JP2658251B2 - 集積回路の冷却構造 - Google Patents
集積回路の冷却構造Info
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- JP2658251B2 JP2658251B2 JP22087988A JP22087988A JP2658251B2 JP 2658251 B2 JP2658251 B2 JP 2658251B2 JP 22087988 A JP22087988 A JP 22087988A JP 22087988 A JP22087988 A JP 22087988A JP 2658251 B2 JP2658251 B2 JP 2658251B2
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- Japan
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- refrigerant
- integrated circuit
- substrate
- cooling plate
- counterbore
- Prior art date
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は集積回路の冷却構造、特に集積回路を構成す
るチップから発生する熱をこのチップの近傍に流す冷媒
に効率よく伝播させる集積回路の冷却構造に関する。
るチップから発生する熱をこのチップの近傍に流す冷媒
に効率よく伝播させる集積回路の冷却構造に関する。
従来、この種の集積回路の冷却構造は、例えば特許出
願番号62−24365,62−24382等に示されているように、
集積回路を構成するチップに微小間隔を保って設けられ
た冷却板に、チップから発生する熱を伝達させ、この冷
却板の裏面に、裏面から一定の間隔を保って設けられた
ノズルから冷媒を放出させて、冷媒に熱を伝播させるよ
うになっている。
願番号62−24365,62−24382等に示されているように、
集積回路を構成するチップに微小間隔を保って設けられ
た冷却板に、チップから発生する熱を伝達させ、この冷
却板の裏面に、裏面から一定の間隔を保って設けられた
ノズルから冷媒を放出させて、冷媒に熱を伝播させるよ
うになっている。
上述した従来の集積回路の冷却構造では、集積回路か
ら発生する熱量の変化に対して、冷媒の流量を変化させ
る必要があり、場合によっては冷却装置および冷媒伝達
のホース等にまで変更が及ぶことがある。また集積回路
を回路変更等により変更する場合には交換する集積回路
の発熱量等も考慮しなければならず、発熱量に対して制
約が多いと言う問題点を有している。
ら発生する熱量の変化に対して、冷媒の流量を変化させ
る必要があり、場合によっては冷却装置および冷媒伝達
のホース等にまで変更が及ぶことがある。また集積回路
を回路変更等により変更する場合には交換する集積回路
の発熱量等も考慮しなければならず、発熱量に対して制
約が多いと言う問題点を有している。
本発明の集積回路の冷却構造は、基板に実装された複
数の集積回路と、前記基板を保持する基板枠と、この基
板枠に固着して前記複数の集積回路の熱放出面と微小間
隔を保って対向する外面を有し、前記集積回路と対向す
る内面の底部のそれぞれに複数個の柱状突起物を設けた
複数のざぐり穴とこの穴を連絡する冷媒流路とを有する
冷却板と、この冷却板に密着して設けられ、冷媒の取入
口と取出口とこの取入口に接続され冷媒のタンク室とな
る吸入室と前記取出口と前記冷媒流路とに接続された排
出室とを有し、底部の前記冷却板のざぐり穴に対応する
位置にねじ穴を有する冷媒容器と、この冷媒容器のねじ
穴に嵌合するねじを一端に有するノズルとを有すること
により構成される。
数の集積回路と、前記基板を保持する基板枠と、この基
板枠に固着して前記複数の集積回路の熱放出面と微小間
隔を保って対向する外面を有し、前記集積回路と対向す
る内面の底部のそれぞれに複数個の柱状突起物を設けた
複数のざぐり穴とこの穴を連絡する冷媒流路とを有する
冷却板と、この冷却板に密着して設けられ、冷媒の取入
口と取出口とこの取入口に接続され冷媒のタンク室とな
る吸入室と前記取出口と前記冷媒流路とに接続された排
出室とを有し、底部の前記冷却板のざぐり穴に対応する
位置にねじ穴を有する冷媒容器と、この冷媒容器のねじ
穴に嵌合するねじを一端に有するノズルとを有すること
により構成される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図は第１
図の部分詳細図である。基板１には複数の集積回路２が
実装され、さらに基板１は取付枠３に取り付けられてい
る。冷却板５には集積回路２に対応する位置にざぐり穴
４が設けられている。さらにざぐり穴４の内部には冷却
効率を高めるための突起物15が設けられている。冷媒容
器11には冷媒の取入口８および取出口９が取り付けられ
ていて、内部は吸入室12と排出室13とが隔壁10により分
離されている。さらに冷媒容器11の底面には冷却板５の
ざぐり穴４に対応するそれぞれの位置にねじ穴16が設け
られていて、ノズル７の一端に設けた雄ねじとねじ穴16
とが嵌合している。集積回路２から発生した熱は微小間
隙を介して冷却板５に伝導される。取入口８から入った
冷媒６は吸入室12に入り、さらにノズル７を通って冷却
板５の内部のざぐり穴４に導入される。ここで冷媒６は
冷却板５を冷却し、冷媒流路14を通って排出室13に入り
取出口９へと流れる。本発明の構造では集積回路２の発
熱量が大きい場合はノズル７を回してノズルを矢印Ａの
ざぐり穴４の底面の方向に移動させ、突起物15との間隔
Ｂを近ずけることにより、効率良い冷却を行なうことが
できる。又逆に集積回路２の発熱量が小さい場合はノズ
ル７を逆の方向に移動させて冷却を行なうことができ
る。
図の部分詳細図である。基板１には複数の集積回路２が
実装され、さらに基板１は取付枠３に取り付けられてい
る。冷却板５には集積回路２に対応する位置にざぐり穴
４が設けられている。さらにざぐり穴４の内部には冷却
効率を高めるための突起物15が設けられている。冷媒容
器11には冷媒の取入口８および取出口９が取り付けられ
ていて、内部は吸入室12と排出室13とが隔壁10により分
離されている。さらに冷媒容器11の底面には冷却板５の
ざぐり穴４に対応するそれぞれの位置にねじ穴16が設け
られていて、ノズル７の一端に設けた雄ねじとねじ穴16
とが嵌合している。集積回路２から発生した熱は微小間
隙を介して冷却板５に伝導される。取入口８から入った
冷媒６は吸入室12に入り、さらにノズル７を通って冷却
板５の内部のざぐり穴４に導入される。ここで冷媒６は
冷却板５を冷却し、冷媒流路14を通って排出室13に入り
取出口９へと流れる。本発明の構造では集積回路２の発
熱量が大きい場合はノズル７を回してノズルを矢印Ａの
ざぐり穴４の底面の方向に移動させ、突起物15との間隔
Ｂを近ずけることにより、効率良い冷却を行なうことが
できる。又逆に集積回路２の発熱量が小さい場合はノズ
ル７を逆の方向に移動させて冷却を行なうことができ
る。
以上説明したように本発明は、冷媒容器の底面に設け
られたねじ穴とノズルの一端に設けられたねじ部を嵌合
し、ノズルの先端と冷却板の突起物との間隔を任意に保
つことが可能となるため、基板上に実装された集積回路
の電力の大小によって集積回路単位で冷却能力を変更す
ることができ、集積回路の実装に対する制約を緩和でき
ると言う効果がある。
られたねじ穴とノズルの一端に設けられたねじ部を嵌合
し、ノズルの先端と冷却板の突起物との間隔を任意に保
つことが可能となるため、基板上に実装された集積回路
の電力の大小によって集積回路単位で冷却能力を変更す
ることができ、集積回路の実装に対する制約を緩和でき
ると言う効果がある。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は第１図の
主要部の詳細断面図である。 １……基板、２……集積回路、３……基板枠、４……ざ
ぐり穴、５……冷却板、６……冷媒、７……ノズル、８
……取入口、９……取出口、10……隔壁、11……冷媒容
器、12……吸入室、13……排出室、14……冷媒流路、15
……突起物、16……ねじ穴。
主要部の詳細断面図である。 １……基板、２……集積回路、３……基板枠、４……ざ
ぐり穴、５……冷却板、６……冷媒、７……ノズル、８
……取入口、９……取出口、10……隔壁、11……冷媒容
器、12……吸入室、13……排出室、14……冷媒流路、15
……突起物、16……ねじ穴。
Claims (1)
- 【請求項１】基板に実装された複数の集積回路と、前記
基板を保持する基板枠と、この基板枠に固着して前記複
数の集積回路の熱放出面と微小間隔を保って対向する外
面を有し、前記集積回路と対向する内面の底部のそれぞ
れに複数個の柱状突起物を設けた複数のざぐり穴とこの
穴を連絡する冷媒流路とを有する冷却板と、この冷却板
に密着して設けられ、冷媒の取入口と取出口とこの取入
口に接続され冷媒のタンク室となる吸入室と前記取出口
と前記冷媒流路とに接続された排出室とを有し、底部の
前記冷却板のざぐり穴に対応する位置にねじ穴を有する
冷媒容器と、この冷媒容器のねじ穴に嵌合するねじを一
端に有するノズルとを有することを特徴とする集積回路
の冷却構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22087988A JP2658251B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | 集積回路の冷却構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22087988A JP2658251B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | 集積回路の冷却構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0268956A JPH0268956A (ja) | 1990-03-08 |
| JP2658251B2 true JP2658251B2 (ja) | 1997-09-30 |
Family
ID=16757970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22087988A Expired - Lifetime JP2658251B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | 集積回路の冷却構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2658251B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2738563B2 (ja) * | 1989-06-20 | 1998-04-08 | 富士通株式会社 | 集積回路素子の冷却構造およびその冷却方法 |
| JP5227681B2 (ja) * | 2008-07-11 | 2013-07-03 | 株式会社豊田自動織機 | 半導体装置 |
| US8472193B2 (en) | 2008-07-04 | 2013-06-25 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Semiconductor device |
| TWI836706B (zh) * | 2017-09-06 | 2024-03-21 | 英商艾瑟歐托普集團有限公司 | 用於液浸冷卻的散熱器、散熱器佈置及模組 |
-
1988
- 1988-09-02 JP JP22087988A patent/JP2658251B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0268956A (ja) | 1990-03-08 |
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