JPH02285977A - 超音波モータ - Google Patents

超音波モータ

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Publication number
JPH02285977A
JPH02285977A JP1107050A JP10705089A JPH02285977A JP H02285977 A JPH02285977 A JP H02285977A JP 1107050 A JP1107050 A JP 1107050A JP 10705089 A JP10705089 A JP 10705089A JP H02285977 A JPH02285977 A JP H02285977A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resonator
resonant
rotor
divided
ultrasonic motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1107050A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Imabayashi
浩之 今林
Takemasa Fujimura
毅直 藤村
Yukihiko Sawada
之彦 沢田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP1107050A priority Critical patent/JPH02285977A/ja
Publication of JPH02285977A publication Critical patent/JPH02285977A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、定在波の超音波振動を利用し、楕円運動によ
り回転力を得る超音波モータに係り、より詳細には、縦
振動を発生させる駆動源と、上記縦振動を伝幡される共
振器と、該共振器に接触することにより上記縦振動を伝
幡され、共振器と接触した面の反対側の面に楕円振動を
発生させる振動片と、上記振動片に圧接され、上記楕円
振動により回転駆動される回転子とを具備してなる超音
波モータに関する。
[従来の技術] 超音波モータに関する従来技術としては、例えば特開昭
61−52163号公報に開示された技術がある。この
技術は、第6図にて示すごとく、圧電振動子12片持梁
捻り超音波振動子2、及び回転子(ロータ)3等より構
成することにより、片持梁の長さに沿った軸を中心とし
梁の両側が逆位相で屈曲振動を行う屈曲モードと捻りモ
ードが結合した捻り、屈曲振動をする超音波振動子2の
端面に圧着されたロータ3を面内で回転させるとともに
、圧電振動子lに印加する高周波振動電圧の周波数を変
えることにより、ロータ3を可逆回転させるようにした
ものである。
[発明が解決しようとする課題] 上記従来の超音波モータにおいては、超音波楕円振動子
の主共振又は副共振のいずれかの周波数の電圧を印加す
ることにより、ロータ3を時計回り、反時計回りのいず
れの方向にも可逆回転できるものである。
しかし、上記ロータ3の可逆回転手段の場合には、主共
振の周波数の電圧を印加した際にはロータ3が勢いよく
回転するが、副共振のときは逆回転してもトルクが極め
て小さく、回転数も低いものとなるという大きな欠点が
あった。
又、回転数を上げるためにはロータ3の圧着力を弱める
という手段があるが、トルクが得にくくなり、実用性に
欠けるという欠点がある。さらに、副共振点は主共振点
に比して反応が弱いため、副共振の周波数を見つけにく
いという問題点があった。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みなされたもので
あって、実用的、かつ可逆回転可能な超音波モータを提
供することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 第1図(a) 、 (b) 、 (c)は、本発明に係
る超音波モータ10の基本構成を示すものである9図に
示すように超音波モータ10は、複数に分割され(図で
は4分割を例示)縦振動を発生させる駆動il[(積層
圧電素子)11と、軸対称に少なくとも4分割した共振
小片12にて構成され上記縦振動を伝幡される共振器1
3と、該共振器13に接触することにより上記縦振動を
伝幡され、共振器13と接触した面の反対側の面に楕円
振動を発生させる振動片14と、上記振動片14に圧接
され、上記楕円振動により回転駆動される回転子15と
より構成してあり、上記4分割された積層圧電素子11
及び電8il16は極性が対面するように配置構成しで
ある。なお、17で示すのは着脱可能な組付用板、18
で示すのは締め付は用ボルト、19で示すのは絶縁塗料
である。
[作用] 上記構成においては、第1図(b)の上部に示す図にお
けるAに対応する圧電素子11に電圧が印加されると、
振動片14の基台円板部には斜線で示す部分にのみ縦振
動が伝達されてホーン形状の突起先端に楕円運動が生じ
、回転子15が反時計回りに回転する。又、同様にAに
対応する圧電素子に電圧が印加されると、回転子15が
時計回りに回転する。
[実施例] 以下、図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明
する。なお、以下の説明において、第1図にて示した構
成部と同様の構成部には同一符号を付して説明するもの
とする。
(第1実施例) 第2図(a) 、 (b) 、 (c)は、本発明に係
る超音波モータ10を示す斜視図及び平面図である。
図に示すように超音波モータlOは、4分割(4分割に
限定されない)され縦振動を発生させる積層圧電素子1
1と、軸対称に少なくとも4分割した共振小片12にて
構成され上記縦振動を伝幡される共振器13と、該共振
器13に接触することにより上記縦振動を伝幡され、共
振器13と接触した面の反対側の面に楕円振動を発生さ
せる振動片14と、上記振動片14に圧接され、上記楕
円振動により回転駆動される回転子15とより構成して
あり、上記4分割された積層圧電素子11及び電極1G
は、極性が対面するように配置構成しである。なお、第
2図(c)は第1図(a)のX−X線方向矢視図である
振動片14は、基台円板14aと、基台円板14aの軸
心に対して軸対称に形成されたホーン形状の突起14b
とより構成しである。基台円板14aには、突起14b
の長平方向に対して直交する方向位置に互に対向する切
欠き21を2ケ所その外周部に設けである。4つに分割
された各積層圧電素子11ブロツクのそれぞれには、シ
リコンワニスが塗布されており、隣接する積層圧電素子
11ブロツクと絶縁されるようになっている。
積層圧電素子11及び共振小片13の各ブロックは、プ
レート17を介して仕切られるとともに、振動片14の
突起14bに対して左右に線対称に配置された状態で締
付はボルト(図示せず)を介して締付は固定され、その
後、プレート17を引き抜くことにより4分割に組立構
成されている。プレート17は、積層圧電素子11のブ
ロックと共振器13を同位置に正確に配置するためのも
のである。
4分割された積層圧電素子11と電極16の各ブロック
は、第2図(a)にて示すように極性A−A、B−Bが
対面するように配置しである。
23で示すのは、積層圧電素子11を構成する圧電素子
である。
上記構成よりなる超音波モータ10において、振動片1
4のホーン形状突起14bに対して左右に線対称に配置
された4分割の圧電素子23のうちAで示す部分に電圧
を印加すると縦振動が発生し、この発生した縦振動は同
様に4分割された共振小片17に伝達(伝@)され、さ
らに振動片14の基台円板14aの斜線(ハンチング)
で示すCの部分に伝達される。この際、切欠き21のた
めに撓み易くなった基台円板14aは、伝達される縦振
動により大きく撓み、これにより突起14bの先端部に
大きな伝達力の楕円運動が発生する。従って、振動片1
4に圧接された回転子I5が高トルクにて回転される。
又、4分割された圧電素子23のうちBで示す部分に電
圧を印加すると、上記Aで示す部分に電圧を印加した場
合と同様に基台円板10aのD−Dで示す部分に縦振動
が伝達され、振動片14の突起14bの先端には、Aで
示す部分に電圧を印加した場合とは逆回転方向の大きな
伝達力の楕円運動が発生する。従って、この場合には回
転子15が高トルクにて回転される。
以上のように本実施例によれば、電圧を印加する圧電素
子23の位置(第2図(a)におけるA−A、B−B)
を変えて操作することにより、振動片14の突起14b
先端に右回り、左回りの楕円運動を発生させることがで
き、回転子15を正逆回転させることができる。又、振
動片14に設けた切欠き21の作用により、突起14b
先端部に大きな伝達力の楕円運動が発生するので、回転
子15を高トルクにて正逆回転させることができ、実用
的な超音波モータ10を従供することができる。又、プ
レート17を用いて組立性の向上が図れる。
なお、第1図にて示す構成も、本実施例の範晴に属する
ものである。
(第2実施例) 第3図(a) 、 (b)に本発明の第2実施例を示す
本実施例は、振動片14の基台円板14aを軸方向に一
体的に延設して共振部分14cを構成し、又、共振部分
14cの底面部に軸方向の溝22を十文字形状に形成し
て構成しである。なお、第3図(a) 、 (b)は、
それぞれ突起14bのホーン形状の変形例を示すもので
ある。その他の構成部は、第1実施例と同様であるので
、図示及び説明を省略する。
本実施例の構成によれば、圧電素子23からの縦振動は
振動片14の共振部分14cに伝達され、振動片14の
基台円板14aに損失なしに直接伝達される。又、共振
部分14は溝22にて分割されているので、第1実施例
における共振小片12と同様に作用する。従って、本実
施例によれば、振動片14が第1図における共振器13
とが一体構成となっているので、振動片14と振動器1
3の接触面で生ずる縦振動の伝達ロスをなくすことがで
き、効率良く縦振動を振動片14に伝達できるので、伝
達トルクを橿めて増大させることができる。又、部品点
数が減少するので、組立性が向上する。
(第3実施例) 第4図(a) 、 (b)に本発明の第3実施例を示す
本実施例は、振動片14の突起14bを4個に設定して
構成するとともに、圧電素子23及び電8i16を8個
のブロックに分割構成し、各ブロックの極性が対面する
ように配設して積層しである0分割された各圧電素子2
3は、振動片14の4個の突起14bに対して左右に線
対称に配置しである。又、積層圧電素子11を軸方向に
挾むように配置された2個の共振器13も同様に8分割
してあり、共振小片12が形成されている。その他の構
成は第1実施例と同様であるので、同様の構成部には同
一符号を付してその説明を省略する。
本実施例においては、第4図(b)においてA。
Cで示す部分に対応する位置の圧電素子23に電圧を印
加すると縦振動が発生し、第1実施例と同様にして上下
2個の8分割された共振小片12により励振され、振動
片14先端に楕円運動を発生して回転子I5が時計回り
方向に回転される。
又、第4図(b)においてB、Dで示す部分に対応する
位置の圧電素子23に電圧を印加すると、第1実施例と
同様の作用により回転子15が反時計回り方向に回転す
る。
以上のように本実施例によれば、第1実施例の作用、効
果に加えて、上F′2個の共振器I3を分割構成したの
で、縦振動はさらに強く励振される。又、突起14bの
数を増加しであるので、回転子I5に回転力を伝達し易
くなり、回転子15に対するスラスト方向からの力に対
しても強くなる利点がある。
(第4実施例) 第5図に本発明の第4図実施例を示す。本実施例は、圧
電素子23は分割せずに配置し、電極16及び共振器1
3を4個に分割構成して振動片14の突起14bに対し
て左右に線対称に配置して構成したものである。その他
の構成は第1実施例と同様であるので、同一構成部には
同一符号を付してその説明を省略する。
本実施例においては、電極16に接している圧電素子2
3の部分だけから縦振動が発生するので、振動片14は
第1実施例と同様に軸対称に相対向する基台円板14a
のみ振動し、可逆の楕円振動を突起14b先端に発生さ
せることができる。
本実施例によれば、第1実施例の効果に加えて、圧電素
子23を分割してないことから組付性の向上、部品点数
の低減化を図ることができる利点がある。
[発明の効果] 以上のように本発明によれば、実用的であり、かつ可逆
回転可能な超音波モータを提供できるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)は、本発明に係る超音波モータの基本構成
を示す斜視図、第1図(b) 、 (c)は、第1図(
a)の要部の説明図。 第2図(a)は、本発明に係る超音波モータの第1実施
例を示す一部の部品を省略した斜視図、第2図(b) 
、 (c)は第2図(a)の要部の組付状態斜視図及び
平面図。 第3図(a) 、 (b)は、本発明に係る超音波モー
タの第2実施例を示す一部省略図。 第4図(a) 、 (b)は、本発明に係る超音波モー
タの第3実施例を示す斜視図及びその要部の平面図。 第5図は、本発明に係る超音波モータの第4実施例を示
す斜視図。 第6図は、従来技術の説明図である。 11・・・駆動源 12・・・共振小片 13・・・共振器 14・・・振動片 15・・・回転子

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)縦振動を発生させる駆動源と、 上記縦振動を伝幡される共振器と、 該共振器に接触することにより上記縦振動を伝幡され、
    共振器と接触した面の反対側の面に楕円振動を発生させ
    る振動片と、 上記振動辺に圧接され、上記楕円振動により回転駆動さ
    れる回転子と、 を具備する超音波モータにおいて、 上記共振器を軸対称に少なくとも4分割した共振小片に
    て構成し、軸を挟んで対向する共振小片が同位相にて振
    動され、該同位相にて振動される共振小片に隣接する他
    の共振小片は静止状態となる様に上記駆動源を操作し、
    上記回転子を可逆回転可能にしたことを特徴とする超音
    波モータ。
  2. (2)上記駆動源は、圧電素子と電極にて構成され、こ
    れらが上記共振小片に対応する位置に分割されて配置さ
    れたことを特徴とする請求項(1)に記載の超音波モー
    タ。
  3. (3)上記駆動源は、圧電素子と電極にて構成され、該
    電極のみが上記共振小片に対応する位置に分割されて配
    置されたことを特徴とする請求項(1)に記載の超音波
    モータ。
JP1107050A 1989-04-26 1989-04-26 超音波モータ Pending JPH02285977A (ja)

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JP (1) JPH02285977A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04202764A (ja) * 1990-11-30 1992-07-23 Nippon Denso Kogyo Kk 圧電素子を利用した電子ビーム蒸着装置
JP2008079499A (ja) * 2007-11-09 2008-04-03 Japan Science & Technology Agency 位置決め装置

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