JPH02285273A - 磁気抵抗効果素子 - Google Patents
磁気抵抗効果素子Info
- Publication number
- JPH02285273A JPH02285273A JP1106502A JP10650289A JPH02285273A JP H02285273 A JPH02285273 A JP H02285273A JP 1106502 A JP1106502 A JP 1106502A JP 10650289 A JP10650289 A JP 10650289A JP H02285273 A JPH02285273 A JP H02285273A
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- JP
- Japan
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- pad part
- aspect ratio
- hysteresis
- generation
- rectangular
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- Pending
Links
- 230000000694 effects Effects 0.000 title claims abstract description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 9
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 5
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 3
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 abstract description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 2
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気信号を強磁性体薄膜の磁気抵抗効果を利
用してネ食出する磁気エンコーダー、磁気ヘッド等の磁
気抵抗効果素子に関するものである。
用してネ食出する磁気エンコーダー、磁気ヘッド等の磁
気抵抗効果素子に関するものである。
磁気抵抗効果素子は、磁気信号に対して検出感度が極め
て高いことから高精度の回転検出あるいは位置検出セン
サとして利用されている。一般に、その感磁部には強磁
性薄膜を用い、配線部には抵抗率の低い＾β、Ｃｕなど
が用いられ、その電気的接続のために感磁部パターンの
両端に電極取り出し用の長方形のパッドを設けている。
て高いことから高精度の回転検出あるいは位置検出セン
サとして利用されている。一般に、その感磁部には強磁
性薄膜を用い、配線部には抵抗率の低い＾β、Ｃｕなど
が用いられ、その電気的接続のために感磁部パターンの
両端に電極取り出し用の長方形のパッドを設けている。
このパッドの大きさは従来電気的接続に必要な面積のみ
を規定していた。
を規定していた。
〔発明が解決しようとする問題点二
しかし、本発明者が検討した結果、この強磁性薄膜の長
方形のパッドの縦横比が磁化容易軸を長手方向とした場
合に２以下である磁気抵抗効果素子においては、第３図
に示す抵抗変化の磁場履歴曲線（ＭＲ凸曲線においてＡ
およびＢの両曲線で示されるような径路が異なる特性と
なり、ヒステリシスが存在するため検出された信号波形
に乱れを生ずるという問題点のあることを見出した。
方形のパッドの縦横比が磁化容易軸を長手方向とした場
合に２以下である磁気抵抗効果素子においては、第３図
に示す抵抗変化の磁場履歴曲線（ＭＲ凸曲線においてＡ
およびＢの両曲線で示されるような径路が異なる特性と
なり、ヒステリシスが存在するため検出された信号波形
に乱れを生ずるという問題点のあることを見出した。
本発明者は、磁性薄膜における磁区観察を行ない、第４
図に示すように、パッド部で発生する磁壁が感磁部に進
入することが原因でヒステリシスが生ずると考えられた
。
図に示すように、パッド部で発生する磁壁が感磁部に進
入することが原因でヒステリシスが生ずると考えられた
。
本発明の目的は、パッド部の磁壁の発生が感磁部に進入
する事を抑制し、ヒステリシスの少ない磁気抵抗効果素
子を提供することである。
する事を抑制し、ヒステリシスの少ない磁気抵抗効果素
子を提供することである。
本発明は、上記目的を達成するために、強磁性薄膜から
なる感磁部の電極取り出しパッド部の形状を容易磁化方
向を長手方向（縦方向）とする長方形とし、その縦横比
を３以上とすることにより、パッド部の磁壁の発生を抑
制することを特徴とするものである。
なる感磁部の電極取り出しパッド部の形状を容易磁化方
向を長手方向（縦方向）とする長方形とし、その縦横比
を３以上とすることにより、パッド部の磁壁の発生を抑
制することを特徴とするものである。
第１図に容易磁化方向を長手とする長方形パッド部の縦
横比とパッド部の磁壁の発生の関係を示す。Ｏ印は長方
形パッド部において、長手方向に１８０’磁壁の発生の
ないもの、×印は長方形パッド部の長手方向に１８０°
磁壁が発生した場合である。この図に示すように、縦横
比を３以上にすることにより、長方形パッド部長手方向
に発生する１８０’磁壁と抑制できる。
横比とパッド部の磁壁の発生の関係を示す。Ｏ印は長方
形パッド部において、長手方向に１８０’磁壁の発生の
ないもの、×印は長方形パッド部の長手方向に１８０°
磁壁が発生した場合である。この図に示すように、縦横
比を３以上にすることにより、長方形パッド部長手方向
に発生する１８０’磁壁と抑制できる。
本発明の磁気抵抗効果素子の実施例を説明する。
ガラス基板上に膜厚４００人の強磁性体であるパーマロ
イ薄膜を形成し、ウェットエツチング法により感磁部ス
トライプ幅を３０μｍ１長方形パツド部の縦を１６０μ
ｍ、幅を４０μｍをもつ磁気抵抗効果素子を形成し、Ｍ
Ｒ曲線を測定したところ、第２図に示すようになり、ヒ
ステリシスを低減できた。
イ薄膜を形成し、ウェットエツチング法により感磁部ス
トライプ幅を３０μｍ１長方形パツド部の縦を１６０μ
ｍ、幅を４０μｍをもつ磁気抵抗効果素子を形成し、Ｍ
Ｒ曲線を測定したところ、第２図に示すようになり、ヒ
ステリシスを低減できた。
このため、上記形状の磁性薄膜パッド部を有する磁気抵
抗効果素子を作製すると、ヒステリシスに起因する信号
波形の乱れを低減することが可能となり、優れた特性の
磁気抵抗素子を作製できる。
抗効果素子を作製すると、ヒステリシスに起因する信号
波形の乱れを低減することが可能となり、優れた特性の
磁気抵抗素子を作製できる。
本発明の磁気抵抗効果素子は、感磁部パターン端部に設
ける長方形の電極パッド部の形状を磁化容易軸を長手と
する縦横比を３以上とすることにより、ヒステリシスの
原因となる磁壁の発生を低減できるので、出力信号波形
の乱れが低減され、検出精度を向上させることができる
。
ける長方形の電極パッド部の形状を磁化容易軸を長手と
する縦横比を３以上とすることにより、ヒステリシスの
原因となる磁壁の発生を低減できるので、出力信号波形
の乱れが低減され、検出精度を向上させることができる
。
第１図は長方形パッド部の縦横比と磁区構造の関係を示
した図、第２図は本発明の磁気抵抗効果素子のＭＲ［Ｉ
ｌ］！Ｖ、第３図は従来の磁気抵抗効果素子のＭＲｄｌ
ｌｉ線、第４図は従来の磁性薄膜の感磁部および端子部
パッドの磁区構造を示す説明図である。
した図、第２図は本発明の磁気抵抗効果素子のＭＲ［Ｉ
ｌ］！Ｖ、第３図は従来の磁気抵抗効果素子のＭＲｄｌ
ｌｉ線、第４図は従来の磁性薄膜の感磁部および端子部
パッドの磁区構造を示す説明図である。
Claims (2)
- （１）磁気抵抗効果を有する強磁性体薄膜より成る感磁
部パターンの端部に設けた電極取り出しパッド部の形状
を長方形とし、その縦横比を３以上とすることを特徴と
する磁気抵抗効果素子。 - （２）請求項１記載の磁気抵抗効果素子において、長方
形パッド部の長手方向を容易磁化方向とすることを特徴
とする磁気抵抗効果素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1106502A JPH02285273A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 磁気抵抗効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1106502A JPH02285273A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 磁気抵抗効果素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02285273A true JPH02285273A (ja) | 1990-11-22 |
Family
ID=14435211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1106502A Pending JPH02285273A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 磁気抵抗効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02285273A (ja) |
-
1989
- 1989-04-26 JP JP1106502A patent/JPH02285273A/ja active Pending
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