JPH02263453A - 多数枚デイスク固定端部作動装置 - Google Patents
多数枚デイスク固定端部作動装置Info
- Publication number
- JPH02263453A JPH02263453A JP1270537A JP27053789A JPH02263453A JP H02263453 A JPH02263453 A JP H02263453A JP 1270537 A JP1270537 A JP 1270537A JP 27053789 A JP27053789 A JP 27053789A JP H02263453 A JPH02263453 A JP H02263453A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tubular member
- discs
- fixed end
- support structure
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16D—COUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
- F16D1/00—Couplings for rigidly connecting two coaxial shafts or other movable machine elements
- F16D1/06—Couplings for rigidly connecting two coaxial shafts or other movable machine elements for attachment of a member on a shaft or on a shaft-end
- F16D1/08—Couplings for rigidly connecting two coaxial shafts or other movable machine elements for attachment of a member on a shaft or on a shaft-end with clamping hub; with hub and longitudinal key
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B5/00—Clamps
- B25B5/06—Arrangements for positively actuating jaws
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B9/00—Hand-held gripping tools other than those covered by group B25B7/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、多数枚ディスク固定端部作ＩＩＩ装置、すな
わち、中心孔付の多数枚のディスクを同時に保持でき、
かつこれらのディスクを１枚ずつ順次取り外すことので
きる装置に関するものである。
わち、中心孔付の多数枚のディスクを同時に保持でき、
かつこれらのディスクを１枚ずつ順次取り外すことので
きる装置に関するものである。
［従来の技術］
非常に多くの電子微小回路や素子をその一ヒに形成して
用いるウェハーのごときディスクは、それらの製造過程
において、多くのプロセスを経るものである．このよう
なウェハーは破損しやすく、かつ傷つきやすいものであ
るだけでなく、種々の汚染、摩耗、＃１傷に対して非常
に敏感であるため、それらを人手を介することなく一つ
のプロセス装置から次のプロセス装置へと搬送し、それ
らのプロセス装置中で、これらウェハーを禄１（な劾き
で取り扱うことのできる種々の自助化装置が考案され入
手可能となってきている．しかし、従来技術によるウェ
ハー搬送システムでは、たとえば、複数枚のウェハーを
種々の場所に、あるいは、同一場所に順次搬送するごと
き搬送装置において、通常、ａａ−枚のウェハーを一枚
づす受は取り、それらのうちの１枚を所望の目的地に配
ると、次のウェハーを受は取るために最初の位置に戻り
、この運動のサイクルを縁り返すと云うような非効率的
なプログラムがなされているのが一般である．そこで、
ディスク状のウェハーを搬送するためのより効果的な方
法と装置の実現が望まれている。
用いるウェハーのごときディスクは、それらの製造過程
において、多くのプロセスを経るものである．このよう
なウェハーは破損しやすく、かつ傷つきやすいものであ
るだけでなく、種々の汚染、摩耗、＃１傷に対して非常
に敏感であるため、それらを人手を介することなく一つ
のプロセス装置から次のプロセス装置へと搬送し、それ
らのプロセス装置中で、これらウェハーを禄１（な劾き
で取り扱うことのできる種々の自助化装置が考案され入
手可能となってきている．しかし、従来技術によるウェ
ハー搬送システムでは、たとえば、複数枚のウェハーを
種々の場所に、あるいは、同一場所に順次搬送するごと
き搬送装置において、通常、ａａ−枚のウェハーを一枚
づす受は取り、それらのうちの１枚を所望の目的地に配
ると、次のウェハーを受は取るために最初の位置に戻り
、この運動のサイクルを縁り返すと云うような非効率的
なプログラムがなされているのが一般である．そこで、
ディスク状のウェハーを搬送するためのより効果的な方
法と装置の実現が望まれている。
［発明が解決しようとする課題］
従来技術によるウェハーのごときディスク搬送システム
では、複数枚のディスクを搬送しようとするとき、さき
に述べたごとく、一回の動作によって、一枚のディスク
が送られるごとく構成されているのか一般であって、そ
の搬送効率が低いと云うところに問題点があった。
では、複数枚のディスクを搬送しようとするとき、さき
に述べたごとく、一回の動作によって、一枚のディスク
が送られるごとく構成されているのか一般であって、そ
の搬送効率が低いと云うところに問題点があった。
本発明は上に述べような従来技術の非効率性を解？肖す
るため｛こなされたもので、ウェハーのごときディスク
をより効率的に搬送できる装置を提供することを目的と
する。
るため｛こなされたもので、ウェハーのごときディスク
をより効率的に搬送できる装置を提供することを目的と
する。
本発明のいまー・つの目的は、一時に多数枚のディスク
を運び、それらをそれらの一つの目的場所に一括して、
あるい１ｉ、複数の目的場所に順次１枚ずつ１ａ送する
ことのできる装置を提供することである。
を運び、それらをそれらの一つの目的場所に一括して、
あるい１ｉ、複数の目的場所に順次１枚ずつ１ａ送する
ことのできる装置を提供することである。
［課題を解決するための手段］
本発明の上記、あるいは、その他の目的は、中心孔付き
の複数枚のディスクを、支持構造体から収納可能な形で
突出し、それらの中心孔を貫通する管状部材によって、
そのＪＷＩりに保持するごとき装置に適用できる多数枚
ディスク固定端部作ｖ１装置を提供することによっ゜Ｃ
達成される。
の複数枚のディスクを、支持構造体から収納可能な形で
突出し、それらの中心孔を貫通する管状部材によって、
そのＪＷＩりに保持するごとき装置に適用できる多数枚
ディスク固定端部作ｖ１装置を提供することによっ゜Ｃ
達成される。
［作用］
ディスクが、たとえば運搬のために保持されると、ディ
スクは、ホルダーすなわち、一枚ずつのディスクの内側
のふちに接触固定されると同時に管状部材の円筒状外表
面をその中心方向に押し付けるごとき装置、によって、
この管状部材の円筒状外表面にしっかりと固定される．
ディスクを一枚づつ解放するには、管状部材がその軸方
向にスライドされて、支持ｔＮ造体中に徐々に引き込め
られ、その結果ホルダーがその管状部材に動く向心力を
失うと、そのホルダーに係止されていたディスクは直ち
に管状部材からの支持力を失い、解放状態となる、と言
うことにより達成される。管状部材にこのような軸方向
の動きを与えるために、ヘリカルギアとして鋤くシャフ
トが管状部材内に備えられており、管状部材にシャフト
を囲んで取り付けられた管状ナツトが、このシャフトの
回転運動によって、管状部材を支持構造体中に引き込ん
だり突き出したりできる運動伝達間係を形成するようｔ
ｎ成されている。
スクは、ホルダーすなわち、一枚ずつのディスクの内側
のふちに接触固定されると同時に管状部材の円筒状外表
面をその中心方向に押し付けるごとき装置、によって、
この管状部材の円筒状外表面にしっかりと固定される．
ディスクを一枚づつ解放するには、管状部材がその軸方
向にスライドされて、支持ｔＮ造体中に徐々に引き込め
られ、その結果ホルダーがその管状部材に動く向心力を
失うと、そのホルダーに係止されていたディスクは直ち
に管状部材からの支持力を失い、解放状態となる、と言
うことにより達成される。管状部材にこのような軸方向
の動きを与えるために、ヘリカルギアとして鋤くシャフ
トが管状部材内に備えられており、管状部材にシャフト
を囲んで取り付けられた管状ナツトが、このシャフトの
回転運動によって、管状部材を支持構造体中に引き込ん
だり突き出したりできる運動伝達間係を形成するようｔ
ｎ成されている。
［実施例］
本発明を実施した多数枚ディスク固定端部作動装置を図
について説明する。添イ１１の図面は、明細書と一体と
なって、明４１１１ 書の一部を構成しており、本発明
の一実施例を説明するもので、明細書の本文とともに、
本発明の詳細な説明するためのものである。第１図と第
２図においＣ１（１１）は、円柱状シャフト（１２）に
対する収納容器としての働きをしている支持（ｎ遺体で
あり、この円柱状シャツ１．（１２）には、それがヘリ
カルギアとして作ｌＩＪするよう螺旋状のねじが切って
あり、ベアリング（１３）を介して支持構造体（１１）
により回転可能に支持されている。第１図の右端部にあ
るシャフトの後端は、その軸の周りに回転力を与える動
力源（図示せず）につながれており、その前端は、構造
支持体（１１〉から突出している。
について説明する。添イ１１の図面は、明細書と一体と
なって、明４１１１ 書の一部を構成しており、本発明
の一実施例を説明するもので、明細書の本文とともに、
本発明の詳細な説明するためのものである。第１図と第
２図においＣ１（１１）は、円柱状シャフト（１２）に
対する収納容器としての働きをしている支持（ｎ遺体で
あり、この円柱状シャツ１．（１２）には、それがヘリ
カルギアとして作ｌＩＪするよう螺旋状のねじが切って
あり、ベアリング（１３）を介して支持構造体（１１）
により回転可能に支持されている。第１図の右端部にあ
るシャフトの後端は、その軸の周りに回転力を与える動
力源（図示せず）につながれており、その前端は、構造
支持体（１１〉から突出している。
このシャフトのまわりを取り囲んで、支持構造体（１１
）中に管状ナラ１−（１４）が取り付けられ、その内側
面上には、上記ねじと監合のとれたねじが切ってあって
、シャフト（１２）の外側面上のねじと係合してそれと
の間に運動伝達の関係が形成され、シャフトが回転する
とき、このシャフトに沿って、軸方向すなわも縦方向に
この管状ナツトが動くようにされている。
）中に管状ナラ１−（１４）が取り付けられ、その内側
面上には、上記ねじと監合のとれたねじが切ってあって
、シャフト（１２）の外側面上のねじと係合してそれと
の間に運動伝達の関係が形成され、シャフトが回転する
とき、このシャフトに沿って、軸方向すなわも縦方向に
この管状ナツトが動くようにされている。
シャフト （１２）と平行に、かつ、それを取り凹んで
同軸に配設された管状部材（１５）は管状ナラ） （１
４）の前糸ス（第１図では、左側）に取り付けられ、支
持構造体（１１）によりブッシング（１６）を介して支
持されている。その前方部分は、中心孔を持つ多数枚の
ウエノ１−状ディスク（２０）を保持できるように、円
形断面をもつ円筒状の外（Ｊｌ（面をイｆし・Ｃおり、
（２１）は ディスクの中心孔によって形成される内
０１１１面を示している。ディスク（２０）を管状部材
（１５）にしっかりと固定するために、各ディスク（２
０）毎に５以後ホルダー（３０）と称している装置が準
備されている。各ホルダー（３０）の主たるａ牝は、例
えば、・ディスク（２０）が一つの場所から他の場所へ
と運搬されるときに、ディスク（２０）を管状部材（１
５）にしっかりと固定することである。この目的のため
１こ、ボルダ−（３０）は、より詳細に第２図に示すよ
うに、梓角度間隔で配設されて径方向外向きに延びる３
木のアーム（３１）と、伸縮性ラバーリング（３３）と
からなっている、各アームは、ディスク内側面（２１）
と係合して、これを受は止める清をその外周面に有する
田川製の外側部材（３４）と、管状部材（１５）の円筒
状側表面と直接接触する内側部材（３５）とからなって
いる、外側部材（３４）と内側部材（３５）とは相互に
しっかりと一体につながれており、伸縮性リング（３３
）がこれらの外側部材（３４）と内０１１１部材（３５
）との間に明けられた孔を通して設けられて、内側部材
（３５）を管状部材（１５）に対して圧接し、３本のア
ーム（３１）を内側に引き込むような働きをしている。
同軸に配設された管状部材（１５）は管状ナラ） （１
４）の前糸ス（第１図では、左側）に取り付けられ、支
持構造体（１１）によりブッシング（１６）を介して支
持されている。その前方部分は、中心孔を持つ多数枚の
ウエノ１−状ディスク（２０）を保持できるように、円
形断面をもつ円筒状の外（Ｊｌ（面をイｆし・Ｃおり、
（２１）は ディスクの中心孔によって形成される内
０１１１面を示している。ディスク（２０）を管状部材
（１５）にしっかりと固定するために、各ディスク（２
０）毎に５以後ホルダー（３０）と称している装置が準
備されている。各ホルダー（３０）の主たるａ牝は、例
えば、・ディスク（２０）が一つの場所から他の場所へ
と運搬されるときに、ディスク（２０）を管状部材（１
５）にしっかりと固定することである。この目的のため
１こ、ボルダ−（３０）は、より詳細に第２図に示すよ
うに、梓角度間隔で配設されて径方向外向きに延びる３
木のアーム（３１）と、伸縮性ラバーリング（３３）と
からなっている、各アームは、ディスク内側面（２１）
と係合して、これを受は止める清をその外周面に有する
田川製の外側部材（３４）と、管状部材（１５）の円筒
状側表面と直接接触する内側部材（３５）とからなって
いる、外側部材（３４）と内側部材（３５）とは相互に
しっかりと一体につながれており、伸縮性リング（３３
）がこれらの外側部材（３４）と内０１１１部材（３５
）との間に明けられた孔を通して設けられて、内側部材
（３５）を管状部材（１５）に対して圧接し、３本のア
ーム（３１）を内側に引き込むような働きをしている。
Ｎい換えれば、リング（３３）はホルダー（３０）の３
本のアーム（３１）に対して向心力を加えるように動く
、これによって、運搬などの目的のためにディスク（２
０）は管状部材（１５）にしっかりと固定される。
本のアーム（３１）に対して向心力を加えるように動く
、これによって、運搬などの目的のためにディスク（２
０）は管状部材（１５）にしっかりと固定される。
第１図に示すように、′ｆＳＩ数枚のディスク（２０）
は、複数個の本発明の固定端部作動装置によって保持さ
れ、また各作動装置は同じく管状部材（１５）の外側表
面に固定されている。またシャフト（１２）の前端部に
は前端キャップ（３７）が係合ねじ（３７’）などの既
知の手段によって固定され、支持ｔＩＩ造体遺体１）の
前縁（１１″）との間の空間に複数の内側部材（３５）
を、それらが相互に牛径方向に摺動できるように若干の
間隙を保って挟持する。このことによって支持構造体（
１１）の前縁（１１″）とシャフト （１２）の前端部
表面に取り付けられた前端キャップ（３７）との間の空
間に取り付けられた多数枚のディスク相互間の平行性が
維持される。なお前端キャップ（３７）は円形で、その
直径はディスク（２０）の中央孔のそれよりも小さく選
んである。希望の箇所で、ディスク（２０）の１枚を解
放して、そこに置こうとするときには、シャフト （１
２）を回転し、それによって、管状ナツト （１４）が
ゆっくりと動かされ、した力ｔつで、それに取り付けら
れた管状部材（１５）が後方に移！ｌＩＪさせられる。
は、複数個の本発明の固定端部作動装置によって保持さ
れ、また各作動装置は同じく管状部材（１５）の外側表
面に固定されている。またシャフト（１２）の前端部に
は前端キャップ（３７）が係合ねじ（３７’）などの既
知の手段によって固定され、支持ｔＩＩ造体遺体１）の
前縁（１１″）との間の空間に複数の内側部材（３５）
を、それらが相互に牛径方向に摺動できるように若干の
間隙を保って挟持する。このことによって支持構造体（
１１）の前縁（１１″）とシャフト （１２）の前端部
表面に取り付けられた前端キャップ（３７）との間の空
間に取り付けられた多数枚のディスク相互間の平行性が
維持される。なお前端キャップ（３７）は円形で、その
直径はディスク（２０）の中央孔のそれよりも小さく選
んである。希望の箇所で、ディスク（２０）の１枚を解
放して、そこに置こうとするときには、シャフト （１
２）を回転し、それによって、管状ナツト （１４）が
ゆっくりと動かされ、した力ｔつで、それに取り付けら
れた管状部材（１５）が後方に移！ｌＩＪさせられる。
管状部材（１５）の前端部が、＠１図に示されているよ
うな、最大限前方に突き出た状態から第２図に示すよう
にホルダー（３０）の厚みだけ引き込まれるにつれて、
λ１前部に位置しているホルダー（３０）では、その中
の伸縮性リング（３３）によって加えられていた向心力
に抗してそれに内側から動いていた支持力を失う、それ
につれてアーム（３１）はその内側部材（３５）がシャ
フト（１２）に接触するまで内側に向かって動き出す、
シャフト （１２）は第３図に示すように、その軸のま
わりに回転可能であるが、軸方向へのスライドは許され
ないように構成されている。上記のＩＪＪきによって、
ホルダー（３０）のアーム（３１）が内側に動いた距離
、すなわち、管状部材（１５）外側面とシャツｌ−（１
２）との間の径方向の距離は、外側部材（３４）の外側
面に設けられているディスク受は溝の深さより大きくな
る。
うな、最大限前方に突き出た状態から第２図に示すよう
にホルダー（３０）の厚みだけ引き込まれるにつれて、
λ１前部に位置しているホルダー（３０）では、その中
の伸縮性リング（３３）によって加えられていた向心力
に抗してそれに内側から動いていた支持力を失う、それ
につれてアーム（３１）はその内側部材（３５）がシャ
フト（１２）に接触するまで内側に向かって動き出す、
シャフト （１２）は第３図に示すように、その軸のま
わりに回転可能であるが、軸方向へのスライドは許され
ないように構成されている。上記のＩＪＪきによって、
ホルダー（３０）のアーム（３１）が内側に動いた距離
、すなわち、管状部材（１５）外側面とシャツｌ−（１
２）との間の径方向の距離は、外側部材（３４）の外側
面に設けられているディスク受は溝の深さより大きくな
る。
従って、このとき、ディスク（２０）の内側面（２１）
はホルダー（３０）から完全に離れることになり、ディ
スク（２０）は取り外し可能状態となる。
はホルダー（３０）から完全に離れることになり、ディ
スク（２０）は取り外し可能状態となる。
第３図に示された状態から、シャフト（１２）が更に回
転され、したがって、管状部材（１５）が更にディスク
のＩｇみ分だけ引き込められると、第二のディスクが同
様に自由になり解放されるが、しかしその間、その他の
全てのディスク（２０）は管状部材（１５）に固定され
ている端部作ｖｊ装置に留まったままとなっている。
転され、したがって、管状部材（１５）が更にディスク
のＩｇみ分だけ引き込められると、第二のディスクが同
様に自由になり解放されるが、しかしその間、その他の
全てのディスク（２０）は管状部材（１５）に固定され
ている端部作ｖｊ装置に留まったままとなっている。
上に述べてさたごときｑｊＩＪ部作動装置へのディスク
（２０）の装着は、管状部材（１５）を移動させて解放
時の逆順に作動させることにより行うことができる。管
状部材（１５）の前端部表面は、第１図に示すように、
その外側エツジにかけて丸められており、一方、ホルダ
ーの内側部材（３５）の後部エツジもまた丸められるか
斜面となるよう成形されている。それ故、管状部材（１
５）が前方向へ８動するにつｔｔて、これら丸められた
両表面は相互の係合を維ｔ、）シ、かつこのような管状
部材（１５）の前方向への移動により、その前端位置に
おけるホルダー（３０）のアーム（３１）は半径方向で
外向きの動きを生じるようになる。そのため外側に動く
外側部材（３４）はディスク（２０）の内側面（２１）
を受は止めて、これをその上にしっかりと固定する。
（２０）の装着は、管状部材（１５）を移動させて解放
時の逆順に作動させることにより行うことができる。管
状部材（１５）の前端部表面は、第１図に示すように、
その外側エツジにかけて丸められており、一方、ホルダ
ーの内側部材（３５）の後部エツジもまた丸められるか
斜面となるよう成形されている。それ故、管状部材（１
５）が前方向へ８動するにつｔｔて、これら丸められた
両表面は相互の係合を維ｔ、）シ、かつこのような管状
部材（１５）の前方向への移動により、その前端位置に
おけるホルダー（３０）のアーム（３１）は半径方向で
外向きの動きを生じるようになる。そのため外側に動く
外側部材（３４）はディスク（２０）の内側面（２１）
を受は止めて、これをその上にしっかりと固定する。
上に述べてきた本発明のｆｌｒ−適実施例は、本発明を
説明する目的のために掲げられたものであって、本発明
を開示された詳細な形にのみ制限しようとするものでは
なく、上述の説明が含んでいる本発明の精神のもとに、
多くの変形や変種が可能である０例えば、１個のホルダ
ー当りのアームの数は３本に限られるものではないし、
また、保持さるべきディスクの枚数も 第１図や第３図
に画かれているものに制限されているわけではない、当
該技術分野に精通した人にとって明白な本発明について
の変形と変種はすべて本発明の特許請求の範囲内にある
ものとする。
説明する目的のために掲げられたものであって、本発明
を開示された詳細な形にのみ制限しようとするものでは
なく、上述の説明が含んでいる本発明の精神のもとに、
多くの変形や変種が可能である０例えば、１個のホルダ
ー当りのアームの数は３本に限られるものではないし、
また、保持さるべきディスクの枚数も 第１図や第３図
に画かれているものに制限されているわけではない、当
該技術分野に精通した人にとって明白な本発明について
の変形と変種はすべて本発明の特許請求の範囲内にある
ものとする。
［発明の効果］
以上のように、本発明によれば、ウェハーのごときディ
スクをより効率的に搬送できる装置を提供することがで
き、従来技術の非効率性を解消する効果がある。
スクをより効率的に搬送できる装置を提供することがで
き、従来技術の非効率性を解消する効果がある。
本発明のいま一つの効果は、−時に多数枚のディスクを
運び、それらをそれらの一つの目的場所に一括して、あ
るいは、複数の目的場所に順次１枚ずつ搬送することの
できる装置を提供できることである。
運び、それらをそれらの一つの目的場所に一括して、あ
るいは、複数の目的場所に順次１枚ずつ搬送することの
できる装置を提供できることである。
第１図は本発明を実施した多数枚ディスク固定端部作動
′Ｊｌｃ置の側断面図、ｌ！［２図は第１図中の線２−
２に沿う断面を軸方向から見た第１図の喘部作動装置の
いま一つの断面図、また第３図は保持されているディス
クのうちの最前方に位置する１枚のディスクが第１図の
端部作動装置によって解放されようとしている瞬間の同
装置の一部拡大断面図である。 図において、 （１１）は支持構造体、 （１２）はシ
ャフト、 （１３）はベアリング、 （１４）は管状ナ
ツト、（１５）は管状部材、（１６）はブッシング、（
２０）はディスク、（３０）はホルダー （３１）ｌま
アーム、（３３）はラバーリング、 （３４）は外側部
品、 （３５）は内側部品、（３７）は前端キャップで
ある。 代理人 弁理士 来 島 隆 治 ３０：ホルタ゛− ３１：アーム
′Ｊｌｃ置の側断面図、ｌ！［２図は第１図中の線２−
２に沿う断面を軸方向から見た第１図の喘部作動装置の
いま一つの断面図、また第３図は保持されているディス
クのうちの最前方に位置する１枚のディスクが第１図の
端部作動装置によって解放されようとしている瞬間の同
装置の一部拡大断面図である。 図において、 （１１）は支持構造体、 （１２）はシ
ャフト、 （１３）はベアリング、 （１４）は管状ナ
ツト、（１５）は管状部材、（１６）はブッシング、（
２０）はディスク、（３０）はホルダー （３１）ｌま
アーム、（３３）はラバーリング、 （３４）は外側部
品、 （３５）は内側部品、（３７）は前端キャップで
ある。 代理人 弁理士 来 島 隆 治 ３０：ホルタ゛− ３１：アーム
Claims (10)
- （１）支持構造体と、 上記支持構造体に対して縦方向にスライド可能な外側面
を持ち上記支持構造体によりスライド可能に支持された
管状部材と、 各々の保持手段が上記管状部材の周りに配設され、上記
管状部材の外側表面を向心的に押圧するごとく配設され
、かつ、中心孔付ディスクに接触固定し、複数枚のディ
スクを個別に取り外し可能に保持するごとき複数個の保
持手段と、 を具備する複数枚ディスクの装着ならびに順次取り外し
のための多数枚ディスク固定端部作動装置。 - （２）前記支持構造体により回転可能に支持された回転
軸を更に有し、この回転軸及びその管状部材とは運動伝
達的な関係にあることを特徴とする請求項１記載の多数
枚ディスク固定端部作動装置。 - （３）前記回転軸が前記管状部材を貫通していることを
特徴とする請求項２記載の多数枚ディスク固定端部作動
装置。 - （４）前記外側面が円形の断面形状をもった筒状である
ことを特徴とする請求項１記載の多数枚ディスク固定端
部作動装置。 - （５）前記保持手段の各々が、前記管状部材１５の周囲
に配置された弾力性リングと前記管状部材１５から放射
状に延びた複数のアームとを有し、その各アームは前記
の中心孔付ディスクの内側縁にしっかりと当接しうる外
側部材とこの外側部材にしっかりと固着された内側部材
とを有し、前記弾性のリングは前記内側部材を前記管状
部材の前記外側面に押圧するための向心力を与えるもの
であることを特徴とする請求項１記載の多数枚ディスク
固定端部作動装置。 - （６）前記回転軸が筒状でらせんがねじとして働くよう
らせんねじが切ってあり、そして前記の管状部材が内側
らせん条付面をもつ管状ナットがしっかりと固定され、
その内側らせん面は前記回転軸に係合し、回転軸の回転
運動により前記管状体が長さ方向に滑動するようになっ
ている請求項３記載の多数枚ディスク固定端部作動装置
。 - （７）前記の弾力性リングが各保持手段の前記内側部材
と前記外側部材との間を通っていることを特徴とする請
求項５記載の多数枚ディスク固定端部作動装置。 - （８）前記保持手段の各々が等分に隔てて配された３個
の腕を有することを特徴とする請求項５記載の多数枚デ
ィスク固定端部作動装置。 - （９）前記外側部材が樹脂材料からなることを特徴とす
る請求項９記載の多数枚ディスク固定端部作動装置。 - （１０）前記管状部材が傾斜面を有するとともに前記保
持手段が少なくとも部分的に傾斜した内面をもち、前記
管状部材が容易に前記保存部材を貫通できるようにして
ある請求項１記載の多数枚ディスク固定端部作動装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/251,786 US4958873A (en) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | Multi-disk clamp end effector |
| US251,786 | 1988-10-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02263453A true JPH02263453A (ja) | 1990-10-26 |
Family
ID=22953400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1270537A Pending JPH02263453A (ja) | 1988-10-17 | 1989-10-11 | 多数枚デイスク固定端部作動装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4958873A (ja) |
| JP (1) | JPH02263453A (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5423653A (en) * | 1993-12-08 | 1995-06-13 | Hmt Technology Corporation | Disc-transporting mandrel |
| US6986538B1 (en) * | 2002-01-04 | 2006-01-17 | Ecker Robert J | Device for storing and carrying hole saws |
| US7216909B2 (en) * | 2004-05-21 | 2007-05-15 | Seagate Technology Llc | Breakaway mandrel for transporting disks |
| US7731138B2 (en) * | 2005-05-26 | 2010-06-08 | Covidien Ag | Flexible clamping apparatus for medical devices |
| US7717921B2 (en) * | 2005-10-19 | 2010-05-18 | Warsaw Orthopedic, Inc. | Instruments and methods for delivering multiple implants in a surgical procedure |
| US7722623B2 (en) | 2006-05-12 | 2010-05-25 | Warsaw Orthopedic, Inc. | Instruments and methods for delivering multiple implants |
| US7967828B2 (en) * | 2006-12-07 | 2011-06-28 | Warsaw Orthopedic, Inc. | Gravity feed implant dispenser |
| US8105328B2 (en) * | 2007-02-01 | 2012-01-31 | Warsaw Orthopedic, Inc. | Multiple implant dispensing driver |
| US7980521B2 (en) * | 2007-05-04 | 2011-07-19 | Tyco Healthcare Group Lp | Medical device safety support with infinite positioning |
| US7546993B1 (en) | 2008-03-25 | 2009-06-16 | Tyco Healthcare Group Lp | Flexible clamping apparatus for medical devices |
| US8929025B2 (en) | 2010-09-21 | 2015-01-06 | HGST Netherlands B.V. | Clamping device for a rotatable component of a machine including a balance hole configured to confine a counterweight |
| US8955571B2 (en) * | 2012-12-12 | 2015-02-17 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Apparatus for supporting and holding a bead core-apex subassembly and method of producing and transporting the bead core-apex subassembly |
| US9227324B1 (en) * | 2014-09-25 | 2016-01-05 | WD Media, LLC | Mandrel for substrate transport system with notch |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2701736A (en) * | 1953-12-18 | 1955-02-08 | Heppenstall Co | Lifting device for handling convection spacer disks |
| US3073610A (en) * | 1961-10-19 | 1963-01-15 | Lincoln Park Engineering Inc | Expanding arbor |
| US4198066A (en) * | 1978-12-15 | 1980-04-15 | The Gleason Works | Expandable arbor for holding a stack of elements |
| US4283082A (en) * | 1980-04-28 | 1981-08-11 | Tracy Wayne R | Tool for retaining and releasing ringed elements |
-
1988
- 1988-10-17 US US07/251,786 patent/US4958873A/en not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-10-11 JP JP1270537A patent/JPH02263453A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4958873A (en) | 1990-09-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02263453A (ja) | 多数枚デイスク固定端部作動装置 | |
| EP0308134A3 (en) | Specular machining apparatus for peripheral edge portion of wafer | |
| US7891672B2 (en) | Chuck having a rotatable securing mechanism | |
| US5131800A (en) | Manually operable apparatus for transferring disks between cassettes | |
| KR890007392A (ko) | 웨이퍼 절단장치 및 그 방법 | |
| ES8505275A1 (es) | Una maquina de tornear o torno | |
| JP4681839B2 (ja) | 締付け装置を有する搬送ドラム | |
| EP2365894B1 (en) | Workpiece carrier | |
| JPS6313779B2 (ja) | ||
| US4208843A (en) | Grinding attachment for porcelain bodies | |
| CN211386962U (zh) | 一种数控车床弹簧夹紧机构 | |
| JP2001358102A (ja) | キャリヤ・ヘッドの研磨 | |
| US3108819A (en) | Mechanism for steadying and cropping the ends of elongated stock | |
| JP2011110611A (ja) | 加工方法及び加工装置 | |
| JP3575847B2 (ja) | メカニカルハンドを備えた間欠割り出し装置 | |
| JPS63288642A (ja) | ダイシング装置におけるワ−ク搬送方法及び装置 | |
| JPH0319017B2 (ja) | ||
| US4768791A (en) | Expandable grinding plug | |
| US1802655A (en) | Lathe chuck | |
| JPH02185335A (ja) | ワーク搬送用パレット | |
| JPH0131365Y2 (ja) | ||
| GB2230508A (en) | An end effector | |
| JP2000301078A (ja) | ボルトブラッシング装置 | |
| JPS5842527A (ja) | 棒状品の搬送装置 | |
| JP2539472B2 (ja) | 被処理物収納部支持機構 |