JPH02271559A - 集積回路の冷却装置 - Google Patents
集積回路の冷却装置Info
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- JPH02271559A JPH02271559A JP9346389A JP9346389A JPH02271559A JP H02271559 A JPH02271559 A JP H02271559A JP 9346389 A JP9346389 A JP 9346389A JP 9346389 A JP9346389 A JP 9346389A JP H02271559 A JPH02271559 A JP H02271559A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- integrated circuit
- chamber
- cold plate
- coolant
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 14
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- GLGNXYJARSMNGJ-VKTIVEEGSA-N (1s,2s,3r,4r)-3-[[5-chloro-2-[(1-ethyl-6-methoxy-2-oxo-4,5-dihydro-3h-1-benzazepin-7-yl)amino]pyrimidin-4-yl]amino]bicyclo[2.2.1]hept-5-ene-2-carboxamide Chemical compound CCN1C(=O)CCCC2=C(OC)C(NC=3N=C(C(=CN=3)Cl)N[C@H]3[C@H]([C@@]4([H])C[C@@]3(C=C4)[H])C(N)=O)=CC=C21 GLGNXYJARSMNGJ-VKTIVEEGSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は集積回路の冷却装置に関し、特に半導体チップ
から発生する熱を外部に効率的に排出することのための
集積回路の冷却装置に関する。
から発生する熱を外部に効率的に排出することのための
集積回路の冷却装置に関する。
従来の集積回路の冷却装置は、冷却用の冷媒を噴出する
ためのノズルの口径はすべて同じ大きさである。
ためのノズルの口径はすべて同じ大きさである。
上述した従来の集積回路の冷却装置は、冷媒を噴出させ
るノズルの口径がすべて同じであるため、半導体チップ
から発生する熱が高くなると、冷媒の流量を変えること
によってその熱量に対応させなければならないという欠
点を有している。
るノズルの口径がすべて同じであるため、半導体チップ
から発生する熱が高くなると、冷媒の流量を変えること
によってその熱量に対応させなければならないという欠
点を有している。
また、冷媒の流路が直列に接続されているため、最後尾
に配置されている集積回路に対する冷却性能が劣るとい
う欠点も有している。
に配置されている集積回路に対する冷却性能が劣るとい
う欠点も有している。
本発明の集積回路の冷却装置は、複数個の集積回路を装
着した基板の周辺部を保持する基板枠と、前記集積回路
の上面との間に微小な間隔を保って対向して配設され前
記集積回路のそれぞれに対応してその反対の方向にざぐ
り穴を有するコールドプレートと、前記コールドプレー
トに密着して配設されて冷媒の取入口および取出口を有
しかつ前記冷媒のタンク室となる収入室および排出室を
有する冷却容器と、前記吸入室の底部に保持されて隣接
する前記ざぐり穴の双方に開口する複数個の第二のノズ
ルと、前記吸入室と最端部の前記ざぐり穴との間に配設
した第一ズルとを備え、前記第二ノズルの噴出口径を前
記第一のノズルに近い方から遠い方に順次に小さくした
ものである。
着した基板の周辺部を保持する基板枠と、前記集積回路
の上面との間に微小な間隔を保って対向して配設され前
記集積回路のそれぞれに対応してその反対の方向にざぐ
り穴を有するコールドプレートと、前記コールドプレー
トに密着して配設されて冷媒の取入口および取出口を有
しかつ前記冷媒のタンク室となる収入室および排出室を
有する冷却容器と、前記吸入室の底部に保持されて隣接
する前記ざぐり穴の双方に開口する複数個の第二のノズ
ルと、前記吸入室と最端部の前記ざぐり穴との間に配設
した第一ズルとを備え、前記第二ノズルの噴出口径を前
記第一のノズルに近い方から遠い方に順次に小さくした
ものである。
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。
第１図において、１は基板、２は基板１に実装された集
積回路である。基板１の外周部は基板枠３に強固に固定
されている。コールドプレート５は、集積回路２の上面
と微小間隔を保って対向して配設されており、集積回路
２に対応してその反対の方向にざぐり穴４を設けである
。集積回路２とコールドプレート５との間には、熱伝導
性のよいコンパウンド１５が充填されている。隣接する
各ざぐり穴４には、冷媒６の流路となる複数個の第二ノ
ズル１２が開口している。コールドプレート５の上には
、冷媒の取入口８と取出口９を有し、この両者間の仕切
となる隔壁１０を有する冷却容器１１が配設されている
。第一ノズル７は、最短部の集積回路２に対応するざぐ
り穴４に対して冷媒を排出するように冷却容器１１の底
面に固定されており、第二ノズル１２は、隣接するざぐ
り穴の両者に開口して冷却容器１１の底面に固定されて
いる。第二ノズル１２の噴出口径ｄ１〜ｄ４は、第一ノ
ズル７に近い方から遠い方に順次に小さくなっている。
積回路である。基板１の外周部は基板枠３に強固に固定
されている。コールドプレート５は、集積回路２の上面
と微小間隔を保って対向して配設されており、集積回路
２に対応してその反対の方向にざぐり穴４を設けである
。集積回路２とコールドプレート５との間には、熱伝導
性のよいコンパウンド１５が充填されている。隣接する
各ざぐり穴４には、冷媒６の流路となる複数個の第二ノ
ズル１２が開口している。コールドプレート５の上には
、冷媒の取入口８と取出口９を有し、この両者間の仕切
となる隔壁１０を有する冷却容器１１が配設されている
。第一ノズル７は、最短部の集積回路２に対応するざぐ
り穴４に対して冷媒を排出するように冷却容器１１の底
面に固定されており、第二ノズル１２は、隣接するざぐ
り穴の両者に開口して冷却容器１１の底面に固定されて
いる。第二ノズル１２の噴出口径ｄ１〜ｄ４は、第一ノ
ズル７に近い方から遠い方に順次に小さくなっている。
上述のように構成した電子機器の冷却装置は、冷媒６が
冷却容器１１の取入口８から流入すると、隔壁１０で仕
切られた吸入室１４に充満し、第一ノズル７からコール
ドプレート５のざぐり穴４へ流入する。ざぐり穴４に流
入した冷媒は、第二ノズル１２を順次流れて排出室１３
に入り、取出口９から外部に排出される。このとき、第
二ノズル１２の噴出口径ｄｌ〜ｄ４が第一ノズル７から
遠くなるにつれて順次に小さくなっているため、次第に
流速が早くなって冷媒６が高速で集積回路２に衝突する
ため、冷却効果を高めることができる。
冷却容器１１の取入口８から流入すると、隔壁１０で仕
切られた吸入室１４に充満し、第一ノズル７からコール
ドプレート５のざぐり穴４へ流入する。ざぐり穴４に流
入した冷媒は、第二ノズル１２を順次流れて排出室１３
に入り、取出口９から外部に排出される。このとき、第
二ノズル１２の噴出口径ｄｌ〜ｄ４が第一ノズル７から
遠くなるにつれて順次に小さくなっているため、次第に
流速が早くなって冷媒６が高速で集積回路２に衝突する
ため、冷却効果を高めることができる。
以上説明したように、本発明の集積回路の冷却装置は、
集積回路から発生する熱を効率的に外部に排出して冷却
することができるという効果がある。
集積回路から発生する熱を効率的に外部に排出して冷却
することができるという効果がある。
１・・・基板、２・・・集積回路、３・・・基板枠、４
・・・ざぐり穴、５・・・コールドプレート、６・・・
冷媒、７・・・第一ノズル、８・・・取入口、９・・・
取出口、１０・・・隔壁、１１・・・冷却容器、１２・
・・第二ノズル、１３・・・排出室、１４・・・吸入室
、１５・・・コンパウンド。
・・・ざぐり穴、５・・・コールドプレート、６・・・
冷媒、７・・・第一ノズル、８・・・取入口、９・・・
取出口、１０・・・隔壁、１１・・・冷却容器、１２・
・・第二ノズル、１３・・・排出室、１４・・・吸入室
、１５・・・コンパウンド。
Claims (1)
- 複数個の集積回路を装着した基板の周辺部を保持する基
板枠と、前記集積回路の上面との間に微小な間隔を保っ
て対向して配設され前記集積回路のそれぞれに対応して
その反対の方向にざぐり穴を有するコールドプレートと
、前記コールドプレートに密着して配設されて冷媒の取
入口および取出口を有しかつ前記冷媒のタンク室となる
収入室および排出室を有する冷却容器と、前記吸入室の
底部に保持されて隣接する前記ざぐり穴の双方に開口す
る複数個の第二のノズルと、前記吸入室と最端部の前記
ざぐり穴との間に配設した第一ズルとを備え、前記第二
ノズルの噴出口径を前記第一のノズルに近い方から遠い
方に順次に小さくしたことを特徴とする集積回路の冷却
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9346389A JPH02271559A (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 | 集積回路の冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9346389A JPH02271559A (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 | 集積回路の冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02271559A true JPH02271559A (ja) | 1990-11-06 |
Family
ID=14083032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9346389A Pending JPH02271559A (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 | 集積回路の冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02271559A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05114679A (ja) * | 1991-10-21 | 1993-05-07 | Nec Corp | 集積回路の冷却構造 |
-
1989
- 1989-04-12 JP JP9346389A patent/JPH02271559A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05114679A (ja) * | 1991-10-21 | 1993-05-07 | Nec Corp | 集積回路の冷却構造 |
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