JPH0227639A - マグネトロンの製造方法 - Google Patents
マグネトロンの製造方法Info
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- JPH0227639A JPH0227639A JP17761488A JP17761488A JPH0227639A JP H0227639 A JPH0227639 A JP H0227639A JP 17761488 A JP17761488 A JP 17761488A JP 17761488 A JP17761488 A JP 17761488A JP H0227639 A JPH0227639 A JP H0227639A
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 10
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 12
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 13
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- 210000003437 trachea Anatomy 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Microwave Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
イ)M!業上の利用分野
本発明は、マグネトロン、特に排気管の構成に関する。
(ロ)従来の技術
一般のマグネトロンの製造方法を第3図に基づき説明す
る。先ず、マグネトロンを説明すると、(1)は無酸素
鋼製筒状陽極体で、内面から中心に向って複数のベイン
(2)が一体的に形成されている。
る。先ず、マグネトロンを説明すると、(1)は無酸素
鋼製筒状陽極体で、内面から中心に向って複数のベイン
(2)が一体的に形成されている。
(3)はベイン先端で囲まれる空間に配役される陰極で
、フィラメント(4)を有している。(51(61は陽
極体(1)の両開口縁に装着される一対の磁極片、(7
)は陽極体(1)の一方の開口縁に封着金属(8)を介
して気密封着される陰極ステムで、陰極(3)を支持す
る陰極リード(9)Offを支持している。αυは陽極
体(1)の他方の開口縁lζ封着金属■及び絶縁体■を
介して気密封着される無酸素銅製排気管、α力は一端が
ベイン(2)に接続され、他端が排気管I内に挿入され
るアンテナリードで、前記排気管αυは所定位置(15
1でアンテナリードα勾と共に封止切り工具Cl61に
よって封止切りされ、マグネトロン内部を真空に保持す
るようになっている。
、フィラメント(4)を有している。(51(61は陽
極体(1)の両開口縁に装着される一対の磁極片、(7
)は陽極体(1)の一方の開口縁に封着金属(8)を介
して気密封着される陰極ステムで、陰極(3)を支持す
る陰極リード(9)Offを支持している。αυは陽極
体(1)の他方の開口縁lζ封着金属■及び絶縁体■を
介して気密封着される無酸素銅製排気管、α力は一端が
ベイン(2)に接続され、他端が排気管I内に挿入され
るアンテナリードで、前記排気管αυは所定位置(15
1でアンテナリードα勾と共に封止切り工具Cl61に
よって封止切りされ、マグネトロン内部を真空に保持す
るようになっている。
マグネトロンは以上からなり、排気管Iを真空装置の結
合装置に接続し、即ち、排気管αDを真空装置の吸気管
αり内に挿入し、締付環化を技気管αη外周先端部に形
成された冷却室日外周に締付け、吸気管a刀と締付環C
Iねとの間に配設された0リング■を弾性変形させて排
気管lを気密に装着する。
合装置に接続し、即ち、排気管αDを真空装置の吸気管
αり内に挿入し、締付環化を技気管αη外周先端部に形
成された冷却室日外周に締付け、吸気管a刀と締付環C
Iねとの間に配設された0リング■を弾性変形させて排
気管lを気密に装着する。
そして、フィラメント(4]に通電し、マグネトロンを
使用時の温度より高い400〜600’Cに加熱しなが
ら真空装置を作動させ、マグネトロン内部の空気を抜く
。即ち、排気効率の向上と、マグネトロンを構成する各
部材表面に付着したガスの放出を促進させる為、マグネ
トロンを加熱するのである。
使用時の温度より高い400〜600’Cに加熱しなが
ら真空装置を作動させ、マグネトロン内部の空気を抜く
。即ち、排気効率の向上と、マグネトロンを構成する各
部材表面に付着したガスの放出を促進させる為、マグネ
トロンを加熱するのである。
も伝導されるが、0リング■は一般1こ合成ゴム製であ
り、その最高使用温度は約250℃であるから、Oリン
グ■が破損する虞れがある、そこで、吸気管α刀先端外
周部の冷却室αSに給水管(社)と排水管(支)を接続
し、冷却室側に冷却水を通して0リング■を冷却するよ
うになっている。
り、その最高使用温度は約250℃であるから、Oリン
グ■が破損する虞れがある、そこで、吸気管α刀先端外
周部の冷却室αSに給水管(社)と排水管(支)を接続
し、冷却室側に冷却水を通して0リング■を冷却するよ
うになっている。
しかしながら、冷却室α■に冷却水を通すと、排気管O
Dをも冷却してしまい、排気管圓は高熱伝導性の無酸素
銅製であるから、この冷却の影響が封着金属a21こま
で及び、温度上昇が抑制されて表面に吸着したガスを完
全に排出できない欠点がある。
Dをも冷却してしまい、排気管圓は高熱伝導性の無酸素
銅製であるから、この冷却の影響が封着金属a21こま
で及び、温度上昇が抑制されて表面に吸着したガスを完
全に排出できない欠点がある。
即ち、マグネトロンの温度分布を第2図に基づき説明す
ると、A、B、C,D、E、Fは各々第3図における陰
極側封着金属(8)、陽極体(1)、出力側封着金属■
、排気管圓一端側(陽極体(1)側)、排気管圓中央部
、排気管(社)他端側の温度測定点を示し、破線が本従
来例の温度分布である。この第2図から排気管圓一端側
の温度測定点りの温度は約250℃で、実使用時の温度
的300℃より低いことがわかる。この温度測定点りは
排気管αυの封止切り後アンテナを構成する部分であり
、実使用時には250℃以上になり、前述した排気工程
で表面に吸着したまま残留したガスが放出され、マグネ
トロンの真空度を低下させ、正常な発振動作を阻害する
欠点があった。
ると、A、B、C,D、E、Fは各々第3図における陰
極側封着金属(8)、陽極体(1)、出力側封着金属■
、排気管圓一端側(陽極体(1)側)、排気管圓中央部
、排気管(社)他端側の温度測定点を示し、破線が本従
来例の温度分布である。この第2図から排気管圓一端側
の温度測定点りの温度は約250℃で、実使用時の温度
的300℃より低いことがわかる。この温度測定点りは
排気管αυの封止切り後アンテナを構成する部分であり
、実使用時には250℃以上になり、前述した排気工程
で表面に吸着したまま残留したガスが放出され、マグネ
トロンの真空度を低下させ、正常な発振動作を阻害する
欠点があった。
Pi 発明が解決しようとする課題
本発明は上記欠点に鑑みなされたもので、真空装置側か
らの冷却による影響を抑制し、真空度不良のない高品質
なマグネトロンを提供することを課題とする。
らの冷却による影響を抑制し、真空度不良のない高品質
なマグネトロンを提供することを課題とする。
に)課題を解決するための手段
上記課題を解決するため、排気管は陽極体側を高導電性
材料、真空装置側を低熱伝導性材料で構成し、高導電性
材料部分でアンテナリードと共に封止切りする。
材料、真空装置側を低熱伝導性材料で構成し、高導電性
材料部分でアンテナリードと共に封止切りする。
(ホ)作用
排気管の低熱伝導性材料部分を、真空装置化。
リングによって気密tζ装着し、マグネトロンを加熱し
ながら内部に空気を真空装置により排出し、一方、0リ
ングは冷却水によって冷却され、マグネトロンからの熱
の影響による劣化を防止する。
ながら内部に空気を真空装置により排出し、一方、0リ
ングは冷却水によって冷却され、マグネトロンからの熱
の影響による劣化を防止する。
この冷却水により低熱伝導性材料部分も冷却されるが、
高導電性材料部分側への冷却水による冷却の影響は小さ
くなる。従って、マグネトロンの各構成部品は高温にな
り、各部品表面に吸着したガスはほぼ完全に放出される
。
高導電性材料部分側への冷却水による冷却の影響は小さ
くなる。従って、マグネトロンの各構成部品は高温にな
り、各部品表面に吸着したガスはほぼ完全に放出される
。
(へ)実施例
本発明の一実施例を第1図に基づき以下に詳述する。尚
、従来と同一部品は同一符号を附して説明を省略する。
、従来と同一部品は同一符号を附して説明を省略する。
器は排気管で、一端に絶縁休日に気密封着される封止部
(24a)を有する無酸素銅製金属パイプ(支)と、該
排気パイプの他端にロウ付は等により気密接合される鉄
やセラi yり等の低熱伝導性材料製接続パイプ(至)
とから構成されており、前記金属パイプ(財)は他端が
封止切りを行なう所定位置α9より外方へ延設する程度
の長さに形成されている。
(24a)を有する無酸素銅製金属パイプ(支)と、該
排気パイプの他端にロウ付は等により気密接合される鉄
やセラi yり等の低熱伝導性材料製接続パイプ(至)
とから構成されており、前記金属パイプ(財)は他端が
封止切りを行なう所定位置α9より外方へ延設する程度
の長さに形成されている。
而して、排気管@の接続パイプ□□□を真空装置の結合
装置に気密装着し、従来と同様にフィラメント(4)に
通電し、マグネトロンを加熱しながら真空装置によりマ
グネトロン内部の空気を排出し、冷却室α■に冷却水を
通して0リング■を保護するう冷却水により接続パイプ
■が冷却されるが、接続パイプは低熱伝導性材料によっ
て構成されているので、金属パイプ源側への冷却水によ
る冷却の影響は小さくなる。従って、陽極体(1)、磁
極片(5+(6)、封着金属<8102.陰極ステム(
7)、絶縁体(至)及び金属パイプ(至)が高温になり
、各部材の表面に吸着したガスはほぼ完全に放出される
。
装置に気密装着し、従来と同様にフィラメント(4)に
通電し、マグネトロンを加熱しながら真空装置によりマ
グネトロン内部の空気を排出し、冷却室α■に冷却水を
通して0リング■を保護するう冷却水により接続パイプ
■が冷却されるが、接続パイプは低熱伝導性材料によっ
て構成されているので、金属パイプ源側への冷却水によ
る冷却の影響は小さくなる。従って、陽極体(1)、磁
極片(5+(6)、封着金属<8102.陰極ステム(
7)、絶縁体(至)及び金属パイプ(至)が高温になり
、各部材の表面に吸着したガスはほぼ完全に放出される
。
マグネトロン内部が所定の真空度に達すると、封止切り
工具αeにて金属パイプ飢の所定位置例をアンテナリー
ドαΦと共に圧潰して封止切りを行ない、マグネトロン
を真空に保持する。
工具αeにて金属パイプ飢の所定位置例をアンテナリー
ドαΦと共に圧潰して封止切りを行ない、マグネトロン
を真空に保持する。
接続パイプ□□□を軟鋼製とした一例の温度分布を第2
図実線にて示す。第2図からこの一例は破線で示す従来
に比べ全体的に温度が高くなっていることがわかる。真
空に保持されてマグネトロンを構成する部分における測
定点A、B、C,Dの内、最も温度の低い測定点りで約
470℃となっており、各部品表面に吸着したガスはほ
ぼ完全に放出されることがわかる。従って、使用時に各
部品表面からガスが放出されることはなく、マグネトロ
ン内部の真空度が低下することはない、(ト)発明の効
果 以上の如く本発明に依れば、排気工程中における陽極体
や排気管の高導電性材料部分等のマグネトロン構成部品
に対する冷却水の冷却による影響を小さくして、マグネ
トロン構成部品を充分に高温に加熱することができ、各
構成部品表面に吸着したガスをほぼ完全に放出すること
ができ、従って、真空度不良を抑制することができる等
の効果を奏する。
図実線にて示す。第2図からこの一例は破線で示す従来
に比べ全体的に温度が高くなっていることがわかる。真
空に保持されてマグネトロンを構成する部分における測
定点A、B、C,Dの内、最も温度の低い測定点りで約
470℃となっており、各部品表面に吸着したガスはほ
ぼ完全に放出されることがわかる。従って、使用時に各
部品表面からガスが放出されることはなく、マグネトロ
ン内部の真空度が低下することはない、(ト)発明の効
果 以上の如く本発明に依れば、排気工程中における陽極体
や排気管の高導電性材料部分等のマグネトロン構成部品
に対する冷却水の冷却による影響を小さくして、マグネ
トロン構成部品を充分に高温に加熱することができ、各
構成部品表面に吸着したガスをほぼ完全に放出すること
ができ、従って、真空度不良を抑制することができる等
の効果を奏する。
第1図は本発明一実施例のマグネトロン製造工程を説明
する断面図、第2図はマグネトロンの温度分布図、第3
図は従来のマグネトロン製造工程を説明する断面図であ
る。 (1)・・・陽極体、α枦・・アンテナリード、■・・
・排気管、(財)・・・金属パイプ(高導電性材料部分
)、の・・・接続パイプ(低熱伝導性材料部分)。
する断面図、第2図はマグネトロンの温度分布図、第3
図は従来のマグネトロン製造工程を説明する断面図であ
る。 (1)・・・陽極体、α枦・・アンテナリード、■・・
・排気管、(財)・・・金属パイプ(高導電性材料部分
)、の・・・接続パイプ(低熱伝導性材料部分)。
Claims (1)
- (1)真空装置を作動して排気管を介して陽極体内を排
気し、前記排気管をアンテナリードと共に封止切りして
構成するマグネトロンにおいて、前気排気管は、陽極体
側を高導電性材料、真空装置側を低熱伝導性材料で構成
し、前記高導電性材料部分でアンテナリードと共に封止
切りしてなるマグネトロン
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17761488A JP2698106B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | マグネトロンの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17761488A JP2698106B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | マグネトロンの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0227639A true JPH0227639A (ja) | 1990-01-30 |
JP2698106B2 JP2698106B2 (ja) | 1998-01-19 |
Family
ID=16034085
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17761488A Expired - Fee Related JP2698106B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | マグネトロンの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2698106B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5874876A (en) * | 1995-12-28 | 1999-02-23 | Niles Parts Co., Ltd. | Electromagnetic relay structure |
-
1988
- 1988-07-15 JP JP17761488A patent/JP2698106B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5874876A (en) * | 1995-12-28 | 1999-02-23 | Niles Parts Co., Ltd. | Electromagnetic relay structure |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2698106B2 (ja) | 1998-01-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |