JPH02287085A - 空気分離装置用アルゴン精製方法及び装置 - Google Patents
空気分離装置用アルゴン精製方法及び装置Info
- Publication number
- JPH02287085A JPH02287085A JP1104459A JP10445989A JPH02287085A JP H02287085 A JPH02287085 A JP H02287085A JP 1104459 A JP1104459 A JP 1104459A JP 10445989 A JP10445989 A JP 10445989A JP H02287085 A JPH02287085 A JP H02287085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- argon
- gas
- regeneration
- oxygen
- separation device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 221
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 110
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 238000000926 separation method Methods 0.000 title claims description 17
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 72
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims abstract description 38
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 claims abstract description 36
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 29
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 29
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 claims description 21
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims description 10
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 claims description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 34
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 12
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 12
- 238000010926 purge Methods 0.000 abstract description 11
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 abstract description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 abstract description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 7
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 6
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 2
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N chloro(fluoro)methane Chemical compound F[C]Cl KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000009940 knitting Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 150000002926 oxygen Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- NQLVQOSNDJXLKG-UHFFFAOYSA-N prosulfocarb Chemical compound CCCN(CCC)C(=O)SCC1=CC=CC=C1 NQLVQOSNDJXLKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
- F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
- F25J3/04642—Recovering noble gases from air
- F25J3/04648—Recovering noble gases from air argon
- F25J3/04721—Producing pure argon, e.g. recovered from a crude argon column
- F25J3/04733—Producing pure argon, e.g. recovered from a crude argon column using a hybrid system, e.g. using adsorption, permeation or catalytic reaction
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
- F25J2205/82—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using a reactor with combustion or catalytic reaction
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2230/00—Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams
- F25J2230/58—Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams the fluid being argon or crude argon
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2245/00—Processes or apparatus involving steps for recycling of process streams
- F25J2245/58—Processes or apparatus involving steps for recycling of process streams the recycled stream being argon or crude argon
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
- Drying Of Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は酸素と同時にアルゴンを製品として採取する空
気の液化深冷分離装置の租アルゴンガス中の酸素を触媒
反応で除去するアルゴン精製装置における脱ｍ埼の再生
、予冷後のアルゴン置換ガスの回収方法に関するもので
ある。
気の液化深冷分離装置の租アルゴンガス中の酸素を触媒
反応で除去するアルゴン精製装置における脱ｍ埼の再生
、予冷後のアルゴン置換ガスの回収方法に関するもので
ある。
従来のアルゴン精製装置の脱湿塔再生方法として、アル
ゴン置換ガスを回収する目的としたものとして、特ｆｌ
ｆｔ昭５６−９７７７５号公報などが考案され実用化さ
れている。
ゴン置換ガスを回収する目的としたものとして、特ｆｌ
ｆｔ昭５６−９７７７５号公報などが考案され実用化さ
れている。
上記特開昭ｓ ｃｉ−９７７７ｓ＠公報のように製品と
なるアルゴンガスそのものを再生ガスとして循環使用す
るこれらの方法は、アルゴンを無駄なく回収する目的と
してはｊＩｋｆｉの方法と考えられるが、実際使用に当
っては次のようないくつかの欠点がある。
なるアルゴンガスそのものを再生ガスとして循環使用す
るこれらの方法は、アルゴンを無駄なく回収する目的と
してはｊＩｋｆｉの方法と考えられるが、実際使用に当
っては次のようないくつかの欠点がある。
坤も、再生ガスとしてアルゴンそのものを循環使用する
ため、脱湿塔を再生した後の再生アルゴンガス中には多
量の水分が存在し、これを自然冷却又は水で冷却して水
分を除去しても完全なドライガスにすることが不可能で
あるため、再生後の予冷段階で脱ｆＸｊ埼内に充填され
ている乾燥剤が吸湿し能力低下をんすという弊害が生ず
る。また、脱湿塔の再生、予冷段階で再生ガスの温度が
常温から２００℃以上の高温度になるためこれをアルゴ
ン循環圧縮機の吸入側ｌこ戻すと圧縮機の吸入温度が上
昇する。アルゴンガスは単原子気体であるため圧縮熱で
ｉｆ、を度上昇が大きくなり過ぎ機械そのものが高温度
に耐えられないなどの不具合が発生する。
ため、脱湿塔を再生した後の再生アルゴンガス中には多
量の水分が存在し、これを自然冷却又は水で冷却して水
分を除去しても完全なドライガスにすることが不可能で
あるため、再生後の予冷段階で脱ｆＸｊ埼内に充填され
ている乾燥剤が吸湿し能力低下をんすという弊害が生ず
る。また、脱湿塔の再生、予冷段階で再生ガスの温度が
常温から２００℃以上の高温度になるためこれをアルゴ
ン循環圧縮機の吸入側ｌこ戻すと圧縮機の吸入温度が上
昇する。アルゴンガスは単原子気体であるため圧縮熱で
ｉｆ、を度上昇が大きくなり過ぎ機械そのものが高温度
に耐えられないなどの不具合が発生する。
これらの障害をなくするため一部は、再生ガスの再冷却
装置や、特殊な水冷式圧縮機などの採用が必要になり、
脱ｉｆ！塔の再生時の９射のアルゴンガスを回収するた
めに投ｆｉ背が嵩み過ぎること、運転上も好ましくない
ことなどからこれまでほんの一部の装置ｌこしか採用さ
れていないのが実情である。
装置や、特殊な水冷式圧縮機などの採用が必要になり、
脱ｉｆ！塔の再生時の９射のアルゴンガスを回収するた
めに投ｆｉ背が嵩み過ぎること、運転上も好ましくない
ことなどからこれまでほんの一部の装置ｌこしか採用さ
れていないのが実情である。
上記、脱ｆｆ１ｉ再生時のアルゴンガスな回収″する従
来方法は理論的φこは最良の方法であるが、実際面での
障害があるため多（のアルゴン精製装置ｄｌこおいては
、脱湿塔の再生ガスとして空気分離装置で分離された酸
素を含まない高純度の完全ドライガスを使用しているも
のが多い。
来方法は理論的φこは最良の方法であるが、実際面での
障害があるため多（のアルゴン精製装置ｄｌこおいては
、脱湿塔の再生ガスとして空気分離装置で分離された酸
素を含まない高純度の完全ドライガスを使用しているも
のが多い。
空気分離装置でアルゴンを採取するためには、粗アルゴ
ン中に２〜５条含まれる酸素なＰ！１媒反不反応ｐｐｍ
０ｚ以下１こ除去する必要があり、窒二分は後工程のア
ルゴン精Ｖ：墳で精留分屋番こより容易に分離すること
が可能であるが、アルゴンより高６１１点成分である酸
素が混入すると精留分離では除去できないため製品アル
ゴン中に不純物としてそのまま残ってしまうため製品ア
ルゴンとしての価値が無くなってしまう。
ン中に２〜５条含まれる酸素なＰ！１媒反不反応ｐｐｍ
０ｚ以下１こ除去する必要があり、窒二分は後工程のア
ルゴン精Ｖ：墳で精留分屋番こより容易に分離すること
が可能であるが、アルゴンより高６１１点成分である酸
素が混入すると精留分離では除去できないため製品アル
ゴン中に不純物としてそのまま残ってしまうため製品ア
ルゴンとしての価値が無くなってしまう。
このため、従来のアルゴン採取空気分離装置′では、製
品窒素が必要でない装置においてもアルゴン精！２ＳＩ
ｅＷ１の脱湿塔再生ガス用としてｉ素ガスを少量併産し
ていた。
品窒素が必要でない装置においてもアルゴン精！２ＳＩ
ｅＷ１の脱湿塔再生ガス用としてｉ素ガスを少量併産し
ていた。
アルゴンの＋Ｗ要は近年ますます増加の傾向Ｉこみり、
既設空気分離装置を改造しアルゴンを採取しようという
要求も多くなってきているが、新しく設置する空気弁＃
装置では、最初からアルゴン精製装置の画生ガスとして
高純度窒素を採取する設計はそれ程の設備費増加なしで
可能であるが、既に設置されている高純度の窒素ガスを
採取していない空気分離装置に改造してアルゴン採取設
備を追加しようとした時は、高純度窒素を採取するため
に空気分離装置の親精留ｊｊ！Ｉまで改造する必要があ
り改造費用が高額になり過ぎるという大きな問題となる
。二のため、脱湿塔再生用の窒素ガスを他から供給して
もらうか、他に窒素源が無い場合は分離器を高純窒素採
りに費用をかけて改造するか、又は障害があっても公知
の特開昭５０−９７７７５号公報ｆこ示されている方法
、又は、酸素を含んでいる空気分離装置で得られるドラ
イ空気。
既設空気分離装置を改造しアルゴンを採取しようという
要求も多くなってきているが、新しく設置する空気弁＃
装置では、最初からアルゴン精製装置の画生ガスとして
高純度窒素を採取する設計はそれ程の設備費増加なしで
可能であるが、既に設置されている高純度の窒素ガスを
採取していない空気分離装置に改造してアルゴン採取設
備を追加しようとした時は、高純度窒素を採取するため
に空気分離装置の親精留ｊｊ！Ｉまで改造する必要があ
り改造費用が高額になり過ぎるという大きな問題となる
。二のため、脱湿塔再生用の窒素ガスを他から供給して
もらうか、他に窒素源が無い場合は分離器を高純窒素採
りに費用をかけて改造するか、又は障害があっても公知
の特開昭５０−９７７７５号公報ｆこ示されている方法
、又は、酸素を含んでいる空気分離装置で得られるドラ
イ空気。
廃窒素ガス（３〜１０％０２合）を再生ガスとして使わ
ざるを得ない。
ざるを得ない。
酸素を含んだドライ空気又は廃窒素ガスは空気の液化深
冷分離装置では簡単に取出すことができるが、これを脱
湿器の再生ガスとして使用した場合、再生予冷後の脱湿
塔内には多量の酸素性が残り、このまま切替えて使用す
ると酸素性が製品アルゴン中に混入するため、切替使用
１１１１こもう一方の脱湿塔で水分を除去した酸素を含
まないドライアルゴンガスで完全に置換してやる必要が
ある。
冷分離装置では簡単に取出すことができるが、これを脱
湿器の再生ガスとして使用した場合、再生予冷後の脱湿
塔内には多量の酸素性が残り、このまま切替えて使用す
ると酸素性が製品アルゴン中に混入するため、切替使用
１１１１こもう一方の脱湿塔で水分を除去した酸素を含
まないドライアルゴンガスで完全に置換してやる必要が
ある。
従来の高純度窒素で再生する方法では、アルゴン置換時
のアルゴンガスは全て大気に棄てられることになり、空
気又は廃窒素で再生予冷した脱湿項内の残りの酸素性を
除去するためＰｉ １１８間１１換が必要で、アルゴン
がその分減産となってしようという欠点がある。
のアルゴンガスは全て大気に棄てられることになり、空
気又は廃窒素で再生予冷した脱湿項内の残りの酸素性を
除去するためＰｉ １１８間１１換が必要で、アルゴン
がその分減産となってしようという欠点がある。
本発明はかかる欠点を全て解消し、アルゴン精製装置の
脱湿塔の再生ガスに酸素性を含む、ドライ空気又は廃窒
素ガスを使用し、しかも再生予冷完了後のアルゴン置換
におけるアルゴンの損失を無畷することを目的としたも
のである。
脱湿塔の再生ガスに酸素性を含む、ドライ空気又は廃窒
素ガスを使用し、しかも再生予冷完了後のアルゴン置換
におけるアルゴンの損失を無畷することを目的としたも
のである。
この目的を達成するために本発明では、脱湿埼の再生、
予冷までは酸素を含まない高純度窒素を再生ガスとする
従来方法とし、再生および予冷完了後のアルゴン置換に
おいて、置換時に脱ｉｔ塔内の残留酸素を含んだアルゴ
ンパージガスを脱湿塔出口の三方切替弁を通して、アル
ゴン循環圧縮機吸入側に導き、圧縮後の触媒反応で粗ア
ルゴン中に含まれる酸素弁と同時に除去し、アルゴンパ
ージガス中のアルゴンを回収するようにしたものである
。
予冷までは酸素を含まない高純度窒素を再生ガスとする
従来方法とし、再生および予冷完了後のアルゴン置換に
おいて、置換時に脱ｉｔ塔内の残留酸素を含んだアルゴ
ンパージガスを脱湿塔出口の三方切替弁を通して、アル
ゴン循環圧縮機吸入側に導き、圧縮後の触媒反応で粗ア
ルゴン中に含まれる酸素弁と同時に除去し、アルゴンパ
ージガス中のアルゴンを回収するようにしたものである
。
本発明方法１こより、アルゴン脱湿塔の再生ガスに高純
度窒素ガスが必要でな（なるとともに、アルゴン置換の
ためのアルゴンガスの損失も無くすることができる。
度窒素ガスが必要でな（なるとともに、アルゴン置換の
ためのアルゴンガスの損失も無くすることができる。
以下、本発明の一受施例を第１図により説明する。空気
の液化深冷分離の租アルゴン塔（図示省略）で分離され
た粗アルゴンガスは導管１からアルゴン循環圧縮機２で
所定の圧力（約１．５にｙ ／ ａｄＧ）まで圧縮され
導管３から触媒槽４に導かれる。
の液化深冷分離の租アルゴン塔（図示省略）で分離され
た粗アルゴンガスは導管１からアルゴン循環圧縮機２で
所定の圧力（約１．５にｙ ／ ａｄＧ）まで圧縮され
導管３から触媒槽４に導かれる。
途中、導管３で粗アルゴン１月こ含まれている酸素弁（
約２−〇２）に触媒反応で必譬な水素が導管５から粗ア
ルゴンガス中に合流され、触媒槽で化学反応で酸素弁は
水素と反応し水番こ変換される。
約２−〇２）に触媒反応で必譬な水素が導管５から粗ア
ルゴンガス中に合流され、触媒槽で化学反応で酸素弁は
水素と反応し水番こ変換される。
触媒反応後の粗アルゴンガスは完全に酸素が除去（１ｐ
ｐｍｏｚ以下）され、反応熱で昇温（約３５０℃）され
て導管６から予冷＃ｇ７に導かれる。
ｐｍｏｚ以下）され、反応熱で昇温（約３５０℃）され
て導管６から予冷＃ｇ７に導かれる。
予冷器７で粗アルゴンガスは水で冷却され常温となり、
出口導管８で２分され一部は導管９、調節弁１０、導管
１１よりアルゴン循環圧縮機２の吸入側に導かれ、アル
ゴン循環圧縮８！２の吸入圧力制御および触ｍ槽４の入
口酸素！１度制御用として循環使用される。予冷器７の
出口の粗アルゴンガスの残りの一方は導管８から分岐さ
れ導管工２から冷却器１３に導かれる。冷却器１３はフ
ロンなどの冷媒で粗アルゴンガスな約５℃まで冷却し租
アルゴンガス中に触媒反応で発生した水分なドレンとし
て除去するためのものである。冷却器１３で大部分の水
分を除去された粗アルゴンガスは導管１４より切替弁１
５１〜１５ ｄを通って脱湿塔１６ａ、１６ｂの一方に
導かれる。
出口導管８で２分され一部は導管９、調節弁１０、導管
１１よりアルゴン循環圧縮機２の吸入側に導かれ、アル
ゴン循環圧縮８！２の吸入圧力制御および触ｍ槽４の入
口酸素！１度制御用として循環使用される。予冷器７の
出口の粗アルゴンガスの残りの一方は導管８から分岐さ
れ導管工２から冷却器１３に導かれる。冷却器１３はフ
ロンなどの冷媒で粗アルゴンガスな約５℃まで冷却し租
アルゴンガス中に触媒反応で発生した水分なドレンとし
て除去するためのものである。冷却器１３で大部分の水
分を除去された粗アルゴンガスは導管１４より切替弁１
５１〜１５ ｄを通って脱湿塔１６ａ、１６ｂの一方に
導かれる。
脱湿塔１６ａ、１６ｂは２基一対で使用され、一方が粗
アルゴンガス中の水分を吸着除去している間に他の一方
は脱’ＭＲ１６ａ 、 １６ ｂ内憂こ充填されている
飽和になった乾燥剤を再生ガスで再生および予冷、アル
ゴンガス中の水分を吸着除去しているとすると、脱ｆｉ
４１６ ａの入口切替弁１５ ｍより導入された租ア
ルゴンガスは脱ｉｉｉ ｋｉ １６ ａで残りの水分を
充全番こ吸着除去した僕、出口切替弁１７ ａを通って
導管１８より空気分離装置ｎの精製アルゴン塔（図示省
略）に導かれ、ここで精留分屋で粗アルゴン中−二残っ
ている窒素および過剰の水素と製品アルゴンに分離され
る〇 もう一方の脱ｆＡ塔１６ ｂは、粗アルゴン中の水分を
吸着し飽和になった乾燥剤を再生しており、高純度窒素
ガスが再生ガスとして使用できない場合、次の方法で再
生、予冷、アルゴン置換を行う。
アルゴンガス中の水分を吸着除去している間に他の一方
は脱’ＭＲ１６ａ 、 １６ ｂ内憂こ充填されている
飽和になった乾燥剤を再生ガスで再生および予冷、アル
ゴンガス中の水分を吸着除去しているとすると、脱ｆｉ
４１６ ａの入口切替弁１５ ｍより導入された租ア
ルゴンガスは脱ｉｉｉ ｋｉ １６ ａで残りの水分を
充全番こ吸着除去した僕、出口切替弁１７ ａを通って
導管１８より空気分離装置ｎの精製アルゴン塔（図示省
略）に導かれ、ここで精留分屋で粗アルゴン中−二残っ
ている窒素および過剰の水素と製品アルゴンに分離され
る〇 もう一方の脱ｆＡ塔１６ ｂは、粗アルゴン中の水分を
吸着し飽和になった乾燥剤を再生しており、高純度窒素
ガスが再生ガスとして使用できない場合、次の方法で再
生、予冷、アルゴン置換を行う。
最初に、酸素弁を含んだドライ空気又は廃窒素ガスは導
管１９より再生加熱１ｉ％ｉにに導かれ、ここで湿度約
２００°Ｃまで昇温される。昇温された再生ガスは導管
ムから切替弁１７ ｄを通り脱ｉｎ塔１６ ｂの上方か
ら省内の水分飽和となった乾燥剤を加熱する。
管１９より再生加熱１ｉ％ｉにに導かれ、ここで湿度約
２００°Ｃまで昇温される。昇温された再生ガスは導管
ムから切替弁１７ ｄを通り脱ｉｎ塔１６ ｂの上方か
ら省内の水分飽和となった乾燥剤を加熱する。
この時、乾燥剤に吸着されている水分は脱着され、脱着
された水分は再生ガスと一緒に切替弁１５ｄから導管ｎ
より三方切替弁ｎを通って大気放出管九より大気−こ放
出される。
された水分は再生ガスと一緒に切替弁１５ｄから導管ｎ
より三方切替弁ｎを通って大気放出管九より大気−こ放
出される。
再生工程で水分を完全に脱着した乾燥剤は、次に同じ再
生ガスで予冷される。予冷方法は再生加熱４美の熱源を
遮断し再生通路と同じ経路で行なわれる。予冷工程で常
温まで予冷された脱湿塔１６ｂ内には、予冷時の酸素を
含んだ再生ガスが残っているので、このまま場を切替え
て再使用すると残りの酸素弁が粗アルゴンガス中に混入
し、製品アルゴン中に入ってしまう。このため、切替前
に再生ガス入口切替弁１７ ｄを全閉し加圧弁５を開け
て脱ｆＡ Ｑ １６ ｍで水分を吸着除去された租アル
ゴンガスの一部で脱ｆＡ場ｘ６ｂ内を置換する。
生ガスで予冷される。予冷方法は再生加熱４美の熱源を
遮断し再生通路と同じ経路で行なわれる。予冷工程で常
温まで予冷された脱湿塔１６ｂ内には、予冷時の酸素を
含んだ再生ガスが残っているので、このまま場を切替え
て再使用すると残りの酸素弁が粗アルゴンガス中に混入
し、製品アルゴン中に入ってしまう。このため、切替前
に再生ガス入口切替弁１７ ｄを全閉し加圧弁５を開け
て脱ｆＡ Ｑ １６ ｍで水分を吸着除去された租アル
ゴンガスの一部で脱ｆＡ場ｘ６ｂ内を置換する。
この時、製品となる粗アルゴンガスが消費されるため、
三方切替弁コを切替えて、置換用アルゴンパージガスを
導管ｙよりアルゴン＊＊圧編機２の吸入側に導き導管１
より導かれる粗アルゴンガスに合流させる。置換用アル
ゴンパージガス中には、脱湿塔１６ ｂ予冷後の再生ガ
ス中の酸素弁が含まれているが、この酸素弁は触媒槽４
で完全に反応除去することが可能で、パージガス中のア
ルゴンは全てむだなく回収することができる。
三方切替弁コを切替えて、置換用アルゴンパージガスを
導管ｙよりアルゴン＊＊圧編機２の吸入側に導き導管１
より導かれる粗アルゴンガスに合流させる。置換用アル
ゴンパージガス中には、脱湿塔１６ ｂ予冷後の再生ガ
ス中の酸素弁が含まれているが、この酸素弁は触媒槽４
で完全に反応除去することが可能で、パージガス中のア
ルゴンは全てむだなく回収することができる。
アルゴン置換が充ｒしたら脱湿塔１．６ ｂの切替弁１
５ ｄを全閉し、三方切替弁Ｚを切替えて再生工程が完
ｒする。
５ ｄを全閉し、三方切替弁Ｚを切替えて再生工程が完
ｒする。
本発明によれば、脱湿塔再生用の高純度窒素ガスが無い
場合でも、酸素を含むドライ空気又は廃窒素ガスで従来
の高純度窒素ガスで再生する方式がそのまま採用でき、
しかも再生時のアルゴンガスを回収するための公知の再
生ガスにアルゴンガスを循環使用する方式と同じ効果が
得られるばかりでなく、アルゴン循環再生方式の欠点を
無くすることができ、設備費も三方切萄弁とパージガス
のアルゴン循環圧縮機吸入への導管の追加だけで少ない
コストで大きな効果をもたらすという太きな特徴をもっ
ている。
場合でも、酸素を含むドライ空気又は廃窒素ガスで従来
の高純度窒素ガスで再生する方式がそのまま採用でき、
しかも再生時のアルゴンガスを回収するための公知の再
生ガスにアルゴンガスを循環使用する方式と同じ効果が
得られるばかりでなく、アルゴン循環再生方式の欠点を
無くすることができ、設備費も三方切萄弁とパージガス
のアルゴン循環圧縮機吸入への導管の追加だけで少ない
コストで大きな効果をもたらすという太きな特徴をもっ
ている。
第１図は本発明の一実施例のアルゴン精製装置である。
２・・・・・・アルゴン循環圧縮機、４・・・・・・触
媒槽、１５ａ 、 １５ ｂ−−−−切替弁、１６ ａ
、 １６ ｂ−−−−−−脱湿塔、１７Ｓ〜１７ ｄ
・・・・・・切替弁、加・・・・・・再生加熱器、り・
・・・・・三方切替弁、ｂ・・・・・−加圧弁、々・・
・・・・パージガス回収導管
媒槽、１５ａ 、 １５ ｂ−−−−切替弁、１６ ａ
、 １６ ｂ−−−−−−脱湿塔、１７Ｓ〜１７ ｄ
・・・・・・切替弁、加・・・・・・再生加熱器、り・
・・・・・三方切替弁、ｂ・・・・・−加圧弁、々・・
・・・・パージガス回収導管
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、アルゴンを採取する空気液化深冷分離の粗アルゴン
ガス中の酸素を触媒反応で除去するアルゴン精製方法に
おいて、 触媒反応後の水分を除去するためのアルゴン脱湿塔の再
生、予冷完了後のアルゴン置換ガスをアルゴン圧縮機の
吸入側に導びき、置換用のアルゴンガスを回収すること
を特徴とする空気分離装置用アルゴン精製方法。 ２、アルゴンを採取する空気液化深冷分離の粗アルゴン
ガス中の酸素を触媒反応で除去するアルゴン精製装置に
おいて、 触媒反応後の水分を除去する機器の脱湿塔間の後流側を
弁を介して連結すると共に、脱湿塔内のアルゴン置換ガ
スをアルゴン圧縮機の吸入側に導くよう構成したことを
特徴とする空気分離装置用アルゴン精製装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1104459A JPH02287085A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 空気分離装置用アルゴン精製方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1104459A JPH02287085A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 空気分離装置用アルゴン精製方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02287085A true JPH02287085A (ja) | 1990-11-27 |
Family
ID=14381184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1104459A Pending JPH02287085A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 空気分離装置用アルゴン精製方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02287085A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002079044A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-03-19 | Mann & Hummel Protec Gmbh | プロセス脱湿における再生制御方法及び装置 |
-
1989
- 1989-04-26 JP JP1104459A patent/JPH02287085A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002079044A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-03-19 | Mann & Hummel Protec Gmbh | プロセス脱湿における再生制御方法及び装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4519954B2 (ja) | 高清浄乾燥空気と乾燥空気の製造方法及び装置 | |
| US5125934A (en) | Argon recovery from argon-oxygen-decarburization process waste gases | |
| JP4252668B2 (ja) | ガス精製方法 | |
| US3216178A (en) | Process for regenerating an adsorbent bed | |
| JPH01172204A (ja) | 混合ガスから炭酸ガスを吸着分離回収する方法 | |
| KR20110115534A (ko) | 흡착 작업으로부터 ｎｆ３를 회수하는 방법 | |
| EP2364766B1 (en) | Method for the removal of moist in a gas stream | |
| JP2967166B2 (ja) | 炭酸ガスの分離・回収方法 | |
| JPS6241055B2 (ja) | ||
| JPH02287085A (ja) | 空気分離装置用アルゴン精製方法及び装置 | |
| JP3544860B2 (ja) | 空気分離装置における前処理装置 | |
| JP2944285B2 (ja) | 空気分離プロセスにおける原料空気の前処理方法 | |
| JPH02282682A (ja) | アルゴンの回収方法 | |
| JP3841792B2 (ja) | 空気分離装置における前処理方法およびそれに用いる装置 | |
| JP2000271425A (ja) | 予備冷却なしに空気を精製し、低温分離するための方法およびプラント | |
| JP3532465B2 (ja) | 空気分離装置 | |
| JPS61127609A (ja) | Ｈｅ精製装置 | |
| JP3515901B2 (ja) | 空気分離装置における前処理装置 | |
| JP3532466B2 (ja) | 空気分離装置 | |
| JPH0579754A (ja) | 高純度窒素の製造装置 | |
| JPH09122432A (ja) | 圧力スイング吸着法によるガス分離装置 | |
| JPH039390B2 (ja) | ||
| JPS63151602A (ja) | 高純度窒素ガス精製法 | |
| JPH07241427A (ja) | 溶剤回収方法 | |
| JP2551461B2 (ja) | 空気分離装置における原料空気の前処理方法 |