JP2009140525A - Disk inspection apparatus and disk inspection method using the same - Google Patents

Disk inspection apparatus and disk inspection method using the same Download PDF

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Shinji Yoshida
信司 吉田
Katsumi Ichifuji
克己 一藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a disk inspection apparatus which can easily perform inspection for disk-form disks such as an optical disk a plurality of times. <P>SOLUTION: A device for inspecting a disk by fitting a central hole CH prepared in the center of a disk form disk H to a tapered cone 13 prepared in a disk sucking fixed face 12 at an upper side a spindle 11 includes: a shaft 26 erected vertically; a disk loader 20 which is attached to a shaft for vertically movable and performs convey-throw in of a disk on the tapered cone; and an air sucking section 18 which adsorbs and fixes an undersurface of the disk fitted to the tapered cone and fixed to a disk sucking fixed face. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、CD、DVD、HD−DVD、Blu−rayなどの円盤状ディスクの検査装置及び検査方法に関し、さらに詳細には、ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドルのテーパードコーンに嵌合してディスクの偏芯量などを検査をするディスク検査装置及びディスクの検査方法に関する。   The present invention relates to an inspection apparatus and inspection method for a disc-shaped disc such as a CD, DVD, HD-DVD, and Blu-ray, and more specifically, a center hole provided at the center of the disc is fitted to a tapered cone of a spindle. The present invention relates to a disk inspection apparatus and a disk inspection method for inspecting the eccentricity of a disk.

光ディスクなどのディスクの良否を判定する際、再生ジッター値が重要となる。再生ジッター値とは、光ディスクに記録されたデータ再生時の電気信号の時間的揺らぎの指標であって、これが大きくなると記録したデータを正しく再生することができない。その原因として、光ディスクそのものの張り合わせに微妙なズレが生じ、光ディスクの回転の偏芯量の増加となって現れ、これが原因でデータを再生することができなくなる。   When determining the quality of a disk such as an optical disk, the reproduction jitter value is important. The reproduction jitter value is an index of temporal fluctuation of an electric signal at the time of reproducing data recorded on an optical disc. If this becomes large, the recorded data cannot be reproduced correctly. As a cause of this, a slight shift occurs in the bonding of the optical discs themselves, which appears as an increase in the amount of eccentricity of the rotation of the optical discs, which makes it impossible to reproduce data.

従来、これらの光ディスク製品の品質を損なう偏芯欠陥は、光ピックアップを使用したオプチカルスタイラス法などにより評価されている。
さらに、これらの検査方法を改良するものとして、例えば特許文献1には、光ピックアップを備え、トラッキングサーボを固定しながらフォーカスサーボのみ動作させ、得られたトラッキングエラー信号(TES信号)から、クロストラックの周波数変位量を検出する偏芯量計測装置及びそれを用いた偏芯量計測方法等の技術が開示されている。
Conventionally, eccentric defects that impair the quality of these optical disc products have been evaluated by an optical stylus method using an optical pickup.
Further, as an improvement of these inspection methods, for example, in Patent Document 1, an optical pickup is provided, and only the focus servo is operated while fixing the tracking servo. From the obtained tracking error signal (TES signal), a cross track is obtained. There are disclosed techniques such as an eccentricity measuring device that detects the amount of frequency displacement of this and an eccentricity measuring method using the same.

国際公開WO2004/049321International Publication WO2004 / 049321

しかしながら、前記特許文献1に記載の光ディスク検査装置は、光ディスクがディスク吸着固定面に装着する際に、光ディスクの中央部に形成された中心孔にスピンドルのセンタリング部を嵌合させる際における力のアンバランスなどによって光ディスクが正しく固着されずに、その測定精度を適正に確保できないという問題があった。   However, the optical disk inspection apparatus disclosed in Patent Document 1 is a force unloading force when the centering part of the spindle is fitted into the center hole formed in the center part of the optical disk when the optical disk is mounted on the disk suction fixing surface. There is a problem that the optical disk cannot be properly fixed due to balance or the like, and the measurement accuracy cannot be ensured properly.

すなわち従来の装置において、光ディスクのクランプ面を吸着して行うが、ディスクがテーパードコーンに沿うことなく投入されて、スピンドル軸に対して適正にセンタリングされない場合があった。   That is, in the conventional apparatus, the clamping surface of the optical disk is sucked, but the disk is loaded without being along the tapered cone and may not be properly centered with respect to the spindle shaft.

本発明は前記従来の課題を解決するためになされたもので、光ディスクなどの円盤状ディスクの検査を容易に複数回実行することができるディスクの検査装置を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、光ディスクなどの円盤状ディスクをディスク吸着固定面に装着して、ディスクの検査を複数回容易に実行して、ディスクの固着に起因する測定誤差を解消することができるディスクの検査方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to provide a disk inspection apparatus capable of easily executing a disk-shaped disk such as an optical disk a plurality of times.
Another object of the present invention is to mount a disc-shaped disk such as an optical disk on the disk suction fixing surface and easily execute the disk inspection a plurality of times to eliminate measurement errors caused by the disk sticking. An object of the present invention is to provide a disc inspection method that can perform recording.

本発明のディスク検査装置は、以下のような特徴を有する。
(1)円盤状ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに嵌合してディスクを検査する装置であって、垂直に立設されたシャフトと、該シャフトに上下動自在に取り付けられディスクを該テーパードコーン上に搬送・投入するディスクローダーと、該テーパードコーンに嵌合して該ディスク吸着固定面に固着されたディスクの下面を吸着固定するエアー吸着部と、を有する。
(2)前記(1)において、前記テーパードコーンに搬送・投入されたディスクの上面に圧縮エアーを噴射して、ディスクの中心孔を前記テーパードコーンに嵌合させるエアー噴射手段を設けている。
(3)前記(1)又は(2)において、前記ディスクローダーの基端に連接して、ディスクローダーを水平方向に回動させる回動軸が設けられ、該回動軸を介して該ディスクローダーが上下動自在に前記シャフト取り付けられている。
The disk inspection apparatus of the present invention has the following features.
(1) A device for inspecting a disk by fitting a center hole provided in the center of a disk-shaped disk to a tapered cone provided on a disk suction fixing surface at the upper part of the spindle, A disk loader that is mounted on the shaft so as to be movable up and down, and that conveys and puts the disk onto the tapered cone; and an air that is fitted to the tapered cone and that fixes the lower surface of the disk fixed to the disk adsorption fixing surface. And an adsorbing part.
(2) In the above (1), there is provided air injection means for injecting compressed air onto the upper surface of the disk conveyed and introduced into the tapered cone so that the center hole of the disk is fitted into the tapered cone.
(3) In the above (1) or (2), there is provided a rotating shaft that is connected to the base end of the disk loader and rotates the disk loader in the horizontal direction, and the disk loader is connected via the rotating shaft. Is attached to the shaft so as to be movable up and down.

また、本発明のディスク検査方法は、以下のような特徴を有する。
(4)ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに嵌合してディスクを検査するディスク検査方法であって、前回検査したディスクを、該ディスクの嵌合を一旦解除しスピンドルを回転させディスクとの相対的嵌合位置を変えた状態で、再度ディスクの中心孔をテーパードコーンに嵌合させ、ディスクの検査開始位置を前回と異なる位置とし、その異なる位置を検査開始位置としてさらにディスクの検査を実行し、同一ディスクに対して複数回の検査をすることを特徴とする。
(5)ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに嵌合してディスクを検査するディスク検査方法であって、シャフトに上下動自在に取り付けられたディスクローダーによってディスクを該テーパードコーン上に搬送・投入し、該ディスク吸着固定面に固着されたディスクの下面をエアー吸着部によってディスクをディスク吸着固定面に吸着固定するとともに該中心孔を該テーパードコーンに嵌合させ、ディスクの検査を実行し、該ディスクをディスクローダーによって持ち上げてテーパードコーンとの嵌合を一旦解除し、スピンドルを回転させ、ディスクとの相対的嵌合位置を変えた状態で、ディスクローダーを下降させて再度ディスクの中心孔をテーパードコーンに嵌合させ、ディスクの検査開始位置を前回と異なる位置とし、その異なる位置を検査開始位置としてさらにディスクの検査をし、同一ディスクに対して複数回の検査をすることを特徴とする。
The disc inspection method of the present invention has the following features.
(4) A disk inspection method for inspecting a disk by fitting a center hole provided in the center of the disk to a tapered cone provided on a disk suction fixing surface above the spindle, wherein the disk inspected last time is In the state where the mating was once released and the spindle was rotated to change the relative mating position with the disk, the center hole of the disk was fitted again into the tapered cone, and the disk inspection start position was changed to the previous position, The disc is further inspected using the different positions as the inspection start position, and the same disc is inspected a plurality of times.
(5) A disk inspection method for inspecting a disk by fitting a center hole provided in the center of the disk to a tapered cone provided on a disk suction fixing surface at the top of the spindle, which is attached to a shaft so as to be movable up and down. A disk loader transports and puts the disk onto the tapered cone, and the lower surface of the disk fixed to the disk suction fixing surface is sucked and fixed to the disk suction fixing surface by an air suction portion, and the center hole is tapered to the tapered cone. The disc is inspected, the disc is inspected, the disc is lifted by a disc loader to temporarily release the fitting with the tapered cone, the spindle is rotated, and the relative fitting position with the disc is changed. Then, lower the disc loader and re-insert the center hole of the disc into the tapered cone. , And a position different from the inspection start position of the disk as the previous, further inspection of the disk and the different positions as inspection start position, characterized by a plurality of times of testing for the same disc.

本発明のディスク検査装置によれば、光ディスクなどの円盤状ディスクの検査を容易に複数回実行することができる。
また、本発明のディスクの検査方法によれば、光ディスクなどの円盤状ディスクをディスク吸着固定面に装着して、ディスクの検査を複数回容易に実行して、ディスクの固着に起因する測定誤差を解消することができる。
According to the disk inspection apparatus of the present invention, a disk-shaped disk such as an optical disk can be easily inspected a plurality of times.
Further, according to the disk inspection method of the present invention, a disk-shaped disk such as an optical disk is mounted on the disk adsorption fixing surface, and the disk inspection is easily performed a plurality of times to reduce the measurement error caused by the disk sticking. Can be resolved.

本実施形態の光ディスク(以下の説明では、ディスクとして光ディスクを例にとって説明する)の検査装置は、垂直に立設されたシャフトにシャフト受け部を介してディスクローダーを上下動自在に取り付けており、このディスクローダーが検査対象となる円盤状の光ディスクを、スピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーン上に搬送・投入し、光ディスクの中央に設けられた中心孔をそのテーパードコーンに嵌合して光ディスクをディスク吸着固定面に吸着固定するようになっている。
さらに、エアー吸着部によってディスク吸着固定面に固着された光ディスクの下面を吸着固定する吸着孔をディスク吸着固定面に設けている。
The optical disk inspection apparatus according to the present embodiment (in the following description, an optical disk will be described as an example of a disk) has a disk loader attached to a vertically erected shaft via a shaft receiving portion so as to be movable up and down. A disk-shaped optical disk to be inspected by this disk loader is transported and loaded onto a tapered cone provided on the disk suction fixing surface at the top of the spindle, and the center hole provided in the center of the optical disk is fitted into the tapered cone. Thus, the optical disk is sucked and fixed to the disk suction fixing surface.
Further, a suction hole for sucking and fixing the lower surface of the optical disk fixed to the disk suction fixing surface by the air suction portion is provided on the disk suction fixing surface.

スピンドル(回転軸)は、その上部に、上方の直径が小さく下方は大径の円錐型のテーパードコーン(ソフトクリームを入れる円錐形のウエハースの容器のような形状)を備えており、このテーパードコーンの軸芯とスピンドルの軸芯とを一致させており、光ディスクの中央の設けられた中央孔にテーパードコーンを嵌合させることにより光ディスクのセンタリングメカニズム機能を備えている。   The upper part of the spindle (rotating shaft) has a tapered cone with a small diameter at the top and a large diameter at the bottom (shaped like a conical wafer container for soft cream). The center axis of the optical disk is aligned with the axis of the spindle, and a centering mechanism function of the optical disk is provided by fitting a tapered cone into a central hole provided at the center of the optical disk.

スピンドルの下部には、スピンドル回転用のDCモーター及びロータリーエンコーダがスピンドルと一体的に設けられており、スピンドルの回転や回転速度、回転角の位置制御などを行う。   A DC motor for rotating the spindle and a rotary encoder are provided integrally with the spindle at the lower part of the spindle to control the rotation, rotation speed, and rotation angle of the spindle.

エアー吸着部は、スピンドル上部のテーパードコーンに嵌合した光ディスクの下面を吸着固定するための吸着孔を、ディスク吸着固定面に開口して備えている。この吸着孔はディスク吸着固定面の中央を中心としてディスク吸着固定面に円周状に配置され、吸引ポンプなどの減圧手段によって吸着孔から空気を吸引して光ディスクをディスク吸着固定面に固定保持するようになっている。
光ディスクの中央に設けられた中心孔をテーパードコーンに嵌合した後、エアー吸着部によって、光ディスクをディスク検査装置のディスク吸着固定面に吸着固定することによって、光ディスクをその正規位置に確実かつ迅速に保持させてその測定精度を確保することができる。
The air adsorbing portion is provided with an adsorbing hole for adsorbing and fixing the lower surface of the optical disc fitted to the tapered cone at the upper part of the spindle, in the disc adsorbing and fixing surface. The suction hole is arranged circumferentially on the disk suction fixing surface with the center of the disk suction fixing surface as the center, and air is sucked from the suction hole by a decompression unit such as a suction pump to fix and hold the optical disk on the disk suction fixing surface. It is like that.
After the center hole provided in the center of the optical disk is fitted to the tapered cone, the optical disk is securely and promptly placed at its normal position by sucking and fixing the optical disk to the disk suction fixing surface of the disk inspection device by the air suction part. The measurement accuracy can be ensured by holding.

さらに、本実施形態の光ディスク検査装置は、テーパードコーンに搬送・投入されたディスクの上面に圧縮エアーを噴射して、ディスクの中心孔をテーパードコーンに確実に嵌合させることができるように、エアー噴射手段を備えている。このエアー噴射手段は、スピンドル上部のディスク吸着固定面上部に、ディスク吸着固定面に対向する位置に、ディスク吸着固定面に向けて設けられている。   Furthermore, the optical disk inspection apparatus of this embodiment injects compressed air onto the upper surface of the disk transported and loaded into the tapered cone so that the center hole of the disk can be securely fitted to the tapered cone. Injecting means is provided. The air ejecting means is provided on the upper part of the disk suction fixing surface above the spindle, at a position facing the disk suction fixing surface and facing the disk suction fixing surface.

本実施形態の光ディスク検査装置は、光ディスクをディスク吸着固定面上部に搬送して投入するためのディスクローダーを設けているが、このディスクローダーは、その基端に連接して回動軸が設けられ、ディスクローダーを水平方向に回動させる回動機構を備えている。
さらに、この基端に連接した回動軸をシャフト受け部を介してシャフトに取り付けることによって、ディスクローダーはシャフトの回転に伴って上下動可能となっており、ディスクを、ディスク吸着固定面上部に固着すること、ディスクの繰り返し検査時の上下動、検査終了後にはディスク吸着固定面から取り外すことなどを、制御部からの制御によって実行できるようになっている。
なお、シャフトに代えて、エアーシリンダ等の伸縮機構にディスクローダーを取り付けることによっても上下動可能とすることができる。
The optical disk inspection apparatus of the present embodiment is provided with a disk loader for transporting and loading the optical disk to the upper part of the disk suction fixing surface, and this disk loader is connected to the base end thereof and provided with a rotating shaft. A rotation mechanism that rotates the disk loader in the horizontal direction is provided.
Furthermore, by attaching the rotation shaft connected to the base end to the shaft via the shaft receiving portion, the disk loader can move up and down as the shaft rotates, and the disk is placed above the disk adsorption fixing surface. Fixing, vertical movement during repeated inspection of the disk, removal from the disk suction fixing surface after the inspection, and the like can be executed by control from the control unit.
In addition, instead of the shaft, the disk can be moved up and down by attaching a disk loader to an expansion / contraction mechanism such as an air cylinder.

次に、以上のような構成を有した本実施形態の光ディスク検査装置を用いた光ディスクの検査方法について説明する。
まず、光ディスクを載置したディスクローダーを、その基端に連接した回動軸を回動させてディスク吸着固定面の上部に搬送する。そして、シャフトを回動させてシャフト受け部を下げてシャフト受け部に連接された回動軸に取り付けられているディスクローダーを下降させ、ディスクローダーに載置されている光ディスクをディスク吸着固定面に固着する。この場合、光ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに挿入した後、エアー噴射手段のエアー噴射ノズルから光ディスクの上面に圧縮エアーを噴射して、光ディスクの中心孔をテーパードコーンに確実に嵌合させる。
そして、ディスク吸着固定面に固着された光ディスクの下面をエアー吸着部によって吸着固定し、レーザ照射測定部によって光ディスクの検査が開始される。
Next, an optical disk inspection method using the optical disk inspection apparatus of the present embodiment having the above-described configuration will be described.
First, the disk loader on which the optical disk is mounted is transported to the upper part of the disk adsorption fixing surface by rotating the rotation shaft connected to the base end. Then, the shaft is rotated to lower the shaft receiving portion, the disc loader attached to the rotating shaft connected to the shaft receiving portion is lowered, and the optical disc placed on the disc loader is moved to the disc adsorption fixing surface. Stick. In this case, after inserting the center hole provided in the center of the optical disk into the tapered cone provided in the disk suction fixing surface of the upper part of the spindle, the compressed air is injected from the air injection nozzle of the air injection means onto the upper surface of the optical disk, The center hole of the optical disc is securely fitted to the tapered cone.
Then, the lower surface of the optical disk fixed to the disk adsorption fixing surface is adsorbed and fixed by the air adsorption unit, and the inspection of the optical disc is started by the laser irradiation measurement unit.

1回目のディスク検査を終了すると、エアー吸着部の吸引を一旦停止させて光ディスクの吸着固定を解除し、ディスク固着後ディスク吸着固定面下方に待機させていたディスクローダーを再上昇させて、検査済みの光ディスクを一旦持ち上げる。そして、光ディスクを持ち上げた状態でスピンドルを所定角度(例えば60度)回転させ前回ディスクと嵌合したスピンドルの位置を相対的に変え、ディスクローダーを再下降させて、一旦持ち上げていた光ディスクの中心孔をテーパードコーンに再度嵌合させて、エアー吸着部によって光ディスクを再吸着固定し、ディスクの検査開始位置を前回検査と異なる位置としてさらにディスクの再検査を実行する。
このようにディスクを持ち上げて検査開始位置を前回検査と異なる位置とし、複数回のディスク検査を繰り返す。同一ディスクに対して検査開始位置を異なる位置として複数回の検査をすることによって、ディスク装着の不具合から生ずる誤差を除いた安定した検査結果を得ることができる。
When the first disk inspection is completed, the suction of the air suction unit is temporarily stopped to release the optical disk adsorption fixation, and the disk loader that has been waiting under the disk adsorption fixation surface after the disk is fixed is re-raised and inspected. Lift up the optical disk. Then, while the optical disk is lifted, the spindle is rotated by a predetermined angle (for example, 60 degrees) to relatively change the position of the spindle fitted with the previous disk, the disk loader is lowered again, and the center hole of the optical disk once lifted Are re-fitted to the tapered cone, the optical disk is re-adsorbed and fixed by the air adsorbing unit, and the disk inspection start position is set to a position different from the previous inspection and the disk is re-inspected.
In this way, the disk is lifted so that the inspection start position is different from the previous inspection, and the disk inspection is repeated a plurality of times. By inspecting the same disk a plurality of times with different inspection start positions, stable inspection results can be obtained excluding errors resulting from disc mounting problems.

なお、ディスクローダーは、ロボットアームなどの公知手段を用いることもできる。また、ディスクローダー、エアー吸着部、エアー噴射手段、レーザ照射測定部などによるディスク検査の一連の実行は、光ディスク検査装置全体を管理する制御部によって制御され、光ディスク検査装置の検査システムが一連のフローによりプログラム処理されるようになっている。   The disk loader can also use known means such as a robot arm. In addition, a series of disk inspections performed by the disk loader, air adsorption unit, air injection means, laser irradiation measurement unit, etc. is controlled by a control unit that manages the entire optical disk inspection apparatus, and the inspection system of the optical disk inspection apparatus is a series of flows. Is processed by the program.

(実施の形態)
図1は本発明の実施形態に係るディスク検査装置の模式的斜視図であり、図2はその側面図である。図1、図2に示すように、本実施形態のディスク検査装置10は、ディスク吸着固定面12のテーパードコーン13に嵌合吸着固定させた光ディスクHに、DCモータ42でスピンドル11を回転させながら、光ピックアップ41から得られた4分割ダイオード信号を接続した光ピックアップ制御部40で得られたフォーカスエラー信号(FE信号)と、トラッキングサーボを固定しながら得られたトラッキングエラー信号(TES信号)から、クロストラックの周波数変位量を検出して光ディスクHの偏芯量などの特性データを取得する検査装置である。
(Embodiment)
FIG. 1 is a schematic perspective view of a disk inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view thereof. As shown in FIGS. 1 and 2, the disk inspection apparatus 10 according to the present embodiment rotates the spindle 11 with the DC motor 42 on the optical disk H fitted and fixed to the tapered cone 13 of the disk suction fixing surface 12. From the focus error signal (FE signal) obtained by the optical pickup control unit 40 connected to the four-division diode signal obtained from the optical pickup 41 and the tracking error signal (TES signal) obtained while fixing the tracking servo. The inspection apparatus acquires characteristic data such as the eccentricity of the optical disk H by detecting the frequency displacement of the cross track.

実施形態のディスク検査装置は、検査対象たる光ディスクHを載置してテーパードコーン13上に搬送するためのディスクローダー20を備え、ディスクローダー20からテーパードコーン13に投入された光ディスクHの上面に圧縮エアーを噴射するためのエアー噴射手段30と、ディスク吸着固定面12に固着された光ディスクHの下面を吸着固定するためのエアー吸着部18と、光ディスク検査装置11全体を制御する制御部50と、を有している。   The disk inspection apparatus according to the embodiment includes a disk loader 20 for placing an optical disk H to be inspected and transporting it onto the tapered cone 13, and compresses the upper surface of the optical disk H loaded from the disk loader 20 into the tapered cone 13. An air ejecting means 30 for ejecting air, an air adsorbing unit 18 for adsorbing and fixing the lower surface of the optical disc H fixed to the disc adsorbing and fixing surface 12, a control unit 50 for controlling the entire optical disc inspection apparatus 11, have.

本実施の形態では、光ディスクを載置して実行する光ディスクのロード(投入)及びアンロード(取り出し)などの搬送は、ディスクローダー20の基端21に連接された回動軸22を中心にして、ディスクローダー20を水平方向に首振り回動させるロータリードロワー方式を採用する。回動軸22の回動は、下方に設置した駆動モータ23に接続したスクリューネジ24に噛み合わせたギア25を回動させることで実現できる。なお、本実施形態では、ディスクのロード及びアンロードについては、ディスク検査装置10全体を制御する制御部50からの指令に基づき一連の動作の中で実行されるが、イジェクトボタンなどのスイッチを設けることにより、実行することもできる。   In the present embodiment, loading such as loading (unloading) and unloading (removal) of an optical disk performed by placing the optical disk is performed around a rotating shaft 22 connected to the base end 21 of the disk loader 20. A rotary drawer method is employed in which the disk loader 20 is swung in the horizontal direction. The rotation of the rotation shaft 22 can be realized by rotating a gear 25 meshed with a screw screw 24 connected to a drive motor 23 installed below. In this embodiment, the loading and unloading of the disk is executed in a series of operations based on a command from the control unit 50 that controls the entire disk inspection apparatus 10, but a switch such as an eject button is provided. It can also be executed.

エアー噴射手段30は、そのエアー噴射ノズル31がディスク吸着固定面12のテーパードコーン13に装着されたディスクHの上方約80mmの位置に配設され、エアー噴射ノズル31はその直径が約60mmの水平円周上を3等分する位置に1基ずつ3基がそれぞれ下向きに配設されている。このエアー噴射手段30には、図示しないエアーコンプレッサなどの空圧源から直径約4mmのエアーチューブ32を介して約0.5MPaの圧縮空気が供給される。また、エアー噴射手段30の先端にはワンタッチで着脱可能なワンタッチ継手を介してM3規格のねじなどを備えたノズル31が取り付けられるようにして、エアー回路のメンテナンスを容易にすることもできる。
なお、エアー噴射ノズル31は、ディスクに対し均等に噴射圧を加えられるように、ディスクの中心孔CHに対向して、円周を等角(120度)に配分した位置に3個を配設している。
The air injection means 30 is disposed at a position of about 80 mm above the disk H, the air injection nozzle 31 of which is mounted on the tapered cone 13 of the disk suction fixing surface 12, and the air injection nozzle 31 has a horizontal diameter of about 60 mm. Three units are arranged in a downward direction at a position that divides the circumference into three equal parts. The air injection means 30 is supplied with compressed air of about 0.5 MPa through an air tube 32 having a diameter of about 4 mm from an air pressure source such as an air compressor (not shown). In addition, the maintenance of the air circuit can be facilitated by attaching a nozzle 31 having an M3 standard screw or the like to the tip of the air injection means 30 via a one-touch joint that can be attached and detached with one touch.
In addition, three air injection nozzles 31 are arranged at positions where the circumference is distributed equiangularly (120 degrees) facing the center hole CH of the disk so that the injection pressure can be evenly applied to the disk. is doing.

エアー吸着部18は、テーパードコーン13の下部から水平に延設されたディスク吸着固定面12に、円周方向に等角に配分して(120度)吸着孔19が設けられ、吸引ポンプ17を駆動させて吸着孔19からエアーを吸引して、光ディスクHをディスク吸着固定面12上に吸着固定するようになっている。エアー吸着部18の吸着力としては、例えば2ニュートン程度のものが好適に採用される。   The air suction portion 18 is provided with a suction hole 19 on the disc suction fixing surface 12 extending horizontally from the lower portion of the tapered cone 13 and is equally distributed in the circumferential direction (120 degrees). The optical disk H is sucked and fixed on the disk suction fixing surface 12 by driving and sucking air from the suction holes 19. For example, a suction force of about 2 Newton is suitably employed as the suction force of the air suction unit 18.

エアー噴射手段30、エアー吸着部18には、それぞれのエアー噴射量/吸着量を制御するための電磁バルブVが接続されており、制御部50を介して所定のタイミングでその開閉動作が行われるようになっている。   An electromagnetic valve V for controlling the air injection amount / adsorption amount is connected to the air injection means 30 and the air adsorption unit 18, and the opening / closing operation is performed at a predetermined timing via the control unit 50. It is like that.

制御部50は、ディスクローダー20の移動(回動、上下動)や光ディスクHの交換などの動きを制御する。また、制御部50は、レーザー照射測定部40を制御して、ディスク吸着固定面12に装着されてスピンドル11を介して回転される光ディスHにレーザー光を照射し、この光ディスクHからの反射光をビームスプリッタやコリメートレンズなどを介して受光部で検知し、この反射データに基づいて、光ディスクHの偏芯量や外観などに関わる情報を取得する。   The control unit 50 controls movement of the disk loader 20 such as movement (rotation, vertical movement) and replacement of the optical disk H. Further, the control unit 50 controls the laser irradiation measuring unit 40 to irradiate the optical disc H mounted on the disc suction fixing surface 12 and rotated through the spindle 11 with the laser beam, and to reflect from the optical disc H. Light is detected by the light receiving unit via a beam splitter, a collimating lens, and the like, and information related to the eccentricity and appearance of the optical disk H is acquired based on the reflection data.

光ピックアップ制御部40は、光ピックアップ41から半導体レーザスポット光を光ディスクHに照射させ、光ディスクHからの反射光を4分割ダイオードで受光し、その信号をピックアップアンプで増幅し、フォーカスエラー信号(FE信号)、トラッキングエラー信号(TES信号)を生成する。この際、光ディスクHの持つ固有の面振れに対してはフォーカスサーボを動作させ、固有の偏芯に対してはトラッキング制御を行わず、得られたトラッキングエラー信号(TES信号)を周波数変換し、この信号から偏芯量を算出するようになっている。   The optical pickup control unit 40 irradiates the optical disc H with the semiconductor laser spot light from the optical pickup 41, receives the reflected light from the optical disc H with a four-divided diode, amplifies the signal with a pickup amplifier, and generates a focus error signal (FE). Signal) and tracking error signal (TES signal). At this time, the focus servo is operated for the inherent surface shake of the optical disk H, the tracking control is not performed for the inherent eccentricity, and the obtained tracking error signal (TES signal) is frequency-converted, The amount of eccentricity is calculated from this signal.

こうして、光ピックアップを使用し、光ディスクH固有のフォーカスエラー信号(FE信号)、トラッキングエラー信号(TES信号)を求め、このトラッキングエラー信号(TES信号)を周波数変換し、更に計測精度を高めるため曲線補間するなどして偏芯量として算出し、光ディスクHの偏芯量検査の際に用いられる。   Thus, using an optical pickup, the focus error signal (FE signal) and tracking error signal (TES signal) specific to the optical disk H are obtained, the tracking error signal (TES signal) is frequency-converted, and a curve for further improving measurement accuracy. The amount of eccentricity is calculated by interpolating or the like, and used for the inspection of the amount of eccentricity of the optical disc H.

次に、図3〜図6を用いて本実施形態に係るディスク検査方法について説明する。
図3は本実施形態に係るディスク検査装置におけるディスク搬入状態を示す側面図であり、図4はディスク嵌合状態を示す側面図であり、図5はディスクの再持ち上げ状態を示す側面図である。図6は本実施形態に係るディスク検査方法を示す部分模式的側面図である。
最初のステップを示す図3では、ディスクローダー20によってディスク検査装置への光ディスクHの搬入が行われる。光ディスクHを載置したディスクローダー20は、シャフト26の上端位置(図3の上昇位置)において、スピンドル11の上部位置に下降させて位置づけられる(図6(a)参照)。
Next, the disk inspection method according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.
3 is a side view showing a disk loading state in the disk inspection apparatus according to the present embodiment, FIG. 4 is a side view showing a disk fitting state, and FIG. 5 is a side view showing a disk re-lifted state. . FIG. 6 is a partial schematic side view showing the disk inspection method according to the present embodiment.
In FIG. 3 showing the first step, the optical disk H is carried into the disk inspection apparatus by the disk loader 20. The disk loader 20 on which the optical disk H is placed is positioned so as to be lowered to the upper position of the spindle 11 at the upper end position (the raised position in FIG. 3) of the shaft 26 (see FIG. 6A).

次のステップでは、シャフト回転モータ27によってシャフト26を回転させて、シャフト受け部28を下げることにより、光ディスクHを載置した状態でディスクローダー20をさらに下降させ、光ディスクHをテーパードコーン13に投入する。このとき、光ディスクHの中央孔CHがテーパードコーン13の途中に引っかかり、ディスク吸着固定面12に対して傾斜した状態に保持されることがある(図6(b)参照)。   In the next step, the shaft 26 is rotated by the shaft rotation motor 27 and the shaft receiving portion 28 is lowered, whereby the disc loader 20 is further lowered with the optical disc H placed thereon, and the optical disc H is loaded into the tapered cone 13. To do. At this time, the central hole CH of the optical disk H may be caught in the middle of the tapered cone 13 and held in an inclined state with respect to the disk suction fixing surface 12 (see FIG. 6B).

次のステップでは、エアー噴射手段30に連接する電磁バルブVを操作して、エアーノズル31から光ディスクHの上面へエアー噴射を開始する。これによって、テーパードコーン13の途中に仮置き状態にされていた光ディスクHは図6(c)に示すように、ディスク吸着固定面12まで押下げられ、光ディスクHの中央孔CHがテーパードコーン13に嵌合する。   In the next step, the electromagnetic valve V connected to the air injection means 30 is operated to start air injection from the air nozzle 31 to the upper surface of the optical disk H. As a result, the optical disk H that has been temporarily placed in the middle of the tapered cone 13 is pushed down to the disk suction fixing surface 12 as shown in FIG. 6C, and the central hole CH of the optical disk H is formed in the tapered cone 13. Mating.

次に、制御部50は、ディスク吸着固定面12に設けられた吸着孔19からエアーを吸入するため、エアー吸着部18の電磁バルブVを開放させる吸着指令を出力する。これによって、光ディスクHの吸着がディスク吸着固定面12への吸着が開始される。そして、エアー吸着部18に設けた真空センサにより、光ディスクHがディスク吸着固定面12に確実に吸着固定されたかを否かを確認し、制御部50ヘ光ディスクH吸着固定OK/NG信号を出力する。   Next, the control unit 50 outputs a suction command for opening the electromagnetic valve V of the air suction unit 18 in order to suck air from the suction hole 19 provided in the disk suction fixing surface 12. As a result, the suction of the optical disk H starts to be sucked onto the disk suction fixing surface 12. Then, it is confirmed whether or not the optical disk H is securely fixed to the disk suction fixing surface 12 by a vacuum sensor provided in the air suction unit 18, and an optical disk H suction fixing OK / NG signal is output to the control unit 50. .

光ディスクHの吸着固定状態がOKの場合は、光ピックアップ制御部40を介して光ピックアップ41が制御された光ディスクHの検査を開始する(図6(d)参照)。   When the suction fixing state of the optical disk H is OK, the inspection of the optical disk H in which the optical pickup 41 is controlled is started via the optical pickup control unit 40 (see FIG. 6D).

第1回目の検査を終了すると、ディスクHをディスクローダー20によって持ち上げてテーパードコーン13との嵌合を一旦解除する(図6(e)参照)。そして、スピンドル11を、下部に設けられたDCモータ42とエンコーダ43を用いて60度回転させて、ディスクHとの相対的嵌合位置を変えた状態で、ディスクローダー20を下降させて再度ディスクHの中心孔CHをテーパードコーン13に嵌合させる。この場合、ディスクの検査開始位置を前回と異なる位置となり、その異なる位置を検査開始位置としてさらにディスクの検査をする。このような検査を同一ディスクに対して複数回実行する。   When the first inspection is completed, the disk H is lifted by the disk loader 20 to temporarily release the fitting with the tapered cone 13 (see FIG. 6E). Then, the spindle 11 is rotated 60 degrees by using the DC motor 42 and the encoder 43 provided at the lower part, and the disk loader 20 is lowered while the relative fitting position with the disk H is changed. The center hole CH of H is fitted into the tapered cone 13. In this case, the disk inspection start position is different from the previous position, and the disk is further inspected using the different position as the inspection start position. Such inspection is executed a plurality of times on the same disk.

複数回の検査が終了すると、システム制御部50は、検査が終わった光ディスクHを取り出す為に、検査中下方に待機させていたディスクローダー20(図4参照)をディスク吸着固定面12に固着された光ディスクHの位置まで再上昇させて、光ディスクHをディスクローダー20上に保持(図5の上昇位置、図6(e)参照)すると同時に、エアー吸着部18に吸着解除信号を出力する。続いて、ディスクローダー20をさらに取り出し位置(図3の上昇位置参照)まで上昇させ、回動軸22を回動させて光ディスクHの水平方向に振って光ディスクH搬出を行う。
なお、本発明は以上説明したように、スピンドル上部のテーパードコーンに投入された光ディスクの下面をディスク吸着固定面に確実に固着させて行う光ディスクの検査にあたって、異なる検査開始位置から複数回の検査をすることを要旨とするものであって、本実施の形態のものに限定されるものではない。例えば本実施の形態では、一度の回転角度を60度で6回検査して1枚のディスクを複数回の検査をしているが、一度の回転角度を90度や45度として複数回の検査を実行するようにしてもよい。
When a plurality of inspections are completed, the system control unit 50 fixes the disk loader 20 (see FIG. 4), which has been waiting under inspection, to the disk suction fixing surface 12 in order to take out the optical disk H that has been inspected. The optical disk H is raised again to the position of the optical disk H, and the optical disk H is held on the disk loader 20 (the raised position in FIG. 5, see FIG. 6E), and at the same time, an adsorption release signal is output to the air adsorption unit 18. Subsequently, the disk loader 20 is further raised to the take-out position (see the raised position in FIG. 3), the rotation shaft 22 is rotated, and is shaken in the horizontal direction of the optical disk H to carry out the optical disk H.
As described above, according to the present invention, when inspecting an optical disk performed by securely fixing the lower surface of the optical disk inserted into the tapered cone on the upper part of the spindle to the disk adsorption fixing surface, a plurality of inspections are performed from different inspection start positions. However, the present invention is not limited to this embodiment. For example, in this embodiment, one rotation angle is inspected six times at 60 degrees, and one disk is inspected a plurality of times. However, one rotation angle is 90 degrees or 45 degrees, and a plurality of inspections are performed. May be executed.

本発明のディスク検査装置は、スピンドル上部のテーパードコーンに投入された光ディスクの下面をディスク吸着固定面に確実に固着させて行う光ディスクの検査にあたって、異なる検査開始位置から複数回の検査をすることができ、偏芯量検査に適用して、自動アベレージング作業を高速に行うことができる。   The disk inspection apparatus according to the present invention can inspect a plurality of times from different inspection start positions when inspecting an optical disk by securely fixing the lower surface of the optical disk inserted into the tapered cone on the upper part of the spindle to the disk suction fixing surface. It can be applied to the eccentricity inspection, and the automatic averaging operation can be performed at high speed.

ディスク検査装置の模式斜視図である。It is a model perspective view of a disk inspection apparatus. ディスク検査装置の側面図である。It is a side view of a disk inspection apparatus. 本実施形態に係るディスク検査装置におけるディスク搬入状態を示す側面図である。It is a side view which shows the disk carrying-in state in the disk inspection apparatus which concerns on this embodiment. ディスク嵌合状態を示す側面図である。It is a side view which shows a disk fitting state. ディスクの再持ち上げ状態を示す側面図である。It is a side view which shows the re-lifting state of a disk. 本実施形態に係るディスク検査方法を示す部分模式的側面図である。It is a partial typical side view showing the disc inspection method concerning this embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

10 ディスク検査装置
11 スピンドル
12 ディスク吸着固定面
13 テーパードコーン
17 吸引ポンプ
18 エアー吸着部
19 吸着孔
20 ディスクローダー
21 ディスクローダーの基端
22 回動軸
23 駆動モータ
24 スクリューネジ
25 ギア
26 シャフト
27 シャフト回転モータ
28 シャフト受け部
30 エアー噴射手段
31 エアー噴射ノズル
32 エアーチューブ
40 光ピックアップ制御部
41 光ピックアップ
42 DCモータ
43 エンコーダ
50 システム制御部
H 光ディスク
V 電磁バルブ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Disc inspection apparatus 11 Spindle 12 Disc adsorption fixed surface 13 Tapered cone 17 Suction pump 18 Air adsorption part 19 Adsorption hole 20 Disc loader 21 Disc loader base end 22 Rotating shaft 23 Drive motor 24 Screw screw 25 Gear 26 Shaft 27 Shaft rotation Motor 28 Shaft receiving section 30 Air injection means 31 Air injection nozzle 32 Air tube 40 Optical pickup control section 41 Optical pickup 42 DC motor 43 Encoder 50 System control section H Optical disk V Electromagnetic valve

Claims (5)

円盤状ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに嵌合してディスクを検査する装置であって、
垂直に立設されたシャフトと、
該シャフトに上下動自在に取り付けられディスクを該テーパードコーン上に搬送・投入するディスクローダーと、
該テーパードコーンに嵌合して該ディスク吸着固定面に固着されたディスクの下面を吸着固定するエアー吸着部と、を有することを特徴とするディスク検査装置。
An apparatus for inspecting a disk by fitting a center hole provided in the center of a disk-shaped disk to a tapered cone provided on a disk adsorption fixing surface at the top of the spindle,
A vertically installed shaft;
A disk loader that is mounted on the shaft so as to be movable up and down, and that conveys and feeds the disk onto the tapered cone;
A disk inspection apparatus comprising: an air suction portion that is fitted to the tapered cone and sucks and fixes the lower surface of the disk fixed to the disk suction fixing surface.
前記テーパードコーンに搬送・投入されたディスクの上面に圧縮エアーを噴射して、ディスクの中心孔を前記テーパードコーンに嵌合させるエアー噴射手段を設けたことを特徴とする請求項1のディスク検査装置。 2. A disk inspection apparatus according to claim 1, further comprising air injection means for injecting compressed air onto the upper surface of the disk transported and introduced into the tapered cone so that a center hole of the disk is fitted into the tapered cone. . 前記ディスクローダーの基端に連接して、ディスクローダーを水平方向に回動させる回動軸が設けられ、該回動軸を介して該ディスクローダーが上下動自在に前記シャフト取り付けられていることを特徴とする請求項1又は2のディスク検査装置。 A rotation shaft connected to the base end of the disk loader to rotate the disk loader in the horizontal direction is provided, and the shaft is attached to the shaft so that the disk loader can move up and down through the rotation shaft. 3. The disk inspection apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that: ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに嵌合してディスクを検査するディスク検査方法であって、
前回検査したディスクを、該ディスクの嵌合を一旦解除しスピンドルを回転させディスクとの相対的嵌合位置を変えた状態で、再度ディスクの中心孔をテーパードコーンに嵌合させ、ディスクの検査開始位置を前回と異なる位置とし、その異なる位置を検査開始位置としてさらにディスクの検査を実行し、同一ディスクに対して複数回の検査をすることを特徴とするディスク検査方法。
A disc inspection method for inspecting a disc by fitting a center hole provided in the center of the disc to a tapered cone provided on a disc adsorption fixing surface at the top of the spindle,
With the disc inspected last time, once the disc is disengaged and the spindle is rotated to change the relative mating position with the disc, the disc's center hole is fitted again into the tapered cone, and disc inspection begins. A disk inspection method characterized in that the position is set to a position different from the previous position, the disk is further inspected using the different position as the inspection start position, and the same disk is inspected a plurality of times.
ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに嵌合してディスクを検査するディスク検査方法であって、
シャフトに上下動自在に取り付けられたディスクローダーによってディスクを該テーパードコーン上に搬送・投入し、該ディスク吸着固定面に固着されたディスクの下面をエアー吸着部によってディスクをディスク吸着固定面に吸着固定するとともに該中心孔を該テーパードコーンに嵌合させ、ディスクの検査を実行し、該ディスクをディスクローダーによって持ち上げてテーパードコーンとの嵌合を一旦解除し、スピンドルを回転させ、ディスクとの相対的嵌合位置を変えた状態で、ディスクローダーを下降させて再度ディスクの中心孔をテーパードコーンに嵌合させ、ディスクの検査開始位置を前回と異なる位置とし、その異なる位置を検査開始位置としてさらにディスクの検査をし、同一ディスクに対して複数回の検査をすることを特徴とするディスク検査方法。
A disc inspection method for inspecting a disc by fitting a center hole provided in the center of the disc to a tapered cone provided on a disc adsorption fixing surface at the top of the spindle,
The disk is loaded onto the tapered cone by a disk loader mounted on the shaft so that the disk can move up and down, and the lower surface of the disk fixed to the disk adsorption fixing surface is adsorbed and fixed to the disk adsorption fixing surface by the air adsorption unit. The center hole is fitted to the tapered cone, the disk is inspected, the disk is lifted by a disk loader to temporarily disengage the tapered cone, the spindle is rotated, With the mating position changed, the disc loader is lowered and the disc's center hole is fitted into the tapered cone again, and the disc inspection start position is set to a different position from the previous time, and the different position is set as the inspection start position. And inspecting the same disk multiple times. Disk inspection method to be.
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