JPH0227639A - マグネトロンの製造方法 - Google Patents

マグネトロンの製造方法

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JPH0227639A
JPH0227639A JP17761488A JP17761488A JPH0227639A JP H0227639 A JPH0227639 A JP H0227639A JP 17761488 A JP17761488 A JP 17761488A JP 17761488 A JP17761488 A JP 17761488A JP H0227639 A JPH0227639 A JP H0227639A
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JP
Japan
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magnetron
conductive material
vacuum device
exhaust pipe
high conductive
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JP17761488A
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Kunitada Tsuboi
坪井 国忠
Akifumi Kuroda
黒田 昌文
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Sanyo Electric Co Ltd
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Sanyo Electric Co Ltd
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ)M!業上の利用分野 本発明は、マグネトロン、特に排気管の構成に関する。
(ロ)従来の技術 一般のマグネトロンの製造方法を第3図に基づき説明す
る。先ず、マグネトロンを説明すると、(1)は無酸素
鋼製筒状陽極体で、内面から中心に向って複数のベイン
(2)が一体的に形成されている。
(3)はベイン先端で囲まれる空間に配役される陰極で
、フィラメント(4)を有している。(51(61は陽
極体(1)の両開口縁に装着される一対の磁極片、(7
)は陽極体(1)の一方の開口縁に封着金属(8)を介
して気密封着される陰極ステムで、陰極(3)を支持す
る陰極リード(9)Offを支持している。αυは陽極
体(1)の他方の開口縁lζ封着金属■及び絶縁体■を
介して気密封着される無酸素銅製排気管、α力は一端が
ベイン(2)に接続され、他端が排気管I内に挿入され
るアンテナリードで、前記排気管αυは所定位置(15
1でアンテナリードα勾と共に封止切り工具Cl61に
よって封止切りされ、マグネトロン内部を真空に保持す
るようになっている。
マグネトロンは以上からなり、排気管Iを真空装置の結
合装置に接続し、即ち、排気管αDを真空装置の吸気管
αり内に挿入し、締付環化を技気管αη外周先端部に形
成された冷却室日外周に締付け、吸気管a刀と締付環C
Iねとの間に配設された0リング■を弾性変形させて排
気管lを気密に装着する。
そして、フィラメント(4]に通電し、マグネトロンを
使用時の温度より高い400〜600’Cに加熱しなが
ら真空装置を作動させ、マグネトロン内部の空気を抜く
。即ち、排気効率の向上と、マグネトロンを構成する各
部材表面に付着したガスの放出を促進させる為、マグネ
トロンを加熱するのである。
も伝導されるが、0リング■は一般1こ合成ゴム製であ
り、その最高使用温度は約250℃であるから、Oリン
グ■が破損する虞れがある、そこで、吸気管α刀先端外
周部の冷却室αSに給水管(社)と排水管(支)を接続
し、冷却室側に冷却水を通して0リング■を冷却するよ
うになっている。
しかしながら、冷却室α■に冷却水を通すと、排気管O
Dをも冷却してしまい、排気管圓は高熱伝導性の無酸素
銅製であるから、この冷却の影響が封着金属a21こま
で及び、温度上昇が抑制されて表面に吸着したガスを完
全に排出できない欠点がある。
即ち、マグネトロンの温度分布を第2図に基づき説明す
ると、A、B、C,D、E、Fは各々第3図における陰
極側封着金属(8)、陽極体(1)、出力側封着金属■
、排気管圓一端側(陽極体(1)側)、排気管圓中央部
、排気管(社)他端側の温度測定点を示し、破線が本従
来例の温度分布である。この第2図から排気管圓一端側
の温度測定点りの温度は約250℃で、実使用時の温度
的300℃より低いことがわかる。この温度測定点りは
排気管αυの封止切り後アンテナを構成する部分であり
、実使用時には250℃以上になり、前述した排気工程
で表面に吸着したまま残留したガスが放出され、マグネ
トロンの真空度を低下させ、正常な発振動作を阻害する
欠点があった。
Pi  発明が解決しようとする課題 本発明は上記欠点に鑑みなされたもので、真空装置側か
らの冷却による影響を抑制し、真空度不良のない高品質
なマグネトロンを提供することを課題とする。
に)課題を解決するための手段 上記課題を解決するため、排気管は陽極体側を高導電性
材料、真空装置側を低熱伝導性材料で構成し、高導電性
材料部分でアンテナリードと共に封止切りする。
(ホ)作用 排気管の低熱伝導性材料部分を、真空装置化。
リングによって気密tζ装着し、マグネトロンを加熱し
ながら内部に空気を真空装置により排出し、一方、0リ
ングは冷却水によって冷却され、マグネトロンからの熱
の影響による劣化を防止する。
この冷却水により低熱伝導性材料部分も冷却されるが、
高導電性材料部分側への冷却水による冷却の影響は小さ
くなる。従って、マグネトロンの各構成部品は高温にな
り、各部品表面に吸着したガスはほぼ完全に放出される
(へ)実施例 本発明の一実施例を第1図に基づき以下に詳述する。尚
、従来と同一部品は同一符号を附して説明を省略する。
器は排気管で、一端に絶縁休日に気密封着される封止部
(24a)を有する無酸素銅製金属パイプ(支)と、該
排気パイプの他端にロウ付は等により気密接合される鉄
やセラi yり等の低熱伝導性材料製接続パイプ(至)
とから構成されており、前記金属パイプ(財)は他端が
封止切りを行なう所定位置α9より外方へ延設する程度
の長さに形成されている。
而して、排気管@の接続パイプ□□□を真空装置の結合
装置に気密装着し、従来と同様にフィラメント(4)に
通電し、マグネトロンを加熱しながら真空装置によりマ
グネトロン内部の空気を排出し、冷却室α■に冷却水を
通して0リング■を保護するう冷却水により接続パイプ
■が冷却されるが、接続パイプは低熱伝導性材料によっ
て構成されているので、金属パイプ源側への冷却水によ
る冷却の影響は小さくなる。従って、陽極体(1)、磁
極片(5+(6)、封着金属<8102.陰極ステム(
7)、絶縁体(至)及び金属パイプ(至)が高温になり
、各部材の表面に吸着したガスはほぼ完全に放出される
マグネトロン内部が所定の真空度に達すると、封止切り
工具αeにて金属パイプ飢の所定位置例をアンテナリー
ドαΦと共に圧潰して封止切りを行ない、マグネトロン
を真空に保持する。
接続パイプ□□□を軟鋼製とした一例の温度分布を第2
図実線にて示す。第2図からこの一例は破線で示す従来
に比べ全体的に温度が高くなっていることがわかる。真
空に保持されてマグネトロンを構成する部分における測
定点A、B、C,Dの内、最も温度の低い測定点りで約
470℃となっており、各部品表面に吸着したガスはほ
ぼ完全に放出されることがわかる。従って、使用時に各
部品表面からガスが放出されることはなく、マグネトロ
ン内部の真空度が低下することはない、(ト)発明の効
果 以上の如く本発明に依れば、排気工程中における陽極体
や排気管の高導電性材料部分等のマグネトロン構成部品
に対する冷却水の冷却による影響を小さくして、マグネ
トロン構成部品を充分に高温に加熱することができ、各
構成部品表面に吸着したガスをほぼ完全に放出すること
ができ、従って、真空度不良を抑制することができる等
の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明一実施例のマグネトロン製造工程を説明
する断面図、第2図はマグネトロンの温度分布図、第3
図は従来のマグネトロン製造工程を説明する断面図であ
る。 (1)・・・陽極体、α枦・・アンテナリード、■・・
・排気管、(財)・・・金属パイプ(高導電性材料部分
)、の・・・接続パイプ(低熱伝導性材料部分)。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)真空装置を作動して排気管を介して陽極体内を排
    気し、前記排気管をアンテナリードと共に封止切りして
    構成するマグネトロンにおいて、前気排気管は、陽極体
    側を高導電性材料、真空装置側を低熱伝導性材料で構成
    し、前記高導電性材料部分でアンテナリードと共に封止
    切りしてなるマグネトロン
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5874876A (en) * 1995-12-28 1999-02-23 Niles Parts Co., Ltd. Electromagnetic relay structure

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