JPH02301080A - Disk delivery mechanism in optical disk manufacturing device - Google Patents
Disk delivery mechanism in optical disk manufacturing deviceInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明光学ディスク製造装置におけるディスク受渡機構
を以下の項目に従って詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The disc delivery mechanism in the optical disc manufacturing apparatus of the present invention will be described in detail according to the following items.
Ａ、産業上の利用分野
Ｂ０発明の概要
Ｃ０従来技術［第１０図乃至第１２図］Ｄ０発明が解決
しようとする課題［第１１図、第１２図］
Ｅ２課題を解決するための手段
Ｆ、実施例［第１図乃至第９図１
Ｆ−１，第１の実施例［第１図乃至第７図］ａ６光学デ
ィスク製造装置の概要［第
１図］
ｂ、ディスク載置台［第２図乃至第
７図］
Ｃ９受渡アーム［第２図、第６図、第
７図コ
Ｃ−１，第１の受渡アーム
ｃ−２，第２の受渡アーム
Ｆ−２，第２の実施例［第８図］
Ｆ−３，第３の実施例［第９図］
Ｇ９発明の効果
（Ａ 産業上の利用分野）
本発明は新規な光学ディスク製造装置におけるディスク
受渡機構に関する。詳しくは、ディスク載置台にディス
ク基板を載置し及び／又はディスク載置台からディスク
基板を取り出すのに、ディスク基板のディスク載置台と
接触しない側の面に全く触れることを要せずに上記作業
を行なうことができるようにしてディスク基板のディス
ク載置台と接触しない面を清浄な状態に保っておくこと
ができる新規な光学ディスク製造装置におけるディスク
受渡機構を提供しようとするものである。A. Industrial field of application B0 Overview of the invention C0 Prior art [Figures 10 to 12] D0 Problem to be solved by the invention [Figures 11 and 12] E2 Means for solving the problem F. Example [Fig. 1 to Fig. 9 1 F-1, First Example [Fig. 1 to Fig. 7] Overview of a6 optical disc manufacturing apparatus [Fig. 1] b. Disc mounting table [Fig. 2 to Fig. 7] C9 delivery arm [Fig. 2, Fig. 6, Fig. 7 C-1, first delivery arm c-2, second delivery arm F-2, second embodiment [Fig. [Figure 8] F-3, Third Embodiment [Figure 9] G9 Effects of the Invention (A Field of Industrial Application) The present invention relates to a disc delivery mechanism in a novel optical disc manufacturing apparatus. Specifically, in order to place the disk substrate on the disk mounting table and/or to take out the disk substrate from the disk mounting table, the above-mentioned operation can be performed without touching the side of the disk substrate that does not come into contact with the disk mounting table at all. An object of the present invention is to provide a disk delivery mechanism in a novel optical disk manufacturing apparatus that can maintain a clean surface of the disk substrate that does not come into contact with the disk mounting table.
（Ｂ、発明の概要）
本発明光学ディスク製造装置におけるディスク受渡機構
は、ディスク載置台にディスク載置部の中心部からディ
スク載置台の一側面に達するアクセス溝を形成し、受渡
機構に備えられた吸着ヘットが上記アクセス溝を通って
ディスク載置台の外側とディスクｉｔ部の中心部との間
を移動するようにすることによって、上記吸着ヘッドが
ディスク基板のディスク載置台と接触しない側の面を吸
着した状態でディスク載置台のディスク載置部にディス
ク基板を載置し及び／又はディスク載置部からディスク
基板を取り出すことができ、これによって、ディスク載
置台のディスク載置部へのディスク基板の載置及び／又
はディスク載置部からのディスク基板の取出を行なうに
ついてディスク基板のディスク載置台に接触しない側の
面に触れる必要がなく、従って、ディスク基板のディス
ク載置台と接触しない側の面を清浄に保っておくことが
できる。(B. Summary of the Invention) The disc delivery mechanism in the optical disc manufacturing apparatus of the present invention has an access groove formed in the disc mounting table extending from the center of the disc mounting part to one side of the disc mounting table. By moving the suction head through the access groove between the outside of the disk mounting table and the center of the disk IT section, the suction head moves between the surface of the disk substrate on the side that does not come into contact with the disk mounting table. The disk substrate can be placed on the disk placement part of the disk placement stand and/or the disk substrate can be taken out from the disk placement area with the disk adsorbed. There is no need to touch the surface of the disk substrate that does not come into contact with the disk mounting table when placing the substrate and/or taking out the disk substrate from the disk mounting section. You can keep the surface clean.
（Ｃ，従来技術）［第１Ｏ図乃至第１２図］コンパクト
オーディオディスク（ＣＤ）やレーザーディスク（ＬＤ
、ＬＶＤ）等の光学ディスクの製造方法には種々のもの
が提案されているが、その中に２Ｐ法（光重合法）と称
されるものがある。(C, prior art) [Figures 1O to 12] Compact audio disc (CD) and laser disc (LD)
Various methods have been proposed for manufacturing optical discs such as 2P method (photopolymerization method).
この２Ｐ法というのは、紫外線硬化樹脂を用いて光学デ
ィスクを複製するもので、第１０図に示すように、スク
リーン印刷の手法を用いてディスク基板ａの片方の面に
液状の紫外線硬化樹脂すを供給しく第１０図（Ｂ）参照
）、紫外線硬化樹脂すがディスクスタンバＣと密着する
ようにディスク基板ａをディスクスタンバＣ上に載置し
く第１０図（Ｃ）参照）、加圧ローラｄでディスク基板
ａをディスクスタンパＣに対して押圧する（第１０図（
Ｄ）参照）。その結果、ディスク基板ａとディスクスタ
ンパＣとの間に紫外線硬化樹脂すが隙間なく充填される
。This 2P method uses ultraviolet curable resin to reproduce optical discs, and as shown in Figure 10, liquid ultraviolet curable resin is coated on one side of the disk substrate a using screen printing. 10(B)), place the disk substrate a on the disk standber C so that the ultraviolet curable resin is in close contact with the disk standber C (see FIG. 10(C)), and pressurize roller d. Press the disk substrate a against the disk stamper C (see Fig. 10).
(See D). As a result, the space between the disk substrate a and the disk stamper C is filled with ultraviolet curing resin without any gaps.
そこで、紫外線ランプｅによりディスク基板ａを通して
紫外線硬化樹脂すに紫外光を照射する（第１０図（Ｅ）
参照）と、液状だった紫外線硬化樹脂すが硬化するので
、ディスク基板ａをディスクスタンパＣから！１Ｊｌｉ
ｆｆする（第１０図（Ｆ）参照）。これにより、ディス
クスタンパＣの表面に形成された微細な凹凸がディスク
基板ａ上に転写される。Therefore, ultraviolet light is irradiated onto the ultraviolet curing resin through the disk substrate a using an ultraviolet lamp e (Fig. 10(E)).
), the liquid ultraviolet curing resin will harden, so remove the disk substrate a from the disk stamper C! 1 Jli
ff (see FIG. 10(F)). As a result, the fine irregularities formed on the surface of the disk stamper C are transferred onto the disk substrate a.
そこで、ディスク基板ａの転写された凹凸面に金属膜を
蒸着した後、保護膜を被覆することに□より、ディスク
スタンパＣの凹凸に応じたビットが形成された光学ディ
スクｆを得ることができる（第１０図（Ｇ）参照）。Therefore, by depositing a metal film on the transferred uneven surface of the disk substrate a and then covering it with a protective film, it is possible to obtain an optical disk f in which bits corresponding to the unevenness of the disk stamper C are formed. (See Figure 10(G)).
上記したような２２法によるとディスクスタンパＣのパ
ターンが微細であっても紫外線硬化樹脂が液状であるた
めにこの紫外線硬化樹脂がパターンに十分に充填される
ので、信号の転写性が格段に優れている、という利点を
有する。According to the above-mentioned method 22, even if the pattern of the disk stamper C is minute, since the ultraviolet curing resin is in liquid form, the pattern is sufficiently filled with the ultraviolet curing resin, resulting in extremely excellent signal transferability. It has the advantage of being
ところで、上記光学ディスクの製造工程において、゛デ
ィスク基板ａの各作業を行なう作業部への受渡を行なう
必要がある。By the way, in the manufacturing process of the optical disc mentioned above, it is necessary to deliver the disc substrate a to a working unit that performs various operations.
例えば、ディスク基板ａの一方の面に紫外線硬化樹脂を
供給する作業部へディスク基板ａを供給し、また、一方
の面に紫外線硬化樹脂が付与されたディスク基板ａを該
作業部から取り出す必要がある。For example, it is necessary to supply the disk substrate a to a working section that supplies ultraviolet curable resin to one surface of the disk substrate a, and to take out the disk substrate a with the ultraviolet curable resin applied to one surface from the working section. be.
第１１図及び第１２図はそのような作業部とそれに対す
るディスク基板の受渡を行なう機構の一例を示すもので
ある。FIGS. 11 and 12 show an example of such a working unit and a mechanism for transferring disk substrates thereto.
ｇは印ＩＩ板であり、その中央部に所望のパターンに孔
ｈ％ ｈ、・・・が形成されたスクリーン板ｉが支持さ
れている。g is a mark II plate, and a screen plate i in which holes h% h, . . . are formed in a desired pattern is supported in the center thereof.
ｊはスキージであり、ｋは印刷板ｇの下方に配置された
印刷バックアップ台であり、該印刷バックアップ台にの
中央部にはディスク基板ａの形状と同形状の凹部に形成
されたディスク載置部ｌが設けられている。j is a squeegee, k is a printing backup stand placed below the printing plate g, and in the center of the printing backup stand is a disk mounting plate formed in a recess having the same shape as the disk substrate a. A section l is provided.
しかして、印刷バックアップ台にのディスク載置部Ａに
ディスク基板ａを載置し、その上に上記印刷板ｇを重ね
合わせ、印刷板ｇ上に供給された液状の紫外線硬化樹脂
すをスキージｊによって印刷板ｇ上に、特に、スクリー
ン板ｉ上に押し付けるようにして掃込することにより、
スクリーン板ｉの孔り、ｈ、・・・内に紫外線硬化樹脂
すがディスク基板ａに接触した状態で位置し、そこから
印刷板ｇを上方に引き上げると、スクリーン板ｉの孔り
、ｈ、・・・があった位置に鎖孔ｈ、ｈ、・・・の大き
さとスクリーン板ｉの厚みに相当した厚さを有する紫外
線硬化樹脂す、ｂ、・・・がディスク基板ａ上に残され
る。このようにして、ディスク基板ａの一方の面に紫外
線硬化樹脂すの供給が為される。Then, the disk substrate a is placed on the disk mounting portion A of the printing backup stand, the printing plate g is placed on top of the disk substrate a, and the liquid ultraviolet curing resin supplied onto the printing plate g is squeezed with a squeegee j. By sweeping it onto the printing plate g, especially onto the screen plate i,
The ultraviolet curing resin is located in the holes, h, ... of the screen plate i, in contact with the disk substrate a, and when the printing plate g is pulled upward from there, the holes, h, ... of the screen plate i are located. . . are left on the disk substrate a at the positions where the chain holes h, h, . . . have sizes and a thickness corresponding to the thickness of the screen plate i. . In this way, the ultraviolet curing resin is supplied to one surface of the disk substrate a.
そして、上記した印刷バックアップ台ｋに対するディス
ク基板ａの載置と取出は、ディスク受渡機構ｍによって
為される。The disk substrate a is placed on and taken out from the print backup table k described above by a disk transfer mechanism m.
ｎはディス、り受渡機構ｍの受渡アームであり、その基
部が回動自在に、かつ、上下動自在に支持されている。Reference numeral n designates a transfer arm of the transfer mechanism m, the base of which is supported rotatably and movably up and down.
０は受渡アームｎの回動端部に取着された吸着ヘッドで
あり、その下端から複数の吸着ビンｐ、ｐ、 ・・・
が突設されており、これら吸着ビンｐ、ｐ、・・・には
その下端に開口すると共に図示しないエア吸引装置に接
続された吸引孔が形成されている。0 is a suction head attached to the rotating end of the delivery arm n, and a plurality of suction bottles p, p,...
These suction bottles p, p, .
しかして、受渡アームｎが回動してその吸着へラド０が
ディスク基板ａ供給部の上方に来ると、受渡アームｎが
下降して、吸着ヘッド０の吸着ビンｐ、ｐ、・・・がデ
ィスク基板ａの中心部に接触し、ここで、エアの吸引が
為されて、ディスク基板ａの中心部が吸着ヘッド０に吸
着される。When the transfer arm n rotates and the adsorption pad 0 comes above the disk substrate a supply section, the transfer arm n descends and the suction bins p, p, p, etc. of the suction head 0 are moved. It contacts the center of the disk substrate a, where air is suctioned, and the center of the disk substrate a is attracted to the suction head 0.
そこで、受渡アームｎが上昇し、次いで回動してその吸
着ヘッド０が印刷バックアップ台にのディスク載置部１
の上方に来ると受渡アームｎが下降してディスク基板ａ
をディスク載置部１に載置する。そこで、エア吸引が解
除されると共に受渡アームｎが上昇し、かつ、回動して
退避する。Then, the delivery arm n rises and then rotates so that its suction head 0 is placed on the disk mounting section 1 on the print backup stand.
When it reaches the upper part, the transfer arm n lowers and transfers the disk board a.
is placed on the disk mounting section 1. Then, the air suction is released and the delivery arm n rises and rotates to retreat.
そして、上記したようにディスク基板ａへの紫外線硬化
樹脂ｂ％ｂ１ ・・・の載置が終了すると、吸着ヘッド
０により再びディスク基板ａの中心部を吸着して印刷バ
ックアップ台にのディスク載置部βからディスク基板ａ
を取り出す。Then, when the placement of the ultraviolet curing resin b%b1... on the disk substrate a is completed as described above, the suction head 0 again sucks the center of the disk substrate a and places the disk on the print backup table. From part β to disk substrate a
Take out.
（Ｄ、発明が解決しようとする課題） ［第１１図、第
１２図１
ところで、上記したディスク受渡機構ｍにあっては、デ
ィスク基板ａの紫外線硬化樹脂す、ｂ、・・・が付与さ
れる側の面に吸着へラド０が接触するという問題がある
。(D. Problems to be Solved by the Invention) [Fig. 11, Fig. 12 1 By the way, in the above-mentioned disk delivery mechanism m, the ultraviolet curing resins s, b, . . . are applied to the disk substrate a. There is a problem in that the Rad 0 comes into contact with the surface of the suction side.
即ち、ディスク基板ａの紫外線硬化樹脂すが供給される
面に何かが接触するということは、当該面に汚れが付着
する原因となり、そして、線面に汚れが付着していると
、その汚れが紫外線硬化樹脂すの中に溶は込んで、信号
の記録再生時のエラーを生じさせたり、また、転写面上
に形成する金属蒸着膜の腐食の原因となったり、あるい
は、硬化した紫外線硬化樹脂層とディスク基板との間の
密着力の低下を惹き起したりする等の不都合があった。In other words, when something comes into contact with the surface of the disk substrate a to which the ultraviolet curing resin is supplied, it causes dirt to adhere to that surface, and if dirt adheres to the line surface, the dirt may melt into the UV-cured resin, causing errors during signal recording and playback, or cause corrosion of the metal vapor deposited film formed on the transfer surface, or the UV-cured There are disadvantages such as a decrease in the adhesion between the resin layer and the disk substrate.
（Ｅ、課題を解決するための手段）
本発明光学ディスク製造装置におけるディスク受渡機構
は、上記した課題を解決するために、ディスクｆｆｔｌ
ａａｔ台にディスクｆｆＵｆｉｆ部の中心部からディス
ク載置台の一側面に達するアクセス溝を形成し、受渡機
構に備えられた吸着ヘッドが上記アクセス溝を通ってデ
ィスクｆａａ台の外側とディスクａｉ首部の中心部との
間を移動するようにしたものである。(E. Means for Solving the Problems) In order to solve the above problems, the disc delivery mechanism in the optical disc manufacturing apparatus of the present invention has the following features:
An access groove is formed in the aat table that reaches from the center of the disk ffUfif part to one side of the disk mounting table, and a suction head provided in the delivery mechanism passes through the access groove to reach the outside of the disk faa table and the center of the disk ai neck. It is designed so that it can be moved between sections.
従って、本発明光学ディスク製造装置におけるディスク
受渡機構にあっては、吸着ヘッドがディス、り基板のデ
ィスク載置台と接触しない側の面を吸着した状態でディ
スク載置台のディスク載置部にディスク基板を載置し及
び／又はディスク載置部からディスク基板を取り出すこ
とができ、これによって、ディスク載置台のディスク載
置部へのディスク基板の載置及び／又はディスク載置部
からのディスク基板の取出を行なうについてディスク基
板のディスク載置台に接触しない側の面に触れる必要が
なく、従って、ディスク基板のディスク載置台と接触し
ない側の面を清浄に保っておくことができる。Therefore, in the disk transfer mechanism of the optical disk manufacturing apparatus of the present invention, the disk is placed on the disk mounting portion of the disk mounting table while the suction head is sucking the side of the disk that does not come into contact with the disk mounting table. and/or take out the disk substrate from the disk platform, thereby placing the disk substrate on the disk platform of the disk platform and/or removing the disk substrate from the disk platform. There is no need to touch the surface of the disk substrate that does not come into contact with the disk mounting table when taking out the disc, and therefore the surface of the disk substrate that does not come into contact with the disk mounting table can be kept clean.
（Ｆ、実施例）［第１図乃至第９図］
以下に、本発明光学ディスク製造装置におけるディスク
受渡機構の詳細を図示した実施例に従って説明する。(F. Embodiment) [Figs. 1 to 9] Details of the disc delivery mechanism in the optical disc manufacturing apparatus of the present invention will be described below according to the illustrated embodiment.
（Ｆ−１，第１の実施例）［第１図乃至第７図］
（ａ、光学ディスク製造装置の概要）［第１図］
尚、ディスク受渡機構の説明する前に、光学ディスクの
製造装置の概要を第１図のブロック図を用いて説明して
おく。(F-1, First Example) [Figures 1 to 7] (a, Outline of Optical Disc Manufacturing Apparatus) [Figure 1] Before explaining the disc delivery mechanism, let us explain the process for manufacturing optical discs. The outline of the apparatus will be explained using the block diagram shown in FIG.
ｌが光学ディスクの製造装置であり、２はその機台であ
る。1 is an optical disc manufacturing device, and 2 is a machine thereof.
３は機台２上面の一側部に設けられたディスク基板供給
部、４は機台２の上面の他側部に設けられたディスク基
板搬出部であり、これらディスク基板供給部３とディス
ク基板搬出部４との間に、紫外線硬化樹脂供給部５、転
写部６がこの順で配設されている。3 is a disk substrate supply section provided on one side of the top surface of the machine stand 2, and 4 is a disk substrate unloading section provided on the other side of the top surface of the machine stand 2. An ultraviolet curing resin supply section 5 and a transfer section 6 are arranged in this order between the transport section 4 and the transfer section 4 .
７はカートリッジであり、該カートリッジ７には複数枚
のディスク基板８．８、・・・が収納されており、この
カートリッジ７からディスク基板８が一枚づつ後述する
ディスク受渡機構によって樹脂供給部５へ移送される。Reference numeral 7 denotes a cartridge, and the cartridge 7 houses a plurality of disk substrates 8, 8, . will be transferred to.
樹脂供給部５にて紫外線硬化樹脂が供給されたディスク
基板８は後述するディスク受渡機構によって転写部６へ
移送される。The disk substrate 8 to which the ultraviolet curable resin has been supplied in the resin supply section 5 is transferred to the transfer section 6 by a disk transfer mechanism to be described later.
９は転写部６における移動テーブルであり、機台２上を
前後方向に移動するように構成されている。Reference numeral 9 denotes a moving table in the transfer section 6, which is configured to move on the machine stand 2 in the front-back direction.
１０は移動テーブル９上に固定されたチャッキング台で
あり、該チャッキング台１０上にディスクスタンバ１１
が固定されている。Reference numeral 10 denotes a chucking table fixed on the movable table 9, and a disk standber 11 is mounted on the chucking table 10.
is fixed.
しかして、上記したように紫外線硬化樹脂が一方の面に
供給されたディスク基板８は該紫外線硬化樹脂が供給さ
れている面が下側になった状態でディスクスタンパ１１
の上にｆＩｉ置される。即ち、ディスクスタンバ１１と
ディスク基板８との間に紫外線硬化樹脂が挟まれた状態
となる。As described above, the disk substrate 8 having one side supplied with the ultraviolet curable resin is placed in the disk stamper 11 with the side to which the ultraviolet curable resin is supplied facing downward.
fIi is placed on top of . That is, the ultraviolet curing resin is sandwiched between the disk standber 11 and the disk substrate 8.
ディスクスタンパ１１上にディスク基板８が載置される
と、移動テーブル９は後方へ移動して行き、その途中の
転写装置１２を通過する間に、図 ”示しない加圧
ローラによりディスク基板８がディスクスタンバ１１の
方へ加圧され、これによって、ディスクスタンバ１１の
微細な凹凸に紫外線硬化樹脂が均一に充填され、次いで
、紫外光の照射が為されて、紫外線硬化樹脂が硬化せし
められる。そして、紫外線硬化樹脂の硬化が完了すると
移動テーブル９が前方へ移動して元の位置に戻り、受渡
アーム１３の吸着ヘッド１３ａによってディスク基板８
が硬化した紫外線硬化樹脂と共にディスクスタンバ１１
から剥離されてディスク基板搬出部４へ移送され、そこ
で、搬出用カートリッジ１４内に収納される。When the disk substrate 8 is placed on the disk stamper 11, the moving table 9 moves backward, and while passing through the transfer device 12 on the way, the disk substrate 8 is pressed by a pressure roller (not shown). Pressure is applied toward the disk standber 11, thereby uniformly filling the minute irregularities of the disk standber 11 with the ultraviolet curing resin, and then irradiating ultraviolet light to harden the ultraviolet curing resin. When the curing of the ultraviolet curing resin is completed, the moving table 9 moves forward and returns to its original position, and the suction head 13a of the delivery arm 13 picks up the disk substrate 8.
Disk standber 11 together with the cured ultraviolet curing resin
The disk substrate is peeled off from the substrate and transported to the disk substrate unloading section 4, where it is stored in the unloading cartridge 14.
そして、上記した光学ディスク製造装置１において、デ
ィスク基板８を樹脂供給部５に供給し、また、該樹脂供
給部５から紫外線硬化樹脂が供給されたディスク基板８
を取り出す機構に本発明に係るディスク受渡機構が適用
されている。In the optical disc manufacturing apparatus 1 described above, the disc substrate 8 is supplied to the resin supply section 5, and the disc substrate 8 is supplied with the ultraviolet curing resin from the resin supply section 5.
The disk delivery mechanism according to the present invention is applied to the mechanism for taking out the disc.
（ｂ、ディスク載置台）［第２図乃至第７図］！５は上
記樹脂供給部５における印刷バックアップ台であり、こ
の印刷バックアップ台１５がディスク載置台となる。(b, disk mounting stand) [Figures 2 to 7]! Reference numeral 5 denotes a print backup stand in the resin supply section 5, and this print backup stand 15 serves as a disk mounting stand.
１６は略四角形の板状をした基台であり、高さ調整機構
１７を介して機台２上に支持されている。該基台１６の
四つの隅部のうちの３箇所には挿通孔１８．１８．１８
が形成されると共に、スライド軸受１９．１９．１９が
立設され、このスライド軸受１９．１９．１９のボア１
９ａ。Reference numeral 16 denotes a base having a substantially rectangular plate shape, and is supported on the machine base 2 via a height adjustment mechanism 17. Three of the four corners of the base 16 are provided with through holes 18.18.18.
is formed, and a slide bearing 19.19.19 is set upright, and the bore 1 of this slide bearing 19.19.19
9a.
１９ａ、１９ａと上記挿通孔１８．１８．１８とが同軸
になるようにされている。19a, 19a and the insertion hole 18.18.18 are coaxial.
２０は基台１６上に固定されたエアシリンダであり、そ
のピストンロッド２０ａが上方に向って突出されている
。20 is an air cylinder fixed on the base 16, and its piston rod 20a projects upward.
２１は昇降ベースであり、上記基台１６と略同じ大きさ
の四角形をしている。Reference numeral 21 denotes an elevating base, which has a rectangular shape approximately the same size as the base 16.
昇降ベース２１の四つの隅部のうちの３箇所からは被案
内ロッド２２．２２．２２が垂設されており、これら被
案内ロッド２２．２２．２２が上記スライド軸受１９．
１９．１９のボア１９ａ、１９ａ、１９ａに各別に摺動
自在に挿通されている。２２ａ、２２ａ、２２ａは被案
内ロッド２２．２２．２２の下端に固定されたストッパ
板であり、これらストッパ板２２ａ、２２ａ。Guided rods 22, 22, 22 are suspended from three of the four corners of the elevating base 21, and these guided rods 22, 22, 22 are connected to the slide bearings 19.
19.19 and are slidably inserted into the respective bores 19a, 19a, 19a. 22a, 22a, 22a are stopper plates fixed to the lower ends of the guided rods 22.22.22, and these stopper plates 22a, 22a.
２２ａによって被案内ロッド２２．２２．２２のスライ
ド軸受１９．１９．１９からの上方への抜けが防止され
ている。22a prevents the guided rod 22.22.22 from coming off upward from the slide bearing 19.19.19.
そして、上記エアシリンダ２０のピストンロッド２０ａ
の上端が昇降ベース２１に連結され、エアシリンダ２０
の駆動によって昇降ベース２１が上下動するようになっ
ている。And the piston rod 20a of the air cylinder 20
The upper end of the air cylinder 20 is connected to the lifting base 21.
The elevating base 21 is moved up and down by driving.
また、この昇降ベース２１にはその中心部から−の側縁
に達する切欠溝２３が形成されている。In addition, a notch groove 23 is formed in the elevating base 21, extending from the center to the negative side edge.
尚、該切欠溝２３は弧状に形成されている。Note that the notch groove 23 is formed in an arc shape.
２４はバックアツプ板であり、上記昇降ベース２１の上
面に固定されている。該バックアツプ板２４の上面には
円形の浅い凹部２５が形成され、該凹部２５がディスク
載置部とされる。Reference numeral 24 denotes a back-up plate, which is fixed to the upper surface of the elevating base 21. A shallow circular recess 25 is formed on the upper surface of the backup plate 24, and the recess 25 serves as a disk mounting section.
該バックアツプ板２４はある程度の厚さを有しており、
その中に密閉空間２６が形成されていて、上記ディスク
載置部２５には上記密閉空間２６に連通した多数の小孔
２５ａ、２５ａ、・・・が形成されており、また、該密
閉空間２６は図示しないエア吸引機構と連結されていて
、適時にその内部が負圧とされるようになっている。The back-up plate 24 has a certain thickness,
A sealed space 26 is formed therein, and the disk mounting portion 25 is formed with a large number of small holes 25a, 25a, . . . that communicate with the sealed space 26. is connected to an air suction mechanism (not shown), so that its interior is brought to negative pressure in a timely manner.
また、バックアツプ板２４にはそれぞれ中心部から隣接
した異なる側縁に達した切欠溝２７．２８が形成されて
いる。一方の切欠溝２７は弧状を為すと共に上記昇降ベ
ース２１の切欠溝２３と上下で対応しており、これら２
つの切欠溝２３と２７とによって無底のアクセス溝２９
が形成されている。また、他方の切欠溝２８は上記切欠
溝２７に対して略直角方向に延びる直線状を為し、との
切欠溝２８とこれの下面を塞ぐ昇降ベース２１とによっ
て有底のアクセス溝３０ ’／ｆｉ形成される。Further, cutout grooves 27 and 28 are formed in the back-up plate 24, each reaching from the center to different adjacent side edges. One notch groove 27 has an arc shape and corresponds to the notch groove 23 of the elevating base 21 above and below, and these two
An access groove 29 with no bottom by two notch grooves 23 and 27.
is formed. The other notch groove 28 has a linear shape extending substantially perpendicular to the notch groove 27, and the bottomed access groove 30'/ fi is formed.
（ｃ、受渡アーム）［第２図、第６図、第７図］
（ｃ−１，第１の受渡アーム）
３１はディスク基板８を上記印刷バックアップ台１５の
ディスク載置部２５に供給するためのディスク搬入機構
である。(c, delivery arm) [Figures 2, 6, and 7] (c-1, first delivery arm) 31 supplies the disk substrate 8 to the disk mounting section 25 of the printing backup stand 15. This is a disc loading mechanism for
３２は移動ベースであり、モータ３３によって回転され
る送りねじ３４が螺合されており、該送りねじ３４が回
転することによって送りねじ３４の延びる方向に沿って
移動されるようになっている。A moving base 32 is screwed with a feed screw 34 rotated by a motor 33, and is moved along the direction in which the feed screw 34 extends as the feed screw 34 rotates.
３５は移動ベース３２の上面に固定されたエアシリンダ
であり、そのピストンロッド３５ａが上下動されるよう
になっている。35 is an air cylinder fixed to the upper surface of the movable base 32, and its piston rod 35a can be moved up and down.
３６は上記エアシリンダ３５のピストンロッド３５ａの
上端に固定されたロータリエアアクチュエータであり、
その上下方向に延びる出力軸３６ａがエアの制御により
回転されるようになっている。36 is a rotary air actuator fixed to the upper end of the piston rod 35a of the air cylinder 35;
The output shaft 36a extending in the vertical direction is rotated by air control.
３７はその基端部がロータリエアアクチュエータ３６の
出力軸３６ａに固定された第１の受渡アームであり、そ
の回動端部に吸着へラド３８が固定されている。該吸着
ヘッド３８にはその上面に円状に配列された小孔３８ａ
、３８ａ、・・・が形成されており、図示しないエア吸
引機構の駆動により該小孔３８ａ、３８ａ、・・・に負
圧が生じるようになっている。Reference numeral 37 designates a first delivery arm whose base end is fixed to the output shaft 36a of the rotary air actuator 36, and a suction rod 38 is fixed to its rotating end. The suction head 38 has small holes 38a arranged in a circle on its upper surface.
, 38a, . . . are formed, and negative pressure is generated in the small holes 38a, 38a, . . . by driving an air suction mechanism (not shown).
しかして、移動ベース３２がその移動範囲における一方
の端に移動したところで、エアシリンダ３５とロータリ
エアアクチュエータ３６が駆動されて、吸着ヘッド３８
が所定の位置に移動され、そこで、吸着ヘッド３８がデ
ィスク基板８の下側になっている一方の面８ａの中心部
に下方から接し、吸着ヘッド３８の小孔３８ａ、３８ａ
、・・・に負圧が生ぜせしめられてディスク基板８が吸
着ヘッド３８に吸着される（第６図（Ａ）、第７図（Ａ
）参照）。When the moving base 32 moves to one end of its moving range, the air cylinder 35 and the rotary air actuator 36 are driven, and the suction head 38 is driven.
is moved to a predetermined position, and there, the suction head 38 contacts the center of the lower surface 8a of the disk substrate 8 from below, and the small holes 38a, 38a of the suction head 38 are moved to a predetermined position.
, . . . , the disk substrate 8 is attracted to the suction head 38 (Fig. 6(A), Fig. 7(A)).
)reference).
そこで、移動ベース３２が印刷バックアップ台１５の方
へと移動され、エアシリンダ３５の駆動により吸着ヘッ
ド３８の印刷バックアップ台１５に対する高さが調整さ
れ、それから、ロータリエアアクチュエータ３６の駆動
により受渡アーム３７が回動されて吸着ヘッド３８が印
刷バックアップ台１５の弧状をしたアクセス溝２９を通
って（第６図（Ｂ）参照）ディスク載置部２５の中心部
に達する（第６図（Ｃ）、第７図ＣＢ）参照）。そこで
、エアシリンダ３５の駆動により受渡アーム３７が僅か
に下降されてディスク基板８がディスク載置部２５に＠
置される（第７図（Ｃ）参照）。それから、ディスク載
置部２５の小孔２５ａ、２５ａ、・・・に負圧が発生さ
れると共に吸着ヘッド３８の小孔３８ａ、３８ａ、・・
・に生じていた負圧が解消され、これによって、ディス
ク基板８がディスク載置部２５にしっかりと保持される
。それから、受渡アーム３７が回動されて吸着ヘッド３
８がアクセス溝２９を通って印刷バックアップ台１５か
ら外へ出る（第６図（Ｄ）参照）。Therefore, the moving base 32 is moved toward the printing backup table 15, and the height of the suction head 38 relative to the printing backup table 15 is adjusted by driving the air cylinder 35. Then, the transfer arm 37 is moved by driving the rotary air actuator 36. is rotated, and the suction head 38 passes through the arc-shaped access groove 29 of the printing backup table 15 (see FIG. 6(B)) and reaches the center of the disk mounting section 25 (see FIG. 6(C), (See Figure 7 CB)). Therefore, the transfer arm 37 is slightly lowered by the drive of the air cylinder 35, and the disk substrate 8 is placed on the disk mounting section 25.
(See FIG. 7(C)). Then, negative pressure is generated in the small holes 25a, 25a, . . . of the disk mounting portion 25, and the small holes 38a, 38a, .
The negative pressure that had been generated is eliminated, and as a result, the disk substrate 8 is firmly held on the disk mounting portion 25. Then, the delivery arm 37 is rotated and the suction head 3
8 exits from the print backup table 15 through the access groove 29 (see FIG. 6(D)).
そして、上方を向いているディスク基板８の他方の面８
ｂに紫外線硬化樹脂３９が供給される。Then, the other surface 8 of the disk substrate 8 facing upward
An ultraviolet curing resin 39 is supplied to b.
（ｃ−２，第２の受渡アーム）
４０は他方の面８ｂに紫外線硬化樹脂３９が供給された
ディスク基板８を印刷バックアップ台１５から取り出し
て次の転写部６へ供給するためのディスク搬出機構であ
る。(c-2, second delivery arm) 40 is a disk unloading mechanism for taking out the disk substrate 8 with the ultraviolet curing resin 39 supplied to the other surface 8b from the printing backup table 15 and supplying it to the next transfer unit 6 It is.
４１は移動ベースであり、モータ４２によって回転され
る送りねじ４３が螺合されており、該送りねし４３が回
転することによって送りねじ４３の延びる方向に沿って
移動されるようになっている。Reference numeral 41 denotes a moving base, to which a feed screw 43 rotated by a motor 42 is screwed, and as the feed screw 43 rotates, it is moved along the direction in which the feed screw 43 extends. .
４４は移動ベース４１の上面に固定されたエアシリンダ
であり、そのピストンロッド４４ａが上下動されるよう
になっている。。44 is an air cylinder fixed to the upper surface of the movable base 41, and its piston rod 44a can be moved up and down. .
４５は上記エアシリンダ４４のピストンロッド４４ａの
上端部に固定されたロータリエアアクチュエータであり
、その水平に延びる出力軸４５ａがエアの制御により回
転されるようになっている。A rotary air actuator 45 is fixed to the upper end of the piston rod 44a of the air cylinder 44, and its horizontally extending output shaft 45a is rotated by air control.
４６はその基端部ロータリエアアクチュエータ４５の出
力軸４５ａに固定された第２の受渡アームであり、その
回動端部に吸着ヘッド４７が固定されている。該吸着ヘ
ッド４７には円状に配列された小孔４７ａ、４７ａ１
・・・が形成されており、図示しないエア吸引機構の駆
動により該小孔４７ａ、４７ａ、 ・・・に負圧が生
しるようになっている。A second delivery arm 46 is fixed to the output shaft 45a of the rotary air actuator 45 at its base end, and a suction head 47 is fixed to its rotating end. The suction head 47 has small holes 47a, 47a1 arranged in a circular shape.
. . are formed, and negative pressure is generated in the small holes 47a, 47a, . . . by driving an air suction mechanism (not shown).
しかして、上記したように、ディスク−基板８の他方の
面８ｂに紫外線硬化樹脂３９が供給されると、移動ベー
ス４１が印刷バックアップ台１５の方へと移動され、吸
着ヘッド４７が印刷バックアップ台１５のアクセス溝３
０を通って（第６図（Ｅ）参照）ディスク載置部２５の
中心に対応したところまで移動する（第７図（Ｄ）参照
）。As described above, when the ultraviolet curing resin 39 is supplied to the other surface 8b of the disk-substrate 8, the movable base 41 is moved toward the printing backup table 15, and the suction head 47 is moved toward the printing backup table 15. 15 access groove 3
0 (see FIG. 6(E)) and moves to a location corresponding to the center of the disk mounting portion 25 (see FIG. 7(D)).
尚、このとき、予めエアシリンダ４４の駆動により吸着
ヘッド４７がディスク基板８に接触しない高さに保たれ
る。At this time, the air cylinder 44 is driven in advance to maintain the suction head 47 at a height where it does not come into contact with the disk substrate 8.
そして、吸着ヘッド４７がディスク載置部２５の中心に
対応した位置に達すると、その小孔４７ａ、４７ａ、
・・・に負圧が発生されると共に、エアシリンダ４４
の駆動により受渡アーム４６が僅かに上昇せしめられる
。この上昇の間に、吸着ヘッド４７がディスク基板８の
一方の面８ａの中心部に接触しかつ吸着し、これと同時
に、ディスク載置部２５の小孔２５ａ、２５ａ。When the suction head 47 reaches a position corresponding to the center of the disk mounting section 25, the small holes 47a, 47a,
... is generated, and the air cylinder 44
The transfer arm 46 is slightly raised by the drive of the transfer arm 46 . During this rise, the suction head 47 contacts and suctions the center of one surface 8a of the disk substrate 8, and at the same time, the small holes 25a, 25a of the disk mounting portion 25 are closed.
・・・の負圧が解消され、更に、ディスク基板８がディ
スク載置部２５から僅かに浮ぎ上がった状態となる（第
７図（Ｅ）参照）。... is eliminated, and the disk substrate 8 becomes slightly lifted from the disk mounting portion 25 (see FIG. 7(E)).
そこで、移動ベース４１が先程と逆の方向に移動される
と、紫外線硬化樹脂３９を供給されたディスク基板８が
印刷バックアップ台１５から搬出されて行く（第６図（
Ｆ）、第７図（Ｆ）参照）。Then, when the moving base 41 is moved in the opposite direction, the disk substrate 8 supplied with the ultraviolet curing resin 39 is carried out from the printing backup stand 15 (see FIG. 6).
F), see Figure 7(F)).
そして、移動ベース４１が転写部６に近接した位置まで
来ると、ロータリエアアクチュエータ４５が駆動され、
受渡アーム４６が１８０＃回動され、これによって、デ
ィスク基板８が上下反転される。即ち、紫外線硬化樹脂
３９が供給されている面８ｂが下向きとなる（第６図（
Ｇ）、第７図ＣＧ）参照）、そして、エアシリンダ４４
の駆動により受渡アーム４６が下降されディスク基板８
がディスクスタンパ１１の上に重ね合わされ、そこで、
吸着へラド４７の小孔４７ａ、４７ａ１ ・・・の負圧
が解消されて吸着へラド４７によるディスク基板８の吸
着が解除され、受渡アーム４６が僅かに上昇されて吸着
ヘッド４７がディスク基板８の上方へ逃げ、それから、
移動ベース４１が印刷バックアップ台１５の方へと移動
して行く。Then, when the moving base 41 comes to a position close to the transfer section 6, the rotary air actuator 45 is driven.
The transfer arm 46 is rotated by 180#, thereby turning the disk substrate 8 upside down. That is, the surface 8b to which the ultraviolet curing resin 39 is supplied faces downward (see FIG. 6).
G), see Figure 7 CG)), and the air cylinder 44
The transfer arm 46 is lowered by the drive of the disk substrate 8.
is superimposed on the disk stamper 11, and there,
The negative pressure in the small holes 47a, 47a1, . escape above, and then
The movable base 41 moves toward the print backup stand 15.
（Ｆ−２，第２の実施例） ［第８図］第８図は本発明
光学ディスク製造装置におけるディスク受渡機構の第２
の実施例を示すものである。(F-2, Second Embodiment) [Fig. 8] Fig. 8 shows the second embodiment of the disc delivery mechanism in the optical disc manufacturing apparatus of the present invention.
This is an example of the following.
尚、この第２の実施例でも印刷バックアップ台をディス
ク載置台として説明する。In this second embodiment as well, the print backup table will be explained as a disk mounting table.
４８は第１の実施例における印刷バックアップ台１５と
殆ど同じ構造をした印刷バックアップ台であり、そのデ
ィスク載置部２５の中心部から直線状に延び−の側縁に
達する無底のアクセス溝４９のみを有する。Reference numeral 48 denotes a print backup table having almost the same structure as the print backup table 15 in the first embodiment, and includes a bottomless access groove 49 extending linearly from the center of the disk mounting portion 25 and reaching the side edge of -. have only one.
５０は移動ベースであり、モータ５１によって回転され
る送りねじ５２が螺合されていて、送りねじ５２が回転
することによって該送りねじ５２の延びる方向に沿って
移動するようになっている。Reference numeral 50 denotes a moving base, to which a feed screw 52 rotated by a motor 51 is screwed, and as the feed screw 52 rotates, it moves along the direction in which the feed screw 52 extends.
移動ベース５０の上面にはエアシリンダ５３が固定され
ており、そのピストンロッド５３ａが上下動するように
なっている。An air cylinder 53 is fixed to the upper surface of the movable base 50, and its piston rod 53a moves up and down.
５４は上記ピストンロッド５３ａの上端部に固定された
吸着ヘッドであり、その上面には円状に配列された多数
の小孔５４ ａ、 ５４ ａ、 ・・・を有し、図示
しないエア吸引機構の駆動により該小孔５４ａ、５４ａ
、 ・・・に負圧が生じるようになっている。Reference numeral 54 denotes a suction head fixed to the upper end of the piston rod 53a, and has a large number of small holes 54a, 54a, . The small holes 54a, 54a are driven by the
Negative pressure is generated at , ....
しかして、上記吸着ヘッド５４に、よりディスク基板の
中心部、を吸着し、その吸着へラド５４がアクセス溝４
９を通ってディスク載置部２５の中心部と印刷バックア
ップ台４８の外との間を移動することによって、印刷バ
ックアップ台４８に対するディスク基板の載置及び取出
しを行なうことができる。The suction head 54 then suctions the center of the disk substrate, and the suction head 54 moves the disk substrate into the access groove 4.
By moving between the center of the disk mounting section 25 and the outside of the print backup table 48 through the print backup table 9 , the disk substrate can be placed on and taken out from the print backup table 48 .
（Ｆ−３，第３の実施例） ［第９図］第９図は本発明
光学ディスク製造装置におけるディスク受渡機構の第３
の実施例を示すものである。(F-3, Third Embodiment) [Figure 9] Figure 9 shows the third embodiment of the disc delivery mechanism in the optical disc manufacturing apparatus of the present invention.
This is an example of the following.
尚、この第３の実施例でも印刷バックアップ台をディス
ク載置台として説明する。In this third embodiment as well, the printing backup stand will be explained as a disk mounting stand.
５５は第１の実施例における印刷バックアップ台１５と
殆ど同じ構造をした印刷バックアップ台であり、そのデ
ィスク載置部２５の中心部から弧状に延び−の側縁に達
する無底のアクセス溝５６のみを有する。Reference numeral 55 denotes a printing backup table having almost the same structure as the printing backup table 15 in the first embodiment, except for the bottomless access groove 56 extending in an arc shape from the center of the disk mounting portion 25 and reaching the side edge of -. has.
５７はベースであり、図示しない機台上に固定されてお
り、その上面にエアシリンダ５８が固定されており、該
エアシリンダ５８のピストンロッド５８ａが上下方向に
移動するようになっている。A base 57 is fixed on a machine stand (not shown), and an air cylinder 58 is fixed on the upper surface of the base, and a piston rod 58a of the air cylinder 58 is configured to move in the vertical direction.
５９は上記ピストンロット５８ａの上端部に固定された
ロータリエアアクチュエータであり、その垂直に延びる
出力軸５９ａがエアの制御により回転されるようになっ
ている。A rotary air actuator 59 is fixed to the upper end of the piston rod 58a, and its vertically extending output shaft 59a is rotated by air control.
６０はその基端部がロータリエアアクチュエータ５９の
出力軸５９ａに固定された受渡アームであり、その回動
端部の上面に吸着ヘッド６１が固定されている。そして
、該吸着ヘット６１はその上面に円状に配列された多数
の小孔６１ａ、６１ａ、・・・を有しており、図示しな
いエア吸引機構の駆動により、該小孔６１ａ、６１ａ、
・・・に負圧が生じるようになっている。Reference numeral 60 denotes a delivery arm whose base end is fixed to the output shaft 59a of the rotary air actuator 59, and a suction head 61 is fixed to the upper surface of its rotating end. The suction head 61 has a large number of small holes 61a, 61a, . . . arranged in a circular shape on its upper surface.
Negative pressure is generated at...
しかして、上記吸着ヘッド６１によりディスク基板の中
心部を吸着し、そして、受渡アーム６０が回動して、吸
着ヘッド６１がアクセス溝５６を通ってディスク載置部
２５の中心部と印刷バックアップ台５５の外との間を移
動することによって、印刷バックアップ台５５に対する
ディスク基板の載置及び取出しを行なうことができる。The suction head 61 then suctions the center of the disk substrate, and the delivery arm 60 rotates, causing the suction head 61 to pass through the access groove 56 and connect to the center of the disk mounting section 25 and the printing backup table. The disk substrate can be placed on and taken out from the print backup stand 55 by moving between the outside and outside of the print backup stand 55.
（Ｇ、発明の効果）
以上に記載したところから明らかなとおり、本発明光学
ディスク製造装置におけるディスク受渡機構は、ディス
ク基板を載置するディスク載置台と、該ディスク載置台
に対するディスク基板の載置及び／又は取出しを行なう
受渡機構とを備え、ディスク載置台はディスク基板が載
置されるディスク載置部と該ディスク載置部の中心部か
らディスク載置台の二側面に達するアクセス溝とを有し
、上記受渡機構はディスク基板の中心部を吸着する吸着
ヘッドを備え、受渡機構の吸着ヘッドが上記アクセス溝
を通ってディスク載置台の外側とディスク載置部の中心
部との間を移動することによって、ディスク載置部にデ
ィスク基板を載置し及び／又はディスク載置部からディ
スク基板を取り出すようにされたことを特徴とする。(G. Effects of the Invention) As is clear from the above description, the disk delivery mechanism in the optical disk manufacturing apparatus of the present invention includes a disk mounting table on which a disk substrate is placed, and a disk substrate on which the disk substrate is placed on the disk mounting table. and/or a delivery mechanism for taking out the disc, and the disc mounting table has a disc mounting part on which the disc substrate is placed and an access groove reaching from the center of the disc mounting part to two sides of the disc mounting board. The transfer mechanism includes a suction head that sucks the center of the disk substrate, and the suction head of the transfer mechanism moves between the outside of the disk platform and the center of the disk platform through the access groove. Accordingly, the disk substrate is placed on the disk mounting section and/or the disk substrate is taken out from the disk mounting section.
従って、本発明光学ディスク製造装置におけるディスク
受渡機構にあっては、吸着ヘッドがディスク基板のディ
スク載置台と接触しない側の面を吸着した状態でディス
ク載置台のディスク載置部にディスク基板を載置し及び
／又はディスク載置部からディスク基板を取り出すこと
ができ、これによって、ディスク載置台のディスク載置
部へのディスク基板の載置及び／又はディスク載置部か
らのディスク基板の取出を行なうについてディスク基板
のディスク載置台に接触しない側の面に触れる必要がな
く、従って、ディスク基板のディスク載置台と接触しな
い側の面を清浄に保っておくことができる。Therefore, in the disk transfer mechanism of the optical disk manufacturing apparatus of the present invention, the disk substrate is placed on the disk mounting portion of the disk mounting table with the suction head sucking the side of the disk substrate that does not come into contact with the disk mounting table. The disk substrate can be placed on the disk platform and/or the disk substrate can be taken out from the disk platform. There is no need to touch the surface of the disk substrate that does not come into contact with the disk mounting table, and therefore the surface of the disk substrate that does not come into contact with the disk mounting table can be kept clean.
尚、上記第１及び第２の実施例において移動ベースを移
動させる機構として送りねじを示したが、これはエアシ
リンダその他の機構によって移動させるようにしても良
い。Although a feed screw is shown as a mechanism for moving the movable base in the first and second embodiments, this may be moved by an air cylinder or other mechanism.
また、上記各実施例において、ディスク載置台として印
刷バックアップ台を示したが、本発明におけるディスク
載置台が印刷バックアップ台に限られることを意味する
ものではなく、例えば、ディスクスタンバを保持したチ
ャッキング台等も本発明におけるディスク載置台となり
得ること勿論である。Furthermore, in each of the above embodiments, a printing backup stand is shown as a disk mounting stand, but this does not mean that the disk mounting stand in the present invention is limited to a printing backup stand. Of course, a stand or the like can also be used as a disk mounting stand in the present invention.
その他、上記各実施例において示した具体的な構造は、
本発明の具体化にあたってのほんの一例を示したものに
過ぎず、これらによって、本発明の技術的範囲が限定的
に解釈されることを意味するものではなく、本発明の趣
旨に適合する限り、種々の変更や変形が可能である。In addition, the specific structures shown in each of the above examples are as follows:
These are merely examples of embodiments of the present invention, and these do not mean that the technical scope of the present invention is interpreted to be limited, but as long as they comply with the spirit of the present invention. Various changes and modifications are possible.
第１図乃至第７図は本発明光学ディスク製造装置におけ
るディスク受渡機構の第１の実施例を示すものであり、
第１図は本発明光学ディスク製造装置におけるディスク
受渡機構が使用される光学ディスク製造装置の一例を示
す概略ブロック図、第２図はディスク受渡機構の全体を
概念的に示す斜視図、第３図は印刷バックアップ台の平
面図、第４図は第３図のＩＶ −ＩＶ線に沿う断面図、
第５図は第３図のＶ−Ｖ線に沿う断面図、第６図及び第
７図は動作を（Ａ）から（Ｇ）へ順を追って示すもので
、第６図は平面図、第７図は断面図、第８図は本発明光
学ディスク製造装置におけるディスク受渡機構の第２の
実施例を示す概略斜視図、第９図は本発明光学ディスク
製造装置におけるディスク受渡機構の第３の実施例を示
す概略斜視図、第１Ｏ図は光学ディスクの製造方法の一
例を（Ａ）から（Ｇ）へ順を追って示す概略斜視図、第
１１図及び第１２図は従来の光学ディスク製造装置にお
けるディスク受渡機構の一例を示すもので、第１１図は
作業部の概略斜視図、第１２図はディスク受渡機構の概
略斜視図である。
符号の説明
８・・・ディスク基板、
１５・・・ディスク載置台、
２５・・・ディスク載置部、
２９・・・アクセス溝、
３０・・・アクセス溝、
３８・・・吸着ヘッド、
４７・・・吸着ヘッド、
４８・・・ディスク載置台、
４９・・・アクセス溝、
５４・・・吸着ヘッド、
５５・・・ディスク載置台、
５６・・・アクセス溝、
６１・・・吸着ヘッド
平面図
第６図ＣＢ＞
第６図ＣＣ’）
平面図
竺６図（Ｅ）
平面図
第６図（Ｆ）
λ７
平面図
第６図（Ｇ）
第７図ＣＢ）
笑７２ （Ｃ’）
８ テ゛イスク基板
断面図
第７図（Ｄ）
第７図（Ｅ）
第７図（Ｆ）
第７図（Ｇ）
８ ディスク、１ｍ
２５ テ゛イ又り載置部
４８ ディスク諷Ｗ８
５４ 口及看う１．、ト
つＩ
概略剥視図
（潰２０実施伊Ｊ）
第８図
８ 干°イ又７基獣
２５ ディスク諷Ｗ都
５５ ディスクｓｍ台
６１ 吸着へ１．ド
第９図1 to 7 show a first embodiment of a disc delivery mechanism in an optical disc manufacturing apparatus of the present invention,
FIG. 1 is a schematic block diagram showing an example of an optical disc manufacturing apparatus in which the disc delivery mechanism in the optical disc manufacturing apparatus of the present invention is used, FIG. 2 is a perspective view conceptually showing the entire disc delivery mechanism, and FIG. is a plan view of the print backup table, FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3,
Fig. 5 is a sectional view taken along line V-V in Fig. 3, Figs. 6 and 7 show the operation sequentially from (A) to (G), and Fig. 6 is a plan view; 7 is a sectional view, FIG. 8 is a schematic perspective view showing a second embodiment of the disc delivery mechanism in the optical disc manufacturing apparatus of the invention, and FIG. 9 is a third embodiment of the disc delivery mechanism in the optical disc manufacturing apparatus of the invention. A schematic perspective view showing an embodiment; FIG. 1O is a schematic perspective view showing an example of an optical disc manufacturing method in order from (A) to (G); FIGS. 11 and 12 are a conventional optical disc manufacturing apparatus. FIG. 11 is a schematic perspective view of the working section, and FIG. 12 is a schematic perspective view of the disk transfer mechanism. Explanation of symbols 8... Disk substrate, 15... Disk mounting table, 25... Disk mounting section, 29... Access groove, 30... Access groove, 38... Suction head, 47. ... Suction head, 48... Disk mounting base, 49... Access groove, 54... Suction head, 55... Disk mounting base, 56... Access groove, 61... Suction head plan view Fig. 6 CB> Fig. 6 CC') Plan view Fig. 6 (E) Plan view Fig. 6 (F) λ7 Plan view Fig. 6 (G) Fig. 7 CB) 72 (C') 8 Teisk board Cross-sectional view Fig. 7 (D) Fig. 7 (E) Fig. 7 (F) Fig. 7 (G) 8 Disc, 1 m 25 Tie-shaped mounting section 48 Disc length W8 54 Mouth and view 1. , Totsu I Schematic perspective view (Kusu 20 Implementation IJ) Fig. 8 8 Hiroshi Imata 7 base beast 25 Disk holder 55 Disk SM stand 61 To suction 1. Figure 9
Claims (1)
ク載置台に対するディスク基板の載置及び／又は取出し
を行なう受渡機構とを備え、 ディスク載置台はディスク基板が載置されるディスク載
置部と該ディスク載置部の中心部からディスク載置台の
一側面に達するアクセス溝とを有し、 上記受渡機構はディスク基板の中心部を吸着する吸着ヘ
ッドを備え、 受渡機構の吸着ヘッドが上記アクセス溝を通ってディス
ク載置台の外側とディスク載置部の中心部との間を移動
することによって、ディスク載置部にディスク基板を載
置し及び／又はディスク載置部からディスク基板を取り
出すようにされたことを特徴とする光学ディスク製造装
置におけるディスク受渡機構[Claims] The disc mounting table includes a disk mounting table on which a disk substrate is placed, and a delivery mechanism that places and/or takes out the disk substrate on the disk mounting table, and the disk substrate is placed on the disk mounting table. The delivery mechanism has a disk mounting part and an access groove that reaches from the center of the disk mounting part to one side of the disk mounting table, and the delivery mechanism includes a suction head that sucks the center of the disk substrate, and the delivery mechanism has a suction head. By moving the head through the access groove between the outside of the disk platform and the center of the disk platform, the disk substrate is placed on the disk platform and/or the disk is removed from the disk platform. A disk delivery mechanism in an optical disk manufacturing apparatus, characterized in that the substrate is taken out.
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