JPH02284614A - フィルター材 - Google Patents

フィルター材

Info

Publication number
JPH02284614A
JPH02284614A JP10659189A JP10659189A JPH02284614A JP H02284614 A JPH02284614 A JP H02284614A JP 10659189 A JP10659189 A JP 10659189A JP 10659189 A JP10659189 A JP 10659189A JP H02284614 A JPH02284614 A JP H02284614A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter medium
porous film
film material
filter
electret filter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10659189A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2788976B2 (ja
Inventor
Satoru Kazuyasu
一安　哲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Gore Tex Inc
Original Assignee
Japan Gore Tex Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Japan Gore Tex Inc filed Critical Japan Gore Tex Inc
Priority to JP1106591A priority Critical patent/JP2788976B2/ja
Priority to EP90304321A priority patent/EP0395331A1/en
Priority to CA 2015548 priority patent/CA2015548A1/en
Publication of JPH02284614A publication Critical patent/JPH02284614A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2788976B2 publication Critical patent/JP2788976B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/16—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres
    • B01D39/1607—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres the material being fibrous
    • B01D39/1623—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres the material being fibrous of synthetic origin
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/28—Plant or installations without electricity supply, e.g. using electrets

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「発明の目的」 本発明はフィルター材の創案に係り、捕集効率が高（て
高清浄度を適切に形成せしめ、しかも圧力損失の少いフ
ィルター材を提供し、又自己発塵や２次汚染をみること
がないと共に濡れによる性能変化がなくて高効率で低コ
ストな清浄化処理を実施することのできるフィルター材
を提供しようとするものである。
（産業上の利用分野） 半導体や精密電子機器、各種薬品ないし生化学的物品の
製造設備、それらの物品の実験や医療設備ないし精密機
器の内部雰囲気を清浄化するだめのフィルター材。
（従来の技術） 近時における高度の技術的進歩は、半導体類や精密電子
機器、各種薬品ないし生化学的物品の製造設備やそれら
物品に関する実験や測定、医療設備ないし精密機器の如
きの内部雰囲気を高度に清浄化することが要請され、こ
のような場合においてそれらの製造設備ないしく人品に
関してフィルターを用い空気などを循１７通過せしめて
濾過するごとが行われている。従ってこのような目的で
用いられるフィルター材に関しては従来から種々のもの
が提案され且つ実用化されている。
即ち不織布その他の微細繊維の層状集合体、合成樹脂な
どによる連続多孔質ｍ織材などがこのような濾過目的で
採用されている。
又近時フィルターを構成する繊維の個々をエレクトレフ
ト化処理したエレクトレフトフィルターが発表され、ク
ーロン力と誘起力を作用せしめて優れた捕集力が得られ
、同じ捕集能力が低い圧力損失で達成される有利さがあ
り、又化学的要因による損傷や２次汚染の少いろ材であ
る。
（発明が解決しようとする課題） 然し上記したような従来のフィルター材においてはその
捕集率を高めようとすると圧力損失が大となることが一
般である。即ち捕集率を高めるには微細孔組織とするこ
とが必要で、微細孔組織とするならば必然的に圧力空気
における圧力損失が大とならざるを得ない。特にこのこ
とは捕集率が９８％を超えるような場合において著しく
圧力損失が急激に上昇し、このよう゛に捕集率が高まる
ことによって清浄化が高度に得られるとしてもそのため
の運転操業費は頗る高価なものとならざるを得ない。
又上記のようなフィルターとして一般的に採用されてい
る繊維材を層状として形成したものは自己発塵性があり
、成程捕集しても一方においてこの自己発塵により折角
の雰囲気を汚損する。更に上記したような各種製品を得
るに当っては化学薬品の用いられることが多く、それら
化学薬品によるガスまたはシストが雰囲気中に発散する
とフィルター材を損傷、化学反応せしめ、その化学反応
による２次汚染を招く。
上記のような化学的要因による損傷ないし２次汚染の少
いフィルターとして開発されたエレクトレットろ材は捕
集効率が従来のガラス繊維はど高く得られない。又この
エレクトレットろ材は一般的なフィルターと異り、ダス
ト径が０．１μｍ以上の粒子に対する捕集効率が高くな
らないし、その捕集原理が静電気によるものであること
から濡れると捕集機構が作用しなくなり効率が極端に低
下する。
「発明の構成Ｊ （課題を解決するための手段） １、繊維状樹脂素材に電荷を保持せしめたものにより層
状に形成されたエレクトレットろ材に合成樹脂膜をフィ
ブリル化して得られた多孔質フィルム材を複合せしめた
ことを特徴とするフィルター材。
２、多孔質フィルム材としてポリテトラフルオロエチレ
ンの延伸処理による多孔質化材を用いる前記１項に記載
のフィルター材。
３、　エレクトレットろ材と多孔質フィルム材をラミネ
ートした前記１項に記載のフィルター材。
４、　多孔質フィルム材でエレクトレットろ材の表面を
被包した前記１〜３項の何れか１つに記載のフィルター
材。
（作用） 多孔質フィルム材が捕集率を高め、しかもエレクトレッ
トろ材に対する水分や化学成分の進入耐着とそれに伴う
性能低下を防止する。
エレクトレットろ材により圧力損失を低下せしめ、この
ものを前記した多孔質フィルム材に複合せしめることに
より高捕集率で圧力損失の少いフィルター材とする。
多孔質フィルム材は自己発塵がなく、又このものがエレ
クトレットろ材の下流側に用いられることにより該エレ
クトレットろ材からの発塵をも捕集する。
（実施例） 上記したような本発明によるものの具体的な実施態様を
添附図面に示すものについて説明すると、本発明による
ものの基本的な実施形態は第１図に示す如くであって、
繊維状樹脂素材に対し高電圧を印加して半永久的に電荷
を保持せしめ、不織布状とされたエレクトレットろ材２
にポリテトラフルオロエチレン膜を延伸処理しフィブリ
ル化せしめて得られる多孔質フィルム材１を重合し、熱
もしくは接着剤などを用いてラミネートしたものである
。
又第２図のものは用いるフィルム材１およびエレクトレ
ットろ材２としては上記と同様であるが更に樹脂繊維不
織布３を用い、フィルＪ、材１に対しこの不織布３をラ
ミネートしたものに前記ろ材２をラミネートさせたもの
である。
更に第３図のものは前記ろ材２を上述したフィルム材１
で被包し、部分的に点または線接着したものであり、フ
ィルム材１としては前記第２図のもののように不織布３
をラミネートしたものを用いることができる。
又第４図のものは前記した第１〜３図のよ・うな何れか
の手法で得られた複合フィルター材５をプリーツ状に加
工し、枠材４を施して固定したフィルターアッセンブリ
ーを示すものである。
前記したようなエレクトレット 電荷を保持せしめる方法としては直流電圧を軟化点近い
加熱条件下で印加する方法の外に、コロナ放電させるか
絶縁破壊に近い高電圧を室温で印加する方法が代表的で
あるが、又真空中で低下エネルギーの電子線を照射し、
あるいは軟化温度に加熱したものに強い静磁線を作用せ
しめ、若しくは試料を加圧変形させて電荷の分離とトラ
ップを生せしめ空間電荷を形成するような寸法によって
もよい。不織布状に形成するための手法としてはヒート
エンボス法、ニードルバンチ法などを採用する。
多孔質フィルム材１として好ましいものは前記のように
ポリテトラフルオロエチレンの延伸多孔質材であって、
一方向または多方向に延伸加工することによって合成樹
脂膜がフィブリル化し、強度の高いくもの巣状の微細繊
維が微小結節部の間に一方向または多方向を採って形成
されたものとなる。その孔径については１．０〜１５μ
ｍ程度で、空孔率は８０〜９５％程度であって撥水性を
具備し、上記のような組織自体がろ過作用し好ましい捕
集作用をなす。その捕集効率としては一般的に８５％以
」二である。
上記した多孔質フィルム材１とエレク［・レットろ材２
とが前述した第１〜４図のよう複合使用されることによ
り捕集効率が高く、しかも圧力１■失の少いフィルター
材を得ることができる。例えば前述のようにボリテ（・
ラフルオロエチレンによる多孔質フィルム材１の捕集効
率は一般的に９０〜９９、８％程度と高いが、圧力損失
は定格圧力損失として２。５〜２ＯｎｉＡｑ程度であり
、上記の範囲でも捕集効率の高いもの程定格圧力損失の
高いことは一般的なフィルター材におけると同じである
。
これに対しエレクトレットろ材２は捕集効率が数％から
９５％の如く広い範囲に及ふが、その定格圧力を置火は
０．５〜数＋ｎＡｑと比較的低い値を採るが、これらを
複合させることにより捕集効率が９９．５％以上でしか
も圧力損失が数ｍｍＡｑレベルのフィルター材を容易に
得しめる。
本発明によるものは前記１，たような半導体製造などの
各種製造設備や実験ないし医療設備のためのクリーンル
ームなどにおける高清浄度を得る目的のみなすハードデ
ィスク１−ライブなどの精密電子機器等における内部循
環フィルターや呼吸フィルター材の如きに広く採用され
る。然して前記り。
た多孔質フィルム材１が通過する空気流の下流側に位置
せしめられることによりユレクｌーレットろ材２より発
生したダスト分をもこの多孔質フィルム材１で捕集し、
父上流側に位置せしめられることにより撥水性をも有す
るような多孔質フィルム材１でエレクトレットろ材２に
進入耐着しようとする水分などの通過を阻止する。エレ
クトレットろ材２の両側にあることによってそれらの何
れの作用をも発揮し得ることは当然である。
本発明によるものの具体的な製造例について説明すると
以下の如くである。
ポリテトラフルオロエチレンの延伸多孔質フィルム１の
若干例として準備されたものは次の第１表の如くである
。
又このようなフィルム材１に対して、エレクトレットろ
材２として〈ｉＩ備されたものは第２表の如くである。
多孔質フィルム材１は自己発塵がなく、又濡れによる効
率低下のないものであるのに対し、エレクトレットろ材
２は自己発塵性があり、又濡れによる効率低下のあるも
のであって、これらの画材１、２を用い複合せしめたフ
ィルター材の特性を求めた結果は第３表の如くである。
第 ■ 表 傘　通気量は１２．７　霞ｉＡｇにおけるものである。
＊＊捕集効率は０．３〜０．５μｍ粒子に対する値であ
る。
第 表 本　通気量は１２．７　ｍｍＡｇにおけるものである。
＊＊捕集効率は０．３〜０．５μｍ粒子に対する値であ
る。
第 表 傘　通気量は１２．７璽負へｇにおけるものである。
＊＊捕集効率は０．３〜０．５μｍ粒子に対する値であ
る。
これら２つのフィルター材料の最適な組合せにより、低
圧力１貝失かつ高捕集効率の高性能フィルター材を得る
ことができる。
特に■と■の組合せが最適であり、夫々の材料単独では
このような低圧力損失で高捕集効率を確保することは不
可能である。また、この結果は従来のフィルター材にお
いて求め得ない結果であり、従来のものの数分の１のよ
うな圧力損失で高精度の清浄化が図られることが確認さ
れた。又エレクトレットろ材２を用いているとしても多
孔質フィルム材１の存在により自己発塵や濡れによる性
能低下を有効に防止せしめ、耐用性の高いフィルター材
であった。
「発明の効果」 以上説明したような本発明によるときは高捕集率で、し
かも圧力損失の少いフィルター材を的確に提供せしめ、
又自己発塵をなからしめると共に濡れによる性能低下を
防止、あるいは雰囲気中化学物質のガスまたはシストに
よって損傷し若しくは２次汚染を来すようなことのない
優れた特性を有し、上記のように高捕集率たることによ
って目的雰囲気を短時間内に所定清浄度に達せしめ且つ
これを維持し得ると共に圧力損失の少いことからそうし
た運転操業を低コストに図らしめるなどの効率を共に有
しており、工業的にその効果の大きい発明である。
【図面の簡単な説明】
第１図〜第３図はそれぞれ本発明の実施態様を示した断
面図、第４図はそのフィルター材アッセンブリーについ
ての説明図である。 然してこれらの図面において、■は多孔質フィルム材、
２はエレクトレットろ材、３は不織布、４は枠材を示す
ものである。 竿 第 竿 第 薗 丁−続主甫正書

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、繊維状樹脂素材に電荷を保持せしめたものにより層
    状に形成されたエレクトレットろ材に合成樹脂膜をフィ
    ブリル化して得られた多孔質フィルム材を複合せしめた
    ことを特徴とするフィルター材。 ２、多孔質フィルム材としてポリテトラフルオロエチレ
    ンの延伸処理による多孔質化材を用いる請求項１に記載
    のフィルター材。 ３、エレクトレットろ材と多孔質フィルム材をラミネー
    トした請求項１に記載のフィルター材。 ４、多孔質フィルム材でエレクトレットろ材の表面を被
    包した請求項１〜３の何れか１つに記載のフィルター材
    。
JP1106591A 1989-04-26 1989-04-26 フィルター材 Expired - Lifetime JP2788976B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1106591A JP2788976B2 (ja) 1989-04-26 1989-04-26 フィルター材
EP90304321A EP0395331A1 (en) 1989-04-26 1990-04-23 Electret filter material
CA 2015548 CA2015548A1 (en) 1989-04-26 1990-04-26 Electret filter material

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1106591A JP2788976B2 (ja) 1989-04-26 1989-04-26 フィルター材

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02284614A true JPH02284614A (ja) 1990-11-22
JP2788976B2 JP2788976B2 (ja) 1998-08-20

Family

ID=14437425

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1106591A Expired - Lifetime JP2788976B2 (ja) 1989-04-26 1989-04-26 フィルター材

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0395331A1 (ja)
JP (1) JP2788976B2 (ja)
CA (1) CA2015548A1 (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0513514U (ja) * 1991-08-05 1993-02-23 日本ケンブリツジ・フイルター株式会社 フイルター
JPH0513513U (ja) * 1991-08-05 1993-02-23 日本ケンブリツジ・フイルター株式会社 フイルター
JPH0539622U (ja) * 1991-11-11 1993-05-28 日本ケンブリツジ・フイルター株式会社 フイルタ
US5834528A (en) * 1994-04-28 1998-11-10 Daikin Industries Ltd. Polytetrafluoroethylene porous composite film
JP2008018350A (ja) * 2006-07-13 2008-01-31 Toray Ind Inc 耐水性エレクトレットシートおよび平行流型エアフィルター
JP2008525692A (ja) * 2004-12-23 2008-07-17 ダブリュ．エル．ゴア アンド アソシエーツ，ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング タービン空気吸入口フィルター
JP2008531279A (ja) * 2005-03-07 2008-08-14 ゴア エンタープライズ ホールディングス，インコーポレイティド 複合フィルタ媒体
JP2009501438A (ja) * 2005-07-14 2009-01-15 ダブリュ．エル．ゴア アンド アソシエーツ，ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 電子部品冷却用ファン冷却ユニット
WO2013031228A1 (ja) * 2011-08-31 2013-03-07 ダイキン工業株式会社 エアフィルタ用濾材及びエアフィルタユニット
JP2013056343A (ja) * 2004-05-18 2013-03-28 Asahi Kasei Chemicals Corp 気体分離装置、及びその装置の運転方法
JP2021109118A (ja) * 2020-01-07 2021-08-02 株式会社エイ・エム・シイ 集塵用カートリッジ型フィルターエレメントのフィルターおよびその製造方法

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2074349C (en) * 1991-07-23 2004-04-20 Shinji Tamaru Polytetrafluoroethylene porous film and preparation and use thereof
DE4143237A1 (de) * 1991-12-31 1993-07-01 Minnesota Mining & Mfg Filterelement zum filtern von gasen und/oder fluessigkeiten, insbesondere zum filtern der in den fahrgastraum eines kraftfahrzeuges einstroemenden luft
JPH06311A (ja) * 1992-06-22 1994-01-11 Japan Gore Tex Inc ろ過材料
CA2145650A1 (en) * 1992-11-23 1994-06-09 Ray Wnenchak Triboelectric filtration material
US5721180A (en) * 1995-12-22 1998-02-24 Pike; Richard Daniel Laminate filter media
TW371284B (en) * 1996-12-04 1999-10-01 Daikin Ind Ltd Filtration material of filter and air cleaning device using the filtration material
DE19723585B4 (de) * 1997-06-05 2013-07-25 Hartwig Straub Verfahren zur Reinigung eines beladenen Filtermediums
DE19833247C2 (de) * 1998-07-23 2000-10-26 Gore W L & Ass Gmbh Schutzabdeckung eines Gebläsekühlaggregats
US7501003B2 (en) 2004-03-02 2009-03-10 Gore Enterprise Holdings Composite filter media
US7727297B2 (en) 2006-01-10 2010-06-01 Gore Enterprise Holdings, Inc. Reduced fiber disk/shroud filter for removing contaminants from an enclosure
US7837756B2 (en) 2007-04-05 2010-11-23 Aaf-Mcquay Inc. Filter with ePTFE and method of forming
US8147583B2 (en) 2007-06-08 2012-04-03 Gore Enterprise Holdings, Inc. Multiple layer filter media
US8535404B2 (en) 2009-06-12 2013-09-17 Clarcor Air Filtration Products Membrane-free filter and/or integral framing for filter
KR20130036764A (ko) 2010-07-22 2013-04-12 클라르코르 에어 필트레이션 프로덕츠, 인크. 방습 필터를 포함하는 셀프 서비스 키오스크
DE102011122348A1 (de) * 2011-12-23 2013-06-27 Hydac Filtertechnik Gmbh Verfahren zum Herstellen einer mediendurchlässigen Hülle sowie Filterelement mit einer solchen Hülle
CN111495035B (zh) * 2020-02-28 2022-09-06 中科贝思达（厦门）环保科技股份有限公司 一种驻极纳米纤维空气过滤材料及其制备方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4096227A (en) * 1973-07-03 1978-06-20 W. L. Gore & Associates, Inc. Process for producing filled porous PTFE products
NL181632C (nl) * 1976-12-23 1987-10-01 Minnesota Mining & Mfg Electreetfilter en werkwijze voor het vervaardigen daarvan.
JPS5624013A (en) * 1979-05-04 1981-03-07 Nitta Kk Structure of air filter element
US4456648A (en) * 1983-09-09 1984-06-26 Minnesota Mining And Manufacturing Company Particulate-modified electret fibers

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0513513U (ja) * 1991-08-05 1993-02-23 日本ケンブリツジ・フイルター株式会社 フイルター
JPH0513514U (ja) * 1991-08-05 1993-02-23 日本ケンブリツジ・フイルター株式会社 フイルター
JPH0539622U (ja) * 1991-11-11 1993-05-28 日本ケンブリツジ・フイルター株式会社 フイルタ
US5834528A (en) * 1994-04-28 1998-11-10 Daikin Industries Ltd. Polytetrafluoroethylene porous composite film
JP2013056343A (ja) * 2004-05-18 2013-03-28 Asahi Kasei Chemicals Corp 気体分離装置、及びその装置の運転方法
JP2011202662A (ja) * 2004-12-23 2011-10-13 Wl Gore & Associates Gmbh タービン空気吸入口フィルター
JP2008525692A (ja) * 2004-12-23 2008-07-17 ダブリュ．エル．ゴア アンド アソシエーツ，ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング タービン空気吸入口フィルター
JP2008531279A (ja) * 2005-03-07 2008-08-14 ゴア エンタープライズ ホールディングス，インコーポレイティド 複合フィルタ媒体
JP2009501438A (ja) * 2005-07-14 2009-01-15 ダブリュ．エル．ゴア アンド アソシエーツ，ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 電子部品冷却用ファン冷却ユニット
JP2008018350A (ja) * 2006-07-13 2008-01-31 Toray Ind Inc 耐水性エレクトレットシートおよび平行流型エアフィルター
WO2013031228A1 (ja) * 2011-08-31 2013-03-07 ダイキン工業株式会社 エアフィルタ用濾材及びエアフィルタユニット
JP2013052321A (ja) * 2011-08-31 2013-03-21 Daikin Industries Ltd エアフィルタ用濾材及びエアフィルタユニット
US9242201B2 (en) 2011-08-31 2016-01-26 Daikin Industries, Ltd. Filter medium for air filter and filter unit
JP2021109118A (ja) * 2020-01-07 2021-08-02 株式会社エイ・エム・シイ 集塵用カートリッジ型フィルターエレメントのフィルターおよびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CA2015548A1 (en) 1990-10-26
JP2788976B2 (ja) 1998-08-20
EP0395331A1 (en) 1990-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH02284614A (ja) フィルター材
US7501003B2 (en) Composite filter media
EP1750493B1 (en) Fan cooling unit for cooling electronic components
US6123752A (en) High efficiency synthetic filter medium
JP5439425B2 (ja) タービン空気吸入口フィルター
EP1855780B1 (en) Composite filter media
KR20090031911A (ko) 고효율 ｈｖａｃ 필터
KR100985515B1 (ko) 다층의 공기정화용 기체 여과막
Van Turnhout et al. Electret filters for high-efficiency and high-flow air cleaning
KR20200033669A (ko) 나노 섬유 시트를 포함하는 정전 필터용 여과재 및 이의 제조방법
WO2007024445A1 (en) Hvac meltblown nanoweb filter media
CN100509108C (zh) 一种复合驻极体纤维过滤材料
JP7356971B2 (ja) フィルタ濾材とこれを備えるフィルタユニット
JP2000153122A (ja) フィルタユニット
DE202005012047U1 (de) Verbundfiltermedium
JP3371806B2 (ja) エアフィルタ装置
JPH04161208A (ja) 高温気体用フィルター
KR20190028408A (ko) 엠보싱 부직포 정전필터 제조방법 및 이를 이용한 엠보싱 부직포 정전필터
JP3166866B2 (ja) エレクトレット濾材
KR102157444B1 (ko) 고성능 공기정화필터용 다중층 구조 필터여재
JPS6357090B2 (ja)
JPS6322848B2 (ja)
Prokopchuk et al. Formation of polyacrylonitrile nanofibers for air filtration by electrospinning method
US20050000890A1 (en) Hydroentangled liquid filter media and method of manufacture
JPH04193316A (ja) 濾材

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090612

Year of fee payment: 11

EXPY Cancellation because of completion of term