはない。また、上記ボールスプラインナ
ツト７のボール１２．ポール軸受８のボー゛ルおよびボ
ールナツト２の図示しないボールの表面には、滑らか、
かつ正確な動きを確保するために、いずれもたとえばＡ
ｇ等の真空中で使用可能な固体潤滑剤がコーティングし
てあ・る。・また、ボールねじ１１１１１およびボール
スプライン軸１１は、搬送距離をカバーするだけの十分
な軸方向長さを有する。

上記構成の真空用搬送装置において、搬送テーブル【Ｏ
を軸方向に移動させるには、大気側Ａに位置する上記モ
ータ６によりボールねじ軸ｌを回転させる。すると、こ
のボールねじ軸ｌに螺合するボールナツト２が、ボール
ねじ軸ｌの回転に応じて真空側Ｂにおいて滑らかに軸方
向に移動し、これととらに、移動部材３らボールねじ軸
１の回転に応じて軸方向に移動する。そして、この移動
部材３にボール軸受８．８およびボールスプラインナツ
ト７を介して軸方向に支持された搬送テーブル１０ら、
この移動部材３と共に軸方向に移動する。ボールスプラ
イン軸１Ｍとボールスプラインナツト７とは、上記の如
く、互いに平行で、かつ、互いに軸方向には相対移動可
能に嵌合しているため、搬送テーブル１０の軸方向の移
動がボールスプライン軸１１により妨げられることはな
い。

また、上記移動部材３は、ボール軸受８．８およびボー
ルスプラインナツト７を介してボールスプライン軸１１
によりボールねＣ軸１回りの回転が止められるため、つ
まり移動部材３はボールスプライン軸１１により回り正
めされているため、上記軸方向の移動に際し、ボールね
じ軸ｌと共回りするのが防止されろ。したがって、搬送
テーブルｌＯは、忠実に、ボールねじ軸ｌの回転に応じ
て軸方向に送られる。

一方、搬送するワークを除荷するときのように搬送テー
ブル１０を所定の角度傾ける必要があるときには、大気
側Ａに位置する上記モータ１２によりボールスプライン
軸Ｉｔを必要とする角度だけ回転させる。すると、この
ボールスプライン軸１１の回転は、ホールスプライン軸
１１と上記ボールスプラインナツト７とがその嵌合位置
によらず互いに相対回転不可、つまり、回転伝達可能に
嵌合しているため、確実にボールスプラインナツト７に
伝えられ、したがって、搬送テーブルＩＯはボールスプ
ライン軸Ｉｔの回転角度だけボールスプラインナツト７
の軸心回りに滑らかに回転する。

このように、この真空用搬送装置によりば、従来のよう
に真空側に位置する移動部材に搬送テーブルを回転させ
るためのモータを設けたり仕ずとも、大気側へにおいて
ボールねじ軸ｌおよびボールスプライン軸１１をモータ
６．１２により夫々回転駆動するだけで、搬送テーブル
ＩＯを、真空側Ｂにおいて、ボールねし軸１の回転に応
じて軸方向に滑らかかつ正確に直線移動させろことかで
きる共に、この軸方向の移動と（１独立に、ボールスプ
ライン軸１１の回転角度に応じて、かつ滑らかに、」二
足移動方向に平行であるボールスプラインナツト７の軸
心回りに回転させることかでさる。

そして、この真空用搬送装置によれば、従来のように真
空側に搬送テーブルの回転さけるためのモータを必要と
しないため、真空槽４内の清浄度を低下さけたり搬送さ
れるワークを汚染するようなガスを放出することはない
。また、高価な真空対応タイプのモータも同等必要ない
。

上記実施例では、送りねじと（７てボールねじ軸ｌを用
いたが、送りねじはボールねじ軸に限らないのは言うま
でしない。

また、上記実施例では、移動部材ｌＯにボールスプライ
ンナツト７を回転自在に支承し、このボールスプライン
ナツト７にスプライン軸としてのボールスプライン軸１
１を嵌合する一方、上記ボ。

−ルスプラインナット７に搬送テーブルｌＯを相対回転
不可に固定して、搬送テーブル１０とボールスプライン
軸１１との回転伝達可能かつ軸方向に相対移動可能な嵌
合を実現するようにしたが、搬送テーブルとスプライン
軸との回転伝達可能かつ軸方向に相対移動可能な嵌合は
、上記ボールスプライン軸！ｌとボールスプラインナツ
ト７を用いて実現するものに限らず、単なるスプライン
軸およびスプラインナツトであってらよいのはいうまで
しない。

まノコ、搬送テーブル１０は上記実施例のものに限らな
いのはいうよでもない。

〈発明の効果〉 以上より明らかなように、この発明の真空用搬送装置は
、人気側から真空側に延び、人気側ｉ４二おいて回転駆
動されろ送りねじにヤっで真空側において軸方向に送ら
れる移動部材と、この移動部材に、この移動部材の移動
方向に平行な軸回りに回転可能ただし軸方向に相対移動
不可に支持される搬送テーブルと、上記送りねじに平行
に配置さね、人気側から真空側に延びると共に大気側に
おいて回転駆動され、上記搬送テーブルに回転伝達可能
かつ軸方向に相対移動可能に嵌合するスプライン軸とを
備えているので、従来のように真空側を移動する移動部
材に搬送テーブルを回転さ仕るためのモータを設けたす
せずとも、大気側に１３いて送りねじおよびスプライン
軸を夫々回転駆動するだけで、搬送テーブルを、真空側
において、送りねじの回転に応じて軸方向に正確に直線
移動さ什ろことがでさる共に、この軸方向の［多動とは
独立に、スプライン軸の回転角度に応じて、上記移動方
向に平行な軸心回りに回転さｌ゛ることかできる。そし
て、この発明の真空用搬送装置によれば、従来のように
真空側に搬送テーブルの回転させろためのモータを必要
としないため、真空槽内の真空度や温度等によら４′、
真空槽内の清浄Ｉ￥を低下さ什たり搬送されるワークを
汚染するようなガスを放出することはない。また、高価
な真空対応タイプのモータら同等必要ない。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の真空用搬送装置の一実施例を軸に直
交する方向から見た図である（搬送テーブルを含む軸方
向に移動する部分は軸方向に半断面されている。なお、
真空槽の側壁の軸方向の断面位置は、上記軸方向の半断
面の断面位置よりも図の毛萌側に位置している）。 ト・・ボールねし軸、２・・・ホールナツト、３・・・
移動部材、　　４・・真空槽、５・・・側壁、　　　　
　６，１２・・・モータ、７・・・ボールスプラインナ
ツト、 ８・・・ボール軸受、　　ｉｏ・・・搬送テーブル、１
１・・・ボールスプライン軸、 Ａ・・・大気側、　　　Ｂ・・・真空側。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）大気側から真空側に延び、大気側において回転駆
   動される送りねじによって真空側において軸方向に送ら
   れる移動部材と、 この移動部材に、この移動部材の移動方向に平行な軸回
   りに回転可能ただし軸方向に相対移動不可に支持される
   搬送テーブルと、 上記送りねじに平行に配置され、大気側から真空側に延
   びると共に大気側において回転駆動され、上記搬送テー
   ブルに回転伝達可能かつ軸方向に相対移動可能に嵌合す
   るスプライン軸とを備えたことを特徴とする真空用搬送
   装置。