JPH02273343A - Optical information recording medium - Google Patents
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- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は光情報記録媒体に関し、より詳細には、光情報
記録媒体の保護層の改良に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an optical information recording medium, and more particularly, to an improvement of a protective layer of an optical information recording medium.
［従来の技術］
一般に、光情報記録媒体には記録層の耐食性を向上させ
るための保護層が形成されており、特に光磁気記録媒体
においては、記録層が非常に酸化され易い材料により形
成されていることが多いため、記録層の上下両面を保護
層で挟み込む構造（いわゆるサンドイッチ構造）を採る
ことにより耐食性を向上させようとしているものが多い
。[Prior Art] Generally, optical information recording media have a protective layer formed thereon to improve the corrosion resistance of the recording layer. Particularly in magneto-optical recording media, the recording layer is formed of a material that is very easily oxidized. Therefore, many attempts are made to improve corrosion resistance by adopting a structure in which the upper and lower surfaces of the recording layer are sandwiched between protective layers (a so-called sandwich structure).
第２図は、このような光磁気記録媒体の層構造を表わし
た断面図である。図において、１は基体、２と４は保護
層、３は記録層である。FIG. 2 is a sectional view showing the layer structure of such a magneto-optical recording medium. In the figure, 1 is a base, 2 and 4 are protective layers, and 3 is a recording layer.
かかる構造における保護層２．４の材料としては、例え
ば、Ｓｉｎ、ＳｉＯ２，５ｆ３Ｎ４゜ＺｎＳ等を用いた
ものが従来試みられていた。As the material for the protective layer 2.4 in such a structure, materials using, for example, Sin, SiO2, 5f3N4°ZnS, etc. have been tried in the past.
［発明が解決しようとする課題］
しかし、このような従来の保護層では、例えば、これら
の保護膜の中で比較的保護特性が高いとされるＳ ｉ
Ｎ４を用いた光磁気ディスクでさえ、高温高湿下で加速
劣化テストを行なうと、剥離やクラックを生じ、記録層
を劣化させてしまうなど、いまだ十分な耐食性を保証で
きるとはいえなかった。[Problems to be Solved by the Invention] However, in such conventional protective layers, for example, Si, which is said to have relatively high protective properties among these protective films,
Even with magneto-optical disks using N4, when subjected to accelerated deterioration tests under high temperature and high humidity conditions, peeling and cracking occurred, and the recording layer deteriorated, so it could not be said that sufficient corrosion resistance could be guaranteed.
本発明は、緻密性が高く、かつ密着力に優れた保護層を
提供し、光情報記録媒体の耐食性を飛躍的に向上させる
ことを目的とする。An object of the present invention is to provide a protective layer that is highly dense and has excellent adhesion, and to dramatically improve the corrosion resistance of an optical information recording medium.
［課題を解決するための手段］
本発明の要旨は、基体上に記録層および少なくとも一以
上の保護層を有する光情報記録媒体において、当該少な
くとも一以上の保ｉ！層の少なくとも一層として、（Ｓ
ｉ １００−ｘ Ｚ ｒｘ ） ｙ Ｎ ｔｏｏ−ｙ
（但し、Ｏ＜ｘ＜８０．３０＜ｙ＜７０）を主成分とす
る膜を用いることを特徴とする光情報記録媒体に存在す
る。[Means for Solving the Problems] The gist of the present invention is to provide an optical information recording medium having a recording layer and at least one protective layer on a substrate. As at least one of the layers, (S
i 100-x Z rx ) y N too-y
(However, it exists in an optical information recording medium characterized by using a film whose main component is O<x<80.30<y<70).
以下、本発明の構成について、詳細に説明する。Hereinafter, the configuration of the present invention will be explained in detail.
（層構造）
本発明による光情報記録媒体の層構造は、特に限定され
るものではない。第２図に示したような層構造を有する
ものでもよいし、保護層を１層しか有さないものでもよ
く、また保護層を３層以上有するものでもよい。さらに
は、他の目的のための層を具備するものであっても何ら
差しつかえない。(Layer structure) The layer structure of the optical information recording medium according to the present invention is not particularly limited. It may have a layered structure as shown in FIG. 2, it may have only one protective layer, or it may have three or more protective layers. Furthermore, there is no problem even if it includes layers for other purposes.
（保護層）
保護層は、（Ｓ ｉ ｔｏｏ−ｘ Ｚ ｒｘ ） ｙ
Ｎ１００−ｙのみから形成されてもよく、また、何らか
の添加物を加えて形成されてもよい。すなわち、主成分
が（Ｓ ｉ ｔｏｏ−Ｘ Ｚ ｒｘ ） ｙ Ｎ１００
−ｙであれば、本発明の効果を得ることができる。(Protective layer) The protective layer is (S i too-x Z rx ) y
It may be formed from only N100-y, or may be formed by adding some additives. That is, the main component is (S i too - X Z rx ) y N100
-y, the effects of the present invention can be obtained.
なお、複数の保護層を有する光情報記録媒体にあっては
、全ての保護層について、（Ｓｉ１００−ウＺｒつ）＋
ｌＮ１００−７を主成分とする保護層を用いてもよいし
、また一部の保護層についてのみ使用してもよい。In addition, in an optical information recording medium having a plurality of protective layers, (Si100-UZr)+
A protective layer containing IN100-7 as a main component may be used, or only a part of the protective layer may be used.
（基体） 本発明は、基体の材料等を特に限定するものではない。(Base) The present invention does not particularly limit the material of the substrate.
例えば、ガラス基板、ポリカーボネイト基板等、従来光
情報記録媒体の基体として使用されていたものはすべて
使用可能である。For example, all substrates conventionally used as substrates for optical information recording media, such as glass substrates and polycarbonate substrates, can be used.
（記録層）
記録層としては、光情報記録媒体の記録層としての作用
を有するものであればすべて使用可能である。例えば光
磁気記録媒体の場合であれは、Ｔｂ−Ｆｅ、Ｔｂ−Ｆｅ
−Ｃｏ、Ｔｂ−Ｃｏ。(Recording layer) Any material can be used as the recording layer as long as it functions as a recording layer of an optical information recording medium. For example, in the case of magneto-optical recording media, Tb-Fe, Tb-Fe
-Co, Tb-Co.
Ｇａ−Ｔｂ−Ｃｏ等が使用出来る。Ga-Tb-Co etc. can be used.
［作 用コ
本発明によれば、保護膜として、緻密性および密着性に
優れた（ Ｓ ｆ １００−ｘ Ｚ ｒｘ ） ｙ Ｎ
１００−ｙ膜を用いたので、光情報記録媒体の耐食性
を飛躍的に向上させることがで餘る。[Function] According to the present invention, as a protective film, (S f 100-x Z rx ) y N having excellent density and adhesion
Since the 100-y film is used, the corrosion resistance of the optical information recording medium can be dramatically improved.
さらに、（Ｓ ｉ Ｉ（ＩＱ−ｘ Ｚ ｒ ｗ ） ｙ
Ｎ １ｏ（１−ｙ膜は従来保護層として用いられてい
たものよりも屈折率が高いため、光磁気記録媒体の保護
層として用いる場合にはカーエンハンス効果がより効率
的に行なわれ、光磁気記録媒体の信号特性の向上に寄与
するという長所を併せ持つ。Furthermore, (S i I(IQ-x Z r w ) y
Since the N1o(1-y film has a higher refractive index than those conventionally used as a protective layer, when used as a protective layer for a magneto-optical recording medium, the Kerr enhancement effect is performed more efficiently and the magneto-optical It also has the advantage of contributing to improving the signal characteristics of the recording medium.
［実施例］
以下、本発明の一実施例として、光磁気ディスクの場合
を例にとって説明する。[Embodiment] Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described using a magneto-optical disk as an example.
（試料の作製）
Ｓｉ−Ｚｒ−Ｎ膜を保護層とする本実施例としての光磁
気ディスクを作製した。(Preparation of Sample) A magneto-optical disk as this example was prepared using a Si-Zr-N film as a protective layer.
本実施例の光磁気ディスクの構造は、第２図に示したと
おりとした。また、基体としてはポリカーボネイト基板
を用い、記録層としてはＴｂ２ｙＦｅ６ｓＣＯ＋。合金
膜を用いた。なお、記録層の膜厚は８００人とし、保護
層の膜厚は９００人とした。以下、本実施例としての光
磁気ディスクの製造方法について説明する。The structure of the magneto-optical disk of this example was as shown in FIG. A polycarbonate substrate was used as the base, and Tb2yFe6sCO+ was used as the recording layer. An alloy film was used. The thickness of the recording layer was 800 layers, and the thickness of the protective layer was 900 layers. A method of manufacturing a magneto-optical disk according to this embodiment will be described below.
■ポリカーボネイト基板を真空槽に導入した。■A polycarbonate substrate was introduced into a vacuum chamber.
■ＳｔＳ−ターゲット上ｒチップを置き、導入ガスとし
てＡ ｒ ＋ Ｎ ｘ （Ｎ ２３０％）を用い、ガ
ス圧１．０ｘｌＯ−２ｔｏｒｒで反応スパッタにより、
保護層としての５ｉ−Ｚｒ−Ｎ膜を生成した。■Place the r chip on the StS-target, use A r + N x (N 230%) as the introduced gas, and perform reactive sputtering at a gas pressure of 1.0xlO-2 torr.
A 5i-Zr-N film was produced as a protective layer.
■保護層上に、記録層としてのＴ ｂ ２７Ｆ ｅ ６
３Ｃｏ−、（、合金膜を生成した。■T b 27F e 6 as a recording layer on the protective layer
3Co-, (, produced an alloy film.
■最後に、該記録層上に、上記■と同様にして、５ｔ−
Ｚｒ−Ｎ膜を生成し、第２の保護層とした。■Finally, 5t-
A Zr--N film was produced and served as a second protective layer.
本実施例では、以上のようにして、光磁気ディスクを作
製したが、その他、複合ターゲットを使用する方法や、
ターゲットとしてＺｒＮを含有したＳｉ３Ｎ４焼結体を
用いる方法でもよい。In this example, a magneto-optical disk was produced as described above, but there are other methods using a composite target,
A method using a Si3N4 sintered body containing ZrN as a target may also be used.
続いて、本実施例光磁気ディスクと同様の方法により、
比較のための光磁気ディスクとして、Ｓｉ３Ｎ４膜を保
護層とする光磁気ディスクとＺｎＳ膜を保護層とする光
磁気ディスクとを作製した。層構造、保護層の膜厚およ
び記録層の膜厚・材料は、本実施例光磁気ディスクと同
じとした。Subsequently, by the same method as the magneto-optical disk of this example,
As magneto-optical disks for comparison, a magneto-optical disk with a Si3N4 film as a protective layer and a magneto-optical disk with a ZnS film as a protective layer were prepared. The layer structure, the thickness of the protective layer, and the thickness and material of the recording layer were the same as those of the magneto-optical disk of this example.
（恒温恒温試験）
Ｓｉ−Ｚｒ−Ｎ膜を保護層とする光磁気ディスクと、Ｓ
ｉ３Ｎ４膜を保護層とする比較のための光磁気ディスク
とを、７０℃、９０％ＲＨの条件に設定した恒温恒湿槽
内に放置し、各光磁気ディスクのビットエラー発生率（
Ｂ、Ｅ、Ｒ，）の経時変化を測定した。(Constant temperature constant temperature test) Magneto-optical disk with Si-Zr-N film as a protective layer and S
Magneto-optical disks for comparison with an i3N4 film as a protective layer were left in a constant temperature and humidity chamber set at 70°C and 90% RH, and the bit error rate of each magneto-optical disk (
B, E, R,) changes over time were measured.
結果を第１図に示す。The results are shown in Figure 1.
第１図から明らかなように、５ｉ３Ｎ４１１＠を保護層
として用いた光磁気ディスク（比較例）は、２００時間
を経過した付近からビットエラー発生率が急激に増加し
ている。これに対して本発明の光磁気ディスクは、１０
０００時間経過後においてもビットエラー発生率の増加
は非常に少なかつた。As is clear from FIG. 1, in the magneto-optical disk using 5i3N411@ as a protective layer (comparative example), the bit error rate increases rapidly after about 200 hours. In contrast, the magneto-optical disk of the present invention has 10
Even after 000 hours had elapsed, there was very little increase in the bit error occurrence rate.
また、Ｓｉ３Ｎ４膜を保護層として用いた光磁気ディス
クでは剥離やクラックが発生したが、本発明の光磁気デ
ィスクではほとんど発生しなかった。このことより、保
護層の密着性が大幅に向上されていることがわかる。In addition, peeling and cracking occurred in the magneto-optical disk using the Si3N4 film as a protective layer, but almost none occurred in the magneto-optical disk of the present invention. This shows that the adhesion of the protective layer is significantly improved.
（ＮａＣｊ！水溶液滴下テスト）
Ｓｉ−Ｚｒ−Ｎ膜を保護層とする光磁気ディスク、Ｓｉ
３Ｎ４膜を保護層とする光磁気ディスクおよびＺｎＳ膜
を保護層とする光磁気ディスクについて、ディスク上に
ＩＮのＮａＣＪ２水溶液を滴下し、ピンホールの発生状
況を光学顕微鏡により観察した。(NaCj! Aqueous solution dropping test) Magneto-optical disk with Si-Zr-N film as a protective layer, Si
Regarding magneto-optical disks having a 3N4 film as a protective layer and a magneto-optical disk having a ZnS film as a protective layer, an aqueous solution of IN NaCJ2 was dropped onto the disk, and the occurrence of pinholes was observed using an optical microscope.
その結果、ＺｎＳ膜を保護層とする光磁気ディスクでは
、滴下後約１０分でピンホールが発生し始めた。また、
Ｓｉ３Ｎ４膜を保護層とする光磁気ディスクは、ＺｎＳ
膜の場合よりはやや少なかフたものの、相当量のピンホ
ールが発生した。しかし、５ｔ−Ｚｒ−Ｎ膜を保護層と
する光磁気ディスクでは、とンホールはまったく発生し
なかった。As a result, in the magneto-optical disk with the ZnS film as a protective layer, pinholes began to occur about 10 minutes after dropping. Also,
Magneto-optical disks with Si3N4 film as a protective layer are made of ZnS
Although the number of pinholes was slightly smaller than in the case of a membrane, a considerable number of pinholes were generated. However, in the magneto-optical disk using the 5t-Zr-N film as a protective layer, no holes were generated at all.
この結果、５ｔ−Ｚｒ−Ｎ膜は、Ｓｉ、Ｎ４膜やＺｎＳ
膜よりも緻密であり、かつ、より優れた遮蔽効果を有す
ることが確認された。As a result, the 5t-Zr-N film is similar to Si, N4 film or ZnS film.
It was confirmed that it is denser than a film and has a better shielding effect.
以上のことから、本実施例によれば、従来よりも長期的
信頼性が格段に優れた光磁気ディスクを得ることができ
ることがわかった。From the above, it was found that according to this example, it was possible to obtain a magneto-optical disk with much better long-term reliability than the conventional one.
（屈折率の評価）
Ｓｉ３Ｎ、膜と５ｔ−Ｚｒ−Ｎ膜を、それぞれカバーガ
ラスの上に成膜し、それぞれ膜の屈折率をエリプソメー
タを用いて測定した。結果を第１表に示す。(Evaluation of refractive index) A Si3N film and a 5t-Zr-N film were each formed on a cover glass, and the refractive index of each film was measured using an ellipsometer. The results are shown in Table 1.
第１表
カーエンハンス効果を期待でき、記録再生特性を向上さ
せることができることがわかった。Table 1 It was found that a car-enhancing effect can be expected and recording and reproducing characteristics can be improved.
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、従来に比べ、長
期的信頼性が格段に優れた光情報記録媒体を提供するこ
とができる。[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, it is possible to provide an optical information recording medium that has much better long-term reliability than the conventional one.
第１図は高温高湿下における光情報記録媒体のビットエ
ラー発生率の経時変化を示すグラフ、第２図は光情報記
録媒体の層構造の一例を示す断面図である。
１・・・基板、２．４・・・保護層、３・・・記録層。
特許出願人 積水化学工業株式会社
代表者 廣 １） 馨
以上より、５ｉ−Ｚｒ−Ｎ膜は、Ｓｉ３Ｎ４膜に比べて
屈折率が大きく、従って、より効率的な第
図
時間［ｈｏｕｒｌ
第
図FIG. 1 is a graph showing changes over time in the bit error rate of an optical information recording medium under high temperature and high humidity conditions, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of the layer structure of the optical information recording medium. 1... Substrate, 2.4... Protective layer, 3... Recording layer. Patent applicant: Sekisui Chemical Co., Ltd. Representative Hiroshi 1) From the above, the 5i-Zr-N film has a larger refractive index than the Si3N4 film, and therefore has a more efficient time [hour].
Claims (1)
する光情報記録媒体において、当該少なくとも一以上の
保護層の少なくとも一層として、（Ｓｉ＿１＿０＿０＿
−＿ｘＺｒ＿ｘ）＿ｙＮ＿１＿０＿０＿−＿ｙ（但し、
０＜ｘ＜８０、３０＜ｙ＜７０）を主成分とする膜を用
いたことを特徴とする光情報記録媒体。In an optical information recording medium having a recording layer and at least one or more protective layers on a substrate, at least one layer of the at least one or more protective layers is (Si_1_0_0_
-_xZr_x)_yN_1_0_0_-_y (However,
An optical information recording medium characterized by using a film whose main component is 0<x<80, 30<y<70.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1096126A JPH02273343A (en) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | Optical information recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1096126A JPH02273343A (en) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | Optical information recording medium |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02273343A true JPH02273343A (en) | 1990-11-07 |
Family
ID=14156691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1096126A Pending JPH02273343A (en) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | Optical information recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02273343A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6660451B1 (en) * | 1999-06-18 | 2003-12-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium |
| US7169533B2 (en) | 2001-03-19 | 2007-01-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium, method for manufacturing the same and recording/reproduction method |
-
1989
- 1989-04-14 JP JP1096126A patent/JPH02273343A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6660451B1 (en) * | 1999-06-18 | 2003-12-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium |
| US7169533B2 (en) | 2001-03-19 | 2007-01-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium, method for manufacturing the same and recording/reproduction method |
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