JPH0226370B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0226370B2 JPH0226370B2 JP18250484A JP18250484A JPH0226370B2 JP H0226370 B2 JPH0226370 B2 JP H0226370B2 JP 18250484 A JP18250484 A JP 18250484A JP 18250484 A JP18250484 A JP 18250484A JP H0226370 B2 JPH0226370 B2 JP H0226370B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- automatic storage
- parts
- equipment
- workpiece
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、単一の材料から多種の完成品を仕上
るプロセス性の製造ライン、特に半導体素子製造
ラインにおいて重要部品であるマスクの検索配膳
を行なう装置に関するものである。
るプロセス性の製造ライン、特に半導体素子製造
ラインにおいて重要部品であるマスクの検索配膳
を行なう装置に関するものである。
半導体素子製造ラインはシリコン単結晶基板
（以後ウエーハと称する）に加工を重ね、製品に
仕上げて行く。通常、１つの製造ラインで数十か
ら数百を越える製品を作つているが、これら製品
は同一の製造設備で生産され、製品としての分類
はパターンを焼付けるためのマスクをどのように
組合せて使うかにかかつている。
（以後ウエーハと称する）に加工を重ね、製品に
仕上げて行く。通常、１つの製造ラインで数十か
ら数百を越える製品を作つているが、これら製品
は同一の製造設備で生産され、製品としての分類
はパターンを焼付けるためのマスクをどのように
組合せて使うかにかかつている。
この半導体素子製造における唯一の部品である
マスクは数十製品を生産するためには数千枚が必
要であり、マスクを用いてウエーハ上にパターン
を焼き付ける工程では感光性樹脂を利用したフオ
トエツチング法が用いられているため、感光性樹
脂塗布からパターン焼付けまでに許される時間に
は制限があり、マスク配膳遅れにより無駄なやり
直し作業が発生している。さらに数千枚のマスク
検索と管理には多大な工数を要している。
マスクは数十製品を生産するためには数千枚が必
要であり、マスクを用いてウエーハ上にパターン
を焼き付ける工程では感光性樹脂を利用したフオ
トエツチング法が用いられているため、感光性樹
脂塗布からパターン焼付けまでに許される時間に
は制限があり、マスク配膳遅れにより無駄なやり
直し作業が発生している。さらに数千枚のマスク
検索と管理には多大な工数を要している。
本発明はこれら問題点を解決し、スムーズな生
産を行なうための装置を提供するものである。
産を行なうための装置を提供するものである。
本発明は単一材料から多種の完成品を仕上る製
造ラインにおいて、相互にオンラインで接続した
コンピユータCPUと、端末装置T1，T2と、自動
保管庫STと、移載装置R1，R2と、搬送装置C1，
C2とからなり、前記端末装置は各製造設備毎の
被加工物の通過と部品の自動保管庫への通過を検
知し、コンピユータに信号を送信する機能を有
し、コンピユータは予め設定されている被加工物
の加工順序と端末装置からのデータを基にして被
加工物が部品を必要とする前工程の処理開始と同
時に部品を検索し、部品名と配膳先の情報を端末
装置を通して自動保管庫および移載装置および搬
送装置に送信する機能を有し、自動保管庫および
移載装置および搬送装置は前記送信された情報に
基き部品を前記被加工物を加工している設備に配
膳し、前記被加工物の処理完了後前記被加工物と
前記部品を一緒にし、次の加工を行なう製造設備
に配膳する機能を有することを特徴とする部品検
索配膳装置である。
造ラインにおいて、相互にオンラインで接続した
コンピユータCPUと、端末装置T1，T2と、自動
保管庫STと、移載装置R1，R2と、搬送装置C1，
C2とからなり、前記端末装置は各製造設備毎の
被加工物の通過と部品の自動保管庫への通過を検
知し、コンピユータに信号を送信する機能を有
し、コンピユータは予め設定されている被加工物
の加工順序と端末装置からのデータを基にして被
加工物が部品を必要とする前工程の処理開始と同
時に部品を検索し、部品名と配膳先の情報を端末
装置を通して自動保管庫および移載装置および搬
送装置に送信する機能を有し、自動保管庫および
移載装置および搬送装置は前記送信された情報に
基き部品を前記被加工物を加工している設備に配
膳し、前記被加工物の処理完了後前記被加工物と
前記部品を一緒にし、次の加工を行なう製造設備
に配膳する機能を有することを特徴とする部品検
索配膳装置である。
以下に、本発明の一実施例を図によつて説明す
る。
る。
第１図は本発明を示すブロツク図である。
MT１，MT２…はマスクを必要とする前の工
程の設備群、MM１，MM２…はマスクを必要と
する設備群である。Ｔ１，Ｔ２…は端末装置で、
キーボード部とカードリード部と表示部と通信制
御部より構成され、部品ロツトについているカー
ドにより各製造設備での処理の開始と完了を検知
し、そのデータをコンピユータに送信する。さら
にマスクについているカードによりマスクの自動
保管庫への収納、自動保管庫からの取り出しを検
知してそのデータをコンピユータに送信する。
程の設備群、MM１，MM２…はマスクを必要と
する設備群である。Ｔ１，Ｔ２…は端末装置で、
キーボード部とカードリード部と表示部と通信制
御部より構成され、部品ロツトについているカー
ドにより各製造設備での処理の開始と完了を検知
し、そのデータをコンピユータに送信する。さら
にマスクについているカードによりマスクの自動
保管庫への収納、自動保管庫からの取り出しを検
知してそのデータをコンピユータに送信する。
自動保管庫STはマスク名と収納、あるいは取
り出しの情報を受け、自動的に該当するマスクの
収納取り出しを行なう機能を有している。
り出しの情報を受け、自動的に該当するマスクの
収納取り出しを行なう機能を有している。
移載装置R1，R2…と搬送装置C1，C2…は対象
物の名称と配膳先の情報を受けることにより、対
象物が所定の配膳先に到着するよう動く機能を有
している。
物の名称と配膳先の情報を受けることにより、対
象物が所定の配膳先に到着するよう動く機能を有
している。
コンピユータCPUには予め製品ロツトの処理
順序、処理時間ならびに必要とするマスクを設定
しておき、前記端末装置から送られてくる製品ロ
ツト、マスクのデータ、前記予め設定したデータ
を基に処理を行なうが、この処理に関し、まず各
設備より送られてくる製品ロツトのデータと自動
保管庫のマスク保管状況とにより不足するマスク
を検索し、その情報を端末装置の表示部に表示す
る。この情報を基に管理者は不足するマスクを効
率よく手配をすることができる。
順序、処理時間ならびに必要とするマスクを設定
しておき、前記端末装置から送られてくる製品ロ
ツト、マスクのデータ、前記予め設定したデータ
を基に処理を行なうが、この処理に関し、まず各
設備より送られてくる製品ロツトのデータと自動
保管庫のマスク保管状況とにより不足するマスク
を検索し、その情報を端末装置の表示部に表示す
る。この情報を基に管理者は不足するマスクを効
率よく手配をすることができる。
本実施例によりマスクを必要とする設備の前の
工程の設備MT１で作業を開始しようとすると、
端末装置Ｔ２からの情報によりコンピユータ
CPUは瞬時に必要とするマスクを検索し該当す
るマスクのない時は端末装置Ｔ２の表示部に警報
を表示して無駄な作業を防止する。
工程の設備MT１で作業を開始しようとすると、
端末装置Ｔ２からの情報によりコンピユータ
CPUは瞬時に必要とするマスクを検索し該当す
るマスクのない時は端末装置Ｔ２の表示部に警報
を表示して無駄な作業を防止する。
マスク検索の結果マスクの存在が確認できれ
ば、該当するマスクの名称とマスクの配膳先であ
る設備MT１の情報を端末装置Ｔ１に出力する。
端末装置Ｔ１は送られてきた情報を自動保管庫
ST、移載装置Ｒ１，Ｒ２、搬送装置Ｃ１に出力
し、該マスクを設備MT１に配膳をする。設備
MT１にて製品ロツトの処理が完了すると、製品
ロツトとマスクを一緒にしてパターン焼付工程で
ある設備MM１，MM２…に配膳をする。
ば、該当するマスクの名称とマスクの配膳先であ
る設備MT１の情報を端末装置Ｔ１に出力する。
端末装置Ｔ１は送られてきた情報を自動保管庫
ST、移載装置Ｒ１，Ｒ２、搬送装置Ｃ１に出力
し、該マスクを設備MT１に配膳をする。設備
MT１にて製品ロツトの処理が完了すると、製品
ロツトとマスクを一緒にしてパターン焼付工程で
ある設備MM１，MM２…に配膳をする。
本実施例では移載装置と搬送装置がついている
が、これら装置がない場合においても、前記コン
ピユータの情報を端末装置の表示部に配膳先を表
示し、自動保管庫より自動的に該当マスクを取り
出すことにより、作業に無駄がなく、また検索は
不要となる。
が、これら装置がない場合においても、前記コン
ピユータの情報を端末装置の表示部に配膳先を表
示し、自動保管庫より自動的に該当マスクを取り
出すことにより、作業に無駄がなく、また検索は
不要となる。
以上説明したように本発明によれば、マスクの
効率のよい正確な手配、無駄作業の防止、マスク
検索工数の削減を図ることができる効果を有する
ものである。
効率のよい正確な手配、無駄作業の防止、マスク
検索工数の削減を図ることができる効果を有する
ものである。
第１図は本発明の一実施例を示すブロツク図で
ある。 MT１，MT２……マスクを必要とする設備の
前工程の設備、MM１，MM２……マスクを必要
とする設備、CPU……コンピユータ、ST……自
動保管庫、Ｔ１，Ｔ２……端末装置、Ｒ１，Ｒ２
……移載装置、Ｃ１，Ｃ２……搬送装置。
ある。 MT１，MT２……マスクを必要とする設備の
前工程の設備、MM１，MM２……マスクを必要
とする設備、CPU……コンピユータ、ST……自
動保管庫、Ｔ１，Ｔ２……端末装置、Ｒ１，Ｒ２
……移載装置、Ｃ１，Ｃ２……搬送装置。
Claims (1)
- １ 単一材料から多種の完成品を仕上る製造ライ
ンにおいて、相互にオンラインで接続したコンピ
ユータと、端末装置と、自動保管庫と、移載装置
と、搬送装置とからなり、前記端末装置は各製造
設備毎の被加工物の通過と部品の自動保管庫への
通過を検知し、コンピユータに信号を送信する機
能を有し、コンピユータは予め設定されている被
加工物の加工順序と端末装置からのデータを基に
して被加工物が部品を必要とする前工程の処理開
始と同時に部品を検索し、部品名と配膳先の情報
を端末装置を通して自動保管庫および移載装置お
よび搬送装置に送信する機能を有し、自動保管庫
および移載装置および搬送装置は前記送信された
情報に基き部品を前記被加工物を加工している設
備に配膳し、前記被加工物の処理完了後前記被加
工物と前記部品を一緒にし、次の加工を行なう製
造設備に配膳する機能を有することを特徴とする
部品検索配膳装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59182504A JPS6161415A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 部品検索配膳装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59182504A JPS6161415A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 部品検索配膳装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6161415A JPS6161415A (ja) | 1986-03-29 |
| JPH0226370B2 true JPH0226370B2 (ja) | 1990-06-08 |
Family
ID=16119449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59182504A Granted JPS6161415A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 部品検索配膳装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6161415A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04153104A (ja) * | 1990-10-15 | 1992-05-26 | Hitachi Ltd | 出庫仕分け装置ならびに出庫仕分け方法 |
| JPH05330615A (ja) * | 1992-05-27 | 1993-12-14 | Nec Yamaguchi Ltd | 保管棚制御システム |
| JP3975360B2 (ja) | 2003-10-31 | 2007-09-12 | セイコーエプソン株式会社 | 供給制御システムおよび方法、プログラム並びに情報記憶媒体 |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP59182504A patent/JPS6161415A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6161415A (ja) | 1986-03-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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