JPH02280035A - 画像処理による電極パターンの検査方法 - Google Patents
画像処理による電極パターンの検査方法Info
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- JPH02280035A JPH02280035A JP1102265A JP10226589A JPH02280035A JP H02280035 A JPH02280035 A JP H02280035A JP 1102265 A JP1102265 A JP 1102265A JP 10226589 A JP10226589 A JP 10226589A JP H02280035 A JPH02280035 A JP H02280035A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は画像処理によるｒ、Ｉｉ極ノくターンの検査方
法に関する。
法に関する。
［従来の技術］
従来、回路基板および表示素子等の電（・メパターンの
検査は、目視検査かテレビカメラあるいはラインセンサ
ーと画像処理装置の組合せの検査装置での良品電極パタ
ーンと検査電極パターンを同時に取り込みその差で検査
する。
検査は、目視検査かテレビカメラあるいはラインセンサ
ーと画像処理装置の組合せの検査装置での良品電極パタ
ーンと検査電極パターンを同時に取り込みその差で検査
する。
比較法と良品電極パターンを画像処理装置に記ｔはさせ
ておき、取り込んだ検査電極゛パターンと比較し、その
差で検査するパターンマツチング方であった。
ておき、取り込んだ検査電極゛パターンと比較し、その
差で検査するパターンマツチング方であった。
［発明が解決しようとする課苗］
しかし、前述の従来技術の目視検査では、欠陥の見落と
しがあり、定量的な判断が出来ず、人の目に頼るためか
なりの重労働となり、長時間の検査ができない。テレビ
カメラあるいはラインセンサーと画像処理装置の組合せ
の検査機での比較法では必ず良品電極パターンを用意し
なければならず、検査＋ｃＩｆ極パターンと良品電極パ
ターンの画像を同時に取り込むため、検査装置が大型化
し、装置価格が高くなり、良品電極パターンと検査電極
パターン画像を同条件で取り込まなければならず非常に
難しい検査装置となる。
しがあり、定量的な判断が出来ず、人の目に頼るためか
なりの重労働となり、長時間の検査ができない。テレビ
カメラあるいはラインセンサーと画像処理装置の組合せ
の検査機での比較法では必ず良品電極パターンを用意し
なければならず、検査＋ｃＩｆ極パターンと良品電極パ
ターンの画像を同時に取り込むため、検査装置が大型化
し、装置価格が高くなり、良品電極パターンと検査電極
パターン画像を同条件で取り込まなければならず非常に
難しい検査装置となる。
また・″ターンマツチング法でをよ、画像処理装置に良
品電極パターンを記憶しなければならずそのため非常に
大きなメモリ装置が必要となり、画像処理装置の価格が
高（なり検査対象電極パターンが変わるたびに良品′ｔ
！極パターンを記憶させなげればならず、工数がかかる
と〜・５問題を有するそこで、本考案はこのような問題
点を解決するもので、その目的とするところはテレビカ
メラあるいは、ラインセンサーと画像処理装置との組合
せの電極パターン検査機において、装置の小型化、低価
格化、および検査工程の簡素化を提供するところにある
。
品電極パターンを記憶しなければならずそのため非常に
大きなメモリ装置が必要となり、画像処理装置の価格が
高（なり検査対象電極パターンが変わるたびに良品′ｔ
！極パターンを記憶させなげればならず、工数がかかる
と〜・５問題を有するそこで、本考案はこのような問題
点を解決するもので、その目的とするところはテレビカ
メラあるいは、ラインセンサーと画像処理装置との組合
せの電極パターン検査機において、装置の小型化、低価
格化、および検査工程の簡素化を提供するところにある
。
［課題を解決するための手段］
本発明の画像処理による電極パターンの検査方法は、電
極パターンを取り込むテレビカメラあるいはラインセン
サーとテレビカメラ、あるいはラインセンサーで取り込
んだ画像を処理する画像処理装置の組合せの電極パター
ン検査装置において検査する？！電極パターン取り込み
、取り込んだ画像より標準パターンを作り出し、標準パ
ターンと検査パターンの比較により検査することを特徴
とする。
極パターンを取り込むテレビカメラあるいはラインセン
サーとテレビカメラ、あるいはラインセンサーで取り込
んだ画像を処理する画像処理装置の組合せの電極パター
ン検査装置において検査する？！電極パターン取り込み
、取り込んだ画像より標準パターンを作り出し、標準パ
ターンと検査パターンの比較により検査することを特徴
とする。
［実施例］
以下に本発明の実施を図面に基づいて説明する。第１図
は検査する電極パター／の一部をテレビカメラで取り、
画像処理装置で二値画像に処理し、検査用画像メモリに
入れたものである。検査用画像メモリに入っている電極
パターン１．２．５である黒画像と白画像との境界座標
を画像処理装置で求める。直線電極パターン１の場合は
、各座標より近似線を求める。この時、直ｉＪの最低長
さを設定しておき、それより短い直勝は無視する。
は検査する電極パター／の一部をテレビカメラで取り、
画像処理装置で二値画像に処理し、検査用画像メモリに
入れたものである。検査用画像メモリに入っている電極
パターン１．２．５である黒画像と白画像との境界座標
を画像処理装置で求める。直線電極パターン１の場合は
、各座標より近似線を求める。この時、直ｉＪの最低長
さを設定しておき、それより短い直勝は無視する。
例えば、電極パターンカケ６の直線部分は設定値より短
いため無視される。折線を含む直球電（スパターン２の
場合は、上記直線電極）（ターンと同喋に、各直線の近
似線を求め、その点が交差する点を折点とする。円弧と
直思で構成されている電極パターン３は、直線部は上記
と同様に求め、円弧部は各座標より数個の円弧の半径を
算出し、その平均とし直線と交わる円弧の中心を求める
。円弧の半径も最小半径を設定しておき、それ以下の半
径は無視する。以上のようにして求められた黒画像と自
画像の輪郭線７．Ｂ、９，１０，１１．１２と、無視さ
れた輪郭線１３，１４．１５を図２に示す。輪郭線７，
８，９，１０，１１，１２にはさまれている画像が黒画
像か白画像か計測し、黒画像なら黒画像、白画像なら白
画像に塗りつぶし図３のような標準パターンを標準）く
ターン画像メモリに作る。標準パターンが出来上がった
時点で、検査用画像メモリと標準パターンメモリを演算
し、差のある部分のみ検査用画像メモリに図４のように
作り、画像処理装置で計測し、電極ノくターンの検査を
行なう。
いため無視される。折線を含む直球電（スパターン２の
場合は、上記直線電極）（ターンと同喋に、各直線の近
似線を求め、その点が交差する点を折点とする。円弧と
直思で構成されている電極パターン３は、直線部は上記
と同様に求め、円弧部は各座標より数個の円弧の半径を
算出し、その平均とし直線と交わる円弧の中心を求める
。円弧の半径も最小半径を設定しておき、それ以下の半
径は無視する。以上のようにして求められた黒画像と自
画像の輪郭線７．Ｂ、９，１０，１１．１２と、無視さ
れた輪郭線１３，１４．１５を図２に示す。輪郭線７，
８，９，１０，１１，１２にはさまれている画像が黒画
像か白画像か計測し、黒画像なら黒画像、白画像なら白
画像に塗りつぶし図３のような標準パターンを標準）く
ターン画像メモリに作る。標準パターンが出来上がった
時点で、検査用画像メモリと標準パターンメモリを演算
し、差のある部分のみ検査用画像メモリに図４のように
作り、画像処理装置で計測し、電極ノくターンの検査を
行なう。
［発明の効果コ
本発明は、以上に説明したように検査：、Ｌ極パターン
より標準パターンを作る方法のため、検査装置として小
型化し、どんな電極パターンにも対応することができ検
査工程のｌ１ｊｊ素化ができる効果がある。
より標準パターンを作る方法のため、検査装置として小
型化し、どんな電極パターンにも対応することができ検
査工程のｌ１ｊｊ素化ができる効果がある。
第１図は検査用画像メモリに取り込んだ検査電極パター
ン図。 １・・・・・・・・・電極パターン ２・・・・・・・・・ｍ％ パターン ３・・・・・・・・・電極パターン ４・・・・・・・・電極パターン欠陥（ピンホール）５
・・・・・・・・・電極パターン欠陥（太り）６・・・
・・・・・・電極バター／欠陥（カケ）第２図は、座標
語算による電極パターン輪郭線図。 ７・・・・・・・・・電極パターン輪郭線８・・・・・
・・・・電極パターン輪郭紛９・・・・・・・・・電極
パターン輪郭線１０・・・・・・・・・電極パターン輪
郭線１１・・・・・・・・・電極パターン輪郭線１２・
・・・・・・・・電極パターン輪郭線１３・・・・・・
・・・無視された画像１４・・・・・・・・・無視され
た画像１５・・・・・・・・・無視された画像第３図は
、作成された標準パターン図。 第４図は、検査結果画像図。 以 上
ン図。 １・・・・・・・・・電極パターン ２・・・・・・・・・ｍ％ パターン ３・・・・・・・・・電極パターン ４・・・・・・・・電極パターン欠陥（ピンホール）５
・・・・・・・・・電極パターン欠陥（太り）６・・・
・・・・・・電極バター／欠陥（カケ）第２図は、座標
語算による電極パターン輪郭線図。 ７・・・・・・・・・電極パターン輪郭線８・・・・・
・・・・電極パターン輪郭紛９・・・・・・・・・電極
パターン輪郭線１０・・・・・・・・・電極パターン輪
郭線１１・・・・・・・・・電極パターン輪郭線１２・
・・・・・・・・電極パターン輪郭線１３・・・・・・
・・・無視された画像１４・・・・・・・・・無視され
た画像１５・・・・・・・・・無視された画像第３図は
、作成された標準パターン図。 第４図は、検査結果画像図。 以 上
Claims (1)
- 電極パターン画像を取り込むテレビカメラ、あるいはラ
インセンサーとテレビカメラ、あるいはラインセンサー
で取り込んだ画像を処理する画像処理装置の組合せの電
極パターン検査装置において、検査する電極パターンを
取り込み、取り込んだ画像より標準パターンを作り出し
標準パターンと検査パターンの比較により検査する事を
特徴とした画像処理による電極パターンの検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1102265A JPH02280035A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 画像処理による電極パターンの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1102265A JPH02280035A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 画像処理による電極パターンの検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02280035A true JPH02280035A (ja) | 1990-11-16 |
Family
ID=14322764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1102265A Pending JPH02280035A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 画像処理による電極パターンの検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02280035A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110998815A (zh) * | 2017-07-31 | 2020-04-10 | 东京毅力科创株式会社 | 检查装置、检查方法和存储介质 |
-
1989
- 1989-04-21 JP JP1102265A patent/JPH02280035A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110998815A (zh) * | 2017-07-31 | 2020-04-10 | 东京毅力科创株式会社 | 检查装置、检查方法和存储介质 |
| CN110998815B (zh) * | 2017-07-31 | 2023-10-27 | 东京毅力科创株式会社 | 检查装置、检查方法和存储介质 |
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